DD247751A1

DD247751A1 - ARRANGEMENT FOR IDENTIFYING THE COMPENSATION POSITION IN TRANSMISSION DIFFERENCE MEASUREMENTS

Info

Publication number: DD247751A1
Application number: DD28786586A
Authority: DD
Inventors: Guenter Schoeppe; Rainer Danz; Reed Werlich
Original assignee: Zeiss Jena Veb Carl
Priority date: 1986-03-14
Filing date: 1986-03-14
Publication date: 1987-07-15
Also published as: DE3643846A1

Abstract

Anordnung zur Kennzeichnung der Kompensationsstellung bei Gangunterschiedsmessungen, die als Zusatzeinheit wahlweise in Polarisations- oder in mit natuerlichem Licht arbeitenden Zweistrahlinterferenzmessanordnungen einsetzbar ist. Das Ziel und die Aufgabe der Erfindung ist es, zu gewaehrleisten, dass die mit den in den Messanordnungen vorhandenen oder wahlweise einsetzbaren Kompensatoren vornehmbare Einstellung, bei der der Gangunterschied des Objektes kompensiert ist, objektiv mit hoher Empfindlichkeit angezeigt wird. Das Bild darf nicht durch zusaetzliche Strukturen gestoert werden. Der technisch-oekonomische Aufwand ist gering zu halten. Die Aufgabe loest eine Anordnung nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 erfindungsgemaess durch die Merkmale des kennzeichnenden Teiles des Anspruches 1. Wesentlich ist dabei, dass ausser den ueblicherweise vorhandenen Messkompensatoren ein weiterer Messkompensator in den Strahlengang eingefuegt wird, der den gesamten Strahlenquerschnitt hinreichend einheitlich beeinflusst und den wirksamen Gangunterschied D stetig und periodisch bei einer festen Frequenz um l/8Dl/4 aendert. Weiterhin ist eine den Anteil der mit der Frequenz der den Messkompensator antreibenden Spannung uebereinstimmende, vom Empfaenger abgegebene Signalspannung anzeigende, Anzeigeeinrichtung vorgesehen.Arrangement for characterizing the compensation position for retardation measurements, which can be used as an optional unit in polarization or in natural light operating two-beam interference measurement. The aim and the object of the invention is to ensure that the presettable setting in which the path difference of the object is compensated with the compensators present or optionally usable in the measuring arrangements is objectively displayed with high sensitivity. The picture must not be disturbed by additional structures. The technical-economic effort is to be kept low. The object is achieved by an arrangement according to the preamble of claim 1 according to the invention by the features of the characterizing part of claim 1. It is essential that in addition to the usual existing Meßkompensatoren another Meßkompensator is inserted into the beam path, which affects the entire beam cross section sufficiently uniform and effective retardation D continuously and periodically at a fixed frequency by l / 8Dl / 4 changes. Furthermore, a proportion of the display device, which corresponds to the frequency of the voltage driving the measuring compensator and which indicates the signal voltage emitted by the receiver, is provided.

Description

Hierzu 2 Seiten ZeichnungenFor this 2 pages drawings

Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Kennzeichnung der Kompensationsstellung bei Gangunterschiedsmessungen, die als Zusatzeinheit wahlweise in Polarisations- oder in mit natürlichem Licht arbeitenden Zweistrahlinterferenzmeßanordnungen, vorzugsweise in Polarisations- oder Interferenzmikroskopen, einsetzbar ist. Sie gestattet es, die mit den besagten Meßanordnungen vornehmbare Einstellung, bei der der Gangunterschied des gemessenen Objektes kompensiert ist, objektiv mit hoher Empfindlichkeit anzuzeigen, ohne daß zusätzliche Strukturen das Bild stören.The invention relates to an arrangement for characterizing the compensation position in path difference measurements, which can be used as an optional unit in either polarization or in working with natural light Zweistrahlinterferenzmeßanordnungen, preferably in polarization or interference microscopes. It makes it possible to objectively display with high sensitivity the adjustment which can be made with said measuring arrangements, in which the path difference of the measured object is compensated, without additional structures disturbing the image.

