DE10009946A1

DE10009946A1 - Device for measuring bores

Info

Publication number: DE10009946A1
Application number: DE10009946A
Authority: DE
Inventors: Frank Brosette; Mario Schroeder
Original assignee: Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Current assignee: Mycrona Gesellschaft fuer Innovative Messtechnik mbH
Priority date: 1999-09-22
Filing date: 2000-03-02
Publication date: 2001-05-03
Also published as: DE29916577U1

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optoelektronischen Vermessung von schwer zugänglichen Bohrungen (2, 2') eines Werkstücks (3) oder von Bohrungen (2, 2') in einem Hohlkörper (3), insbesondere zur Innenvermessung von Bohrungen (2, 2') in einem Hohlkörper (3), wie Einspritzbohrungen (2, 2') im Innern eines Kraftstoffeinspritzventils (3) für Brennkraftmaschinen, mit einer optoelektronischen Erfassungseinrichtung (5), gegebenenfalls mit Objektiv, wie CCD-Kamera, mit einer Auswerteeinrichtung. Ein Spiegel (4) befindet sich in der Nachbarschaft der Bohrung (2, 2') bzw. der Einlaufbohrung (1), welcher die optische Achse (12) der Erfassungseinrichtung (5) umlenkt, wobei ein von einer Strahlenquelle (10), welche sich außerhalb des Werkstücks bzw. des Hohlkörpers (3) befindet, ausgehendes Strahlenbündel (6) in die optische Achse (12) der Erfassungseinrichtung (5) eingebracht und auf den Spiegel (4) gelenekt wird, von wo das Strahlenbündel (6) auf die Bohrung (2, 2') bzw. Einlaufbohrung (1) fällt. Das reflektierte Strahlenbündel wird über den Spiegel (4) in die Erfassungseinrichtung (5) gelenkt.The invention relates to a device for optoelectronic measurement of bores (2, 2 ') of a workpiece (3) or bores (2, 2') in a hollow body (3) which are difficult to access, in particular for the internal measurement of bores (2, 2 '). in a hollow body (3), such as injection bores (2, 2 ') inside a fuel injection valve (3) for internal combustion engines, with an optoelectronic detection device (5), optionally with an objective such as a CCD camera, with an evaluation device. A mirror (4) is located in the vicinity of the bore (2, 2 ') or the inlet bore (1), which deflects the optical axis (12) of the detection device (5), one of which is from a radiation source (10) is located outside the workpiece or the hollow body (3), outgoing beam (6) is introduced into the optical axis (12) of the detection device (5) and is directed onto the mirror (4), from where the beam (6) onto the Bore (2, 2 ') or inlet bore (1) falls. The reflected beam is directed via the mirror (4) into the detection device (5).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optoelektronischen Vermessung von schwer zugänglichen Bohrungen eines Werkstücks oder von Bohrungen in einem Hohlkörper, insbesondere zur Innenvermessung von Bohrungen inner halb des Hohlkörpers, wie Einspritzbohrungen im Innern eines Kraftstoffein spritzventils für Brennkraftmaschinen, mit einer optoelektronischen Erfassungseinrichtung, gegebenenfalls mit Objektiv, wie CCD-Kamera, mit Auswerteeinrichtung, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention relates to a device for optoelectronic measurement of hard-to-reach holes in a workpiece or holes in a hollow body, in particular for the internal measurement of bores inside half of the hollow body, like injection bores inside a fuel spray valve for internal combustion engines, with an optoelectronic Detection device, optionally with a lens such as a CCD camera Evaluation device according to the preamble of claim 1.

