DD292809A5

DD292809A5 - METHOD FOR PRODUCING GAS-DENSITY, CERAMIC MULTILAYER STRUCTURES

Info

Publication number: DD292809A5
Application number: DD29716386A
Authority: DD
Inventors: Godebert Meyer; Peter Nobst; Dieter Meier; Sigmar Spauszus
Original assignee: Keramische Werke Hermsdorf,De; Hochschule F. Architektur U. Bauwesen Skt. Baust.-Verf. Techn.,De
Priority date: 1986-12-06
Filing date: 1986-12-06
Publication date: 1991-08-08

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf die Herstellung der o. g. Strukturen fuer keramische Gehaeuse, Mehrebenenverdrahtungstraeger oder Mehrebenenwabenstrukturen wobei von gruenen Keramikfolien ausgegangen wird, auf die eine keramische Zwischenschicht und/oder Leiterpaste aufgetragen sind und die getrocknet, laminiert und gesintert werden. Hierbei sollen Deformationen, Maszabweichungen und Undichtigkeiten vermieden werden. Erfindungsgemaesz ist deshalb die aufgetragene keramische Zwischenschicht plastisch aktivierbar und nach dem Trocknen wird auf die keramische Zwischenschicht ein Aktivator in Form einer weiteren Schicht aufgetragen, der die genannte Zwischenschicht plastisch aktiviert und aus den gleichen organischen Bestandteilen besteht, wie die organischen Bestandteile der keramischen Zwischenschicht und spaetestens nach 30 min werden die so behandelten Folien ohne Waermeanwendung und mit einem Druck bis zu 3 MPa laminiert.{Mehrschichtstrukturen, keramisch, gasdicht; Herstellung; Mehrebenenverdrahtungstraeger; Mehrebenenwabenstrukturen; Keramikfolien, gruen; Zwischenschicht, aktivierbar; trocknen; Aktivatorschicht}The invention relates to the production of o. G. Structures for ceramic casings, multi-level wiring harnesses or multi-level honeycomb structures starting from green ceramic films to which a ceramic intermediate layer and / or conductor paste have been applied and which are dried, laminated and sintered. Deformations, masticatory deviations and leaks should be avoided. According to the invention, therefore, the applied ceramic intermediate layer is plastically activatable and after drying an activator in the form of another layer is applied to the ceramic intermediate layer, which plastically activates said intermediate layer and consists of the same organic constituents as the organic constituents of the ceramic intermediate layer and at the latest After 30 minutes, the films treated in this way are laminated without heat and at a pressure of up to 3 MPa. {multilayer structures, ceramic, gastight; manufacture; Mehrebenenverdrahtungstraeger; Multilevel honeycomb structures; Ceramic foils, green; Intermediate layer, activatable; dry; activator}

Description

Field of application of the invention

Die Erfindung bezieht sich auf die Herstellung keramischer, gasdichter Mehrschichtstrukturen. Diese Mehrschichtstrukturen werden bspw. bei der Herstellung keramischer Gehäuse zur Aufnahme integrierter Si-Chips bzw. als Mehrebenenverdrahtungsträger auf dem Gebiet der Hybridtechnik verwendet. Weiterhin kann die Erfindung zur Erzeugung von Mehrebenenwabenstrukturen aus Keramik eingesetzt werden.The invention relates to the production of ceramic, gas-tight multilayer structures. These multilayer structures are used, for example, in the production of ceramic housings for accommodating integrated Si chips or as multi-level wiring substrates in the field of hybrid technology. Furthermore, the invention can be used for the production of multi-level honeycomb structures made of ceramic.

