DE10026005A1 - Piezoaktor - Google Patents

Piezoaktor

Info

Publication number
DE10026005A1
DE10026005A1 DE2000126005 DE10026005A DE10026005A1 DE 10026005 A1 DE10026005 A1 DE 10026005A1 DE 2000126005 DE2000126005 DE 2000126005 DE 10026005 A DE10026005 A DE 10026005A DE 10026005 A1 DE10026005 A1 DE 10026005A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezo actuator
electrodes
extensions
actuator according
outer electrodes
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE2000126005
Other languages
English (en)
Other versions
DE10026005B4 (de
Inventor
Rudolf Heinz
Bertram Sugg
Steffen Jung
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE2000126005 priority Critical patent/DE10026005B4/de
Priority to KR1020027001003A priority patent/KR20020024309A/ko
Priority to US10/031,788 priority patent/US20020135275A1/en
Priority to CZ2002196A priority patent/CZ2002196A3/cs
Priority to EP01931409A priority patent/EP1230688A1/de
Priority to PCT/DE2001/001328 priority patent/WO2001091199A1/de
Publication of DE10026005A1 publication Critical patent/DE10026005A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE10026005B4 publication Critical patent/DE10026005B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/87Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/875Further connection or lead arrangements, e.g. flexible wiring boards, terminal pins
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M2200/00Details of fuel-injection apparatus, not otherwise provided for
    • F02M2200/21Fuel-injection apparatus with piezoelectric or magnetostrictive elements

Landscapes

  • Fuel-Injection Apparatus (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Es wird ein Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils, vorgeschlagen, der einen Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2, 3) und eine wechselseitige seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2, 3) über Außenelektroden (4, 5) aufweist. Die Außenelektroden (4, 5) sind netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebracht und zumindet punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2, 3) kontaktiert. Die Außenelektroden (4, 5) sind dabei derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen hinaus verlängert, dass an den Verlängerungen (8, 9) die Zuführung der elektrischen Spannung erfolgt.