Durch die DE 196 11 613 A1 ist ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zum Ver messen von Bohrungen bekannt geworden, insbesondere von Einspritzboh rungen an Kraftstoffeinspritzventilen für Brennkraftmaschinen, bei dem das zu vermessende Objekt in eine Aufnahmevorrichtung eingespannt und mit einer Messeinrichtung vermessen wird. Die Lage- und Geometrieermittlung der zu vermessenden Bohrung erfolgt mittels eines opto-elektronischen Mess verfahrens. Dazu wird das zu vermessende Objekt mittels der Aufnahme vorrichtung vor dem Messvorgang in einer geometrisch festgelegten Position justiert, wobei während des Messvorganges die Einlaufkanten und die Aus laufkanten der zu vermessenden Bohrung nacheinander mittels einer opto- elektronischen Messeinrichtung, wie CCD-Kamera, vermessen werden. Vor dem Messvorgang wird in das Innere des Einspritzventils eine Strahlenquelle, wie Lichtquelle, eingebracht. Die geometrische Lage des Objekts wird in der Aufnahmevorrichtung und die Messergebnisse des opto-elektronischen Messverfahrens in einer angeschlossenen Auswerteeinheit mittels eines entsprechenden Auswerteprogramms in geometrische Daten der zu vermes senden Bohrung umgewandelt. Es ist eine Kamera vorgesehen, deren optische Achse zur Achse der zu vermessenden Bohrung zentriert ist. Die Aufnahmevorrichtung zur Halterung des zu vermessenden Objekts wird dabei durch ein in drei Ebenen frei verschiebbares und schwenkbares Spannfutter gebildet. Die Beleuchtungsmittel sind Lichtleiter, die in eine axiale Bohrung des Ventilkörpers des Kraftstoffeinspritzventils eingesetzt sind, von der die zu vermessenden Einspritzbohrung abführt. Dieses Messverfahren hat jedoch den Nachteil, dass die Messung der Unterkante der Bohrung, das ist die Einlaufbohrung, welche sich im Inneren des Ventils befindet, durch das Bohrloch selbst erfolgt. Durch die Bohrung entsteht eine optische Blende, welche die Messung mittels der opto-elektronischen Messeinrichtung ver fälscht. Sind die Bohrungen sehr klein, kann deshalb eine solche Einlauf bohrung bzw. die Unterkante des Bohrkanals mit dem vorgenannten Verfahren nicht mehr gemessen werden.DE 196 11 613 A1 describes a method and an apparatus for ver measuring of well-known holes, especially of injection bores on fuel injection valves for internal combustion engines, in which the Object to be measured clamped in a recording device and with a measuring device is measured. The location and geometry determination the bore to be measured is made by means of an opto-electronic measurement procedure. For this purpose, the object to be measured is recorded device before the measuring process in a geometrically defined position adjusted, with the leading edges and the off during the measuring process running edges of the bore to be measured one after the other by means of an opto electronic measuring device, such as a CCD camera. In front the measuring process is a radiation source into the interior of the injection valve, like light source. The geometric position of the object is shown in the Recording device and the measurement results of the opto-electronic Measuring method in a connected evaluation unit using a corresponding evaluation program in geometric data of the to be measured send bore converted. A camera is provided, the optical axis is centered on the axis of the bore to be measured. The Recording device for holding the object to be measured is thereby thanks to a chuck that can be freely moved and swiveled in three levels educated. The illuminants are light guides that run into an axial bore of the valve body of the fuel injector are used, of which the dissipating injection hole. However, this measurement method has the downside that measuring the bottom edge of the hole, that's the Inlet bore, which is located inside the valve, through the Borehole itself. The hole creates an optical screen, which ver the measurement by means of the opto-electronic measuring device fakes. If the holes are very small, such an inlet can therefore be used bore or the lower edge of the drill channel with the aforementioned Procedure can no longer be measured.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung der eingangs genannten Gattung zu schaffen, mit der schwer zugängliche Bohrungen in Werkstücken, insbesondere Bohrungen in Hohlkörpern, wie hülsenartige oder rohrförmige Hohlkörper, insbesondere darin befindliche kleine Bohrungen mit sehr kleinem Durchmesser der Einlaufbohrung, exakt vermessen werden können.The invention has for its object a device of the beginning to create the type mentioned, with the difficult to access holes in Workpieces, in particular bores in hollow bodies, such as sleeve-like or tubular hollow body, in particular small bores therein very small diameter of the inlet bore, can be measured exactly can.

Die Lösung der Aufgabe besteht bei einer Vorrichtung der eingangs genannten Gattung in den Merkmalen des Anspruchs 1. Weitere vorteilhafte Ausge staltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.The problem is solved in a device of the type mentioned Genus in the features of claim 1. Further advantageous Ausge Events of the invention are characterized in the subclaims.