Characteristic of the known state of the art

Es ist bekannt, bei der Herstellung von keramischen Mehrschichtstrukturen von aufeinanderfolgenden Einzelschichteji, die z. B. im Siebdruckverfahren aufgebrachte Leiterbahnen oder keramische Zwischenschichten tragen können, auszugehen, und im ungesinterten Zustand unter Anwendung von Druck und ggf. von Wärme zusammenzupressen (Laminieren). Unter diesen Bedingungen sollen plastische bzw. thermoplastische Fließvorgänge im Kontaktbereich zweier Schichten auftreten, die eine formschlüssige, adhäsive Verbindung zwischen den Einzelschichten ermöglichen. Nachteilig ist jedoch, daß die Druckkräfte nicht nur die Oberflächenschichten verformen, sondern auch innerhalb der Einzelschichten plastische Deformationen bzw. Bruchvorgänge hervorrufen.It is known in the manufacture of ceramic multilayer structures of successive Einzelschichteji, z. B. silk screen printed or ceramic intermediate layers can wear, go out, and in the unsintered state using pressure and possibly heat compress (laminating). Under these conditions, plastic or thermoplastic flow processes should occur in the contact area of two layers, which allow a positive, adhesive bond between the individual layers. The disadvantage, however, is that the compressive forces not only deform the surface layers, but also cause plastic deformation or fracture within the individual layers.

Das ist besonders dann der Fall, wenn die Einzelelemente durch Aussparungen in der Fläche (Fenster, Durchbrüche) bzw. durch besondere Oberflächenprofile (Leiterzüge, Stege) den einseitigen Druck nur über stegartige Flächenbereiche übertragen können. Die auftretenden erhöhten Spannungskonzentrationen führen dann häufig zu einer lateralen Deformation oder Zerstörung der Stege bzw. erzeugen in der nächst tieferen Schicht Bereiche unterschiedlicher Verdichtung, die sich später beim Sintern als Verwölbung dieser Schichten äußern. Die unterschiedliche Verwölbung der Schichten verhindert ein hermetisches Zusammensintern.This is particularly the case when the individual elements can pass through recesses in the surface (windows, breakthroughs) or by special surface profiles (conductors, webs) the one-sided pressure only over web-like surface areas. The resulting increased stress concentrations then often lead to a lateral deformation or destruction of the webs or generate regions of different densification in the next deeper layer, which later manifest themselves as warping of these layers during sintering. The different warping of the layers prevents a hermetic sintering together.

Wenn die Druckkräfte beim Laminieren statt plastische Fließvorgänge nur eine elastische Verformung der Rinzelschichten bewirken, sind die resultierenden Haftkräfte zwischen den Schichten für eine Dichtsinterung der Mehrschichtstrukturen zu gering. Die Deformation, Maßabweichungen und Undichtigkeiten der Mehrschichtstrukturen haben unmittelbar Einfluß auf die Ausbeute bzw. Rentabilität des Herstellungsverfahrens. Um diese Nachteile zu umgehen, sind die verschiedensten Verfahren bekannt, die jedoch häufig einen hohen technischen Aufwand, wie beheizte oder untersetzte Laminierwerkzeuge erfordern und häufig nur unvollkommen zum Ziel führen.If the compressive forces cause only elastic deformation of the Rinzelschichten in laminating instead of plastic flow processes, the resulting adhesive forces between the layers for a dense sintering of the multi-layer structures are too low. The deformation, dimensional deviations and leaks of the multilayer structures have a direct influence on the yield or profitability of the production process. To avoid these disadvantages, a variety of methods are known, however, often require a high level of technical complexity, such as heated or squat lamination and often imperfectly lead to the goal.

