DD301178A7

DD301178A7 - DEVICE FOR LOCATED MECHANICAL THIN POLISHING OF A SLATE-FORMED OBJECT

Info

Publication number: DD301178A7
Application number: DD32835589A
Authority: DD
Inventors: Reinhard Dipl-Phys Wagner; Gerhard Dr Rer Nat Di Kaestner
Original assignee: Inst Festkoerperphysik Und Ele
Priority date: 1989-05-08
Filing date: 1989-05-08
Publication date: 1992-10-22

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum lokalisierten mechanischen Dünnpolieren eines scheibenförmigen Objektes. Die Erfindung wird zum Herstellen scheibenförmiger Objekte aus kompaktem Material angewendet, insbesondere von Proben für durchstrahlende Untersuchungsverfahren der Werkstoffkunde, wie Elektronenmikroskopie, Elektronenbeugung und Lichtmikroskopie. Die erfindungsgemäße Vorrichtung enthält eine Objekthalterung 1 a bis 1 e, deren um die Vertikale drehbarer Objekthalter 1 a an seiner Unterseite ein Objekt 1 b trägt, dessen nach unten gerichtete Fläche die gegenüber dieser Fläche kleinere Fläche eines horizontal schwingenden Werkzeugs 2 berührt, das von einem das Schleif- oder Poliermittel enthaltenden Napf 3 umgeben ist, wobei die Lagerung 4, 5 und der Antrieb 6, 7, 8 unterhalb oder seitlich des Werkzeuges 2 angeordnet sind. Durch die spielfreie Lagerung des Werkzeuges und dessen geringen, einstellbaren Andruck gegen das Objekt sind störende vertikale Kräfte minimal. FigurThe invention relates to a device for localized mechanical thin-polishing of a disc-shaped object. The invention is used for producing disc-shaped objects of compact material, in particular samples for radiographic examination methods of materials science, such as electron microscopy, electron diffraction and light microscopy. The device according to the invention comprises an object holder 1 a to 1 e, which rotates about the vertical object holder 1 a on its underside an object 1 b, the downwardly directed surface opposite to this surface smaller surface of a horizontally oscillating tool 2 touches that of a the grinding or polishing agent containing cup 3 is surrounded, wherein the bearing 4, 5 and the drive 6, 7, 8 are arranged below or laterally of the tool 2. The play-free mounting of the tool and its low, adjustable pressure against the object disturbing vertical forces are minimal. figure

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung wird zum lokalisierten mechanischen Dünnpolieren scheibenförmiger Objekte aus kompaktem Material angewendet, insbesondere von Proben für durchstrahlende Untersuchungsverfahren der Werkstoffkurde, <vie Elektronenmikroskopie, Elektronenbeugung und Lichtmikroskopie.The invention is used for the localized mechanical thin-polishing of disc-shaped objects made of compact material, in particular samples for radiographic examination methods of the material curve, <electron microscopy, electron diffraction and light microscopy.

Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art

Es ist bekannt, daß zur lokalisierten schleifenden oder polierenden Bearbeitung Vorrichtungen mit rotierendem Werkzeug, im einfachsten Falle Bohrmaschinen, verwendet werden. Ähnlich arbeitet der kommerzielle „Dimpler", dessen Werkzeug eine mit Achse parallel zur Objekt-Oberfläche rotierende Scheibe ist. Sie bearbeitet mit einstellbarer statischer Kraft und wählbarer Zeit oder einstellbarer Endlage (Enddicke) das Objekt, welches relativ langsam in seiner Ebene gedreht wird. Als Mängel dieser bekannten Vorrichtungen zeigen sich: Durch Antrieb und Lagerung der schnell bewegten Teile entstehen Vibrationsprobleme, die in Verbindung mit dem relativ massiven Werkzeug auf das Objekt unerwünschte dynamische Kräfte ausüben. Dadurch können dünne und spröde Objekte, z. B. Keramiken, beschädigt oder zerstört werden. Außerdem können durch schnell rotierende Werkzeuge harte Bestandteile heterogener Objekte aus der zu bearbeitenden Objekt-Oberfläche herausgerissen werden und dann als grobe Verunreinigung des Schleifmittels weitere Schäden (Kratzer) auf der zu bearbeitenden Oberfläche bewirken. Als Nachteil wirkt außerdem ein relativ großer Verbrauch von Schleif- bzw. Poliermittel im Falle kontinuierlicher Zufuhr bzw. die Änderung in Verteilung und Konsistenz des Schleif- bzw. Poliermittels bei diskontinuierlicher Zufuhr. Weiterhin bekannt sind Anordnungen (DD-PS 250682, US-PS 4513537) zur lokalisierten schleifenden oder polierenden Bearbeitung, deren Werkzeug eine Metallkugel (Stahlkugel nach DD-PS 250682) ist, deren Rotation zwecks Materialabtrag der Rotation einer Schleifscheibe entspricht, wobei der Kugelradius den Krümmungsradius der Bearbeitungsfläche des lokal dünn zu polierenden Objektes bestimmt. Ein Nachteil dieser Anordnungen besteht in der Beschränkung der für das Werkzeug verwendbaren Materialien auf Metalle, insbesondere auf Stahl, wodurch eine optimale Anpassung des Werkzeuges an das zu bearbeitende Material, insbesondere zwecks Politur spröder und heterogener Materialien, stark eingeschränkt wird. Dadurch besteht auch die Gefahr des Herausbrechens harter Bestandteile aus heterogenen Objekten. Außerdem sind die verwendeten Teile der Vorrichtung grundsätzlich so massiv, daß infolge von Vibrationsproblemen wiederum unerwünscht große dynamische Kräfte auf das Objekt wirken können.It is known that for localized grinding or polishing machining tools with rotating tool, in the simplest case drills, are used. Similarly, the commercial "dimpler", whose tool is a disk rotating with an axis parallel to the object surface, processes the object, which is relatively slowly rotated in its plane, with adjustable static force and selectable time or adjustable end position (final thickness) Deficiencies of these known devices are evident: The drive and storage of the rapidly moving parts give rise to vibration problems which, in conjunction with the relatively massive tool, exert undesirable dynamic forces on the object, as a result of which thin and brittle objects, for example ceramics, are damaged or destroyed In addition, by means of rapidly rotating tools, hard components of heterogeneous objects can be torn out of the object surface to be processed and, as coarse contamination of the abrasive, cause further damage (scratches) on the surface to be processed on grinding or polishing agent in the case of continuous feed or the change in distribution and consistency of the grinding or polishing agent in discontinuous feed. Also known are arrangements (DD-PS 250682, US-PS 4513537) for localized grinding or polishing machining whose tool is a metal ball (steel ball according to DD-PS 250682), the rotation of which for the removal of material corresponds to the rotation of a grinding wheel, wherein the ball radius Radius of curvature of the working surface of the locally thin object to be polished determined. A disadvantage of these arrangements is the limitation of the materials which can be used for the tool to metals, in particular to steel, whereby an optimal adaptation of the tool to the material to be processed, in particular for the purpose of polishing brittle and heterogeneous materials, is severely limited. As a result, there is also the danger of breaking hard components out of heterogeneous objects. In addition, the parts of the device used are basically so massive that in turn can cause undesirable large dynamic forces on the object due to vibration problems.

Bekannt sind außerdem Vorrichtungen (DE-OS 2831737, DE-OS 2346431), deren Werkzeug so zum Objekthalter angeordnet ist, daß der schnellen Arbeitsbewegung (i. a. einer Rotation) des Werkzouges eines zusätzliche langsame Oszillationsbewegung durch einen Hilfsantrieb überlagert ist, um eine gleichmäßige Bearbeitung zu erreichen. Nachteil dieser Vorrichtungen ist, daß ein lokalisiertes Dünnpolieren nicht möglich ist.Also known are devices (DE-OS 2831737, DE-OS 2346431), whose tool is arranged to the object holder, that the fast working movement (ia a rotation) of the Werkzouges an additional slow oscillatory motion is superimposed by an auxiliary drive to a uniform processing to reach. Disadvantage of these devices is that a localized thin polishing is not possible.