In vorteilhafter Ausgestaltung wird das Strahlenbündel mittels eines Strahl teilers in die optische Achse der Erfassungseinrichtung eingespiegelt und auf den Spiegel gelenkt, von wo es auf die Bohrung bzw. Einlaufbohrung fällt; das reflektierte Strahlenbündel ist über den Spiegel durch den Strahlteiler in die Erfassungseinrichtung lenkbar. Dabei kann der Spiegel am unteren Ende einer Halterung angeordnet sein. Gleichermaßen kann an der Halterung auch der Strahlteiler angeordnet sein, der sich vom unteren Ende der Halterung entfernt befindet. Spiegel und/oder Strahlteiler sind in ihrer Lage bezüglich der Halterung veränderbar.In an advantageous embodiment, the beam of rays is generated by means of a beam divided into the optical axis of the detection device and reflected directs the mirror from where it falls on the bore or inlet bore; the reflected beam is over the mirror through the beam splitter into the Detection device steerable. The mirror can be at the bottom be arranged a bracket. Likewise, on the bracket too the beam splitter can be arranged extending from the lower end of the bracket is located away. Mirrors and / or beam splitters are in their position with respect to the Bracket changeable.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung ist die Halterung eine Hülse, die an ihrem unteren, dem Werkstück zugewandten oder in den Hohlkörper einfahr baren Ende den Spiegel aufweist, wobei oberhalb des Spiegels im Bereich des anderen Endes der Hülse innerhalb derselben sich der Strahlteiler befindet, der sich bevorzugt außerhalb des Werkstücks bzw. des Hohlkörpers befindet. Die Hülse weist im Bereich des Spiegels und im Bereich des Strahlteilers Öffnungen für den Durchtritt des Strahlenbündels auf.In an advantageous embodiment, the holder is a sleeve which their lower, facing the workpiece or retract into the hollow body baren end has the mirror, above the mirror in the area of the beam splitter is located at the other end of the sleeve, which is preferably located outside the workpiece or the hollow body. The sleeve points in the area of the mirror and in the area of the beam splitter Openings for the passage of the beam.

Zum Vermessen von Bohrungen befindet sich das Werkstück bzw. der Hohl körper in einer geometrisch festgelegten Position und ist in die drei Raum richtungen verfahrbahr sowie drehbar angeordnet, wie auch die Hülse, wenigstens in der Höhe, verfahrbar ist.The workpiece or the hollow is located for measuring bores body in a geometrically defined position and is in the three space directions movable and rotatable, as well as the sleeve, at least in height, is movable.

Die Hülse ist mittels eines Tragarmes fest mit der optoelektronischen Erfassungseinrichtung verbunden, die sich außerhalb des Werkstücks bzw. des Hohlkörpers befindet. Statt des Spiegels kann auch ein Prisma Verwendung finden.The sleeve is fixed to the optoelectronic by means of a support arm Connected detection device that is outside the workpiece or of the hollow body. A prism can also be used instead of the mirror Find use.

Des Weiteren kann die Bohrung von außerhalb des Werkstücks bzw. des Hohlkörpers an ihren dem Spiegel bzw. der Hülse entgegengesetzten Ende mittels einer Strahlenquelle bestrahlt werden, so dass Strahlung, insbesondere sichtbares Licht, von außen durch die Bohrung fällt.Furthermore, the bore can be from outside the workpiece or the Hollow body at its end opposite the mirror or the sleeve are irradiated by means of a radiation source, so that radiation, in particular visible light, falling through the hole from the outside.

Des Weiteren kann die Hülse geknickt, auch mehrfach, ausgeführt sein, wobei sich im Bereich des bzw. der Knicks je eine Strahlablenkungs- oder Strahlum lenkungseinrichtung befindet. Diese Gestaltung hat den Vorteil, dass sie für die Vermessung von Hinterschneidungen eingesetzt oder mit ihr quasi "um die Ecke" gesehen werden kann.Furthermore, the sleeve can be designed to be kinked, even several times, whereby there is a beam deflection or a beam around each of the kinks steering device is located. This design has the advantage that it is for the measurement of undercuts or practically "with it the corner "can be seen.

Kurzbezeichnung der Beschreibung, in der zeigen:Short description of the description, in which:

Fig. 1 eine Prinzipskizze der Vorrichtung zur Darstellung der optischen Elemente zur Vermessung einer sehr kleinen Bohrung und Fig. 1 is a schematic diagram of the device for representing the optical elements for measuring a very small bore and

Fig. 2 eine technische Ausführung der Vorrichtung. Fig. 2 shows a technical version of the device.