Description

Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs.
Es ist allgemein bekannt, dass unter Ausnutzung des soge­ nannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung er­ folgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebe­ reiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Der Aufbau dieses Piezoaktors kann hier in mehreren Schichten erfolgen (Multilayer-Aktoren), wobei die Elektroden, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils zwischen den Schichten angeordnet werden.
Solche Piezoaktoren können beispielsweise für den Antrieb von Schaltventilen bei Kraftstoffeinspritzsystemen in Kraftfahrzeugen vorgesehen werden. Beim Betrieb des Pie­ zoaktors ist hier insbesondere darauf zu achten, dass durch mechanische Spannungen im Lagenaufbau auch keine störenden Rissbildungen im Bereich der äußeren Anschluss­ elektroden entstehen. Da die jeweils an einer Seite kon­ taktierten Innenelektroden kammartig in den Lagenaufbau integriert sind, müssen die in Richtung des Lagenaufbaus aufeinanderfolgenden Elektroden jeweils abwechselnd an gegenüberliegen Seiten kontaktiert werden.
Bei einer Betätigung des Piezoaktors, d. h. bei Anlage ei­ ner Spannung zwischen den im Lagenaufbau gegenüberliegen­ den Innenelektroden treten unterschiedliche mechanische Kräfte im Bereich der Innenelektroden sowie im Bereich der Kontaktierungen an den Außenelektroden auf, die zu mechanischen Spannungen und dadurch zu Rissen in den Au­ ßenelektroden führen können. Die Außenelektroden müssen dann wiederum mit Anschlusselektroden versehen werden, die in der Regel auch mechanischen Spannungen standhalten müssen.
Vorteile der Erfindung
Der eingangs beschriebene Piezoaktor, der beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils verwendbar sein kann, ist in vorteilhafter Weise so ausgebildet, dass mindestens eine Schicht der jeweilige Außenelektrode netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebaut und zumindest punktweise mit den je­ weiligen Innenelektroden kontaktiert ist. Die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden sind dabei derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen verlängert, dass an den Verlängerungen die Zuführung der elektrischen Spannung über entsprechende Anschlüsse erfolgt.
Gegenüber einer üblichen Lötung dieser äußeren Anschluss­ drähte direkt auf der Außenelektrode nahe des Piezoaktor­ fußes im aktiven oder inaktiven Bereich ist erfindungsge­ mäß in vorteilhafter Weise erreicht, dass mit dem An­ schluss an die Verlängerung der Außenelektrode eine ver­ besserte und mechanisch robustere Kontaktierung herge­ stellt ist. Bei der üblichen Lötung auf dem netz- oder siebartigen Gewebe ist die Haftung der Elektroden auf dem Piezoaktor sehr gering, so dass selbst geringe Kräfte ein Abschälen der Außenelektrode vom Piezoaktor hervorrufen können. Gemäß der Erfindung kann dann auch die Anzahl der notwendigen elektrischen Verbindungen im Bereich des Mehrschichtaufbaus verringert werden.
Dadurch, dass die Außenelektroden über den Piezoaktorfuß hinaus, im Idealfall bis zum Stecker verlängert werden, können diese somit in einem unkritischen Bereich kontak­ tiert werden. Weiterhin ermöglicht dies zum einen eine kostengünstige Fertigung, zum anderen wird das Prozess- und Ausfallrisiko an dieser Stelle reduziert. Vorteilhaft ist außerdem, dass auch auf einen, ev. sonst notwendigen zusätzlichen inaktiven Bereich am Mehrschichtaufbau zur Kontaktierung verzichtet werden kann, wodurch eine gerin­ gere Baulänge ermöglicht und weitere Kosten gespart wer­ den können.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind die Verlänge­ rungen elektrisch isoliert durch das Fußteil, z. B. aus Stahl oder Al2O3, des Piezoaktors geführt, an dem der Mehrschichtaufbau der Piezolagen befestigt ist. Hierbei ist es auch vorteilhaft, wenn die Verlängerungen zur Fi­ xierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden in ei­ ner Vergussmasse gehalten sind, welche in eine Ausnehmung des Fußteils, ggf. von einem Formteil aus Stahl oder Po­ lymer umgeben, eingebracht sind.