Darüber hinaus bekannt sind Vorrichtungen (DE-OS 3321208, DE-OS 3138134), dertfn Werkzeug so zum Objekthalter angeordnet ist, daß es durch den Antrieb in Schwingungen senkrecht zur Bearbeitungsfläche versetzt wird. Der Nachteil dieser Vorrichtungen besteht darin, daß senkrecht auf die Bearbeitungsfläche große Kräfte wirken, die bei dünnen Proben ru großen Störungen oder zur Zerstörung führen. Auch mit diesen Vorrichtungen ist ein lokalisiertes Dünnpolieren nicht möglich.In addition, devices are known (DE-OS 3321208, DE-OS 3138134), the ttfn tool is arranged to the object holder, that it is offset by the drive in vibrations perpendicular to the working surface. The disadvantage of these devices is that act perpendicular to the processing surface large forces that lead to large disturbances or destruction of thin samples ru. Even with these devices localized thin polishing is not possible.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Ziel der Erfindung ist eine Vorrichtung zum lokalisierten mechanischen Dünnpolieren von Werkstoffproben, insbesondere Proben aus sprödem, heterogenem Material, bei möglichst geringer mechanischer Belastung und geringer Schädigung des Materials.The aim of the invention is a device for the localized mechanical thin polishing of material samples, in particular samples of brittle, heterogeneous material, with the lowest possible mechanical load and little damage to the material.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zu entwickeln, in der ein parallel zur Bearbeitungsfläche schwingendes Werkzeug und das zu bearbeitenden Objqkt so anzuordnen sind, daß unerwünschte, zur Bearbeitungsfläche senkrechte Kräfte im Vergleich zu bekannten Vorrichtungen wesentlich herabgesetzt werden. Diese Aufgabe wird durch eine Vorrichtung zum lokalisierten mechanischen Dünnpolieren eines scheibenförmigen Objektes, bestehend aus einem Werkzeug, dessen Antrieb und einer Objekthalterung gelöst, wobei erfindungsgemäß ein lim die Vertikale drehbarer Objekthalter 1 a der Objekthalterung 1 a bis 1 e an seiner Unterseite ein Objekt 1 b trägt, dessen nach unten gerichtete Fläche die gegenüber dieser Fläche kleinere Fläche eines horizontal schwingenden Werkzeuges 2 berührt, das von einem das Poliermittel enthaltenden Napf 3 umgeben ist, wobei die Lagerung 4,5 und der Antrieb 6,7,8 unterhalb des Werkzeuges 2 angeordnet sind. Teile des Antriebes 7,8 können seitlich des Werkzeuges 2 angeordnet sein.The invention has for its object to develop a device in which a parallel to the working surface vibrating tool and the object to be machined are to be arranged so that undesirable, perpendicular to the working surface forces are significantly reduced compared to known devices. This object is achieved by a device for localized mechanical thin polishing a disc-shaped object consisting of a tool whose drive and an object holder, according to the invention a lim the vertical rotatable object holder 1 a of the object holder 1 a to 1 e on its underside an object 1 b carries, the downwardly facing surface of the opposite surface of this surface of a horizontally oscillating tool 2 touches, which is surrounded by a cup containing the polishing agent 3, wherein the bearing 4.5 and the drive 6,7,8 arranged below the tool 2 are. Parts of the drive 7, 8 can be arranged laterally of the tool 2.

