DD276152A5

DD276152A5 - Zweiseitiger drucksensor

Info

Publication number: DD276152A5
Application number: DD88322485A
Authority: DD
Inventors: William J Kaigler
Original assignee: The Babcock U. Wilcox Company,Us
Priority date: 1987-12-16
Filing date: 1988-12-01
Publication date: 1990-02-14
Also published as: EP0321097A3; KR890010548A; EP0321097A2; HUT49712A; PL276464A1; RO103775B1; JPH01197621A; IN169658B; BR8803885A; CN1034060A; PL160250B1; CA1309878C; AU2103888A; AU613072B2; CS833188A3

Abstract

Die Erfindung betrifft einen doppelseitigen Drucksensor, der sich insbesondere zum Messen von Differentialdruecken eignet. Dieser Sensor umfasst ein Diaphragma auf dessen Oberseite und Unterseite jeweils ein Paar von Dehnungsmessstreifen angeordnet ist. Die beiden Paare von Dehnungsmessstreifen befinden sich in im wesentlichen gleicher radialer Position am Diaphragma und vorzugsweise in der Naehe des Zentrums oder in der Naehe des aeusseren Rands des Diaphragmas. Die Sensoren koennen in einer Wheatstone-Bruecke verbunden sein, um an das Diaphragma angelegte Druecke zu messen, die zu einer leichten Biegung des Diaphragmas fuehren. Die Biegung erwirkt bei den beiden Paaren von Messstreifen Druck- und Zugspannungen unter Veraenderung ihrer elektrischen Eigenschaften. Die elektrischen Eigenschaften veraendern sich normalerweise in nicht-linearer Form. Die Unlinearitaet fuer die Paare von Dehnungsmessstreifen auf der Oberseite und der Unterseite sind jedoch von entgegengesetztem Vorzeichen und von gleicher Groessenordnung, so dass sie sich gegenseitig aufheben und eine genaue Druckmessung ermoeglichen.

Description

Hierzu 9 Seiten Zeichnungen

Anwendungsgebiet der Erfindung

Die Erfindung betrifft einen doppelseitigen Drucksensor. Die Anwendung der vorliegenden Erfindung erfolgt auf dem Gebiet der Druckmessung.

Charakteristik des bekannten Stands der Technik

Differential-Durckmeßwertwandler werden unter Verwendung einer Vielzahl von Sensorvorrichtungen gebaut. Zwei der derzeit gebräuchlichsten Sensorarten sind kapazitive Sensoren und an Trägern angebrachte Dehnungsmeßstreifen-Sensoren. Kapazitive Sensoren umfassen drei Diaphragmen 2,4 und 6, wie in Fig. 1 gezeigt. Die Diaphragmen 2 und 8 werden Drücken P, und P₂ ausgesetzt, während dies beim Diaphragma 4 im Zentrum nicht der Fall ist. Die Volumina 8 und 10 zwischen diesen Diaphragmen sind mit einem elektrischen fluiden Medium gefüllt. Infolgedessen ergeben sich zwei variable Kondensatoren, die elektronisch unter Bildung eines zuverlässigen und genauen Sensors verbunden werden können. Ein Problem bei einem derartigen Sensor besteht darin, daß es schwierig ist, die Ansprüche in bezug auf die Genauigkeit ebenso gut wie andere Anforderungen zu erfüllen. Auch statische Druckeffekte können Schwierigkeiten bereiten (vgl. SAMA-Standard PMC 31.1). Der in Fig. 2 gezeigte Dehnungsmeßstreifen-Balkensensor repräsentiert eine weitere übliche Technologie für differentielle Druckabtastung. Dabei ist ein Balken 12 vorgesehen, der mit einem Druckaufnahmediaphragma 14 gekoppelt ist. Das Diaphragma überträgt die durch den Druck P₁-P₂ erzeugte Kraft auf den Balken 12. Diese Kraft wird sodann in eine Spannung umgewandelt, die durch einen Dehnungsmeßstreifen 16 gemessen wird. Üblicherweise befindet sich dieser Dehnungsmeßstreifen-Sensor an dem Balken in einer Wheatstone-Brückenanordnung, um eine Hälfte der Brücke einer Druckspannung und die andere Hälfte einer Zugspannung auszusetzen. Die üblicherweise bei diesem Sensortyp auftretenden Probleme bestehen in der sehr schwierigen und kostspieligen Herstellung.