Die Verlängerungen können in vorteilhafter Weise auch da­ durch realisiert werden, dass die Außenelektroden im Be­ reich der Verlängerungen verjüngt sind. Weiterhin können die Außenelektroden auch im Bereich der Verlängerungen gefaltet oder gerollt sein.
Auf einfache Weise können die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden aus gekreuzten horizontal und vertikal verlegten oder unter 45° geneigt verlegten Drähten beste­ hen, die durch verkupfern oder verzinnen miteinander kon­ taktiert sind.
Diese und weitere Merkmale von bevorzugten Weiterbildun­ gen der Erfindung gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehre­ ren in Form von Unterkombinationen bei der Ausführungs­ form der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausfüh­ rungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Piezoaktor mit ei­ nem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Pizokeramik und Innenelektroden sowie einer netzartigen durch ein Fußteil verlängerten Außenelektrode;
Fig. 2 einen Schnitt an der Linie A-A im Ausfüh­ rungsbeispiel nach der Fig. 1;
Fig. 3 einen Detailschnitt im Bereich der Durchfüh­ rung der verlängerten Außenelektrode durch das Fuß­ teil;
Fig. 4 eine Abwandlung des Beispiels nach den Fig. 1 bis 3 mit einem zusätzlichen Formteil im Be­ reich der Verlängerungen;
Fig. 5 eine Abwandlung der vorhergehenden Beispiele mit einer in der Verlängerung verjüngten Außenelekt­ rode;
Fig. 6 ein Ausführungsbeispiel mit einer in der Verlängerung gefalteten Außenelektrode;
Fig. 7 ein Ausführungsbeispiel mit einer in der Verlängerung gerollten Außenelektrode;
Fig. 8 und 9 Ausführungsbeispiele der netz- oder gewebeartigen Außenelektroden und;
Fig. 10 einen Detailschnitt durch die verkupferten oder verzinnten Drähte der netz- oder gewebeartigen Außenelektrode.
Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Fig. 1 und 2 ist in verschiedenen Schnitten ein Pie­ zoaktor 1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise aus Piezofolien eines Keramikmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer äußeren e­ lektrischen Spannung an Innenelektroden 2 und 3 jeweils über Außenelektroden 4 und 5 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors 1 in axialer Richtung erfolgt.
Der Piezoaktor ist über ein Fußteil 6 fest in ein Gehäuse 7, beispielsweise das Gehäuse eines Einspritzventils für Kraftfahrzeuge, eingebettet. Die Außenelektroden 4 und 5 weisen Verlängerungen 8 und 9 auf, an deren unterem Ende jeweils ein elektrischer Anschluss für eine Spannungsver­ sorgung angebracht werden kann. Im Bereich der Durchfüh­ rung der Verlängerungen 8 und 9 durch das Fußteil 6 und ggf. darüber hinaus sind die Verlängerungen 8 und 9 e­ lektrisch isoliert, beispielsweise mittels eines Schrumpfschlauchs 10. Zur Fixierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden 4 und 5 bzw. der Verlängerungen 8 und 9 sind diese in einer Ausnehmung 11 des Fußteils 6 mit einer Vergussmasse 12 umhüllt. In Fig. 3 ist der Bereich der Durchführung der Verlängerungen 8 oder 9 anhand eines Ausführungsbeispiels im Detail gezeigt.
Ein Ausführungsbeispiel nach Fig. 4 zeigt Abwandlung zur Fixierung und zur Zugentlastung der Außenelektroden 4 und 5 bzw. der Verlängerungen 8 und 9 mit einem, im Fußteil 6 liegenden, Formteil 13, in das die Vergussmasse 12 einge­ fügt ist.
Verschiedene Ausführungsbeispiele der Elektrodenverlänge­ rungen 8 und 9 sind in Fig. 5 bis 7 dargestellt. Nach der Fig. 5 sind die Verlängerungen 8 und 9 lediglich verjüngt, was auch dem unten gezeichneten Querschnitt der Verlängerung 9 zu entnehmen ist. Die Fig. 6 zeigt eine Verlängerung 9, die gefaltet ist und die Fig. 7 zeigt eine Verlängerung 9, die gerollte ist, was wiederum den darunter gezeichneten Querschnitten der Verlängerung 9 zu entnehmen ist.
Aus Fig. 8 ist ein netzartiger Aufbau der Außenelektrode 4 oder 5 mit horizontal und vertikal verlaufenden Drähten 14 und 15 und aus Fig. 9 ist ein vergleichbarer Aufbau mit 45° geneigten Drähten 14 und 15 zu entnehmen. Im Schnitt nach Fig. 10 ist die Lage der gekreuzten Drähte 14 und 15 mit Kontaktstellen 16, z. B. durch Verkupfern oder Verzinnen der Drähte 14 und 15, erkennbar.

