DD293540A5 - Industrieroboter zum zeitlich parallelen, voneinander unabhaengigen handhaben und/oder veraendern der form von objekten - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Industrieroboter zum zeitlich parallelen, voneinander unabhaengen Handhaben und Veraendern der Form von Objekten, der Objekte mit mindestens einer hinreichend glatten Grundflaeche im Raum oder in der Flaeche ohne Traegermittel handhabt und Roboterstrukturen hoher Flexilbilitaet ermoeglicht. Die Anwendung bezieht sich besonders auf flexible Fertigungssysteme fuer kleine Objekte in der Geraetetechnik. Der Industrieroboter besteht aus mindestens einer mikrotechnischen Baugruppe, in der programmgesteuerte Elemente flaechenhaft, matrixfoermig angeordnet, feinstrukturiert, vorzugsweise monolithisch integriert sind. Die Baugruppe besteht aus mikromechanischen Aktoren und Effektoren sowie mikromechanischen oder optoelektronischen Sensoren, mindestens einem Stell- oder Regelglied, mindestens einem Mikrorechner und verkoerpert einen frei programmierbaren Mechanismus mit hohem funktionellen Integrationsgrad, vielseitiger Kombinierbarkeit, hoher Dynamik, Positionierbarkeit und Zuverlaessigkeit. Fig. 1{Industrieroboter, parallel; Handhabung; Formveraenderung; Flexibilitaet; Fertigungssysteme; Geraetetechnik, mikrotechnisch; Mikrorechner, programmierbar; Integration; Dynamik; Positioniergenauigkeit; Zuverlaessigkeit}

Description

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft einen Industrieroboter zum zeitlich parallelen, voneinander unabhängigen Handhaben und/oder Verändern der Form von Objekten, besonders kleinen Werkstücken, Bauteilen, Baugruppen, Werkzeugen und Werkstoffpartikeln in der flexiblen Automatisierung.

Die Erfindung kommt in Kombination mit bekannten Roboterstrukturen, beispielsweise in Greifern von Gelenkrobotern zur Anwendung. Einsatzgebiete sind die Gerätetechnik und der Maschinenbau.

Eine vorteilhafte Anwendung besteht dort, wo die Objekte entlang einer Fläche individuell zu führen sind und eine im geringen Grade räumliche Beweglichkeit der Objekte gefordert wird.

Charakteristik der bekannten technischen Lösung

Nach den DD-PS 205052,205330,221044,221317,222747 und DE-PS 2945269 wurden Mehrkoordinatenschrittmotoren als Module für Industrieroboter bekannt.

Das Wesen besteht darin, daß Spulenanordnungen in einer beweglichen Tischplatte, dem Objektträger, befestigt sind, die in Luftspalten von Magnetsystemen so geführt sind, daß sie bei Stromfluß in den Spulen eine Kraft auf die Tischplatte ausüben. Die Spulen oder Magnete tragende Tischplatte ist mit ein""n Zweikoordinatenmeßwertgeber verbunden. Durch differenzierte Anordnungen ist die Handhabung eines Objektträr^s in mehreren Koordinaten mit hoher Dynamik und Genauigkeit gewährleistet.

Diese Lösungen haben den Nachteil, daß der Objektträger gesondert geführt werden muß, der Objektträger erhebliche Trägheitskräfte bewirkt und Objekte weder zeitlich parallel und voneinander unabhängig gehandhabt noch in ihrer Form verändert werden können. Durch hohe Ströme treten die Positioniergenauigkeit negativ beeinflussende Erwärmungen auf, und die elektromagnetischen Felder können im Objektbereich schädlich sein (z. B. Elektronenstrahlbeeinflussung).

Damit im Zusammenhang stehende Lösungen sind Mehrkoordinaten-Vibroantriebe auf piezoelektrischer Basis, die in der Literatur Bansjavicjus, Ragulskis: Vibrodvigateli, Vilnjus: „Mokslas" 1981 dargelegt werden. Die durch elektromechanische Schwingungen erzeugte Antriebskraft wirkt auf einen Objektträger und gestattet dessen Handhabung.

Weiterhin damit im Zusammenhang steht eine Lösung, die auf elektromagnetischer Basis Schrittbewegungen realisiert.

DE-OS 3128834 gibt einen Linearmotor bekannt, der einen Ständer mit magnetisch wirksamer Zahnung konstanter Teilung und einem Läufer mit gleicher magnetischer Zahnung aufweist. Der Läufer benötigt eine zusätzliche Führung, hat Energieanschlüsse und besitzt nur den Freiheitsgrad 1. Reluktanzschrittmotoren gibt es nach DD-PS 129948 auch für den Freiheitsgrad a 2.