Vorteilhafterweise wird der Napf 3 mit dem Werkzeug 2 von dem Stab 6 getragen, dessen Fußpunkt von dem elastischen Bauteil 5auf der Lagerkugel 4gehalten wird. Mit Vorteil erfolgt der Antrieb 6,7,8des mit dem Napf 3verbundenen Werkzeuges 2 über den mit dem schwenkbaren Stab 6 fest verbundenen Dauermagneten 7 und den unbeweglich angeordneten Elektromagneten 8. Der Objekthalter 1 a wird von der in einer Führung 1 c drehbaren Welle 1 d getragen, die vertikal beweglich mit einstellbarem Vorschub 1 e versehen ist. Vorteilhafterweise ist die Führung 1 c horizontal verschiebbar und somit die Drehachse des Objekthaitors 1 a exzentrisch gegenüber dem Werkzeug 2 einstellbar. Mit Vorteil ist der mit dem Werkzeug 2 fest verbundene Napf 3 lösbar mit dem Stab 6 verbunden. Das Werkzeug 2 ist in der Mitte des Napfes 3 angeordnet, wobei seine das Objekt bearbeitende Fläche eben oder konvex ist. Die Welle 1 d kann aus einem magnetisierbaren Material bestehen, wobei in axialer Richtung zur Welle 1 d ein Magnet 9 angeordnet ist.Advantageously, the cup 3 is supported with the tool 2 by the rod 6, the base of which is held by the elastic member 5 on the bearing ball 4. Advantageously, the drive is 6,7,8des 3 connected to the cup tool 2 on the permanently connected to the pivotable rod 6 permanent magnet 7 and immovably arranged electromagnet 8. The object holder 1 a of the rotatable in a guide 1 c shaft 1 d carried vertically movable with adjustable feed 1 e is provided. Advantageously, the guide 1 c is horizontally displaceable and thus the axis of rotation of the Objekthaitors 1 a eccentrically relative to the tool 2 adjustable. Advantageously, the cup 2 fixedly connected to the tool 2 is detachably connected to the rod 6. The tool 2 is arranged in the center of the cup 3, wherein its object-processing surface is flat or convex. The shaft 1 d may consist of a magnetizable material, wherein in the axial direction to the shaft 1 d, a magnet 9 is arranged.

Die Vorrichtung enthält einen um die Vertikale drehbaren und vertikal beweglichen Objekthalter 1 a für das scheibenförmige Objekt 1 b. Dessen Unterseite wird bearbeitet durch das horizontal schwingende Werkzeug 2, das von einem das Schleif- bzw. Poliermittel enthaltenden Napf 3 umgeben ist.The device includes a rotatable about the vertical and vertically movable object holder 1 a for the disc-shaped object 1 b. Its underside is machined by the horizontally oscillating tool 2, which is surrounded by a cup 3 containing the grinding or polishing agent.

Eine nahezu horizontale Führung des Werkzeuges läßt sich erreichen, indem Werkzeug 2 und Napf 3 gemeinsam auf einem Stab 6 lösbar befestigt sind und der Fußpunkt des Stabes 6 auf einer Lagerkugel 4 schwenkbar mittels eines elastischen Bauteiles 5 (Membran) gehaltert und gelagert ist.A nearly horizontal guidance of the tool can be achieved by tool 2 and cup 3 are releasably secured together on a rod 6 and the base of the rod 6 on a bearing ball 4 pivotally supported by an elastic member 5 (membrane) and stored.

Der Antrieb des Werkzeuges kann über einen mit dem Stab 6 verbundenen Dauermagneten 7 durch seitlich angeordnete, polarisierte Elektromagneto 8 erfolgen, indem letztere durch einen Wechselstrom alternierend erregt werden, so daß der Stab 6 um seinen Fußpunkt schwingt. Die Schwingungs-Amplitude kann so klein gewählt werden (z. B. kleiner als der Durchmesser des Werkzeugs), daß vertikalo Komponenten der Schwingung praktisch vernachlässigbar sind.The drive of the tool can be done via a connected to the rod 6 permanent magnet 7 by laterally arranged, polarized Elektromagneto 8 by the latter are alternately excited by an alternating current, so that the rod 6 oscillates about its base. The oscillation amplitude can be chosen to be so small (eg smaller than the diameter of the tool) that vertical components of the oscillation are practically negligible.

Um das Objekt 1 b rotationssymmetrisch zu bearbeiten, kann es mittels der in der Führung 1 c gelagerten Welle 1 d gedreht werden, z.B. unter Antrieb über einen Ausleger 11.To edit the object 1 b rotationally symmetrical, it can be rotated by means of the shaft 1 d mounted in the guide 1 c, e.g. under drive via a boom 11.