Claims (10)

1. Piezoaktor, mit
einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2, 3),
einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der In­ nenelektroden (2, 3) über Außenelektroden (4, 5), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, wobei
die Außenelektroden (4, 5) netz- oder gewebeartig auf jeweils einer Seitenfläche verteilt aufgebracht sind und zumindest punktweise mit den jeweiligen Innen­ elektroden (2, 3) kontaktiert ist und zwischen den Kon­ taktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt und wobei
die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (4, 5) derart über den Mehrschichtaufbau der Piezolagen hin­ aus verlängert sind, dass an den Verlängerungen (8, 9) die Zuführung der elektrischen Spannung erfolgt.
2. Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlängerungen (8, 9) elektrisch isoliert (10) durch ein Fußteil (6) des Piezoaktors (1) geführt sind, an das der Mehrschichtaufbau der Piezolagen be­ festigt ist.
3. Piezoaktor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Verlängerungen (8, 9) in einer Vergussmasse (12) gehalten sind, welche in eine Ausnehmung (11) des Fuß­ teils (6) eingebracht ist.
4. Piezoaktor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Vergussmasse (12) von einem Formteil (13) umgeben ist.
5. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektroden (4, 5) im Bereich der Verlängerun­ gen (9, 10) verjüngt sind.
6. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektroden (4, 5) im Bereich der Verlängerun­ gen (8, 9) gefaltet sind.
7. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Außenelektroden (4, 5) im Bereich der Verlängerun­ gen (8, 9) gerollt sind.
8. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (4, 5) aus gekreuzten unter 45° geneigt verlegten Drähten (14, 15) bestehen.
9. Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die netz- oder gewebeartigen Außenelektroden (4, 5) aus gekreuzten horizontal und vertikal verlegten Drähten (14, 15) bestehen.
10. Piezoaktor nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Drähte (14, 15) untereinander durch verkupfern oder verzinnen miteinander kontaktiert sind.
DE2000126005 2000-03-25 2000-05-25 Piezoaktor Expired - Lifetime DE10026005B4 (de)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000126005 DE10026005B4 (de) 2000-05-25 2000-05-25 Piezoaktor
KR1020027001003A KR20020024309A (ko) 2000-05-25 2001-04-05 압전 액츄에이터
US10/031,788 US20020135275A1 (en) 2000-03-25 2001-04-05 Piezoelectric actuator
CZ2002196A CZ2002196A3 (cs) 2000-05-25 2001-04-05 Piezoelektrický ovladač
EP01931409A EP1230688A1 (de) 2000-05-25 2001-04-05 Piezoaktor
PCT/DE2001/001328 WO2001091199A1 (de) 2000-05-25 2001-04-05 Piezoaktor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE2000126005 DE10026005B4 (de) 2000-05-25 2000-05-25 Piezoaktor

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE10026005A1 true DE10026005A1 (de) 2001-12-06
DE10026005B4 DE10026005B4 (de) 2004-07-08

Family

ID=7643584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2000126005 Expired - Lifetime DE10026005B4 (de) 2000-03-25 2000-05-25 Piezoaktor

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20020135275A1 (de)
EP (1) EP1230688A1 (de)
KR (1) KR20020024309A (de)
CZ (1) CZ2002196A3 (de)
DE (1) DE10026005B4 (de)
WO (1) WO2001091199A1 (de)

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004061986A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-22 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
EP1758237A1 (de) 2005-08-22 2007-02-28 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
WO2007023046A1 (de) * 2005-08-24 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem piezoaktor
WO2007023040A1 (de) 2005-08-22 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer steckverbindung
EP1906464A1 (de) 2006-09-27 2008-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer Ummantelung, zur Anordnung in einem Piezoinjektor
EP1919005A2 (de) 2006-10-31 2008-05-07 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls
DE102007001566A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Isolierung des aktiven Bereichs eines Piezoaktors und Piezoaktor
DE102007001563A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit zwischen einem Aktorkopf und einem Aktorfuß eingespannten Piezoelementen
DE102007004552A1 (de) 2007-01-30 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einem Schutzschichtsystem
DE102007004559A1 (de) 2007-01-30 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schutzschichtsystems
DE102007040509A1 (de) 2007-08-28 2009-03-05 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit einer Umhüllung des Piezoaktors und ein Verfahren zu dessen Herstellung
EP2034533A1 (de) 2007-09-05 2009-03-11 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren
EP2043171A2 (de) 2007-09-27 2009-04-01 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
EP2043170A2 (de) 2007-09-27 2009-04-01 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007044751A1 (de) 2007-09-19 2009-04-09 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren
DE102007056553A1 (de) 2007-11-23 2009-05-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul
DE102007060052A1 (de) 2007-12-13 2009-06-18 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor mit mehreren Aktiv- und/oder zusätzlichen Sensorbereichen
EP2079117A2 (de) 2008-01-14 2009-07-15 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102008003840A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008055119A1 (de) 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoinjektor
US9214621B2 (en) 2010-06-07 2015-12-15 Epcos Ag Piezoelectric multilayer component and method for forming an external electrode in a piezoelectric multilayer component
DE102009029213B4 (de) 2009-09-04 2017-03-30 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Aktor