Schrittmotoren in offener Steuerkette ermöglichen die Einsparung von Kosten und Platz für ein separates Meßsystem, haben aber den Nachteil, daß durch äußere Beanspruchung auftretende Schrittfehler nicht erkannt werden und direkt als Meßfehler eingehen.

Die bereits dargestellten technischen Lösungen sind besonders dadurch nachteilbehaftet, daß

- mehrere Objekte nur in begrenztem Umfang und großem Aufwand zeitlich parallel und voneinander unabhängig gehandhabt oder in der Form verändert werden können,

- Mehrkoordinatenantriebe einen Objektträger mit spezieller Ausführung in Form, Material und Qualität benötigen und meist eine Energiezuführung zum Objektträger erfordern, wodurch aufgrund der Tätigkeit die dynamischen Eigenschaften verschlechtert werden,

- bei Realisierung räumlicher Bewegung von Objekten die Zugänglichkeit des Objektes durch Antriebs- und Führungsmittel stark eingeschränkt ist und der dadurch beanspruchte Raum für andere Objekte nicht verfügbar ist,

- bei der Bewegung von Objekten im Raum für höhere Genauigkeit komplizierte Meßaystemo erforderlich sind, die don Bewegungsraum einschränken bzw. eine dichte Anordnung von Strukturolementen des Roboters odor der perlphoron Einrichtungen behindern,

- beim Ausfall eines Roboterelementes, sofern nicht unter Mehraufwand aus Sicherheitsgründen eine Funktionsdoppelung projektiert ist, ein Produktivitätsvorlust entsteht und eine selbständige Umgehung 'er schädlichen Auswirkung nicht besteht,

- Werkstücke, Bauelemente, Baugruppen, Werkzeuge, Werkstoffpartikol und Grundelemente des Industrieroboters nicht durch ein Wirkprinzip gehandhabt, erst rocht nicht gleichzeitig verändert werden können und eine Integration verschiedener technologischer Teilschritte, wie das Aufnehmen, Transportieren, Speichern, Portionieren, Halten, Montieren, Abgeben behindert wird,

- hoher Aufwand und geringe Flexibilität vorliegen.

Ziel der Erfindung

Die Erfindung verfolgt das Ziel, einen Industrieroboter zum zeitlich parallelen, voneinander unabhängigen Handhaben und/oder Verändern der Form von Objekten, der starre, biegoschlaffe, dehnbare oder andersartig in ihrer Form veränderbare Objekte mit mindestens einer hinreichend glatten Grundfläche im Raum oder in der Fläche handhabt, zu schaffen, wobei Trägern ittel vermieden und flexibel gestaltbare Roboterstrukturen ermöglicht werden.

Der Industrieroboter soll sich durch hohe Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Dynamik auszeichnen. Er soll insbesondere zur Manipulierung kleiner Objekte geeignet sein und gleichzeitig mehrere Objekte bewegen können.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung Hegi die Aufgabe zugrunde, einen freiprogrammierbaren Mechanismus zu schaffen, der vielseitig kombinierbar ist, bei dem r.u jedem Zeitpunkt mindestens 3 Elemente wirksam sind und der sich durch einen hohen funktioneilen Integrationsgrad auszeichnet. Dabei sollen komplizierte Meßsysteme vermieden, Trägheitskräfte stark verringert und keine Energiezuf jhr zu einem Objektträger erforderlich sein. Bei Ausfall eines Elementes soll der Mechanismus weitgehend funktionsfähig bleiben.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß eine mikrotechnische Baugruppe aus einer flächenhaft matrixförmigen Anordnung zeitlich parallel und unabhängig voneinander arbeitender programmgesteuerter Elemente geschaffen wird.

Die Elemente verfügen über eine Aktor-, Effektor-, Sensor-, Mechanismus- und Regel- und Stellgliedfunktion oder sind nur mit einer oder mehreren Funktionen davon ausgerüstet.

Merkmal der Erfindung ist es, daß die Größe der Elemente so auf die Größe der glatten Grundfläche der handzuhabenden Objekt abgestimmt ist, daß zu jedem Zeitpunkt mindestens 3 Elemente voll wirksam werden. Flächenbereiche der mikrotechnischen Baugruppe können Sfiisprechend dem Projekt differenziert große Elementetragen, mit verschiedenen großen und in verschiedener Form gestalteten Elementen ausgestattet »ein, und die Elementefunktionen können unterschiedlicher Ausprägung sein.