Durch horizontale Verschiebung der Führung 1 c kann eine bestimmte Exzentrizität zwischen der Welle 1 d und der Ruhelage des Werkzeuges 2 eingestellt werden. Die Exzentrizität erlaubt es in gewissen Grenzen, den Durchmesser und das Profil der bearbeiteten Fläche des Objektes 1 b einzustellen.By horizontal displacement of the guide 1 c, a certain eccentricity between the shaft 1 d and the rest position of the tool 2 can be adjusted. The eccentricity allows within certain limits to adjust the diameter and the profile of the machined surface of the object 1 b.

Der erforderliche Andruck zwischen Objekt 1 b und Werkzeug 2 erfolgt durch das Eigengewicht der drehbaren Teile 1 a, 1 b, 1 d und 11. Es kann wahlweise durch Zusatzgewichte verstärkt oder durch einen Magneten 9 verringert werden.The required contact pressure between object 1 b and tool 2 is effected by the weight of the rotatable parts 1 a, 1 b, 1 d and 11. It can optionally be reinforced by additional weights or reduced by a magnet 9.

Ein durch Anschlag einstellbarer vertikaler Vorschub 1 e des Objekthalters 1 a dient dazu, die Bearbeitung beim Erreichen einer gewünschten Dicke des Objektes 1 b zu unterbrechen.An adjustable by stop vertical feed 1 e of the object holder 1 a is used to interrupt the processing upon reaching a desired thickness of the object 1 b.

Der Napf 3 enthält eine dem Arbeitsgang angepaßte Menge von Schleif- bzw. Poliermittel. Dessen unerwünschte Sedimentation wird verhindert, indem der Napf, mit dem Werkzeug verbunden, mitschwingt.The bowl 3 contains an amount of grinding or polishing agent adapted to the operation. Its unwanted sedimentation is prevented by resonating the cup connected to the tool.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung hat folgende Vorteile:The device according to the invention has the following advantages:

Durch die spielfreie Lagerung des Werkzeugs 2 und dessen geringen, einstellbaren Andruck gegen das Objekt 1 b sind störende vertikale Kräfte minimal. Diese Lagerung und der elektromagnetische Antrieb 7,8 unterliegen praktisch keinem Verschleiß. Die Herstellung der relativ kleinen Werkzeuge 2 ist mit einfachen Mitteln aus verschiedenartigem Material möglich, das nach an sich bekannten Prinzipien dem Material des Objektes 1 b sowie dem Arbeitsgang anzupassen ist, indem zweckmäßig Werkzeug 2 und Napf 3 gemeinsam ausgewechselt werden.Due to the play-free mounting of the tool 2 and its low, adjustable pressure against the object 1 b disturbing vertical forces are minimal. This storage and the electromagnetic drive 7.8 are virtually no wear. The production of relatively small tools 2 is possible with simple means of diverse material that is to be adapted according to known principles, the material of the object 1 b and the operation by expedient tool 2 and cup 3 are replaced together.

Der Einsatz an Schleif- oder Poliermittel ist sehr sparsam. Durch das Mitschwingen des Napfe j 3 wird eine Sedimentation verhindert und eine gewisse Zirkulation erreicht. Aus beiden Gründen können Vorrichtungen zur kontinuierlichen Zufuhr dieser Mittel entfallen.The use of grinding or polishing agents is very economical. By the resonating of the j 3 jar sedimentation is prevented and reached a certain circulation. For both reasons, devices for the continuous supply of these funds can be omitted.

Harte Gefügebestandteile eines Objektes werden nicht herausgerissen. Infolge der schwingenden statt rotierenden Bewegung arbeitet jede Stelle des Werkzeugs 2 mit praktisch gleicher Geschwindigkeit.Hard structural components of an object are not torn out. As a result of the oscillating instead of rotating movement, each point of the tool 2 operates at practically the same speed.

