DD288244B5 - microscope objective - Google Patents

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DD288244B5
DD288244B5 DD33319389A DD33319389A DD288244B5 DD 288244 B5 DD288244 B5 DD 288244B5 DD 33319389 A DD33319389 A DD 33319389A DD 33319389 A DD33319389 A DD 33319389A DD 288244 B5 DD288244 B5 DD 288244B5
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Horst Dr Rer Nat Riesenberg
Wolfgang Goers
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Zeiss Carl Jena Gmbh
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Description

Allen genannten Objektiven ist gemeinsam ein kleiner Arbeitsabstand von wenigen Zehntel Millimetern sowie ein IaU alor Farbfehler, dor durch ein weiteres optisches System - Okular, Projektiv- kompensiert werden muß.All lenses mentioned are together a small working distance of a few tenths of a millimeter as well as an IaU alor chromatic aberration, which must be compensated by another optical system - eyepiece, projective.

Weiterhin bekannt ist aus der Zeitschrift Jenaer Rundschau 1 /1982 ein GF-Planachromat 10Ox/0,90 oo/O-A mit einem freien Arbeitsabstand von 0,25mm.Also known from the journal Jenaer Rundschau 1/1982, a GF plano-roach 10Ox / 0.90 oo / O-A with a free working distance of 0.25mm.

Der geringe freie Arbeitsabstand beeinträchtigt eine störungsfreie Dunkelfeldbeleuchtung mit n. A. > 0,9 im Auf licht und bedingt eine Einschränkung des Verschiebebereiches des Mikroskoptisches bei umgekehrten Mikroskopen.The small free working distance affects a trouble-free dark field illumination with n.A.> 0.9 in the on-light and requires a restriction of the displacement range of the microscope stage with inverted microscopes.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Die Erfindung soll den Informationsgehalt bei hochauflösender, immersionsloser mikroskopischer Abbildung nach Quantität und Qualität deutlich erhöhen. ·The invention is intended to significantly increase the information content in high-resolution, immersion-free microscopic imaging according to quantity and quality. ·

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein hochauflösendes Trockenobjektiv mit der n.A. 20,90 und lOOfach vergrößernder Abbildung eines Objektes auf ein Bildfeld mit der Feldzahl >: 25 mm - entsprechend einem Objektfeld 2y > 0,25 mm - mit möglichst großem freiem Arbeitsabstand zu schaffen, wobei die Abbildung im gesamten Bildfeld gleichzeitig scharf, d.h. beugungsbegrenzt, und farbsaumfrei-ohne chromatische Vergrößerungsdifferenz-erfolgt und sowohl Hellfeldabbildung als auch weitestgehend störungsfreie Dunkelfeldabbildung im Aufl'cht möglich ist. Des weiteren soll das erfindungsgemäße Objektiv in umgekehrten Mikroskopen einen großen Verschiebebereich des Mikroskoptisches und damit des zu untersuchenden Objektes gewährleisten.The invention has for its object to provide a high-resolution dry lens with the n.A. 20,90 and 100 times magnifying image of an object on a field of view with the field number>: 25 mm - corresponding to an object field 2y> 0.25 mm - to create as large a free working distance, the image in the entire field simultaneously sharp, i. diffraction-limited, and Farbsaumfrei-without chromatic magnification difference-occurs and both bright field imaging and largely trouble-free dark field imaging in Aufl'cht is possible. Furthermore, the objective according to the invention in inverted microscopes should ensure a large displacement range of the microscope stage and thus of the object to be examined.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Mikroskopobjektiv aufgebaut ist aus dreilinsiger positiver Frontgruppe, deren erste zwei Linsen Menisken sind, deren Hohlfläche dem Objekt zugekehrt ist, aus darauffolgenden mindestens drei, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden, Kittgliedern und aus, das Objektiv bildseitig abschließenden, zwei zweilinsigen, nieniskenförmigen Kittgliedern, und desweiteren dadurch charakterisiert, daß mindestens das objektseitig erste der Kittglieder aus jeweils einer Negativlinse und einer Positivlinse besteht und daß das letzte der insgesamt mindestens drei Kittglieder, ebenso wie das darauffolgende vorletzte Kittglied zweilinsige Menisken sind mit bildseitiger Hohlfläche und daß das letzte Kittglied die.Hohlfläche dem Objekt zugekehrt hat, wobei weiterhin gilt:The object is achieved in that the microscope objective is constructed of dreilinsiger positive front group, the first two lenses menisci, the hollow surface facing the object, from subsequent at least three, fluorspar or similar glass containing Kittgliedern and, the objective side final two two-pronged, seriate-shaped cemented elements, and further characterized in that at least the object side first of the cemented members consists of a respective negative lens and a positive lens and that the last of the total of at least three cemented members, as well as the subsequent penultimate cemented member are bilateral menisci with image-side hollow surface and that the last cemented member has the hollow surface facing the object, where furthermore:

