DD79240A - - Google Patents

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067432A1 (de) * 1981-06-12 1982-12-22 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung zum Messen des elektrischen Widerstandes und der Temperatur von durch Aufdampfen oder Aufstäuben auf Substraten abgeschiedenen dünnen metallisch-leitenden Schichten während der Schichtherstellung

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0067432A1 (de) * 1981-06-12 1982-12-22 Siemens Aktiengesellschaft Anordnung zum Messen des elektrischen Widerstandes und der Temperatur von durch Aufdampfen oder Aufstäuben auf Substraten abgeschiedenen dünnen metallisch-leitenden Schichten während der Schichtherstellung

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