Ein weiterer Sensortyp, der selten für differentielle Druckmessungen angewandt wird, ist ein Sensor mit flachem Diaphragma. Dieser Sensor besteht im wesentlichen aus einer flachen, kreisförmigen Platte, die am äußeren Umfang sicher befestigt ist. Die Sensorvorrichtung besteht aus einer Art von spannungsempfindlichem Element, das mit dem Diaphragma verbunden werden kann. Dieser Sensortyp ist bekannt und wird üblicherweise verwendet, um Überdrücke oder absolute Drücke abzutasten, wenn es um die Messung hoher Drücke im allgemeinen über7000kPa (lOOOpsi) geht, (vgl. US-PSen 3341 794,3456226 und 3505634).

Sensoren zur Messung von Überdrücken oder absoluten Drücken messen häufig einen wesentlich höheren Druckbereich als differentielle Drucksensoren. Aufgrund der physikalischen Eigenschaften eines flachen Diaphragmas entwickeln sich große Membranspannungen, da das Material beim Anlegen von Druck mehr einer Dehnung als einer Biegung unterliegt. Dies bewirkt ein stärker nicht-lineares Verhalten, wenn die Verschiebung in bezug zur Dicke des Diaphragmas zunimmt. Erreicht dieses Verschiebungs-Dicken-Verhältnis „K" (als K-Faktor bezeichnet) etwa den Wert 0,1, so wird der Sensor zu stark nicht-linear, als daß sich ohne lineare Kompensation ein akzeptables Verhalten ergäbe. Der Grund dafür, daß dieser Weg nur bei hohen Drücken beschritten wird, besteht darin, daß bei niedrigeren Meßdrücken die Spannungen im Diaphragma auf einer bestimmten Höhe gehalten werden müssen, um einen angemessenen Ausgang zu erzielen. Dies kann nur erreicht werden, indem man

1. die Dicke des Diaphragmas verringert; oder

2. den Radius des Diaphragmas erhöht.

Beide Maßnahmen bewirken eine Erhöhung des K-Faktors des Diaphragmas. Infolgedessen ergeben sich bei einem derartigen Sensor starke Unlinearitäten, wenn er für niedrigere Druckbereiche eingesetzt wird.

Die gebräuchlichste Anordnung für einen flachen Diaphragmasensor besteht, wie in Fig. 3 gezeigt, darin, vier Dehnungsmeßstreifen 20 auf einer Seite des Diaphragmas 22 anzubringen, um eine Reaktion gegenüber radialen Druckspannungen im Zentrum und gegenüber tangentialen Zugspannungen am äußeren Rand des Diaphragmas zu erreichen. Die Dehnungsmeßstreifen werden in einer Wheatstone-Brückenanordnung so miteinander verbunden, daß benachbarte

Schenkel der Brücke Spannungen von entgegengesetztem Vorzeichen abtasten, was zu einem additiven Effekt des Meßwertwandlerausgangs führt. Die Schwierigkeit bei dieser Anordnung besteht darin, daß die am äußeren Rand angeordneten Meßstreifen anderen Unlinearitäten als die im Zentrum befindlichen Meßstreifen unterliegen. Diese Unlinearitäten weisen entgegengesetzte Vorzeichen und unterschiedliche Größenordnungen auf, was zu einem nicht-linearen Ausgang der Brücke in Abhängigkeit vom K-Faktor führt.

In letzter Zeit haben keramische Diaphragmen mit durch Siebdruck und Brennen hergestellten Dickfilmwiderständen zunehmendes Interesse als Druckmeßwertwandler gefunden (vgl. US-PS 4311 980). Diese Keramik-Dickfilm-Meßwertwandler wurden auf sehr ähnliche Weise wie die früheren Meßwertwandler konstruiert, wobei die Widerstände in einer Wheatstone-Brückenkonfiguration angeordnet sind. Wird der Sensor für einen geringeren Druckbereich verwendet, so muß wie bei Metalloder Siliciumdiaphragmen der K-Faktor erhöht werden, um einen angemessenen Ausgang zu erzielen, wodurch sich eine Unlinearität ergibt.