1. Beim objektivseitig ersten Kittglied ist der Betrag der Brennweite der Negativlinse kleiner als die Bronnweite der Positivlinse.1. In the lens-side first cemented member, the amount of the focal length of the negative lens is smaller than the Bronnweite of the positive lens.

2. Das vorletzte Kittglied besteht aus einer Positivlinse mit einer Brechzahl η ä 1,65 und einer Abbeschen Zahl ν <35 und einer Negativlinse mit einer Brechzahl η > 1,55 und einer Abbeschen Zahl ν a 50.2. The penultimate cemented component consists of a positive lens with a refractive index η 1.65 and an Abbe's number ν <35 and a negative lens with a refractive index η> 1.55 and an Abbe's number ν a 50.

3. Das letzte Kittglied hat eine negative Brennweite, deren Betrag kleiner ist als das Zehnfache der Objektivbrennweite. Dabei kann es besonders vorteilhaft sein, wenn zwischen den objektseitig ersten und letzten zweilinsigen, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden, Kittgliedern zwei zweilinsige Kittglieder angeordnet sind.3. The last cemented element has a negative focal length, the amount of which is less than ten times the lens focal length. It may be particularly advantageous if two zweilinsige cemented elements are arranged between the object side first and last two-lingual, fluorspar or glass fibers similar, containing Kittgliedern.

Diese Ausführungsform ist besonders einfach herstellbar, da zweilinsige Kittglieder, deren eine Linse aus Flußspat oder flußspatähnlichem Glas ist, keine technologischen Schwierigkeiten aufzeigen und eine hohe Zentriergenauigkeit im Fertigungsprozeß gewährleisten.This embodiment is particularly easy to produce, since two-part cemented components, one of which is made of fluorspar or flux-like glass, show no technological difficulties and ensure a high centering accuracy in the manufacturing process.

Eine weitere Ausführungsform mit geringerem optischen Aufwand entsteht, wenn zwischen den objektseitig ersten und letzten zweilinsigen, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden, Kittgliedern eine dreilinsige Kittgruppe angeordnet ist, deren mittlere Linse aus Flußspat oder flußspatähnlichem Glas ist. Dabei ersetzt das Dreifachkittglied zwei Zweifachkittglieder.A further embodiment with less optical complexity arises when between the object side first and last two-stranded, fluorspar or similar glass containing Kittgliedern a dreilinsige Kittgruppe is arranged, whose middle lens is made of fluorspar or flußspatähnlichem glass. The triple putty member replaces two double putty members.

Durch die Kopplung des objektseitig ersten Kittgliedes mit den beiden letzten Kittgliedern vor der Bildebene wird auf Grund der angegebenen Bedingungen für diese Kittglieder erreicht, daß das Objektiv CVD-frei ist und damit der laterale Farbfehler beseitigt ist. Die Erzielung eines großen Arbeitsabstandes wird vor allem erreicht durch die stark zerstreuende Wirkung des letzten meniskusförmigen Kittgliedes in Verbindung mit der dreigliedrigen Frontgruppe. Dies ermöglicht die Ausbildung des Objektivs als HD-System mit störungsfreier Dunkelfeldabbildung im Auflicht und einen großen seitlichen Verschiebebereich des Mikroskoptisches in umgekehrten Mikroskopen.By coupling the object side first cemented member with the last two cemented elements in front of the image plane is achieved due to the specified conditions for these cemented members that the lens is CVD-free and thus the lateral color aberration is eliminated. Achieving a large working distance is achieved mainly by the strongly dispersing effect of the last meniscus-shaped cemented element in connection with the tripartite front group. This allows the formation of the lens as an HD system with trouble-free dark field imaging in reflected light and a large lateral displacement range of the microscope stage in inverted microscopes.