So verhindert zwar die Verwendung von Stanzstempeln als Laminierwerkzeug bzw. der Einsatz von Stiftwalzen nach der DE-AS 1765980 sowie der DE-AS 1944618 eine laterale Verformung der Schichten an den Außenkanten oder an den Kanten der Aussparungen in den Schichten. Eine gleichmäßige Verdichtung ist jedoch nur in den deckungsgleichen Bereichen der Schichten zu erreichen, während einseitige Aussparungen in einzelnen Schichten notwendigerweise eine geringere Verdichtung erzeugen und damit zu Schwindungsdifferenzen führt. Diese Verdichtungsdifferenzen sind im vorliegenden Beispiel sehr hoch, da das Laminieren bei Raumtemperatur hohe Laminierdrucke erfordert (ca. 780MPa).Thus, although the use of punches as laminating or the use of pin rollers according to DE-AS 1765980 and DE-AS 1944618 prevents lateral deformation of the layers at the outer edges or at the edges of the recesses in the layers. However, a uniform compaction can only be achieved in the congruent regions of the layers, while unilateral recesses in individual layers necessarily produce less compaction and thus lead to shrinkage differences. These compaction differences are very high in the present example, since laminating at room temperature requires high laminating pressures (about 780 MPa).

Nach der DE-AS 2 337141 versucht man deshalb den Laminierprozeß ganz zu vermeiden, indem die einzelnen keramischen Isolationsschichten im Siebdruckverfahren aus einer entsprechend druckfähig plastifizierten Masse gleicher Zusammensetzung bzw. ähnlicher Schwindung gebildet werden. Dieser Weg ist im allgemeinen nur für Deckschichten geeignet, da sich die keramischen Siebdruckschichten nicht ohne weiteres wieder mit metallischen Leiterzügen bedrucken lassen bzw. der Isolationswiderstand der Schicht nicht ausreicht.According to DE-AS 2 337141 therefore attempts to avoid the lamination process by the individual ceramic insulation layers are formed in the screen printing process from a suitably plastically plasticized mass of the same composition or similar shrinkage. This route is generally only suitable for cover layers, since the ceramic screen printing layers can not easily be printed again with metallic circuit traces or the insulation resistance of the layer is insufficient.

Die DE-OS 2 011628 verweist auf die Möglichkeit, die Einzelschichten in Lösungsrnitteldämpfen zu lagern oder sie vorher mit Lösungsmittel anzufeuchten, um ein plastisches Erweichen des Bindemittels beim Laminieren zu begünstigen. Diese MöglichkeitGerman Offenlegungsschrift No. 2,011,628 refers to the possibility of storing the individual layers in solvent vapors or pre-wetting them with solvent in order to promote plastic softening of the binder during lamination. This possibility

kann aber gerade beim nachfolgenden Laminierprozeß bzw. bereits auch beim „Erweichungsprozeß" nach der Dampfbehandlung zu erheblichen maßlichen Abweichungen der Produkte führen. Abgesehen von der verringerten Handhabungsfostlgkeit der Einzelelemente treten beim Drucklamlnleren wiederum plastische Verformungen in den Schichten selbst auf.However, even in the subsequent lamination process or already during the "softening process" after the steam treatment, considerable dimensional deviations of the products can result.Apart from the reduced handling capability of the individual elements, plastic deformations in the layers themselves occur in the printing process.

Das gilt ebenso für die Lösung nach der DD-PS 115105, wonach die !.aminierung nach dem Anfeuchten der Folienoberfläche durchgeführt wird. Hierzu sind, um maßliche Abweichungen weltestgehend zu vermeiden, zusätzlich noch Laminierschablonen zur Begrenzung der räumlichen Ausdehnung nach der Druckbeeinflussung erforderlich. Außerdem kann dieses Verfahren bei Systemen mit geringen keramischen Stegbreiten nicht verwendet werden (Instabilitäten bei der Handhabung). Es ist weiterhin bekannt, die Haftung zwischen den Einzelschichten durch Auftrag organischer temporärer Kleberschichten zu sichern, so daß der Laminierdruck unterhalb einer kritischen Belastung deformierbarer Stege bleiben kann. Der Nachteil dieser Lösung besteht vor allem darin, daß die Kleberschicht vor oder während des keramischen Brennprozesses rückstandslos zersetzt und in Form gasförmiger Produkte entfernt werden muß. Diese erhöhte Gasbildung in der Haftzone bewirkt u. U. eine Spaltbildung, falls die Ausgasung nicht sorgfältig gesteuert wird (Solid State Techn. 1974 H.5 S. 38-43).This also applies to the solution according to DD-PS 115105, after which the! .Aminierung is carried out after moistening the film surface. For this purpose, in order to avoid dimensional deviations as far as possible, laminating templates for limiting the spatial extent after the pressure influencing are additionally required. In addition, this method can not be used in systems with low ceramic ridge widths (instability in handling). It is also known to secure the adhesion between the individual layers by applying organic temporary adhesive layers, so that the laminating pressure can remain below a critical load of deformable webs. The disadvantage of this solution consists in the fact that the adhesive layer decomposes without residue before or during the ceramic firing process and must be removed in the form of gaseous products. This increased gas formation in the adhesive zone causes u. A gap formation, if the outgassing is not carefully controlled (Solid State Techn. 1974 H.5 p. 38-43).