Dickfilmwiderstände verändern ihren Widerstandswert in Abhängigkeit von der über der Fläche des Widerstands vorliegenden durchschnittlichen Spannung. Im Gegensatz zu Dünnfilm-Meßwertstreifen oder verklebten Folien-Meßwertstreifen sind Dickfilm-Meßwertstreifen gegenüber senkrechten Spannungen empfindlich. Dies ist die Spannung, die in Z-Richtung senkrecht auf die Oberfläche des Diaphragmas wirkt. Diese erhebliche Spannungsempfindlichkeit in senkrechter Richtung ruft zusätzliche Schwierigkeiten für Dickfilmsensoren bei differentieller Anwendung hervor. Werden die Meßstreifen auf ähnliche Weise wie Dünnfilm-Meßstreifen mit zwei Streifen im Zentrum und zwei Streifen am äußeren Rand angeordnet, um den maximalen Ausgang des Sensors zu erzielen, so variiert die senkrechte Spannung je nach der Seite des Sensors, die dem Druck ausgesetzt wird. Liegt der Druckbereich um 0 herum, so ist der resultierende Ausgang erheblich größer, wenn der Druck auf die Seite des Sensors, an dem die Meßstreifen angebracht sind, angelegt wird. Geht der Druck auf die andere Seite des Sensors über, so sinkt der Ausgang und wird stark unlinear (Fig.4 zeigt dieses Ergebnis in einem Diagramm).

Einer der Vorteile der Verwendung einer Wheatstone-Brückenschaltung besteht darin, daß sich sämtliche gleichen Effekte gegenseitig auslöschen und daher den Ausgang nicht beeinflussen. Stimmen jedoch die Spannungsempfindlichkeiten in senkrechter Richtung zwischen den einzelnen Meßstreifen nicht überein, so sind die Effekte untereinander nicht gleich, so daß der Sensor schlecht funktioniert. Um diese Schwierigkeit, die bei allen auf einer Seite des Sensors befindlichen Meßstreifen auftritt zu überwinden, muß der Hersteller versuchen, in irgendeiner Weise die Empfindlichkeit in senkrechter Richtung zu kontrollieren.

Ziel der Erfindung

Ziel der Erfindung ist es, einen neuen Drucksensor bereitzustellen.

Darlegung des Wesens der Erfindung

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor bereitzustellen, der weitgehend vom K-Faktor unabhängig ist. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch einen Drucksensor gelöst, der gekennzeichnet ist durch

- ein Diaphragma mit einer Ober- und Unterseite, die dem zu messenden Druck ausgesetzt werden;

- ein erstes Paar von Dehnungsmeßstreifen, das an der Oberseite an einer ausgewählten radialen Position des Drucksensors ist; und

- ein zweites Paar von Dehnungsmeßstreifen, das an der Unterseite im wesentlichen an der ausgewählten radialen Position angebracht ist, wobei die nicht-linearen Reaktionen des ersten und zweiten Paares von Dehnungsmeßstreifen von entgegengesetztem Vorzeichen und von im wesentlichen gleicher Größenordnung sind, wenn das Diaphragma einem Druck ausgesetzt wird.

Somit weist der erfindungsgemäße Drucksensor ein scheibenförmiges Diaphragma mit einer Ober- und Unterseite auf. Dehnungsmeßstreifen sind sowohl an der Ober- als auch an der Unterseite der Scheibe angebracht. Dabei kann es sich um Dehnungsmeßstreifen beliebiger bekannter Typen handeln, beispielsweise um Dünnfilm-Dehnungsmeßstreifen, Dehnungsmeßstreifen auf der Basis verklebter Folien, halbleitende Dehnungsmeßstreifen und Dickfilm-Dehnungsmeßstreifen. Eine geeignete Schaltung, z. B. eine Wheatstone-Brückenanordnung, ist mit den Dehnungsmeßstreifen verbunden. Die Dehnungsmeßstreifen an der Ober- und Unterseite sind im wesentlichen an dergleichen radialen Position angeordnet, entweder nahe am Zentrum der Scheibe oder nahe am äußeren Rand der Scheibe. Auf diese Weise werden die beiden Sätze von Meßstreifen nicht-linearen Bedingungen von entgegengesetztem Vorzeichen aber nicht praktisch gleicher Größenordnung ausgesetzt. Somit gleichen sich die Unlinearitäten in der Brücke untereinander aus.