In den Fig. 1 und 2 ist ein Hohlkörper 3 im Schnitt dargestellt, der hier ein Kraftstoffeinspritzventil ist, welches Bohrungskanäle 2, 2' als Einspritzboh rungen des Kraftstoffeinspritzventils 3 aufweist, deren Mittelachsen 19, 19' unterschiedlich geneigt sind. Der Bohrungskanal 2 besitzt eine Bohrungsun terkante 1, auch Einlaufbohrung genannt, die aufgrund der Lage der Ein spritzbohrung 2 tief direkt im Bereich des unteren Endes des Kraftstoffein spritzventils 3 angeordnet ist. Das Kraftstoffeinspritzventil 3 ist mittels einer nichtgezeigten Aufnahmevorrichtung in einer geometrisch festgelegten Position justierbar, wobei die geometrische Lage des Werkstücks 3 in vorgeb barer, messtechnisch auswertbarer Weise verändert werden kann.In Figs. 1 and 2, a hollow body 3 is shown in section, of a fuel injection valve here, which hole channels 2, 2 'as Einspritzboh conclusions of the fuel injection valve 3, whose central axes 19, 19' are inclined differently. The bore channel 2 has a Bohrungsun bottom edge 1 , also called inlet bore, which is arranged due to the position of the injection bore 2 deep directly in the region of the lower end of the fuel injector 3 . The fuel injection valve 3 can be adjusted in a geometrically defined position by means of a not shown receiving device, wherein the geometrical position of the workpiece 3 can be changed in a manner which can be evaluated and measured.

In das Kraftstoffeinspritzventil 3 ist in das untere Ende desselben ein Spiegel 4 eingeführt, der zur Vermessung der Einlaufbohrung 1 des Einspritzkanals 2 vor der Einlaufbohrung 1 positioniert wird. Der Spiegel 4 kann ein Oberflä chenspiegel oder auch ein Prisma sein. Auf den Spiegel 4 wird Licht aus einer Strahlungsquelle 10 außerhalb des Kraftstoffeinspritzventils 3 über einen vorzugsweise außerhalb des Kraftstoffeinspritzventils 3 befindlichen angeord neten Strahlteiler 11 gelenkt, der sich zwischen einer optoelektronischen Erfassungseinrichtung 5 und dem Spiegel 4 befindet, so dass das Strahlen bündel aus der Strahlungsquelle 10, begrenzt durch die Randstrahlen 6 des Strahlengangs, auf den Spiegel 4 fällt. Der Spiegel 4 wird so ausgerichtet, dass der Strahlengang 6 vorzugsweise senkrecht auf die Wandung 7 des Kraft stoffeinspritzventils 3 und somit auf die Einlaufbohrung 1 fällt.In the fuel injection valve 3 , a mirror 4 is inserted into the lower end thereof, which is positioned in front of the inlet bore 1 in order to measure the inlet bore 1 of the injection channel 2 . The mirror 4 can be a surface mirror or a prism. On the mirror 4 , light is directed from a radiation source 10 outside the fuel injection valve 3 via a preferably outside the fuel injection valve 3 located angeord Neten beam splitter 11 , which is located between an optoelectronic detection device 5 and the mirror 4 , so that the radiation beam from the radiation source 10th , delimited by the marginal rays 6 of the beam path, onto which mirror 4 falls. The mirror 4 is aligned so that the beam path 6 preferably falls perpendicularly onto the wall 7 of the fuel injection valve 3 and thus onto the inlet bore 1 .

Um das Kraftstoffeinspritzventil 3 in seinem Inneren beleuchten zu können, wird die Strahlung, vorzugsweise Licht aus einer Lichtquelle 10, in die opti sche Achse 12 einer optoelektronischen Erfassungseinrichtung eingespiegelt, welche beispielsweise eine CCD-Kamera ist. Die Erfassungseinrichtung 5 befindet sich im gezeigten Beispiel hinter dem Strahlteiler 11.In order to be able to illuminate the fuel injection valve 3 in its interior, the radiation, preferably light from a light source 10 , is reflected in the optical axis 12 of an optoelectronic detection device, which is, for example, a CCD camera. In the example shown, the detection device 5 is located behind the beam splitter 11 .