Ziel der ErfindungObject of the invention

Das Ziel der Erfindung besteht darin, Deformationen, Maßabweichungen und Undichtigkeiten bei Mehrschichtstrukturen durch den Laminierprozeß zu vermeiden. Auch wenn die Einzelelemente Aussparungen in der Fläche (Fenster, Durchbrüche) bzw. besondere Oberflächenprofile (Leiterzüge, geringe keramische Stegbreiten) aufweisen. Außerdem soll sich der Herstellungsprozeß ohne nachteilige Folgen unterbrechen lassen.The object of the invention is to avoid deformations, dimensional deviations and leaks in multilayer structures by the lamination process. Even if the individual elements have recesses in the surface (windows, openings) or special surface profiles (conductor tracks, small ceramic web widths). In addition, the manufacturing process should be interrupted without adverse consequences.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung gasdichter keramischer Mehrschichtstrukturen zu entwickeln, wobei von grünen Keramikfolien, die aus einem anorganischen, pulverförmigen, keramischen Material im Gemisch mit einem organischen Bindemittel bestehen, ausgegangen wird, auf die eine keramische Zwischenschicht und/oder Leiterpaste aufgetragen, getrocknet, laminiert und gesintert werden. Hierbei soll die Druck- und Wärmeeinwirkung auf die Mehrschichtstrukturen während des Laminierens verringert werden.The invention is therefore based on the object to develop a method for producing gas-tight ceramic multilayer structures, wherein green ceramic films, which consist of an inorganic, powdery, ceramic material in admixture with an organic binder, is assumed, on a ceramic intermediate layer and / or conductor paste, dried, laminated and sintered. Here, the pressure and heat to the multilayer structures during lamination should be reduced.