Die Vorrichtung kann nicht nur zum Dünnpolieren, sondern auch zum lokalisierten Schleifen eingesetzt werden. Damit erreicht man bei größeren Ausgangsdicken der Objekte cion zunächst erwünschten schnelleren Abtrag dos Materials Die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung erreichte geringe Dicke des Objektäs 1 b und seine gute (störunfsarme) Qualität verringern den Aufwand und verbessern die Ausbeute nachfolgender Präparations- und Untersuchungsverfarren, insbesondere der weiteren Abdünnung mittels lononstrahl-Beschuß für die Zwacke elektronenoptischer Durchstrahlungs-Untersuchung.The device can be used not only for thin polishing but also for localized grinding. This achieved with larger initial thicknesses of the objects cion first desired faster removal of material The achieved with the device according to the invention small thickness of Objektäs 1 b and its good (störunfsarme) quality reduce the effort and improve the yield of subsequent preparation and Untersuchungsverfarren, especially the other Thinning by ion beam bombardment for the Zwacke electron-optical radiographic examination.

Ausführungsbeispielembodiment

Wie in der Zeichnung schematisch dargestellt, wird das Objekt 1 b von einem Objekthalter 1 a an einer Welle 1 d getragen, die von der Führung 1 c geführt wird und durch Verschiebung dieser Führung 1 c exzentrisch zur Ruhelago des schwingenden Werkzeuges 2 einstellbar ist. Die Drehung der Welle 1 d erfolgt über den Ausleger 11 durch einen nicht gezeichneten Antrieb. Mit geringer Auflagekraft berührt das Objekt 1 b das Werkzeug 2, sobald der einstellbare Vorschub 1 e freigegeben wird. Durch ein auf die Welle 1 d aufgesetztes Gewicht kann die Kraft auf das Objekt 1 b erhöht bzw. durch einen auf eine aus magnetisierbarer!! Material bestehende Welle 1 d wirkenden Magneten 9 erniedrigt werden.As shown schematically in the drawing, the object 1 b is supported by a specimen holder 1 a on a shaft 1 d, which is guided by the guide 1 c and eccentrically by displacement of this guide 1 c to Ruhelago of the oscillating tool 2 is adjustable. The rotation of the shaft 1 d via the boom 11 by a not shown drive. With a small contact force, the object 1 b touches the tool 2 as soon as the adjustable feed 1 e is released. By a force applied to the shaft 1 d weight, the force can be increased to the object 1 b or by one on a magnetizable from !! Material existing wave 1 d acting magnets 9 are lowered.

Das schwingende Werkzeug 2 ist von einem mitschwingenden Napf 3 umgeben, der das Schleif- oder Poliermittel aufnimmt. Der Napf 3 wird von einem Stab 6 getragen, der in einem Lager 4 und 5, bestehend aus einer Lagerkugel 4 und einem elastischen Bauteil 5 (Membran) schwenkbar gehaltart ist. Der Stab 6 trägt außerdem einen ringförmigen Dauermagneten 7 (die Magnetisierungsrichtung ist durch einen Pfeil bezeichnet). Dieser wird zu horizontaler Schwingung kreisförmig um die Achse der Vorrichtung erregt. Dazu dionon vier seitlich angeordnete polarisierte Elektromagnete 8, bestehend aus je einer Spule und einem Dauermagnoten, die durch oinon gleichzeitig als magnetisches Joch wirkenden Grundkörper 10 verbunden sind. Die eingezeichneten Magnete 8 werden gegenphasig durch einen sinusförmigen Wechselstrom erregt. Zwei weitere solche Magnete liegen außerhalb der Zeichenebene 90° um die Achse der Vorrichtung gedreht. Sie werden ebenfalls von einem sinusförmigen Strom erregt, der 90° zum Erregungsstrom der eingezeichneten Magnete 8 phasenverschoben ist. Zweckmäßig wird Wechselstrom von Netzfrequenz (50Hz) verwendet. Die Drehung des Objektes 1 b erfolgt demgegenüber langsam (Größenordnunj 10"Vs).The oscillating tool 2 is surrounded by a resonating cup 3, which receives the grinding or polishing agent. The cup 3 is supported by a rod 6, which in a bearing 4 and 5, consisting of a bearing ball 4 and an elastic member 5 (membrane) is pivotally salary type. The rod 6 also carries an annular permanent magnet 7 (the magnetization direction is indicated by an arrow). This is excited to horizontal vibration in a circle around the axis of the device. For this dionon four laterally arranged polarized electromagnets 8, each consisting of a coil and a permanent magnet, which are connected by oinon simultaneously acting as a magnetic yoke body 10. The drawn magnets 8 are energized in opposite phase by a sinusoidal alternating current. Two more such magnets are outside the plane 90 ° rotated about the axis of the device. They are also excited by a sinusoidal current which is 90 ° out of phase with the excitation current of the marked magnets 8. Appropriately alternating current of mains frequency (50Hz) is used. In contrast, the rotation of the object 1 b is slow (magnitude 10 "Vs).

