DD289296A5 - BAND SLAVE FOR VACUUM COATING SYSTEMS - Google Patents

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DD289296A5
DD289296A5 DD33492289A DD33492289A DD289296A5 DD 289296 A5 DD289296 A5 DD 289296A5 DD 33492289 A DD33492289 A DD 33492289A DD 33492289 A DD33492289 A DD 33492289A DD 289296 A5 DD289296 A5 DD 289296A5
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DD33492289A
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Joachim Senf
Erwin Zschieschang
Wolfgang Erbkamm
Guenter Jaesch
Horst Schmidt
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Fi Manfred V. Ardenne,De
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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Bandschleuse fuer Vakuumbeschichtungsanlagen, um bandfoermiges Material in die Anlage hinein oder heraus zu befoerdern. Erfindungsgemaesz ist das zwischen zwei Rollen gefuehrte Band allseitig von einem Rahmen, der gegen die Rollen gedichtet ist, eingehaust. Der Rahmen ist quer zur Bandlaufrichtung verschiebbar und gegen die Grundplatte abgedichtet. Der Schlitz des Rahmens ist schmaler als der der Grundplatte, an der das Rollenpaar gelagert ist. Fig. 1{Bandschleuse; Vakuumbeschichtungsanlage; bandfoermiges Material; Rahmen; Rolle; einhausen; Schlitz; Rollenpaar}The invention relates to a belt sluice for vacuum coating equipment to convey bandfoermiges material into the plant or out. According to the invention, the band guided between two rollers is enclosed on all sides by a frame which is sealed against the rollers. The frame is displaceable transversely to the direction of tape travel and sealed against the base plate. The slot of the frame is narrower than that of the base plate on which the roller pair is mounted. Fig. 1 {belt lock; Vacuum coating system; band-shaped material; Frame; Role; einhausen; Slot; Roller pair}

Description

Hierzu 1 Seite ZeichnungenFor this 1 page drawings

Anwendungsgeblot der ErfindungApplication blot of the invention

Dio Erfindung betrifft eine Bandschleuse, die je nach der zu realisierenden Druckdifferenz mehrfach aneinandergereiht ein Bandschleusensystem bildet. Sie dient dazu, um bandförmiges Material, insbesondere beschichteten Bandstahl, vom Kochvakuum kontinuierlich an Atmosphärendruck auszuschleusen oder auch einzuschleusen. Hauptanwendungsgebiet sind Vakuumbeschichtungsanlagen.Dio invention relates to a belt sluice, which, depending on the pressure difference to be realized several times strung together forms a belt lock system. It serves to continuously discharge or also introduce band-shaped material, in particular coated steel strip, from the cooking vacuum to atmospheric pressure. Main application area are vacuum coating systems.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Schleusen werden hauptsächlich in Bandbedampfungsanlagen eingesetzt, um den Bandstahl kontinuierlich vom Atmosphärendruck ins Hochvakuum und von dort wieder hinauszuschleusen. Es hat sich dabei gezeigt, daß die zweckmäßigste Ausführung bei derartigen Anlagen aus 5 bis 7 hintereinander angeordneten Bandschleusen (als Strömungswiderstände) besteht, die separat abgepumpt werden und somit eine Druckkaskade bilden. Als Bauform hat sich die sogenannte Rollenbandschleuse durchgesetzt, die aus einem vor einer Grundplatte angeordneten Rollenpaar besteht, das in geeigneter Weise axial und radial bzw. lateral gegenüber der Grundplatte abgedichtet ist, wobei im allgemeinen die untere Rolle starr mit der Grundplatte verbunden ist, und die obere Rolle zwecks Spalteinstellung zwischen den Rollen zum Anpassen an das durchlaufende Band vorzugsweise vertikal beweglich ist (DD-PS 77384).Sluices are mainly used in Bandbedampfungsanlagen to the steel strip continuously from the atmospheric pressure into a high vacuum and out there again herauszuschleusen. It has been found that the most expedient embodiment of such systems from 5 to 7 successively arranged belt locks (as flow resistance), which are pumped off separately and thus form a pressure cascade. As a design, the so-called roller belt sluice has prevailed, which consists of a arranged in front of a base plate pair of rollers, which is sealed in a suitable manner axially and radially or laterally relative to the base plate, wherein generally the lower roller is rigidly connected to the base plate, and upper roller for the purpose of adjusting the gap between the rollers to adapt to the continuous band is preferably vertically movable (DD-PS 77384).