Angewendet wird die Erfindung in besagten Meßanordnungen in der Mineralogie, Petrografie, Erzmikroskopie, Chemie, Biologie, Medizin und anderen Gebieten.The invention is applied in said measuring arrangements in mineralogy, petrography, ore microscopy, chemistry, biology, medicine and other fields.

Bekannt ist eine Lösung, bei der eine geeignet strukturierte Platte in der Zwischenbildebene eines Interferenz- oder Polarisationsmikroskopes schwingend bewegt wird (DD-WP 140674). Diese Anordnung erfordert eine sehr genaue Justierung der Struktur gegenüber der Meßfeldblende. Ein weiterer Nachteil dieser Anordnung ist, daß das Mikroskop mit einer zusätzlichen Zwischenbildebene ausgebildet werden muß.A solution is known in which a suitably structured plate is oscillated in the intermediate image plane of an interference or polarization microscope (DD-WP 140674). This arrangement requires a very accurate adjustment of the structure with respect to the Meßfeldblende. Another disadvantage of this arrangement is that the microscope must be formed with an additional intermediate image plane.

In der praktischen Anwendung hat die zusätzliche Struktur der Platte, die der Objektstruktur überlagert wird, oft verwirrend gewirkt, so daß diese Anordnung sich für Routineanwendungen nicht voll durchsetzen konnte.In practical application, the additional structure of the disk, which is superimposed on the object structure, has often had a confusing effect, so that this arrangement could not fully assert itself for routine applications.

Bekannt ist weiterhin eine Lösung, bei der routiert der Analysator des Senarmont-Kompensators mit einer vorgegebenen Drehzahl und Phasenlage im Strahlengang eines polarisationsoptischen Interferenzmikroskopes. Der derart realisierte Polarisationsmodulator moduliert die Phasenlage des Strahlenweges um ±λ/2. Aus dem Verlauf der daraus abgeleiteten Signale wird der Zeitpunkt der Kompensation des Objektgangunterschiedes relativ zur Phasenlage der den Analysator antreibenden Spannung bestimmt (Lommakka, Aeta Histochemika Suppl. Vl, 1965). Der Nachteil dieser Lösung ist, daß, bedingt durch die auftretenden Gleichlauffehler des Analysators, nur mit hohem Aufwand an mechanischen und elektronischen Bauelementen befriedigende Meßgenauigkeiten erreicht werden.Also known is a solution in which routed the analyzer of the Senarmont compensator with a predetermined speed and phase in the beam path of a polarization-optical interference microscope. The thus implemented polarization modulator modulates the phase angle of the beam path by ± λ / 2. From the course of the signals derived therefrom, the time of compensation of the object-path difference relative to the phase position of the voltage driving the analyzer is determined (Lommakka, Aeta Histochemika Suppl. Vl, 1965). The disadvantage of this solution is that, due to the occurring synchronization error of the analyzer, satisfactory measurement accuracy can only be achieved with a high expenditure of mechanical and electronic components.

Diese Lösung ist auch an ein spezielles polarisationsoptisches Interferenzmikroskop gebunden.This solution is also bound to a special polarization-optical interference microscope.

Bekannt ist auch ein Verfahren und Anordnung (DE-AS 2851750), bei der die Proportionalität der den Polarisationsmodulator antreibende Spannung zum kompensierten Gangunterschied ausgenutzt wird. Der Nachteil dieser Lösung ist ein hoher Aufwand an technischen Mitteln zur Beseitigung des auftretenden Gleichlauffehlers und die Bindung an ein polarisationsoptisches Interferometer.Also known is a method and arrangement (DE-AS 2851750), in which the proportionality of the voltage driving the polarization modulator to the compensated path difference is utilized. The disadvantage of this solution is a high expenditure on technical means for the elimination of the occurring synchronization error and the binding to a polarization-optical interferometer.