Nach der Erfindung ist vorgesehen, daß die Aktorfunktion eines Elementes durch ein Raumschub- oder Raumdrehgelenk bzw. eine Kombination von Schub- und Drehgelenken zur Realisierung »Jer Bewegung von Oberflächenbereichen des Elementes realisiert wird.

Zur Erzielung aufgabengemäßer Schrittwerte und Objektgeschwindigkeit sind die Frequenz, Amplitude und Bewegungsform oder eine bzw. mehrere davon im allgemeinen unabhängig programmgesteuert veränderbar ausgeführt. Die technische Ausführung ist auf der Grundlage verschiedener bekannter Lösungsmöglichkeiten gestaltbar, wobei vorzugsweise eine monolithisch integrierte Ausführung der Elemente in allen funktioneilen Merkmalen technologisch zu realisieren ist. Die Objekte werden mit dem Freiheitsgrad 3 in der Fläche gehandhabt. Darüber hinaus beinhaltet die Aktorfunktion auch die Realisierung einer geringfügigen Objekthandhabung in Normalenrichtung, wodurch vorteilhaft auch kleine Verdrehwinkel um eine Achse parallel zur Grundfläche des Objektes erreicht und bereits durch eine mikrotechnische Baugruppe eine Objekthandhabung in geringem Maße im Raum realisiert wird.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, daß die Effektorfunktion, das Festhalten des Objektes, durch Anziehungskräfte und Eigenschaften der Objekte erfolgt, aber auch durch Druckkräfte, die periphere Einrichtungen ausüben oder durch ein anderes bzw. das gleiche Grundelement bei geschlossener Bauform bewirkt wird. Der Effektor des Elementes kann ständig oder zeitweise und/oder bereichsweise wirken, also auch programmgesteuert ausgeführt sein.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, daß die Elemente eine Sensorfunktion besitzen, die besonders als Mittel zur Positionierung von Objekten dient. Die im Element monolithisch integrierten Sensoren sind in Meßbereichen angeordnet, die den Charakter von Meßstützstellen besitzen. Die Anordnung der Sensoren und ihr Aufbau nach verschiedenen Varianten gemäß Objekt- und Aufgabenart sind gekennzeichnet dadurch, daß der Zeitpunkt des Überschreitens des Meßbereiches durch eine Objektkante oder Objektmarke, der Objektabstand zum Einsatz und/oder die Geschwindigkeit bzw. andere vom Sensor erfaßte Charakteristiken genutzt werden. Eine Verwendung der Sensorsignale erfolgt vor Ort in der mikrotechnischen Baugruppe durch Anordnung einer Informationsverarbeitungseinheit als Slave-Rechner.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, daß aus den im Rechner gespeicherten Sensorinformationen aus der Echtzeitverarbeitung oder aus zurückliegenden Zyklen der Objekthandhabung sowie Informationen vom Master-Rechner durch Nutzung der Interpolation und von Rechenvorschriften das Arbeitsregime für jedes Element ermittelt wird und auf dessen Grundlage die Aktion des Elementes erfolgt. Daraus ergibt sich ein Schrittantrieb für die räumliche Objektpositionierung auf der Basis von Stützstellen, und künstliche Intelligenz kann genutzt werden.

Zur Realisierung der Feinpositionierung von Objekten, insbesondere zur Einnahme von Relativlagen bei rechnerisch optimierten Relativgeschwindigkeiten, ist erfindungsgemäß die Anwendung der Regelung vorgesehen dadurch, daß im Feinpositionierbereich Elemente mit einer starken Ausprägung der Sensorfunktion ausgestattet sind, die sehr genaue Sensorinformationen liefern.

Durch objekt- und oufgabonbezogono Strukturlorung der Elomonto mit verschiedener Ausprfiqung Ihrer funktlonellon Merkmale lassen sich besonders auch Im FaIIo der Formänderung eines Objektes gezieltos Messen, Haiton und Agieren erreichen.

Die Erfindung kann vorteilhaft ausgestaltet werden derart, daß das Aktor- odor Effektorwirkprinzip zeitweiso für dio Ausführung der Sonsorfunktion genutzt wird, sowohl zwischen den Arbeitstakten als auch vor bzw. nach dor Aktion als Aktor bzw. Effektor.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehon, daß dio Stell- und Regolgllodfunktlon Im Eloment ausgeführt werden kann.