Es liegt auf der Hand, daß die Anzahl der für ein Bandschleusensystem zu installierenden Bandschleusen von dem zu gewährleistenden Vakuum, von derzur Verfügung stehenden Saugleistung der Vakuumpumpe an jeder Bandschleuse und vom Leck dieser abhängt. Den größten Einfluß auf das Leck hat dabei der Spalt links und rechts vom Band bis zur radialen bzw. lateralen Abdichtung der Rollen, wobei dieses Leck mitzunehmender Banddicke größer wird. Die zu gewährleistende Spcltbreite links und rechts des Bandes hängt von dessen Oszillation ab, die sowohl auf der Säbelförmigkeit des Bandes als auch auf Schwankungen der Bandkantenregelung beruht, wie sie vor allem bei geringen spezifischen Bandzügen auftritt, damit Beschädigungen sowohl der Bandschleuse als auch der Bandkante vermieden werden. Es ist eine Einrichtung bekannt, die eine keilförmige Spaltabdichtung für den Fall des Einsatzes schmaler Bänder darstellt und bei Anlaufen des Banden an diese Spaltabdichtung herausschwenkt und damit Beschädigungen verhindert, allerdings dann den vollen seitlichen Spalt öffnet (DD-PS 253838). Diese Einrichtung stellt keine Lösung für das Verringern eines seitlichen Spaltes von Bandschleusen für in größeren Amplituden oszillierendes Band dar.It is obvious that the number of belt locks to be installed for a belt lock system depends on the vacuum to be ensured, on the available suction power of the vacuum pump at each belt lock and on the leakage of these. The greatest influence on the leak has the gap left and right of the band to the radial or lateral sealing of the rollers, this leak with increasing strip thickness is greater. The width of the left and right sides of the belt to be guaranteed depends on its oscillation, which is based both on the sliver shape of the belt and on variations of the belt edge control, which occurs above all with low specific belt pulls, so that damage to both the belt lock and the belt edge is avoided become. It is known a device which represents a wedge-shaped gap seal in the case of the use of narrow bands and swings at start of the band to this gap seal and thus prevents damage, but then opens the full lateral gap (DD-PS 253838). This device does not provide a solution for reducing a lateral gap of belt slips for larger amplitude oscillating belt.

Es ist eine Bandschleuse zu schaffen, die bei einer geringen Leckrate das durchlaufende Band sowie die Bandschleuse selbst vor Beschädigungen schützt. Der apparative Aufwand soll sich nicht wesentlich erhöhen.It is to create a belt sluice that protects at a low leak rate, the continuous belt and the belt sluice itself from damage. The expenditure on equipment should not increase significantly.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Bandschleuse zu schaffen, deren seitlicher Spalt zu beiden Seiten des Bandes gering gohalten wird und sich Schwankungen in der Bandführung selbsttätig anpaßt. Oszillationen des Bandes quer zur Bandlaufrichtung dürfen keine Beschädigungen hervorrufen.The invention has for its object to provide a belt sluice, the lateral gap on both sides of the tape will go low and adapts itself to fluctuations in the tape guide automatically. Oscillations of the tape transversely to the direction of tape movement must not cause any damage.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Einrichtung, die aus einem Rollenpaar besteht, dessen Rollen gegenüber einer Grundplatte axial und radial mittels auf der Rollenoberfläche schleifenden Dichtungen abgedichtet sind und die zueinander versetzt und in ihrem Abstand variierbar sind, dadurch gelöst, daß die Dichtungen in einem das Band allseitig relativ eng einhausenden Rahmen angeordnet sind, der zwischen Grundplatte und den Rollen quer zur Bandlaufrichtung verschiebbar ist. Der Rahmen ist so gestaltet, daß das vertikale Bewegen der oberen Rolle gewährleistet ist. Der Schlitz dieses Rahmens für das Band ist dabei schmaler als der Schlitz in der Grundplatte und kann zusätzlich mit einer Einrichtung versehen werden, die ein Verkleinern des Schlitzes für schmalere Bänder ermöglicht. Der verschiebbare Rahmen ist gegen die Grundplatte ebenfalls mit schleifenden Dichtungen gedichtet. Die Verschiebung des Rahmens erfolgt mit einem elektrohydraulischen Stellantrieb, bestehend aus einem elektrohydraulischen Regelaggregat, einem Hydraulikzylinder und einem elektronischen Servoverstärker, wobei der Hydraulikzylinder entweder direkt an der Grundplatte in der Bandschleuse oder außerhalb des Bandschleusengehäuses angeordnet ist und über eine Vakuumdrehdurchführung die Verschiebung des Rahmens erfolgt. Eine weitere Möglichkeit besteht darin, die Verschiabung der Rahmen mehrerer Bandschleusen mit einem Zylinder vorzunehmen, indem dieser an der Außenseite der Bandschleuse eine Koppelstange treibt, die alle Drehdurchführungen zum Verschieben der Rahmen verbindet.According to the invention the object is achieved with a device consisting of a pair of rollers whose rollers are sealed against a base plate axially and radially by means of sliding on the roller surface seals and which are offset from one another and variable in their spacing, achieved in that the seals in a the Band are arranged on all sides relatively narrow einhausenden frame which is displaceable between the base plate and the rollers transversely to the direction of tape travel. The frame is designed to ensure vertical movement of the upper roller. The slot of this frame for the band is narrower than the slot in the base plate and can be additionally provided with a device that allows for a narrowing of the slot for narrower bands. The sliding frame is sealed against the base plate also with sliding seals. The displacement of the frame is carried out with an electro-hydraulic actuator consisting of an electro-hydraulic control unit, a hydraulic cylinder and an electronic servo amplifier, wherein the hydraulic cylinder is arranged either directly to the base plate in the belt lock or outside the belt lock housing and via a vacuum rotary feedthrough the displacement of the frame. Another possibility is to make the Verschiabung the frame of several belt locks with a cylinder by this drives on the outside of the belt lock a coupling rod that connects all rotary joints for moving the frame.