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005046122A1 (de) * 2005-09-27 2007-03-29 Robert Bosch Gmbh Brennstoffeinspritzventil
DE102006026643A1 (de) * 2006-06-08 2007-12-13 Robert Bosch Gmbh Piezoelekterischer Aktor
KR20080093281A (ko) * 2007-04-16 2008-10-21 주식회사 메디슨 초음파 진단용 프로브
JP5180975B2 (ja) * 2008-02-18 2013-04-10 セイコーインスツル株式会社 圧電振動子の製造方法および圧電振動子
JP6017937B2 (ja) * 2012-11-28 2016-11-02 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
JP6062728B2 (ja) * 2012-11-30 2017-01-18 京セラ株式会社 積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システム
DE102013106223A1 (de) * 2013-06-14 2014-12-18 Epcos Ag Vielschichtbauelement mit einer Außenkontaktierung, einer Weiterkontaktierung und einem Verbindungselement
WO2016002262A1 (ja) * 2014-07-04 2016-01-07 株式会社村田製作所 圧電センサおよび圧電素子
DE102015213003A1 (de) * 2015-07-10 2017-01-12 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul und Piezoinjektor
DE102020113700B4 (de) 2020-05-20 2024-06-06 Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. Piezoelektrisches Funktionsnetzwerk

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
JPH02266578A (ja) * 1989-04-06 1990-10-31 Nec Corp 電歪効果素子
DE19648545A1 (de) * 1996-11-25 1998-05-28 Ceramtec Ag Außenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor
DE19753930A1 (de) * 1997-12-05 1999-06-10 Ceramtec Ag Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren
DE19909452C1 (de) * 1999-03-04 2000-03-23 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928176A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3223801A1 (de) * 1982-06-25 1983-12-29 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Verfahren zur herstellung eines piezoelektrischen stellgliedes

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3330538A1 (de) * 1983-08-24 1985-03-14 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Piezoelektrisches stellglied
JPH02266578A (ja) * 1989-04-06 1990-10-31 Nec Corp 電歪効果素子
DE19648545A1 (de) * 1996-11-25 1998-05-28 Ceramtec Ag Außenelektrode für einen monolithischen Vielschichtaktor
DE19753930A1 (de) * 1997-12-05 1999-06-10 Ceramtec Ag Verfahren zur Anbringung von Außenelektroden an Festkörperaktoren
DE19909452C1 (de) * 1999-03-04 2000-03-23 Bosch Gmbh Robert Piezoelektrischer Aktor
DE19928176A1 (de) * 1999-06-19 2001-01-04 Bosch Gmbh Robert Piezoaktor