Object of the invention

Das Ziel der Erfindung ist eine Anordnung zur Kennzeichnung der Kompensationsstellung bei Gangunterschiedsmessungen, die als Zusatzeinheit wahlweise in Polarisations- oder in mit natürlichem Licht arbeitenden Zweistrahlinterferenzmeßanordnungen, vorzugsweise in Polarisations- oder Interferenzmikroskopen, einsetzbar ist. Diese Anordnung muß gewährleisten, daß die mit den in den Meßanordnungen oder wahlweise vorhandenen einsetzbaren Kompensatoren vomehmbaren.Einstellungen, bei der der Gangunterschied des Objektes kompensiert ist, objektiv mit hoher Empfindlichkeit angezeigt wird. Das Bild darf nicht durch zusätzliche Strukturen gestört werden. Der technisch-ökonomische Aufwand ist gering zu halten.The object of the invention is an arrangement for characterizing the compensation position in retardation measurements, which can be used as an optional unit in either polarization or in natural light operating two-beam interference measurement, preferably in polarization or interference microscopes. This arrangement must ensure that the settings acceptable in the measuring arrangements or optionally usable compensators, in which the path difference of the object is compensated, are objectively displayed with high sensitivity. The picture must not be disturbed by additional structures. The technical and economic effort is to be kept low.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung zur Kennzeichnung der Kompensationsstellung bei Gangunterschiedmessungen zu schaffen, die als Zusatzeinheit wahlweise in Polarisations- oder in mit natürlichem Licht arbeitenden Zweistrahlinterferenzmeßanordnungen, vorzugsweise in Polarisations- oder Interferenzmikroskopen, einsetzbar ist und die es gestattet, die mit der besagten Meßanordnung vornehmbare Einstellung, bei der der Gangunterschied des gemessenen Objektes kompensiert ist, objektiv mit hoher Empfindlichkeit anzuzeigen, ohne daß zusätzliche Strukturen das Bild stören.The invention has for its object to provide an arrangement for characterizing the compensation position in retardation measurements, which can be used as an optional unit in polarization or in working with natural light Zweistrahlinterferenzmeßanordnungen, preferably in polarization or interference microscopes, and which allows the with the said measuring arrangement vornehmliche setting in which the path difference of the measured object is compensated to display objectively with high sensitivity, without additional structures disturbing the image.

Die Aufgabe wird mit einer Anordnung zur Kennzeichnung der Kompensationsstellung bei Gangunterschiedsmessungen nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teiles des Anspruches 1 gelöst. Bevorzugte Ausführungen sind in den Unteransprüchen 2 bis 7 beschrieben.The object is achieved with an arrangement for identifying the compensation position at retardation measurements according to the preamble of claim 1 according to the invention by the features of the characterizing part of claim 1. Preferred embodiments are described in the subclaims 2 to 7.

Außer den üblicherweise vorhandenen Meßkompensatoren wird ein weiterer Meßkompensator vorzugsweise ein aus transparenten keilförmigen Teilen bestehender, den gesamten Strahlenquerschnitt hinreichend einheitlich beeinflussender, den wirksamen Gangunterschied Δ mit an sich bekannten elektrischen Mitteln stetig und periodisch bei einer festen Frequenz um ± λ/8 < Δ < λ/4 ändernden Kompensator, in den Strahlengang eingefügt und ist eine den Anteil der mit der Frequenz der den Meßkompensator antreibenden Spannung übereinstimmende, vom Empfänger abgegebenen Signalspannung anzeigende Anzeigeeinrichtung vorgesehen.In addition to the usually existing Meßkompensatoren another Meßkompensator is preferably made of transparent wedge-shaped parts, the entire beam cross-section sufficiently uniformly influencing the effective path difference Δ with per se known electrical means steadily and periodically at a fixed frequency by ± λ / 8 <Δ <λ / 4 changing compensator, inserted into the beam path and is provided a proportion of the frequency corresponding to the voltage of the measuring compensator driving voltage corresponding, output from the receiver signal voltage indicating device.

