DD48582A - - Google Patents

Info

Publication number
DD48582A
DD48582A DD48582DA DD48582A DD 48582 A DD48582 A DD 48582A DD 48582D A DD48582D A DD 48582DA DD 48582 A DD48582 A DD 48582A
Authority
DD
German Democratic Republic
Application number
Publication of DD48582A publication Critical patent/DD48582A/xx

Links

DD48582D DD48582A (enrdf_load_stackoverflow)

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD48582A true DD48582A (enrdf_load_stackoverflow)

Family

ID=247548

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD48582D DD48582A (enrdf_load_stackoverflow)

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD48582A (enrdf_load_stackoverflow)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2523113A1 (fr) * 1982-03-10 1983-09-16 G Pi Procede de regeneration des chlorosilanes et de l'hydrogene non entres en reaction lors de l'obtention de silicium semi-conducteur polycristallin; chlorosilanes et hydrogene regeneres par ledit procede

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2523113A1 (fr) * 1982-03-10 1983-09-16 G Pi Procede de regeneration des chlorosilanes et de l'hydrogene non entres en reaction lors de l'obtention de silicium semi-conducteur polycristallin; chlorosilanes et hydrogene regeneres par ledit procede

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5374091B2 (ja) 多結晶シリコンの製造方法
US6332925B1 (en) Evacuation system
US7033561B2 (en) Process for preparation of polycrystalline silicon
JP2004532786A5 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2918060C2 (enrdf_load_stackoverflow)
FR2523113B1 (enrdf_load_stackoverflow)
DE2918078A1 (de) Verfahren zur rueckgewinnung von bei der abscheidung von silicium durch thermische zersetzung anfallenden restgasen
FR1514885A (fr) Procédé et appareillage perfectionnés pour préparer du silicium
FR1267519A (fr) Procédé et dispositif pour récupérer les matières de départ non consommées lors de la préparation du silicium extra pur par réduction de silanes au moyen d'hydrogène
DD48582A (enrdf_load_stackoverflow)