Zu dem Zweck 1st das Element an oine Energieversorgung angeschlossen. Die Information vom Slavo-Rechner kann auch im Element gespeichert und zum Stellen bzw. Regeln der Aktoren und Effektoren verwendet worden.

Die Stell- und Regelgliedfunktion bezieht sich hauptsächlich auf dio Beeinflussung von Amplitude, Frequenz und/odor Impulsform der Energieberoltstellung für Aktoren und Effektoren.

Die Erfindung kann vorteilhaft ausgestaltet werden dadurch, daß die Informationen rechtzeitig dem Stellglied zugoführt werden, so daß Aktoren und Effektoren zum Zeitpunkt ihrer Einflußnahme auf das Objekt ihre volle Arbeitsfähigkeit entfaltet haben, und daß Nachbarelemonte Informationen und Energie erhalten zur Unterstützung der Aufgabenlösung, auch wenn sie nicht unmittelbar mit dom Objekt Kontakt haben.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, daß ein Roboterbaukastensystem geschaffen wird. Programmgesteuerte Elemente mit gleicher oder verschiedener Ausprägung der Aktor-, Effektor-, Sensor-, Mechanismus-, Stell- und Regelgliedfunktion sind in einer mikrotechnischen Baugruppe zusammengefaßt.

Diese Baugruppen sind Massenprodukte, dio zu vielfach verwendbaren Modulen oder zu prozoßspezifischen Modulen zusammengestellt werden. Dabei bietet sich dio Anwendung bekannter automatischer Montageverfahren an. Die Baugruppen sind objekt- und aufgabenbezogon projektiert, z. B. für Transport, Lagerung und/oder Positionierung, für ebene, gekrümmte und/oder flexible Gestelle.

Die Handhabung von mikrotechnischen Baugruppen oder Robotermodulen wie Objekte auf Modulen gestattet räumliche Handhabung kleiner Objekte. Dio Genauigkeit der Positionierung von Robotormodulen kann durch angepaßte Gestaltung der glatten Grundfläche und dor Anzahl bei der Handhabung einwirkender Elemente erhöht werden.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehon, daß der Grundmechanismus Durchbrüche aufweist. D.is ist vorteilhaft, um die Zugänglichkeit zum Objekt durch Werkzeuge, Vorrichtungen, Prüf mittel usw. auch von dor β. Seite noc 1 zu ermöglichen, oder für die mikrotechnische Baugruppe schädliche Einflüsse in einem Boreich zu verhindern.

Weiterhin ist erfindungsgemäß vorgesehen, daß programmgesteuerte oder feste Anschläge auf der mikrotechnischen Baugruppo angeordnet sind. Programmgesteuerte Anschläge sind aktive mikrotechnische Baugruppen oder passive, starre oder in der Form veränderbare Objekte. Sie werden zur andauernden oder zeitweisen Einrichtung von Sperrbereichen für die Handhabung und/oder Formveränderung von Objekten verwendet und sind Bestandteile der flexiblen Strukturierung des Roboterarbeitsraumes. Ihr Vorteil besteht in der Erhöhung der Positioniergenauigkeit - besonders der Wiederholgenauigkeit durch Anlage von Objektkanten, -flächen oder -punkten an genau fixierten Objekten. Die Dynamik wird verbessert, da die Ausprägung der Aktorfunktion zu Lasten der Sensorfunktion erhöht werden kann oder beispielsweise ein verbessertes Halten statt der Sensoraufgabe realisiert wird. Anschläge in Form von s'arren oder flexiblen Streifen oder Linien können zur Erhöhung der Funktionssicherheit bei der Einrichtung von Sperrzonen am Ri nd von Transportbahnen, Lagerflächen, Sicherheitsbereichen u.a. zweckmäßig sein. Anschläge können so gestaltet sein, daß sie auf verschiedene Objekte unterschiedlich wirken.

Nach der Erfindung ist weiterhin vorgesehen, daß dio mikrotechnische Baugruppe auch ein flächenhaft flexibler Körper sein kann. Die Flexibilität wird im wesentlichen durch eine biegeschlaffe oder in einer Richtung biegeschlaffe Gestaltung des Gestells, auf das die Baugruppen aufgebracht werden, bestimmt. Eine biegeschlaffe, mikrotechnische Baugruppe kann durch verteilte Einwirkung von Kräften in Richtung der Flächennormale im Raum noch bosser der Aufgabe angepaßt werden. Bereits sehr geringe Gestellflexibilität ist für eine flexible Änderung der Roboterstruktur von praktisch großer Bedeutung. Damit ist eine Justierung der Baugruppen in Normalenrichtung möglich. Die Justierung einer in der Form veränderlichen Baugruppe kann durch eine parallel angeordnete mikrotechnische Baugruppe mit besondors ausgeprägter Aktorkomponente in Normalenrichtung realisiert werden. Bei einer nur teilweise in der Form veränderlichen Baugruppe erfolgt deren Handhabung und Formveränderung durch seitliche Führung der Baugruppe, was die Justierung um größere Beträge gestattet.