Ausführungsbeispiele

Nachstehend wird der Stand der Technik und die Erfindung anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Gleiche Bezugszeichen beziehen sich dabei jeweils auf gleiche Teile

Es zeigen:

Fig. 1: eine schematische Darstellung eines herkömmlichen kapazitiven Sensors mit drei Diaphragmen; Fig. 2: eine schematische Ansicht eines herkömmlichen Dehnungsmeßstreifen-Balkensensors; Fig. 3: eine Draufsicht eines herkömmlichen flachen Diaphragmasensors mit in einer Brücke verbundenen und auf einer Seite

des Diaphragmas aufgebrachten Dehnungsmeßstreifen; Fig. 4: ein Diagramm, bei dem für einen auf ein Diaphragma aufgebrachten Dickfilm-Meßstreifen Eingang und Ausgang gegeneinander aufgetragen sind, um die nicht-lineare Reaktion eines derartigen Meßstreifens zu zeigen;

Fig 5 ein Diagramm, bei dem fur ein flaches Diaphragma die prozentualen Radien gegen die prozentualen Abweichungen des Meßbereichs aufgetragen sind, um die ntcht-linearen Eigenschaften sowohl fur die tangentiale als auch fur die

radiale Spannung zu zeigen, Fig 6 ein Diagramm, bei dem fur ein flaches Diaphragma die prozentualen Radien gegen Mikrospannungen aufgetragen sind, um die Spannungsverteilung sowohl fur die radiale als auch die tangentiale Spannung auf der Ober- und auf der

Unterseite des Diaphragmaszu zeigen, Fig 7 ein Diagramm, bei dem fur einen einseitigen Meßstreifen der prozentuale Meßbereich gegen die Abweichungen aufgetragen sind, um die UnIi neantat eines flachen Diaphragmasensors zu zeigen, wobei die Meßstreifen entweder

zentral oder in der Nahe des äußeren Umfangs des Sensors angeordnet sind, Fig 8 a einen seitlichen Aufriß eines erfmdungsgemaßen Drucksensors mit Meßstreifen in der Nahe des zentralen Bereichs

eines Diaphragmas und zwar sowohl auf der Ober- als auch auf der Unterseite des Diaphragmas, Fig 8 b eine Draufsicht des Diaphragmas von Fig 8 a, Fig 8c einen Grundriß des Diaphragmas von Fig 8a, Fig 9 ein Diagramm, bei dem fur den Drucksensor von Fig 8 a-8 с der prozentuale Meßbereich gegen die Abweichungen

aufgetragen ist, Fig 10a einen seitlichen Aufriß eines erfindungsgemaßen Drucksensors mit einem Diaphragma, bei dem Dehnungsmeßstreifen auf der Ober- und Unterseite und zwar jeweils in der Nahe des äußeren peripheren Bereichs aufgebracht sind,

Fig 10 b eine Draufsicht des Drucksensors von Fig 10 a, Fig 10c einen Grundriß des Sensors von Fig 10a, und Fig 11 ein Diagramm, bei dem fur die Ausfuhrungsform von Fig 10a-1 Oc der prozentuale Meßbereich gegen die Abweichungen aufgetragen ist

Die in den Figuren 8a-8c und 10a-10c gezeigten Ausfuhrungsformen umfassen einen Drucksensor mit einem Diaphragma mit einer Ober- und einer Unterseite Paare von Dehnungsmeßstreifen sind sowohl auf der Oberseite als auch auf der Unterseite in im wesentlichen der gleichen radialen Position auf dem Diaphragma angeordnet Durch Verbinden der beiden Meßstreifenpaare zu einer Brücke laßt sich eine exakte Druckmessung durchfuhren, da nicht-lineare Reaktionen auf der Ober- und Unterseite des Diaphragmas von gleicher Größenordnung und entgegengesetzten Vorzeichen sind Die erste zu losende Schwierigkeit besteht darin, daß ein flacher Diaphragmasensor, der eine realistische Möglichkeit zum Messen von Differentia !drucken im mittleren oder niedrigen Bereich darstellen soll, die physikalische Eigenschaft einer hohen Unhnearitat besitzt, die auftritt, wenn der K-Faktor zu hoch ist Da ein vorbestimmter Ausgang erreicht werden muß, und die mechanischen Abmessungen des Sensors nur innerhalb bestimmter Grenzen, die von der Linearität und von den Ausgangserfordernissen abhangen, verändert werden konnen, war eine andere Losung des Problems, die unabhängig von den mechanischen Abmessungen ist, erforderlich