Es ist zweckmäßig, die Dichtungen, d. h. Dichtleisten und Formstücke aus PTFE, gefüllt mit Glaspulver und Hartbrandkohle, herzustellen und mit Federn oder Silikongummischlauch anzudrücken.It is convenient to use the seals, d. H. Sealing strips and fittings made of PTFE, filled with glass powder and hard coal, to produce and pressed with springs or silicone rubber hose.

Weiterhin ist es vorteilhaft, zur besseren Anpassung der radialen Dichtungen, d. h. der Formstücke, an die Rollen diese in der Bandebene zu teilen, um sie getrennt gegen die Rollen schieben zu können, damit eine bessere Dichtung erfolgt.Furthermore, it is advantageous for better adaptation of the radial seals, d. H. the fittings to share the roles in the band level on the rollers to push them separately against the rollers can, so that a better seal.

Ausführungsbeispielembodiment

In den zugehörigen Zeichnungen zeigenIn the accompanying drawings show

Fig. 1: eine Bandschleuse im Schnitt,1: a sluice lock in section,

Fig. 2: eine Ansicht des Rahmens mi; im Schieber geführten Formstücken ohne die davor angeordneten Rollen.Fig. 2: a view of the frame mi; guided in the slide fittings without the previously arranged roles.

In Fig. 1 ist auf der Grundplatte 1 der Bandschleuse, auch als Druckstufe bezeichnet, ein Rahmen 2 verschiebbar zwischen Kugellagern 3 angeordnet. In der Grundplatte 1 sind horizontal Gleitsteine 4 eingelassen. Die Dichtung zwischen Grundplatte 1 und Rahmen 2 erfolgt durch Dichtleisten 5 aus PTFE, die mittels Federn 6 angedrückt werden. Die axiale Dichtung zwischen Rahmen 2 und den davor angeordneten Rollen 7 erfolgt gleichfalls über federnd angestellte Dichtleisten 8 aus PTFE, die derart gestaltet sind, daß sie bei demontierten Rollen 7 nicht herausfallen können. Die radiale Dichtung zwischen dem Rahmen 2 und den Rollen 7 übernehmen die federnd angestellten Formstücke 9 und 10 aus PTFE, die auf einem Schieber 11 zwischen zwei Platten 12 (siehe Fig. 2) geführt sind. Mii dem Schieber 11, der beidseitig angeordnet ist, kann der Schlitz 13 im Rahmen 2 auf die jeweilige Breite des Bandes 14 eingestellt werden. Die Verschiebung des Rahmens 2 erfolgt über eine starr mit diesem verbundene Gabel 15, in die ein Hydraulikzylinder 16 eingreift, der an der Grundplatte 1 befestigt ist. Der Schlitz 13 im Rahmen 2 ist schmaler als der Schlitz 17 in der Grundplatte 1.In Fig. 1, a frame 2 is slidably disposed between ball bearings 3 on the base plate 1 of the belt sluice, also referred to as a compression stage. In the base plate 1 horizontally sliding blocks 4 are embedded. The seal between the base plate 1 and frame 2 is effected by sealing strips 5 made of PTFE, which are pressed by means of springs 6. The axial seal between the frame 2 and the previously arranged rollers 7 also takes place via resiliently attached sealing strips 8 made of PTFE, which are designed such that they can not fall out with disassembled rollers 7. The radial seal between the frame 2 and the rollers 7 take over the resiliently shaped fittings 9 and 10 made of PTFE, which are guided on a slide 11 between two plates 12 (see FIG. 2). Mii the slider 11, which is arranged on both sides, the slot 13 can be adjusted in the frame 2 to the respective width of the belt 14. The displacement of the frame 2 via a rigidly connected to this fork 15, in which a hydraulic cylinder 16 engages, which is fixed to the base plate 1. The slot 13 in the frame 2 is narrower than the slot 17 in the base plate first