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004061986A1 (de) * 2002-12-20 2004-07-22 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor
US7276837B2 (en) 2002-12-20 2007-10-02 Robert Bosch Gmbh Piezoelectric actuator
EP1758237A1 (de) 2005-08-22 2007-02-28 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
WO2007023040A1 (de) 2005-08-22 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer steckverbindung
WO2007023046A1 (de) * 2005-08-24 2007-03-01 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem piezoaktor
EP1906464A1 (de) 2006-09-27 2008-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit einer Ummantelung, zur Anordnung in einem Piezoinjektor
EP1919005A2 (de) 2006-10-31 2008-05-07 Robert Bosch Gmbh Anordnung eines Piezoaktors in einer Hülse eines Piezoaktormoduls
DE102007001566A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Isolierung des aktiven Bereichs eines Piezoaktors und Piezoaktor
DE102007001563A1 (de) 2007-01-10 2008-07-17 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit zwischen einem Aktorkopf und einem Aktorfuß eingespannten Piezoelementen
DE102007004552A1 (de) 2007-01-30 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einem Schutzschichtsystem
DE102007004559A1 (de) 2007-01-30 2008-07-31 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul oder Piezoaktor mit einem ummantelnden Schutzschichtsystem und Verfahren zur Herstellung eines solchen Schutzschichtsystems
DE102007040509A1 (de) 2007-08-28 2009-03-05 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit einer Umhüllung des Piezoaktors und ein Verfahren zu dessen Herstellung
EP2034533A1 (de) 2007-09-05 2009-03-11 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren
DE102007042224A1 (de) 2007-09-05 2009-03-12 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren
DE102007044751A1 (de) 2007-09-19 2009-04-09 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren
EP2043171A2 (de) 2007-09-27 2009-04-01 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007046315A1 (de) 2007-09-27 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007046314A1 (de) 2007-09-27 2009-04-02 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
EP2043170A2 (de) 2007-09-27 2009-04-01 Robert Bosch GmbH Piezoaktormodul mit mehreren untereinander verbundenen Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102007056553A1 (de) 2007-11-23 2009-05-28 Robert Bosch Gmbh Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktormoduls mit einer Umhüllung und ein so hergestelltes Piezoaktormodul
DE102007060052A1 (de) 2007-12-13 2009-06-18 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Piezoaktor mit mehreren Aktiv- und/oder zusätzlichen Sensorbereichen
DE102008003840A1 (de) 2008-01-10 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktor mit flexiblen Außenelektroden
EP2079117A2 (de) 2008-01-14 2009-07-15 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102008004227A1 (de) 2008-01-14 2009-07-16 Robert Bosch Gmbh Piezoaktormodul mit mehreren Piezoaktoren und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE102008062021A1 (de) * 2008-08-18 2010-03-04 Epcos Ag Piezoaktor in Vielschichtbauweise
DE102008055119A1 (de) 2008-12-23 2010-07-01 Robert Bosch Gmbh Piezoinjektor
DE102009029213B4 (de) 2009-09-04 2017-03-30 Robert Bosch Gmbh Anordnung mit einem Aktor
US9214621B2 (en) 2010-06-07 2015-12-15 Epcos Ag Piezoelectric multilayer component and method for forming an external electrode in a piezoelectric multilayer component

Also Published As

Publication number Publication date
US20020135275A1 (en) 2002-09-26
CZ2002196A3 (cs) 2002-07-17
KR20020024309A (ko) 2002-03-29
EP1230688A1 (de) 2002-08-14
DE10026005B4 (de) 2004-07-08
WO2001091199A1 (de) 2001-11-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE10026005A1 (de) Piezoaktor
DE19928189A1 (de) Piezoaktor
DE102006000176A1 (de) Piezoelektrisches Element in Schichtbauart
EP1110250B1 (de) Piezoaktor mit wärmedehnungsangepasster aussenelektrode
EP1530805B1 (de) Piezoaktor
DE102007058873A1 (de) Piezoelektrisches Bauteil mit Außenkontaktierung, die eine Gasphasen-Abscheidung aufweist, Verfahren zum Herstellen des Bauteils und Verwendung des Bauteils
DE19909452C1 (de) Piezoelektrischer Aktor
EP1579515B1 (de) Piezoaktor
EP1110253A1 (de) Piezoaktor mit verbesserter wärmeableitung
WO2011009866A1 (de) Piezoaktor mit elektrischer kontaktierung
DE10241992B4 (de) Piezoelektrischer Aktor
EP1384272B1 (de) Weiterkontaktierung für ein elektrisches bauteil sowie piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
WO2010012830A1 (de) Piezoaktor mit sollbruchschicht
EP1192376B1 (de) Piezoaktor
WO2003005490A2 (de) Weiterkontaktierung für ein piezoelektrisches bauteil in vielschichtbauweise
WO2005074050A2 (de) Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung
EP2529422B1 (de) Piezoaktor mit einem mehrlagenaufbau von piezolagen
DE102009020238B4 (de) Piezoaktor mit elektrischen Kontaktierungsstiften und Verfahren zum Kontaktieren eines Piezoaktors
DE10024701A1 (de) Piezoaktor
WO2001024287A2 (de) Innenelektroden für einen piezostapelaktor und zugehöriges herstellung-verfahren
DE10257952A1 (de) Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
DE19951118A1 (de) Piezoaktor und ein Verfahren zu seiner Herstellung
DE102008058011A1 (de) Als Stapel ausgebildetes elektronisches Bauelement
DE102005014762A1 (de) Piezoaktor mit Kontaktierung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8364 No opposition during term of opposition
R071 Expiry of right