Das große, geebnete Bildfeld wird insbesondere durch die erfindungsgemäße Gestaltung der drei letzten Kittglieder erreicht, deren Petzvalsummen das Vorzeichen einer Negativlinse haben und die Petzvalsummen der vorangehenden Linsen bzw. Kittglieder derart kompensieren, daß die Petzvalsumme des Mikroskopobjektivs Null ist oder das Vorzeichen einer Negativlinso und einen solchen Restbetrag hat, daß die Bildfeldkrümmung eines üblichen Großfeld-Okulars zumindest teilweise kompensiertThe large, leveled image field is achieved in particular by the inventive design of the last three cemented elements whose Petzvalsummen have the sign of a negative lens and compensate Petzvalsummen the preceding lenses or cemented such that the Petzvalsumme the microscope objective is zero or the sign of Negativlinso and a such balance has that the field curvature of a conventional large-field eyepiece at least partially compensated

Es ist unschwer zu erkennen, daß die unterschiedliche Gestaltung des mittleren Objektivteiles, statt zweier Zweifachgruppen eine Dreifachgruppe, nur eine besondere Ausführungsform des erfindungsgemäßen Objektivs darstellt.It is not difficult to see that the different design of the central objective part, instead of two dual groups, a triple group, only one particular embodiment of the objective according to the invention.

AusführungsbolsplelAusführungsbolsplel

Die Erfindung v/ird anhand eines Ausführungsbeispieles und einer Zeichnung näher erläutert. Die Figur zeigt das Linsenschnittbild eines erfindungsgemäßen Objektivs gemäß der Ansprüche 1-3.The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment and a drawing. The figure shows the lens sectional image of an objective according to the invention according to the claims 1-3.

Die Linsen und Linsenglieder sind entlang der optischen Achse 0-0' angeordnet.The lenses and lens members are arranged along the optical axis 0-0 '.

Einer dreilinsigen Frontgruppe I, II, III nachgeor Jnet sind vjerzweilinsige Kittgruppen IV, Va, Vb, Vl, deren eine Linse jeweils aus Flußspat oder flußspatähnlichem Glas ist, und abgeschlossen wird das Objektiv von zwei zweilinsigen Kittgruppen VII, VIII.A three-stranded front group I, II, III after Jnet are two-branched putty groups IV, Va, Vb, Vl, one of which is each made of fluorspar or latex-like glass, and the objective is completed by two two-lobed putty groups VII, VIII.

In der Tabelle zum 3. Patentanspruch sind die optischen Daten eines Systems entsprechend der Figur angegeben, wobei bedeuten:In the table to the third claim, the optical data of a system are given according to the figure, wherein mean

Π = Krümmungsradien der Linsenflächen in fortlaufender Nummerierung von der Frontfläche in Richtung Bild und di - axiale Scheitelabstände der Linsenflächen in der gleichen Nummerierungsfolge und η bzw. ν sind Brechzahlen bzw. Abbezahlen der verwendeten Gläser in gleicher Bezifferungsfolge, bezogen auf die Wellenlänge = 546,07Mm.Kr = radii of curvature of the lens surfaces in consecutive numbering from the front surface in the direction of the image and axial vertex distances of the lens surfaces in the same numbering sequence and η and ν respectively are refractive indices or payoff of the glasses used in the same numbering sequence, relative to the wavelength = 546.07 μm ,

Mit do wird der Objektabstand bezeichnet. Dem im Ausführungsbeispiel erreichten Objektabstand von 1,863min entspricht in etwa ein freier Arbeitsabstand von 0,9 mm.With d o , the object distance is called. The object distance of 1.863 min achieved in the exemplary embodiment corresponds approximately to a free working distance of 0.9 mm.

Durch fachgemäße Berechnung können die Kittgruppen Va und Vb durch eine Dreifachkittgruppe ersetzt werden. , By professional calculation, the putty groups Va and Vb can be replaced by a triple putty group. .