Fig. 2 zeigt eine technische Ausgestaltung der Vorrichtung, bestehend aus einer rohrförmigen, länglich-schmalen Hülse 13, welche mit ihrer Spitze in die Innenbohrung 20 des Kraftstoffeinspritzventils 3 eintaucht. Innerhalb des unteren, eingetauchten Endes der Hülse 13 oder des Rohres 13 befindet sich der Spiegel 4, wobei die Hülse 13 am unteren Ende eine Öffnung 15 aufweist zum Durchlass des Strahlenbündels 6 aus der Lichtquelle 10. Am oberen Ende der Hülse 13, welches aus dem Kraftstoffeinspritzventils 3 herausragt, befindet sich der Strahlteiler 11 geneigt angeordnet, der in das Rohr 13 eingebaut ist. Seitlich des Strahlteilers 11 besitzt die Wandung der Hülse 13 eine weitere Öffnung 14 zum Durchtritt des Lichts aus der Lichtquelle 10. Die Hülse 13 ist mittels eines Tragarmes 16 fest mit der optoelektronischen Erfassungsein richtung 5 verbunden, so dass die Erfassungseinrichtung 5, der Tragarm 16 sowie die Hülse 13, und damit der Strahlteiler 11 sowie der Spiegel 4, eine Einheit bilden, welche in den drei Raumachsen verfahren und gegebenenfalls auch verschwenkt werden kann. FIG. 2 shows a technical configuration of the device, consisting of a tubular, elongated, narrow sleeve 13 which dips with its tip into the inner bore 20 of the fuel injection valve 3 . The mirror 4 is located within the lower, immersed end of the sleeve 13 or the tube 13 , the sleeve 13 having an opening 15 at the lower end for the passage of the beam 6 from the light source 10 . At the upper end of the sleeve 13 , which protrudes from the fuel injection valve 3 , the beam splitter 11 is arranged inclined, which is installed in the tube 13 . At the side of the beam splitter 11 , the wall of the sleeve 13 has a further opening 14 for the passage of the light from the light source 10 . The sleeve 13 is direction determined by means of a supporting arm 16 with the optoelectronic Erfassungsein 5 is connected, so that the detection device 5, the support arm 16 and the sleeve 13, and thus, the beam splitter 11 and the mirror 4 form a unit which in the three spatial axes process and, if necessary, can also be pivoted.

Innerhalb der Hülse 13 oder des Rohres 13 kann ein weiteres optisches System angeordnet sein, bestehend beispielsweise aus Linsen 17, 18.A further optical system can be arranged within the sleeve 13 or the tube 13 , consisting, for example, of lenses 17 , 18 .

Zum Vermessen von unterschiedlichen Bohrungen 2, 2', deren Mittelachsen 19, 19' geneigt zueinander sein können, wird das Werkstück 3 entsprechend um seine Mittelachse 8 gedreht, die im Beispiel der Fig. 2 mit der optischen Achse 12 der Erfassungseinrichtung 5 zusammenfällt, bis die jeweilige Einlaufbohrung vom Strahlengang 6 erfasst wird. Die unterschiedliche räumliche Lage der Einlaufbohrungen 1 der Bohrkanäle 2, 2' in Fig. 2 und damit ihre unterschiedliche geometrische Darstellung in der Bildebene der Erfassungseinrichtung 5 kann mittels eines Rechenprogramms umgerechnet werden, um auf diese Weise die exakten Querschnitte der Einlaufbohrungen zu ermitteln. To measure different bores 2 , 2 ', the central axes 19 , 19 ' of which may be inclined to one another, the workpiece 3 is correspondingly rotated about its central axis 8 , which coincides with the optical axis 12 of the detection device 5 in the example of FIG the respective inlet bore is detected by the beam path 6 . The different spatial position of the inlet bores 1 of the bore channels 2 , 2 'in FIG. 2 and thus their different geometric representation in the image plane of the detection device 5 can be converted using a computer program in order to determine the exact cross sections of the inlet bores in this way.