Erfindungsgemäß ist deshalb die aufgetragene keramische Zwischenschicht plastisch aktivierbar und nach dem Trocknen wird auf die keramische Zwischenschicht ein Aktivator in Form einer weiteren Schicht aufgetragen, der die genannte Zwischenschicht plastisch aktiviert und aus den gleichen organischen Bestandteilen besteht wie die organischen Bestandteile der Zwischenschicht und spätestens nach 30min werden die so behandelten Folien ohne Wärmeanwendung mit einem Druck bis zu 3 MPa laminiert. Die genannte aktivierbare keramische Zwischenschicht läßt sich durch Streichen, Tauchen, Spritzen, Walzen oder durch Sieb- bzw. Tampondruck aufbringen. Sie besteht zu einem hohen Anteil aus keramischen Bestandteilen, welche je nach Beschichtungstechnologie mit mengenmäßig unterschiedlich organischen Bestandteilen versehen sein müssen. Nach dem Trocknungsprozeß wird diese keramische Zwischenschicht mittels Aktivator in einen plastischen Zustand versetzt. Der verwendete Aktivator kann ebenfalls durch Streichen, Tauchen, Spritzen usw. aufgebracht werden. Da es im Wesen der Erfindung liegt, daß der Aktivator aus den gleichen organischen Bestandteilen besteht wie die organischen Bestandteile der aufgebrachten keramischen Zwischenschicht, ist es vorteilhaft, wenn das eingesetzte organische Bindemittel für die keramische Zwischenschicht aus einem Gemisch von Alkoholen, Glycoläther, Terpenen und höheren Aromaten und der Aktivator aus einem Gemisch vonAccording to the invention, therefore, the applied ceramic intermediate layer is plastically activated and after drying an activator in the form of another layer is applied to the ceramic intermediate layer, which plastically activates said intermediate layer and consists of the same organic constituents as the organic constituents of the intermediate layer and at the latest after 30min The films thus treated are laminated without applying heat at a pressure of up to 3 MPa. The mentioned activatable ceramic intermediate layer can be applied by brushing, dipping, spraying, rolling or by screen or pad printing. It consists to a large extent of ceramic constituents which, depending on the coating technology, must be provided with quantitatively different organic constituents. After the drying process, this ceramic intermediate layer is added by means of activator in a plastic state. The activator used can also be applied by brushing, dipping, spraying, etc. Since it is in the nature of the invention that the activator consists of the same organic constituents as the organic constituents of the applied ceramic intermediate layer, it is advantageous if the organic binder used for the ceramic intermediate layer of a mixture of alcohols, glycol ethers, terpenes and higher Aromatics and the activator of a mixture of

25 bis 45 Gew.-% Alkoholen 8 bis 12 Gew.-% Glycoläther 8 bis 12 Gew.-% Terpenen und 35 bis 55 Gew.-% höheren AromatenFrom 25 to 45% by weight of alcohols, from 8 to 12% by weight of glycol ether, from 8 to 12% by weight of terpenes and from 35 to 55% by weight of higher aromatics

besteht.consists.

Im Anschluß an den Aktivierungsvorgang wird unter Anwendung von geringem Druck bzw. drucklos und ohne zusätzliche Wärmeeinwirkung durch den sogenannten Laminierprozeß mit dem Aufbau der keramischen Mehrschichtstrukturen begonnen. Die aktivierbare keramische Zwischenschicht, die durch den Aktivierungsvorgang in einen plastischen Zustand überführt wurde, bewirkt eine formschlüssige, adhäsive Verbindung der Einzelschichten. Damit ist ein gasdichter Verbund nach dem Sinterprozeß garantiert. Da lediglich die keramische Zwischenschicht aktiviert wird, bleiben die übrigen zu verbindenden Teile infolge des Ausgleichs bei Druckeinwirkung auf diese plastische, keramische Schicht formstabil und garantiert diese Formstabilität auch nach dem Sinterprozeß. Der Aktivator ist so ausgelegt, daß durch seine Anwendung weder eine Beeinflussung der Oberfläche der zu verbindenen Teile durch Auslösevorgänge erfolgt, noch Dichteunterschiede erzeugt, die die Geometrie der Mehrschichtstrukturen negativ beeinflussen könnten.Following the activation process, the construction of the ceramic multilayer structures is started using low pressure or without pressure and without additional heat being applied by the so-called lamination process. The activatable ceramic intermediate layer, which was converted by the activation process in a plastic state, causes a positive, adhesive connection of the individual layers. This guarantees a gas-tight bond after the sintering process. Since only the ceramic intermediate layer is activated, the remaining parts to be joined remain dimensionally stable due to the compensation under pressure on this plastic, ceramic layer and guarantees this dimensional stability even after the sintering process. The activator is designed so that its application neither affects the surface of the parts to be joined by tripping operations, nor produces density differences that could adversely affect the geometry of the multilayer structures.