Bei Anwendung der erfindungsgemäßen Anordnung in einer Polarisationsmeßanordnung, zum Beispiel einem Polarisationsmikroskop, ist der zusätzliche Meßkompensator vorzugsweise zwischen dem Polarisator und dem Kondensor angeordnet, bei Verwendung des Auflichtverfahrens an einer entsprechenden Stelle, zum Beispiel in einem Illuminator. Die optisch wirksamen Elemente des Meßkompensators, die Keile und die planparallele Platte bestehen aus anisotropen Material. Der Meßkompensator enthält entsprechende Halterungen für die optisch-wirksamen Elemente. Die Halterungen sind so gestaltet und angeordnet, daß ein optisch-wirksames Element, ein Keil, gegenüber den anderen optisch-wirksamen Elementen in periodische Schwingungen versetzt werden kann, die in einer Ebene senkrecht zur Achse der Meßanordnung verlaufen. Die Schwingungen werden vorteilhafterweise von einem in den Meßkompensator integrierten Antriebssystem erzeugt. Bei Nutzung der erfindungsgemäßen Anordnung in einer mit natürlichem Licht arbeitenden Zweistrahlinterferenzmeßanordnung, zum Beispiel einem Interferenzmikroskop nach dem Interphako-Prinzip ist der zusätzliche Meßkompensator zwischen dem Strahlteiler und dem Strahlvereiniger als Interferometers angeordnet. Dieser Meßkompensator besteht aus zwei Keilen, vorzugsweise isotropen Materials, und einem Antriebssystem. In jedem der beiden Wege des Interferometers «t jeweils ein Keil angeordnet. Einer der beiden Keile steht mit dem Antriebssystem in Wirkverbindung und wird durch dieses in Schwingungen in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse der Meßanordnung versetzt.When using the arrangement according to the invention in a polarization measuring arrangement, for example a polarizing microscope, the additional measuring compensator is preferably arranged between the polarizer and the condenser, when using the incident light method at a corresponding location, for example in an illuminator. The optically active elements of the Meßkompensators, the wedges and the plane-parallel plate are made of anisotropic material. The Meßkompensator contains appropriate brackets for the optically active elements. The brackets are designed and arranged so that an optically active element, a wedge, can be set in periodic oscillations with respect to the other optically active elements, which run in a plane perpendicular to the axis of the measuring arrangement. The oscillations are advantageously generated by a drive system integrated in the measuring compensator. When using the inventive arrangement in a working with natural light Zweistrahlinterferenzmeßanordnung, for example, an interference microscope according to the interphako principle of the additional Meßkompensator between the beam splitter and the Strahlvereiniger is arranged as an interferometer. This Meßkompensator consists of two wedges, preferably isotropic material, and a drive system. A wedge is arranged in each of the two paths of the interferometer. One of the two wedges is in operative connection with the drive system and is caused by this in vibrations in a plane perpendicular to the optical axis of the measuring arrangement.

embodiment

Die Erfindung wird anhand von nachstehenden Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen in schematischer AnsichtThe invention will be explained in more detail with reference to the following embodiments. It show in schematic view

Figur 1: ein Polarisationsmikroskop mit einer erfindungsgemäßen Anordnung; Figur 2: eine Ausführungsvariante eines Meßkompensators für eine Anordnung nach Figur 1 undFigure 1: a polarizing microscope with an inventive arrangement; 2 shows a variant of a Meßkompensators for an arrangement of Figure 1 and

Figur 3: eine mit natürlichem Licht arbeitende Zweistrahleninterferenzmeßanordnung, nach dem Interphako-Prinzip aufgebaut, mit einer erfindungsgemäßen Anordnung.Figure 3: a working with natural light Zweistrahleninterferenzmeßanordnung, constructed according to the interphako principle, with an inventive arrangement.

In Figur 1 ist in schematischer Darstellung ein Polarisationsmikroskop gezeigt. Entlang der optischen Achse sind nacheinander angeordnet eine Beleuchtungseinrichtung 1,ein Polarisator 2, ein Meßkompensator 28, ein Kondensator 4, ein Objekt 5 auf einem Objekttisch angeordnet, ein Objektiv 6, ein Kompensator?, ein Analysator 8, eine Tubuslinse 9 und ein Umlenkelement 10'. Auf dem Umlenkelement 10' ist eine Meßfeldblende lOangeordnet.FIG. 1 shows a schematic illustration of a polarizing microscope. Along the optical axis are successively arranged a lighting device 1, a polarizer 2, a Meßkompensator 28, a capacitor 4, an object 5 arranged on a stage, an objective 6, a compensator, an analyzer 8, a tube lens 9 and a deflection element 10th '. On the deflecting element 10 'is a Meßfeldblende lOangeordnet.