Die erste Stufe zur Losung dieses Problems bestand in der genauen Bestimmung der Ursache, warum ein flacher Diaphragmasensor mit einer auf einer Seite aufgebrachten Wheatstone-Bruckenschaltung eine Unhnearitat aufweist Dabei wurde festgestellt, daß die radiale und tangentiale Unhnearitat mit der Spannung an einem beliebigen gegebenen Punkt zusammenhangt Infolgedessen ist das erhaltene Diagramm dem Spannungsverteilungsdiagramm fur das Diaphragma sehr ähnlich (vgl. Fig. 5 und 6) In Fig 5 ist festzustellen, daß die extremen radialen Unlmearitaten von 50% bis 70% des Radius auf Rechenfehlern beruhen, die durch sehr geringe Spannungen in diesem Bereich hervorgerufen werden Aufgrund dieser Eigenschaft unterliegen die radialen Meßstreifen anderen Unlmearitaten als dietangentialen Meßstreifen Werden diese Meßstreifen in einer Wheatstone-Bruckenanordnung angebracht, so addieren sich diese Werte Da die Meßstreifen unterschiedliche Werte der Unhnearitat aufweisen, kombinieren sich diese Werte zu einem Gesamtwert, der je nach dem K-Faktor von erheblichem Gewicht werden kann (vgl. Fig. 7).

Das Ziel der Erfindung besteht in der Bereitstellung eines Sensors, der weitgehend unabhängig vom K-Faktor ist Um dieses Ziel zu erreichen, müssen die Unlmearitaten der einzelnen Meßstreifen von entgegengesetztem Vorzeichen, aber von praktisch gleicher Größenordnung sein. Bei einer weiteren Unhnearitatsanalyse wurde festgestellt, daß die Spannungen von oben nach unten eine ähnliche Größenordnung aber entgegengesetzte Vorzeichen aufweisen Dies ist genau die Situation, die die beiden vorstehend erwähnten Kriterien erfüllt

Dies fuhrt zu einer neuen Anordnung fur die Dehnungsmeßstreifen auf einem flachen Diaphragmasensor Wenn eine Hälfte der Wheatstone-Brucke im Zentrum des Diaphragmas und die andere Hälfte auf der Gegenseite in der gleichen radialen Position angebracht werden, unterliegen zwei der Meßstreifen einer Druckspannung und zwei einer Zugspannung Besonders vorteilhafte Positionen fur diese Meßstreifen sind in der Nahe des Zentrums oder am äußeren Rand des Diaphragmas Da die durchschnittliche Spannung im Zentrum großer ist, wird der Ausgang des Sensors großer Befinden sich die Meßstreifen in der Nahe des äußeren Durchmessers, sind sie bestandiger gegen Rauschen Diese Anordnung eines flachen Diaphragmasensors mit einer Wheatstone-Brucke kann mit einer Vielzahl von unterschiedlichen spannungsempfindhchen Elementen realisiert werden, d h mit Dunnfilm-Dehnungsmeßstreifen, Dehnungsmeßstreifen auf der Basis verklebter Folien, Halbleitermeßstreifen und Dickfilm-Meßstreifen

Wie in den Figuren 8 a-8c gezeigt, weist ein Diaphragma 10 eine Oberseite 12 auf, die ein erstes Paar von Dehnungsmeßstreifen 14tragt DieUnterseite 16der Scheibe 10tragt ein zweites Paar von Dehnungsmeßstreifen 18 Die Dehnungsmeßstreifen 14 und 18 konnen mit einer Wheatstone-Brucke unter Bildung eines Differential-Druckmeßwertwandlers verbunden werden

Fig 9 zeigt, wie sich die nicht-linearen Reaktionen der oberen und unteren Meßwertstreifen gegenseitig aufheben, wobei ein im wesentlichen linearer Ausgangswert erzielt wird Die Dehnungsmeßstreifen 14 und 18 sind in der Nahe des zentralen Bereichs auf der Ober- und Unterseite der Scheibe 10 in im wesentlichen gleicher radialer Position auf der Scheibe angebracht Die Figuren 10 a—10c zeigen eine weitere Ausfuhrungsform der Erfindung, beider auf der Oberseite 22 einer Scheibe 20 ein erstes Paar von Dehnungsmeßstreifen 24 in der Nahe des äußeren Rands der Scheibe angeordnet ist Auf entsprechende Weise ist ein zweites Paar von Dehnungsmeßstreifen 28 auf der Unterseite 26 der Scheibe 20 in der gleichen radialen Position wie die oberen Meßstreifen 24 vorgesehen