Technologisch vorteilhaft wirkt sich weiterhin aus, daß diese mit der genannten keramischen Zwischenschicht beschichtete Keramikfolie nach dem Trocknungsprozeß über einen längeren Zeitraum stapelbar und lagerfähig bleibt und danach jederzeit wieder aktivierbar ist. Ein weiterer Vorteil ist darin zu sehen, daß der Laminiervorgang auch ohne Anwendung von Temperatur erfolgen kann. Daher sind komplizierte, beheizte Lominiervorrichtungen zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens nicht erforderlich.Technologically advantageous continues to have the effect that this ceramic film coated with said ceramic intermediate layer after the drying process over a longer period of time remains stackable and storable and is then activated again at any time. Another advantage is the fact that the lamination can be done without the application of temperature. Therefore, complicated, heated Lominiervorrichtungen for carrying out the method according to the invention are not required.

-3- 292 809 Ausführungsbeispiel Vorliegende Erfindung soll an zwei Ausführungsbeispielen näher erläutert werden.-3- 292 809 Embodiment The present invention will be explained in more detail with reference to two exemplary embodiments.

example 1

Zur Aufnahme integrierter Schaltkreise werden keramische Gehäuse eingesetzt, welche meistens aus drei grünen keramischen Folien aufgebaut sind. Diese keramischen Folienlagen werden durch den Laminierprozeß vor dem Sintervorgang verbunden und müssen nach dem Sinterprozeß gasdicht sein. Zur Herstellung eines keramischen Gehäuses in Chip-Carrier-Bauform wird ebenfalls von drei keramischen Folien ausgegangen. Auf die unterste Folienlage wird mittels Siebdruck die metallische Chipbondfläche aufgebracht, auf die zweite Folienlage die Leiterbahnzuführung und auf die dritte Folienlage der Verschluß.To accommodate integrated circuits ceramic housings are used, which are usually composed of three green ceramic foils. These ceramic film layers are connected by the lamination process prior to the sintering process and must be gas-tight after the sintering process. For the production of a ceramic housing in chip-carrier design is also assumed three ceramic films. On the lowermost film layer, the metallic Chipbondfläche is applied by screen printing, on the second film layer, the conductor track feed and on the third film layer of the closure.

Gemäß der Erfindung müssen auf die drei Folienlagen zwei keramische Zwischenschichten aufgebracht werden, um die Gasdichtheit zu gewährleisten.According to the invention, two ceramic intermediate layers must be applied to the three film layers in order to ensure the gas-tightness.

Im vorliegenden Beispiel wird die keramische Zwischenschicht auf die Rückseite der zweiten Folienlage und auf die Rückseite der dritten Folienlage mittels Siebdruck aufgebracht. Hierfür wird eine Siebdruckpaste verwendet, die zu 80Gew.-% aus einer 90%igen A^G^-Keramik besteht.In the present example, the ceramic intermediate layer is applied to the back of the second film layer and on the back of the third film layer by screen printing. For this purpose, a screen printing paste is used, which consists of 80% by weight of a 90% A ^ G ^ ceramic.

Der organische Binderanteil beträgt 20Gew.-%. Das organische Bindemittel besteht aus 30Gew.-% aromatischer Alkohole, 10Gew.-% Glycoläther, 10Gew.-% Terpene und 50Gew.-% aus einem Gemisch höherer Aromaten.The organic binder content is 20% by weight. The organic binder consists of 30% by weight of aromatic alcohols, 10% by weight of glycol ether, 10% by weight of terpenes and 50% by weight of a mixture of higher aromatics.

Die aufgebrachte Schichtstärke beträgt 20μηι. Nach dem Trockenprozeß wird der Aktivator mittels Walzen auf die Rückseite der zweiten und dritten Folienlage aufgetragen, wobei die Schichtstärke 5μιπ beträgt. Der Aktivator besteht aus den gleichen Bestandteilen wie die organischen Bestandteile der Siebdruckpaste. Nach diesem Prozeß werden die drei Folienlagen in einer Laminiervorrichtung deckungsgleich übereinander gebracht und durch Druckanwendung von 2 MPa laminiert. Die offene Zeit zwischen Aufbringen des Aktivators und Laminierprozeß darf max. 15min betragen. Anschließend werden die Folien einem Sinterprozeß unterworfen und sind gasdicht.The applied layer thickness is 20μηι. After the drying process, the activator is applied by means of rollers on the back of the second and third layers of film, wherein the layer thickness is 5μιπ. The activator consists of the same ingredients as the organic components of the screen printing paste. After this process, the three film layers are superimposed on each other in a laminator and laminated by pressure application of 2 MPa. The open time between application of the activator and lamination process may be max. 15min. Subsequently, the films are subjected to a sintering process and are gas-tight.