Weiterhin sind ein Empfänger 11, ein Verstärker 12, ein Gleichrichter 13, eine Anzeigeeinrichtung 14 und ein Generator 15 vorgesehen. Diese Elemente sind in einem aufsetzbaren Tubus 30 angeordnet und in der dargestellten Art untereinander verbunden. In einem weiteren nicht dargestellten Ausführungsbeispiel sind der Empfänger 11 in der Meßanordnung hinter der Meßfeldblende 10 und die Elemente Verstärker 12, Gleichrichter 13, Anzeigeeinrichtung 14 und Generator 15 in einer gesonderten, beistellbaren Einheit angeordnet.Furthermore, a receiver 11, an amplifier 12, a rectifier 13, a display device 14 and a generator 15 are provided. These elements are arranged in an attachable tube 30 and interconnected in the manner shown. In a further embodiment, not shown, the receiver 11 are arranged in the measuring arrangement behind the Meßfeldblende 10 and the elements amplifier 12, rectifier 13, display device 14 and generator 15 in a separate, settable unit.

In Figur 2 ist der Aufbau des Meßkompensators 28 dargestellt. Der Meßkompensator 28 besteht aus einem Joch 18, einer mit dem Joch 18 starr verbundenen Fassung 21 und einer über der Fassung 21 angeordneten Fassung 20, die mittels einem Federelement 22, zum Beispiel einer Blattfeder, und einem piezokeramischen Biegestreifen 19 mit dem Joch 18 verbunden ist. In der Fassung 20 ist ein Keil 3' und in der Fassung 21 sind ein Keil 3" und eine planparallele Platte 3'" angeordnet, sie bilden zusammen einen Keilkompensator3, zum Beispiel einen Soleil-Babinett-Keilkompensator.FIG. 2 shows the structure of the measuring compensator 28. The Meßkompensator 28 consists of a yoke 18, a yoke 18 rigidly connected to the socket 21 and a socket 21 arranged on the socket 20, which is connected by means of a spring element 22, for example, a leaf spring, and a piezoceramic bending strip 19 with the yoke 18 , In the socket 20 is a wedge 3 'and in the socket 21, a wedge 3 "and a plane-parallel plate 3'" arranged, they together form a Keilkompensator3, for example, a Soleil Babinett wedge.

Die Elemente 18,19 und 22 bilden das Antriebssystem 16. Dieses Antriebssystem 16 wird von einem Generator 15 mit Strom versorgt. Bei Anliegen einer Spannung am piezokeramischen Biegestreifen 19 wird die Fassung 20 in Schwingungen versetzt. Der in der Fassung 20 angeordente Keil 3' wird dadurch in einer Ebene senkrecht zur optischen Achse des Polarisationsmikroskopes gegenüber dem/eststehenden Keil 3" periodisch verschoben.The elements 18, 19 and 22 form the drive system 16. This drive system 16 is supplied with power by a generator 15. When a voltage on the piezoceramic bending strip 19 is applied, the socket 20 is set in vibration. The angeordente in the version 20 wedge 3 'is thereby periodically shifted in a plane perpendicular to the optical axis of the polarizing microscope with respect to the / or existing wedge 3 ".

Sind die Polare des Polarisator 2 und des Analysator 8 gekreuzt, der Kompensator 7 in O-Stellung und der Keilkompensator 3 in Ruhelage, so ist das Sehfeld des Polarisationsmikroskopes ohne doppelbrechendes Objekt im Okular 17 dunkel. Schwingt der Keil 3' des Keilkompensators 3, so tritt bei jeder Auslenkung aus der Ruhelage eine Aufhellung des Sehfeldes auf. Das Licht ist mit der doppelten Frequenz der Schwingung des Keiles 3' moduliert. Das Bild des Objektes 5 ist bei Auslenkung des Keiles 3' in eine Richtung aufgehellt und bei Auslenkung in entgegengesetzter Richtung abgedunkelt.Are the polar of the polarizer 2 and the analyzer 8 crossed, the compensator 7 in the O position and the wedge 3 in rest position, the field of view of the polarizing microscope without birefringent object in the eyepiece 17 is dark. If the wedge 3 'of the wedge compensator 3 oscillates, a brightening of the visual field occurs at every deflection from the rest position. The light is modulated at twice the frequency of the vibration of the wedge 3 '. The image of the object 5 is lightened in one direction when the wedge 3 'is deflected and darkens when deflected in the opposite direction.