In Fig. 2, als Draufsicht auf den Rahmen 2, sind die axial angeordnetem Dichtleisten 8 zu sehen, zwischen welchen als radiale Dichtung die Formstücke 9; 10 angeordnet sind, die zwischen Platten 12 geführt sind.In Fig. 2, as a plan view of the frame 2, the axially disposed sealing strips 8 can be seen, between which as a radial seal the fittings 9; 10 are arranged, which are guided between plates 12.

Claims (7)

1. Bandschleuse für Vakuumbeschichtungsanlagen, bestehend aus einem Rollenpaar, dessen Rollen gegenüber der Grundplatte axial und radial mittels auf der Rollenoberfläche schleifenden Dichtungen abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Band (14) allseitig von einem Rahmen (2) relativ eng eingehaust ist, daß die radial und axial wirkenden Dichtungen mit dem Rahmen (2) verbunden sind, daß der Rahmen (2) quer zur Bandlaufrichtung verschiebbar ist, daß der Rahmen (2) gegen die Grundplatte (1) abgedichtet ist und daß der Schlitz (13) in dem Rahmen (2) um den Betrag seiner Verschiebbarkeit schmaler ist als der Schlitz (17) in der Grundplatte (1).1. belt sluice for vacuum coating systems, consisting of a pair of rollers whose rollers are sealed against the base plate axially and radially by means of sliding on the roller surface seals, characterized in that the band (14) on all sides by a frame (2) is relatively closely housed, that the radially and axially acting seals are connected to the frame (2), that the frame (2) is displaceable transversely to the direction of tape travel, that the frame (2) is sealed against the base plate (1), and that the slot (13) in the Frame (2) is narrower by the amount of its displacement than the slot (17) in the base plate (1). 2. Bandschleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Rahmen (2) zwischen Kugellagern (3) geführt ist und zwischen ihm und der Grundplatte (1) Gleitsteine (4) angeordnet sind.2. belt lock according to claim 1, characterized in that the frame (2) is guided between ball bearings (3) and between it and the base plate (1) sliding blocks (4) are arranged. 3. Bandschleuse nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Rahmen (2) zur Verschiebung desselben ein elektrohydraulischer Stellantrieb, bestehend aus einem elektrohydraulischen Regelaggregat, einem Hydraulikzylinder (16) und einem elektronischen Servoverstärker, verbunden ist.3. belt lock according to claim 1 and 2, characterized in that with the frame (2) for the displacement of an electro-hydraulic actuator consisting of an electro-hydraulic control unit, a hydraulic cylinder (16) and an electronic servo amplifier is connected. 4. Bandschleuse nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Hydraulikzylinder (16) an der Grundplatte (1) angebracht ist.4. belt lock according to claim 1 to 3, characterized in that the hydraulic cylinder (16) on the base plate (1) is mounted. 5. Bandschleuse nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Hydraulikzylinder (16) außen an der Bandschleuse angebracht ist und über eine Drehdurchführung mit dem Rahmen (2) verbunden ist.5. belt lock according to claim 1 to 3, characterized in that the hydraulic cylinder (16) is attached to the outside of the belt lock and is connected via a rotary feedthrough with the frame (2). 6. Bandschleuse nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die radialen Dichtungen in der Ebene des Bandes (14) in zwei Formstücke (9; 10) geteilt sind.6. belt lock according to claim 1 to 5, characterized in that the radial seals in the plane of the belt (14) in two fittings (9, 10) are divided. 7. Bandschleuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß alle Dichtungen federnd angedrückte Dichtleisten (8) und Formstücke (9; 10) aus PTFE, gefüllt mit Glaspulver und Hartbrandkohle, sind.7. Belt lock according to claim 1, characterized in that all seals resiliently pressed sealing strips (8) and fittings (9; 10) made of PTFE, filled with glass powder and hard coal are.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4240490C1 (en) * 1992-12-02 1994-04-14 Ardenne Anlagentech Gmbh Sealing elements for strip feeding device - comprising two shaped pieces pref. of PTFE
DE4418383A1 (en) * 1994-05-26 1995-11-30 Ardenne Anlagentech Gmbh Vacuum lock

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