Example 2

Zur Herstellung von keramischen Mehrschichtstrukturen können gleichmäßig geprägte, hermetische, grüne Folien verwendet werden. Durch diese Prägungen werden Hohlräume erzielt, die z. B. einen Kühlmitteldurchfluß ermöglichen. Zur Herstellung eines keramischen Kühlers in Mehrebenenwabenstruktur wird von fünf geprägten grünen keramischen Folien ausgegangen. Auf die hochstehenden Profilzwischenstege wird mittels Tampondruck die keramische Zwischenschicht aufgetragen. Die Tampondruckpaste besteht dabei aus 60Gew.-% eine hochtonerdhalten Keramik und 40Gew.-% beträgt der organische Binderanteil. Der organische Binderanteil besteht seinerseits zu 40Gew.-% aus aromatischen Alkoholen, 13Gew.-% Glycoläther, 10Gew.-% Terpenen und 37 Gew.-% aus einem Gemisch höherer Aromaten. Nach dem Trockenprozeß wird ebenfalls mittels Tampondruck der Aktivator aufgetragen. Er besteht aus den gleichen organischen Bestandteilen wie die Tampondruckpaste. Die Schichtdicke beträgt 2 pm. Der Laminiervorgang erfolgt drucklos. Nach dem Sinterprozeß sind diese fünf geprägten Folien gasdicht miteinander verbunden. Die offene Zeit zwischen Aufbringen des Aktivators und Laminiervorgang kann bis zu 30 min betragen.For producing ceramic multilayer structures, uniformly embossed, hermetic, green films can be used. By these imprints cavities are achieved, the z. B. allow a coolant flow. For the production of a ceramic cooler in multi-level honeycomb structure is assumed by five embossed green ceramic films. The ceramic intermediate layer is applied to the upright profile intermediate webs by means of pad printing. The pad printing paste consists of 60% by weight of high ceramic content and 40% by weight of the organic binder content. The organic binder content in turn consists of 40% by weight of aromatic alcohols, 13% by weight of glycol ether, 10% by weight of terpenes and 37% by weight of a mixture of higher aromatics. After the drying process, the activator is also applied by means of pad printing. It consists of the same organic ingredients as the pad printing paste. The layer thickness is 2 pm. The lamination process is without pressure. After the sintering process, these five embossed films are gas-tightly interconnected. The open time between application of the activator and lamination can be up to 30 minutes.

Claims

A method for producing gas-tight, ceramic multilayer structures, wherein green Kerarnikfolien consisting of an inorganic powdered ceramic material in admixture with an organic binder, is assumed, are applied to the ceramic intermediate layer and / or conductor paste, dried, laminated and sintered , characterized in that the applied ceramic intermediate layer is plastically activatable and after drying on the ceramic intermediate layer an activator in the form of another layer is applied, which plastically activates said intermediate layer and consists of the same organic constituents as the organic constituents of the ceramic intermediate layer and at the latest after 30 minutes the thus treated films are laminated without heat application and with a pressure of up to 3 MPa.

2. The method according to claim 1, characterized in that the organic binder used for the ceramic intermediate layer of a mixture of alcohols, glycol ethers, terpenes and higher aromatics and the activator of a mixture of.

From 25 to 45% by weight of alcohols

8 to 12 wt .-% glycol ether

8 to 12% by weight of terpenes
and 35 to 55% by weight higher aromatics
consist.