Fig 11 zeigt, daß sich die mcht-linearen Eigenschaften aeroberen und unteren Dehnungsmeßstreifen gegenseitig aufheben Die gesamte Widerstandsveranderung fur einen die Dehnungsmeßstreifen bildenden Widerstand ergibt sich aus folgender Gleichung

dR/R = C_xE_x + C_vE_y + C_ZE_Z + E_x - E_y - Е_г

wobei C_x, Cy und C₂ Koeffizienten des spezifischen Widerstands fur Spannungen in longitudinaler Richtung, Querrichtung und senkrechter Richtung des Widerstands sind, und E_x, E_y und E_z die Spannungen in longitudinaler Richtung, Querrichtung und senkrechter Richtung zum Widerstand darstellen Da der Koeffizient des spezifischen Widerstands fur die Spannung d in senkrechter Richtung erheblich ist, ergibt ein flacher Diaphragmasensor, bei dem samtliche Dehnungsmeßstreifen auf einer Seite angeordnet sind, je nach der Seite, auf der das Diaphragma mit Druck beaufschlagt wird, einen unterschiedlichen Ausgang, wenn nicht die Spannungsempfindhchkeit in senkrechter Richtung kontrolliert wird Die zweite vorerwähnte Schwierigkeit, die beim Stand der Technik auftritt, ist die Spannungsempfindlichkeit von Dickfilm-Meßstreifen in senkrechter Richtung Diese Eigenschaft erschwert die Verwendung von keramischen Dickfilm-Diaphragmasensoren fur differentielle Anwendungszwecke. Die hier vorgeschlagene doppelseitige Wheatstone-Brucke reduziert diese Schwierigkeit aufgrund der gegebenen Symmetrie auf ein Minimum. Wenn der gemessene Druckbereich um den Nullbereich herum hegt, stellt die Spannungsempfindhchkeit in senkrechter Richtung keine Schwierigkeit dar, da immer eine Hälfte der Brücke dem direkten Druck ausgesetzt wird Daher ist eine strenge Kontrolle der Empfindlichkeit in senkrechter Richtung nicht mehr erforderlich.

Der wichtigste Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung besteht darm, daß die Linearität des flachen Diaphragmasensors unabhängig vom Verzerrungs-Dicken-Verhaltms (dem K-Faktor) ist. Dies bedeutet fur den Konstrukteur eines Differential-Druckmeßgerats, daß er die Spannungen auf die entsprechende Hohe, wie sie fur einen geeigneten Ausgang erforderlich sind, durch Veränderung der physikalischen Abmessungen des flachen Diaphragmas ohne Beeinträchtigung der Liniearitat des Sensors anheben kann. Daraus ergibt sich direkt, daß ein flacher Diaphragmasensor, der billiger und einfacher in der Herstellung ist, fur sämtliche Druckbereiche vom Zugbereich über einen Mittelbereich zu hohen Bereichen verwendet werden kann. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die hohe Empfindlichkeit von Dickfilmwiderstanden gegen Spannungen in senkrechter Richtung keine ünearitatsprobleme hervorruft, wenn der gemessene Druckbereich den Nullbereich einschließt Dies ermöglicht die Verwendung von keramischen Dickfilmsensoren fur differentielle Anwendungszwecke, wo sie wesentlich billiger und zuverlässiger als andere Sensoren sind.

Claims

1. Doppelseitiger Drucksensor, gekennzeichnet durch

- ein Diaphragma mit einer Ober-und Unterseite, die dem zu messenden Druck ausgesetzt werden;

- ein erstes Paar von Dehnungsmeßstreifen, das an der Oberseite an einer ausgewählten radialen Position des Diaphragmas angebracht ist; und

2. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß sich die radiale Position in der Nähe eines Zentrums des Diaphragmas befindet.

3. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß sich die ausgewählte radiale Position nahe am äußeren Umfang des Diaphragmas befindet.

4. Drucksensor nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß das erste und das zweite Paar von Dehnungsmeßstreifen im wesentlichen gleiche Flächen auf der Ober- und Unterseite einnehmen.