Die Instandhaltung der Robotermodule kann vorteilhaft realisiert werden, indem programmgesteuert spezielle Objekte über den Arbeitsbereich des Robotermoduls geführt werden. Die Instandhaltungsobjekte können mit der Möglichkeit einer Zu- und Abführung von Stoffen ausgestattet sein, zur Durchführung von Prüfarbeitsgängen gestaltet sein usw.

Ausführungsbeispiel

Die Erfindung soll anhand von Zeichnungen näher erläutert werden. In den einzelnen Abbildungen zeigen

Fig. 1: eine prinzipielle Darstellung der erfindungsgemäßen mikrotechnischen Baugruppe mit dem Objekt, das zur

Handhabung und Veränderung der Form vorgesehen ist, Fig.2: den prinzipiellen Aufbau der mikrotechnischen Baugruppe,

Fig. 3: das Zusammenwirken von Robotermodulen zur Handhabung von Objekten im Raum, Fig.4: eine mikrotechnische Baugruppe mit Durchbruch, Fig. 5: die Anordnung programmgesteuerter und fester Anschläge auf der mikrotechnischen Baugruppe zur Realisierung

hoher Drehzahl bei der Rotation eines Objektes, Fig.6: die Handhabung und Formveränderung eines in einer Richtung verformbaren Robotermoduls bei größeren Formänderungen,

Fig. 7: die Handhabung und Formveränderung einer teilweise flexiblen mikrotechnischen Baugruppe, Fig. 8: eine geschlossene Bauform zusammengesetzter mikrotechnischer Baugruppen, insbesondere der Führung von Werkzeugen,

Fig.9: eine mikrotechnische Baugruppe mit Durchbruch zur Handhabung und Formveränderung von Objekten und Fig. 10: die Handhabung von Werkstoffpartikeln.

In Fig. 1 ist eine orflnclungsgomäßo mikrotechnischo Baugruppe 4 dnrgostollt, dio oln Objekt 1 trägt, das zur Handhabung und Veränderung der Form vorgesehen ist. Die programmgesteuerten Elomonto 2 sind flächonhaft, matrlxförmig angeordnet und auf oir>m Gohäuso 3 befestigt. Die programmgesteuerten Elomonto 2 und das Gohtiuso 3 orgobon olno mikrotochnlscho Baugruppe 4.

Mehrere mikrotechnischo Baugruppen 4 sind auf einem Gestell 5 zu einem Robotormodul θ angeordnet. Die Pfeile deuten die Aktor- und Effektorwirkungen an.

Die Figur 2 zeigt den Aufbau der mikrotechnlschon Baugruppe 4. Die obere Schicht stollt eine mikromechanische Struktur 7 dar, in der Aktoren und Effektoren ausgeführt sind. Weiterhin sind eine optoelektronische Struktur 8 zur Gestaltung der Sensoren, eine mik/oelektronische Struktur 9 für die Stell· bzw. Rogolgllodor sowlo Informations- und Enorgieanschlüsso und ein Einchiprechner integriert, die vom Gehäuse 3 aufgenommen werden.

In Figur 3 werden zwei mikrotechriische Baugruppen 4 als Teil eines Robotermoduls 6 gezeigt, die mit einer anderen mikrotechnischen Baugruppe 4 zusammenwirken. Über das Gestell 5 ist eine weitere mikrotechnische Baugruppe 4 angeschlossen. Das Objekt 1 kann in der gozoigten Anordnung im Freiheitsgrad 5 gehandhabt werden, und durch die Aktorwirkung der programmierbaren Elemente 2 in der mikrotechnischen Baugruppe 4 wird eine geringfügige räumliche Beweglichkeit des Objektes 1 erreicht.

In Figur 4 ist eine mikrotechnische Baugruppe 4 mit Durchbruch gezeigt. Die programmierbaren Elemente 2 gestatten eine volle Beweglichkeit Im Freiheitsgrad 3 für das Objekt 1 und eine geringfügige räumliche Beweglichkeit.