List of reference numbers

11

Einlaufbohrung
Inlet hole

22

, ,

22

' Bohrkanal
'' Drilling channel

33rd

Kraftstoffeinspritzventil
Fuel injector

44

Spiegel
mirror

55

optoelektronische Erfassungseinrichtung, CCD-Kamera
optoelectronic detection device, CCD camera

66

Strahlengang
Beam path

77

Wandung
Wall

88th

Längsachse
Longitudinal axis

99

Fokusebene
Focus plane

1010th

, ,

1010th

' Lichtquelle
'Light source

1111

Strahlteiler
Beam splitter

1212th

optische Achse der Erfassungseinrichtung
optical axis of the detection device

1313

Rohr
pipe

1414

, ,

1515

Öffnung
opening

1717th

, ,

1818th

optische Systeme, Linsen
optical systems, lenses

1919th

Mittelachse der Bohrung
Central axis of the hole

2020th

Innenraum des Kraftstoffeinspritzventils
Interior of the fuel injector

Claims

1. Device for optoelectronic measurement of hard-to-access bores ( 2 , 2 ') of a workpiece ( 3 ) or of bores ( 2 , 2 ') in a hollow body ( 3 ), in particular for the internal measurement of bores ( 2 , 2 ') in one Hollow body ( 3 ), such as injection bores ( 2 , 2 ') inside a fuel injection valve ( 3 ) for internal combustion engines, with an optoelectronic detection device ( 5 ), optionally with an objective such as a CCD camera, with an evaluation device, characterized by a mirror ( 4 ), which can be placed in the vicinity of the bore ( 2 , 2 ') or the inlet bore ( 1 ), which deflects the optical axis ( 12 ) of the optoelectronic detection device ( 5 ), one of which is from a radiation source ( 10 ) which is located outside the workpiece or the hollow body ( 3 ), the outgoing beam ( 6 ) is introduced into the optical axis ( 12 ) of the detection device ( 5 ) and directed onto the mirror ( 4 ), from where the beam ( 6 ) falls on the bore ( 2 , 2 ') or inlet bore ( 1 ), and the reflected beam can be directed via the mirror ( 4 ) into the detection device ( 5 ).

2. Device according to claim 1, characterized in that the beam ( 6 ) by means of a beam splitter ( 11 ) in the optical axis ( 12 ) of the detection device ( 5 ) is reflected and directed to the mirror ( 4 ), from where it is on Bore ( 2 , 2 ') or inlet bore ( 1 ) falls, and the reflected beam can be directed via the mirror ( 4 ) through the beam splitter ( 11 ) into the detection device ( 5 ).

3. Device according to claim 1, characterized in that the mirror ( 4 ) is arranged at the lower end of a holder ( 13 ).

4. The device according to claim 3, characterized in that the beam splitter ( 11 ) is arranged on the holder ( 13 ), which is located from the lower end of the holder ( 13 ).

5. The device according to claim 3 or 4, characterized in that the mirror ( 4 ) and / or the beam splitter ( 11 ) in their position with respect to the holder ( 13 ) can be changed.

6. The device according to claim 3 or 4, characterized in that the holder is a sleeve ( 13 ) having at its lower, the workpiece ( 3 ) facing or in the hollow body ( 3 ) retractable end of the mirror ( 4 ), wherein The beam splitter ( 11 ) is located above the mirror ( 4 ) in the region of the other end of the sleeve ( 13 ).

7. The device according to claim 6, characterized in that the sleeve ( 13 ) in the region of the mirror ( 4 ) and in the region of the beam splitter ( 11 ) has openings ( 14 , 15 ) for the passage of the beam ( 6 ).

8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the workpiece ( 3 ) or the hollow body ( 3 ) is in a geometrically defined position and is arranged to be movable and rotatable in the three spatial directions as well as the sleeve, at least in the Height, is movable.

9. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the sleeve ( 13 ) by means of a support arm ( 16 ) is fixedly connected to the optoelectronic detection device ( 5 ) which is outside the workpiece ( 3 ) or the hollow body ( 3 ) located.

10. Device according to one of the preceding claims, characterized, that a prism is used instead of the mirror.

11. Device according to one of the preceding claims, characterized in that there are optical systems ( 17 , 18 ), such as lenses ( 17 , 18 ), within the beam path ( 6 ) between the mirror ( 4 ) and the beam splitter ( 11 ).

12. The device according to claim 6, characterized in that the sleeve ( 13 ) is designed kinked, a beam deflection or beam deflection device being located in the region of the kink.

13. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the bore ( 2 , 2 ') from outside the workpiece or the hollow body ( 3 ) at its end opposite the mirror ( 4 ) or the sleeve by means of a radiation source ( 10 ') is irradiated, so that radiation radiates from the outside through the bore ( 2 , 2 ').