Claims (4)

Patentansprüche:claims: 1. beim objektivseitig ersten Kittglied (IV) ist der Betrag der Brennweite der Negativlinse kleiner als die Brennweite der Positivlinse1. at the lens side first cemented member (IV), the amount of the focal length of the negative lens is smaller than the focal length of the positive lens 1. Mikroskopobjektiv, bestehend aus dreilinsiger positiver Frontgruppe, deren erste zwei Linsen Menisken sind, deren Hohlfläche dem Objekt zugekehrt ist, aus darauffolgenuen mindestens drei, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden, Kittgliedern und aus, das Objektiv bildseitig abschließenden, zwei zweiiinsigen, meniskenförmigen Kittgliedern, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens das objektseitig erste der Kittglieder (IV) aus jeweils einer Nepativlinse und einer Positivlinse besteht und daß das letzte der insgesamt mindestens drei Kittylieder (Vl), ebenso wie das darauffolgende vorletzte Kittglied (VII) zweilinsige Menisken sind mit bildseitiger Hohlfläche und daß das letzte Kittglied (VIII) die Hohlfläche dem Objekt zugekehrt hat, wobei weiterhin gilt:1. Microscope objective, consisting of a triangular positive front group, whose first two lenses are menisci, the hollow surface of which faces the object, from which at least three, fluorspar or flux-like glasses containing, cemented elements and, the lens on the image side, two bivalve, meniscus-shaped cemented composites, characterized in that at least the object side of the first Kittglieder (IV) consists of a respective nepil lens and a positive lens and that the last of the total of at least three Kittylieder (Vl), as well as the subsequent penultimate Kittglied (VII) are two-lingual menisci with image-side hollow surface and that the last cemented element (VIII) has the hollow surface facing the object, wherein furthermore: 2. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den objektseitig ersten (IVj und letzten (Vl) zweiiinsigen, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden Kittgliedern zwei zweilinsige Kittglieder (Va, Vb) angeordnet sind.2. Microscope objective according to claim 1, characterized in that between the object side first (IVj and last (Vl) zweiiinsigen, fluorspar or glass fibers similar Kätgliedern two zweilinsige cemented elements (Va, Vb) are arranged. 2. das vorletzte Kittglied (VII) besteht aus einer Positivlinse mit einer Brechzahl η > 1,65 und einer Abbeschen Zahl ν < 35 und einer Negativlinse mit einer Brechzahl η 2:1,55 und einer Abbeschen Zahl ν>502. the penultimate cemented element (VII) consists of a positive lens with a refractive index η> 1.65 and an Abbe number ν <35 and a negative lens with a refractive index η 2: 1.55 and an Abbe number ν> 50 3. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Objektiv durch folgenden Datensatz beschrieben ist, wobei alle Abmessungen in mm angegeben sind: Vergrößerung: 100x, Brennweiten: 2,5mm, numerische Apertur: 0,93. microscope objective according to claim 2, characterized in that the lens is described by the following data set, all dimensions are given in mm: magnification: 100x, focal lengths: 2.5mm, numerical aperture: 0.9 η = Krümmungsradien der Linsenflächen in fortlaufender Nummerierung von der Frontfläche in Richtung Bild undη = radii of curvature of the lens surfaces in consecutive numbering from the front surface in the direction of the image and dj = axiale Scheitelabstände der Linsenflächen in der gleichen Nummerierungsfolge und ni bzw. Vj sind Brechzahlen bzw. Abbezahlen der verwendeten Gläser in gleicher Bezifferungsfolge bezogen auf die Wellenlänge = 546,07 μιτι.dj = axial vertex distances of the lens surfaces in the same numbering sequence and ni or Vj are refractive indices or Abbezahlen the glasses used in the same numbering sequence based on the wavelength = 546.07 μιτι. 3. das letzte Kittglied (VIII) hat eine negative Brennweite, deren Betrag kleiner ist als das Zehnfache der Objekt'· Jrennweite.3. The last cemented element (VIII) has a negative focal length whose magnitude is less than ten times the object's focal length. 