Das mit dem Napf 3 fest verbundene (z. B. geklebte) Werkzeug 2 ist einschließlich Napf 3 !eicht auswechselbar und dem Arbeitsgang anzupassen. Die Wahl des Materials und des Schlei'- bzw. Poliermittels erfolgt dabei nach an sich bekannten Gesichtspunkten. Beispielsweise kann zum Polieren spröder Keramiken mit untercchiedlich harten Gefügebestandteilen das an sich bekannte Polierpech und Aluminiumoxid-Suspension als Poliermittel verwendet werden, um einen möglichst gleichförmigen Abtrag (ohne Relief) zu erreichen.The tool 2, which is firmly connected to the cup 3 (eg glued), including the cup 3, can be easily exchanged and adapted to the operation. The choice of material and the Schlei'- or polish takes place according to known per se. For example, to polish brittle ceramics with untercchiedlich hard microstructural constituents known per se Polierpech and alumina suspension can be used as a polishing agent to achieve a uniform as possible removal (without relief).

Mit einer Vorrichtung gemäß diesem Ausführungsbeispiel wurden spröde Keramiken bis zur Dicke von etwa 0,005mm auf einer Fläche von ca. 1 mm² dünnpoliert, wobei optisch spiegelnde Qualität der bearbeiteten Flächen erreicht wurde.With a device according to this embodiment, brittle ceramics were thinly polished to a thickness of about 0.005 mm on an area of about 1 mm ² , with optically reflective quality of the machined surfaces was achieved.

Claims

1. A device for localized mechanical thin polishing a disc-shaped object, consisting of a tool whose drive and a rotatable about the vertical object holder whose object holder carries an object at the bottom, characterized in that the downwardly directed surface of the object (1 b) the surface of a horizontally oscillating tool (2) which is smaller in relation to this surface and which is surrounded by a cup (3) containing the polishing agent, the bearing (4, 5) and the drive (6, 7, 8) below the tool (2) are arranged.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that parts of the drive (7,8) are arranged laterally of the tool (2).

3. Apparatus according to claim 1 and 2, characterized in that the cup (3) with the tool (2) is supported by the rod (6) whose base is held by the elastic member (5) on the bearing ball (4) ,

4. Apparatus according to claim 1,2 and 3, characterized in that the drive (6,7,8) of the cup (3) connected to the tool (2) via the fixed to the pivotable rod (6) permanently connected magnets (7 ) and immovably arranged electromagnet (8).

5. Apparatus according to claim 1 and 2, characterized in that the object holder (1 a) of the in a guide (1 c) rotatable shaft (1 d) is supported, which is provided with movable movable feed adjustable (1 e).

6. Apparatus according to claim 1 and 2, characterized in that the guide (1 c) is horizontally displaceable and thus the axis of rotation of the object holder (1 a) eccentrically relative to the tool (2) is adjustable.

Device according to Claims 1, 2 and 3, characterized in that the cup (3) fixedly connected to the tool (2) is detachably connected to the rod (6).

8. Apparatus according to claim 1 and 2, characterized in that the tool (2) in the middle of the cup (3) is arranged and its object-processing surface is flat or convex.

9. Apparatus according to claim 1, 2, and 5, characterized in that the shaft (1 d) consists of a magnetizable material and that in the axial direction to the shaft (1 d), a magnet (9) is arranged.