Figur 5 zeigt die Anordnung eines festen Anschlages 11 und eines programmgesteuerten Anschlages 12. Ein im Bereich des festen Anschlages 11 durch die mikrotechnische Baugruppe 4 mit Hilfe der programmierbaren Elemente 2 eingebrachtes rotationssymmetrisches Objekt 1 kann mit hoher Drehzahl in Rotation versetzt werden, nachdem die Position des Objektes 1 durch den programmgesteuerten Anschlag 12 gesichert ist.

In Figur 6 ist die Reihenschaltung einer flexiblen mikrotechnischen Baugruppe 13 mit einem anderen Rotormodul 6 gezeigt, bei dem die Aktorkomponente in Normalenrichtung besonders stark ausgeprägt ist. Auf diese Weise wird der verformbaren mikrotechnischen Baugruppe 13 ein programmierbares Oberflächenrolief aufgeprägt. Das führt auch zu einer Erhöhung der räumlichen Beweglichkeit des Objektes 1.

Figur 7 zeigt die Handhabung und Formänderung einer teilweisen flexiblen mikrotechnischon Baugruppe 13 bei größeren Formänderungen. Gleichzeitig wird durch die parallel angeordneten mikrotechnischen Baugruppen 4 eine Justierung der mikrotechnischen Baugruppe 13 erreicht.

Figur 8 ist ein Beispiel für eine geschlossene Bauform zusammengesetzter mikrotechnischer Baugruppen 4, insbesondere zur hochgenauen Führung von Objekten dargestellt. Mikrotechnische Baugruppen 4 handhaben ein Objekt 1, das mit anderen mikrotechnischen Baugruppen verbunden ist.

Figur 9 stellt eine mikrotechnische Baugruppe 4 mit Durchbruch dar, die ein Objekt 1 handhabt und in der Form verändert. Der Pfeil kennzeichnet die Zuführung eines Fluids. Durch Verwendung derartiger Zonen in der mikrotechnischen Baugruppe mit besonderer Energiezuführung kann die Formveränderung verstärkt werden.

Der Durchbruch gestattet zusätzlich eine verbesserte Zugänglichkeit zum Objekt 1, z.B. zur Gestaltung optischer Systems. Das Objekt 1 kann aber auch aufgeblasen oder eingesaugt werden, wobei die Formgebung durch feste Anschläge oder programmgesteuerte Anschläge 12, die durch andere mikrotechnische Baugruppen 4 geführt werden können, beeinflußt werden kann.

In Figur 10 ist ein Werkstoffpartikel gezeigt, das ein sehr kleines Objekt 1 darstellt und z. B. ein Flüssigkeitstropfen sein kann, dessen Oberflächenspannung erhöht wurde.

Die Handhabung wird unterstützt durch eine Verformung der mikrotechnischen Baugruppe 4 in der Art, daß ein Kanal programmgesteuert geschaffen wird. Eine dosierte Zusammenführung, Mischung und Teilung kleiner Stoffmengen ist realisierbar.

Claims (4)

1. Industrieroboter zum zeitlichen parallelen, voneinander unabhängigen Handhaben und/oder Verändern der Form von Objekten mit mindestens einer glatten Grundfläche unter Verwendung programmgesteuerter Elemente, dadurch gekennzeichnet, daß der Industrieroboter aus mindestens einer mikrotechnischen Baugruppe (4) besteht, in der programmgesteuerte Elemente (2) flächenhaft, matrixförmig angeordnet sind und daß in den programmgesteuerten !Elementen (2) feinstrukturiert, vorzugsweise monolithisch integriert, mikromechanische Aktoren und Effektoren sowie mikromechanische oder optoelektronische Sensoren, mindestens ein Stelloder Regelglied und mindestens ein Mikrorechner angeordnet sind.

2. Industrieroboter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die mikroelektronische Baugruppe (4) Durchbrüche aufweist.

3. Industrieroboter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der mikrotechnischen Baugruppe (4) mechanische Anschläge oder Sperrbereiche angeordnet sind.

4. Industrieroboter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Sensoren in den programmgesteuerten Elementen (2) in Meßbereichen konzentriert und als mikrotechnische Schalter oder Zeitmesser mit Informationsspeicher ausgeführt sind und daß eine Meßeinrichtung zur Bestimmung des Abstandes zwischen mikroiechnischer Baugruppe (4) und Objekt (1) angeordnet ist.

Hierzu 3 Seiten Zeichnungen