Die Amplitude des modulierten Lichtes ist proportional dem Sinus der Phasendrehung des Objektes 5. Die Phasendrehung ist der mit 360° multiplizierte Quotient aus Objektgangunterschied und wirksamer Lichtwellenlänge. Dieser Frequenzanteil erreicht sein Maximum bei jedem ungeradzahligen Vielfachen des Gangunterschiedes von λ/4 und wird zu 0 beim Gangunterschied η λ/2 mit η = 0; 1; 2;... Die Phasenlage der Signalfrequenz ist entsprechend der Abhängigkeit bei positiven und negativen gleichen Gangunterschieden entgegengesetzt.The amplitude of the modulated light is proportional to the sine of the phase rotation of the object 5. The phase rotation is the multiplied by 360 ° quotient of Objektgangunterschied and effective wavelength of light. This frequency component reaches its maximum at every odd multiple of the path difference of λ / 4 and becomes 0 at the path difference η λ / 2 with η = 0; 1; 2; ... The phase position of the signal frequency is opposite to the dependency on positive and negative equal path differences.

Das die Meßfeldblende 10 passierende modulierte Licht fällt auf dem Empfänger 11, dessen Signal selektiv vom Verstärker 12 verstärkt und von dem phasenabhängigen Gleichrichter 13, durch den Generator 15 gesteuert, gleichgerichtet wird. Die Gleichrichter-Schaltung ist vorteilhafterweise als look-in-Schaltung aufgebaut. Dadurch werden alle Signalanteile, die einem geradzahligen Vielfachen der Modulationsfrequenz entsprechen, unterdrückt. Die Signalspannung wird von der Anzeige 14 vorzeichenbehaftet angezeigt.The modulated light passing through the measuring field stop 10 is incident on the receiver 11, the signal of which is selectively amplified by the amplifier 12 and rectified by the phase-dependent rectifier 13, controlled by the generator 15. The rectifier circuit is advantageously constructed as a look-in circuit. As a result, all signal components which correspond to an even multiple of the modulation frequency are suppressed. The signal voltage is indicated by the display 14 signed.

Aus dieser angezeigten Signalspannung erkennt man im Bereich eines Gangunterschiedes von ±λ/4, ob eine positive oder eine negative Fehlkompensation der am Ort der Meßfeldblende abgebildeten Stelle des Objektes 5 vorliegt. Aus dem Betrag der angezeigten Signalspannung wird die Größe der Fehlkompensation bestimmt.From this displayed signal voltage can be seen in the range of a path difference of ± λ / 4, whether a positive or a negative error compensation of the location of the Meßfeldblende imaged position of the object 5 is present. From the magnitude of the displayed signal voltage, the magnitude of the mismatch is determined.