4. Mikroskopobjektiv nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen den objektseitig ersten (IV) und letzten (Vl) zweilinsigen, Flußspat oder flußspatähnliche Gläser enthaltenden, Kittgliedern eine dreilinsige Kittgruppe (V) angeordnet ist, deren mittlere Linse aus Flußspat oder flußspatähnlichem Glas ist.4. microscope objective according to claim 1, characterized in that between the object side first (IV) and last (Vl) zweilinsigen, fluorspar or similar glass containing Kittgliedern a dreilinsige putty group (V) is arranged, the middle lens of fluorspar or flußspatähnlichem glass , Hierzu 1 Seite ZeichnungFor this 1 page drawing Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention Die Erfindung betrifft ein starkes immersionsloses Mikroskopobjektiv hoher Vergrößerung mit besonderer Eignung für Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung in derAuflichtmikrorkopie.The invention relates to a high-magnification, immersion-less microscope objective with particular suitability for bright and dark field illumination in the optical microscope print. Charakteristik des bekannten Standes der TechnikCharacteristic of the known state of the art In der Mikroskopie kommt den hochaperturigen Trockenobjektiven zunehmende Bedeutung zu. Mikroskopobjektive mit der num. Apertur von etwa 0,9 bis 0,95 und einer zirka lOOfachen Vergrößerung gestatten die höchste Auflösung solcher mikroskopischer Details, die ohne Immersion beobachtet werden sollen oder müssen. Häufig ist es wünschenswert, die mikroskopischen Beobachtungen von der schwächsten bis zur stärksten Vergrößerung ohne Immersionsflüssigkeit durchzuführen, um den aufwendigen Wechsel mit und ohne Immersionsflüssigkeit zu vermeiden. Mitunter ist es unbedingt erforderlich, den Kontakt der Präparate mit einer Immersionsflüssigkeit zu vermeiden, wie dies bei wichtigen Anwendungen in der Aufiichtmikroskopie der Fall ist, z. B. in der Mikroelektronikindustrie. - In der Auflichtmikroskopie ist es außerdem wünschenswert, daß auch die hochaperturigen Trockensysteme für Hell- und Dunkelfeldbeleuchtung geeignet sind, und sowohl für aufrechte als auch umgekehrte Mikroskope einsetzbar sind.In microscopy, the high-aperture dry lenses are becoming increasingly important. Microscope lenses with the num. Apertures of about 0.9 to 0.95 and a magnification of about 100 times allow the highest resolution of such microscopic details that should or must be observed without immersion. Often it is desirable to carry out the microscopic observations from the weakest to the highest magnification without immersion liquid in order to avoid the laborious change with and without immersion liquid. Sometimes it is essential to avoid contact of the preparations with an immersion liquid, as is the case in important applications in Aufmichtmikroskopie, z. B. in the microelectronics industry. It is also desirable in reflected-light microscopy that even the high-aperture dry systems be suitable for bright and dark field illumination and can be used for both upright and inverted microscopes. In der DE-OS 2043638 ist ein lOOfach vergrößerndes Trockenobjektiv mit der n. A. = 0,9 beschrieben, das aufgebaut ist aus 10 Linsen in 7 Gruppen. Es gestattet zwar eine hohe Auflösung in der Bildmitte, kann aber auf Grund der die Bildfeldwölbung charakterisierenden hohen Petzvalsumme nur ein kleines ebenes Objektfeld von ca. 2y < 0,1 mm scharf abbilden. Außerdem ist es ausdrücklich nur für deckglasbedeckte Präparate vorgesehen, die im Durchlicht beobachtet werden. In der DE-AS 2327218 ist ein weiteres stark vergrößerndes Trockenobjektiv mit lOOfacher Vergrößerung und n. A. = 0,9 angegeben, daß ebenfalls hohe Auflösung in der Bildmitte erlaubt, auf Grund starker Komafehler jedoch ebenfalls nur ein kleines ebenes Objektfeld gleichzeitig scharf abzubilden gestattet.DE-OS 2043638 describes a 100 times-increasing dry objective with the n.A. = 0.9, which is composed of 10 lenses in 7 groups. Although it allows a high resolution in the center of the image, but can due to the field curvature characterizing high Petzval total only a small flat object field of about 2y <0.1 mm sharp. In addition, it is expressly intended only for cover glass-covered preparations that are observed in transmitted light. In DE-AS 2327218 a further high-magnification dry lens with 100 times magnification and n.A. = 0.9 is given, which also allows high resolution in the center, but due to strong coma error also allows only a small planar object field simultaneously sharply , In der DE-PS 3326352 ist ein stark vergrößerndes Trockensystem mit lOOfacher Vergrößerung und einer n.A. = 0,95 angegeben. Dieses Objektiv ist auch nur für ein relativ kleines Objektfeld von 2y < 0,2 mm vorgesehen.In DE-PS 3326352 is a greatly enlarging drying system with lOOfacher magnification and a n.A. = 0.95 indicated. This lens is also intended only for a relatively small object field of 2y <0.2 mm.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004036114A1 (en) * 2004-07-24 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Liquid immersion microscope objective

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DE102004036114A1 (en) * 2004-07-24 2006-02-16 Carl Zeiss Jena Gmbh Liquid immersion microscope objective

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