In einem eng begrenzten Gangunterschiedsbereich wird durch Kalibrierung der Einrichtung der Gangunterschied des Objektes 5 direkt angezeigt, da in einem eng begrenztem Bereich der Betrag der Signalspannung proportional dem Betrag des Gangunterschiedes ist. Der Meßkompensator 28 ist vorteilhafterweise so ausgebildet, daß er mit einer ansich bekannten, in den Figuren 1 und 2 nicht dargestellten, Klemmvorrichtung unterhalb des Kondensators 4 befestigbar ist oder zwischen einem Polarisator und einem Planglas beziehungsweise Berekprisma eines Auflichtilluminators einsetzbar ist. In Figur 3 ist die Anordnung eines zusätzlichen Meßkompensators 29 in eine mit natürlichem Licht arbeitende Zweistrahlinterferenzmeßanordung nach dem Interphako-Prinzip gezeigt. Die Elemente Verstärker 12, Gleichrichter 13, Anzeigeeinrichtung 14, Generator 15 sind in analoger Weise wie in Figur 1 angeordnet. Der Meßkompensator besteht aus zwei Keilen 25,26 und einem Antriebssystem 16. Die Keile 25,26 sind vorzugsweise aus isotropem Material gefertigt. In jedem der beiden Wege des Interferometers 27 ist jeweils einer der beiden Keile 25,26 angeordnet. Der Keil 25 steht mit dem Antriebssystem 16 in Wirkverbindung und wird in einer Ebene senkrecht zum optischen Weg periodisch verschoben. Das Licht wird entsprechend moduliert. Die Funktionsweise der erfindungsgemäßen Anordnung ist in diesem Beispiel analog der Beschreibung zu Figur 1. Das Umlenkelement 10' mit Meßfeldblende 10, der Empfänger 11 und das Okular 17 sind zum Beispiel an einem Interferenzmikroskop vorteilhafterweise in einem aufsetzbaren Tubus angeordnet.In a narrow range retardation range, by calibrating the device, the retardation of the object 5 is displayed directly because, in a narrow range, the magnitude of the signal voltage is proportional to the amount of retardation. The Meßkompensator 28 is advantageously designed so that it can be fastened with a ansich known, not shown in Figures 1 and 2, clamping device below the capacitor 4 or between a polarizer and a plane glass or Berekprisma Auflichtilluminators can be used. In Figure 3, the arrangement of an additional Meßkompensators 29 is shown in a working with natural light Zwerahlrahlinterferenzmeßanordung the interphako principle. The elements amplifier 12, rectifier 13, display device 14, generator 15 are arranged in an analogous manner as in Figure 1. The Meßkompensator consists of two wedges 25,26 and a drive system 16. The wedges 25,26 are preferably made of isotropic material. In each of the two paths of the interferometer 27 each one of the two wedges 25,26 is arranged. The wedge 25 is operatively connected to the drive system 16 and is periodically shifted in a plane perpendicular to the optical path. The light is modulated accordingly. The mode of operation of the arrangement according to the invention is analogous to the description of FIG. 1 in this example. The deflecting element 10 'with measuring field diaphragm 10, the receiver 11 and the eyepiece 17 are advantageously arranged in an attachable tube, for example on an interference microscope.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung werden die Aufgabe und das Ziel der Erfindung erfüllt und die Nachteile der bekannten technischen Lösungen beseitigt.With the arrangement according to the invention, the object and the object of the invention are achieved and the disadvantages of the known technical solutions are eliminated.

Claims

1. Arrangement for characterizing the compensation position in retardation measurements, consisting of a polarization arrangement or working with natural light Zwerahlrahlinterferenzmeßanordnung with Meßkompensatoren, preferably a polarization or interference microscope, a narrow field field ausblendenden Meßfeldblende, a photoelectric receiver, an amplifier, a rectifier and a Generator, characterized in that in addition to the existing Meßkompensatoren another, the entire beam cross section sufficiently uniformly influencing, in a polarization or in a working with natural light Zweistrahlinterferenzmeßanordnung, the effective path difference Δ with per se known electrical means steadily and periodically at a fixed frequency ± λ / 8 <Δ <± λ / 4 changing Meßkompensator (28,29) is arranged and that one, the proportion of the frequency of the Me ßkompensator (28,29) via a drive system (16) driving voltage matching, provided by the receiver (11) signal voltage indicating indicator (14) is provided.

2. Arrangement according to claim 1, characterized in that in a Polarisationsmeßanordnung, preferably a polarizing microscope, a Meßkompensator (28) consisting of a wedge compensator (3) and a drive system (16), preferably between a polarizer (2) and a condenser ( 4) or a lens (6) is arranged in Auflichtlichtverfahren and that the wedge compensator (3) perpendicular to the optical axis of the polarization measuring arrangement is swinging movable.

3. Arrangement according to claim 2, characterized in that the Meßkompensator (28) on the condenser (4) is releasably attached.

4. Arrangement according to claim 2, characterized in that the Meßkompensator (28) is optionally used in an illuminator.

5. Arrangement according to claim 1, characterized in that in a working with natural light Zweistrahlinterferenzmeßanordnung, preferably an interference microscope, a Meßkompensator (29) consisting of at least one wedge (25) and a drive system (16), which are in operative connection with each other, preferably consisting of two wedges (25, 26) and a drive system (16), between a beam splitter (23) and a beam combiner (24) of an interferometer (27), and in that the wedge (25) is perpendicular to the optical axis of the interferometer (27 ) is oscillatingly movable.