DD143183B1

DD143183B1 - INTERMEDIATE SYSTEM FOR CARRYING OUT CONTRASTING PROCEDURES FOR MICROSCOPES

Info

Publication number: DD143183B1
Application number: DD21316479A
Authority: DD
Inventors: Hermann Beyer; Rainer Danz
Original assignee: Hermann Beyer; Rainer Danz
Priority date: 1979-05-28
Filing date: 1979-05-28
Publication date: 1983-03-30
Also published as: AT386082B; GB2055223A; DD143183A1; GB2055223B; JPS55157712A; SU1125592A1; FR2458088A1; DE3019683A1; ATA281780A; PL224561A1

Description

-T--T-

Anwendunasaebiete der Erfindung:Applicability of the invention:

Das Zwischenabbildungssystem wird zur Kontrastierung im Phasenkontrast oder mit polarisiertem Licht arbeitenden Interferenzkonträst von im durchfallenden Licht nicht absorbierender und im auffallenden Licht gleiches Reflexionsvermögen wie die Umgebung aufweisender organischer oder anorganischer Objekte verwendet. Es dient vorwiegend als Ergänzungseinheit in Verbindung mit dazu angepaßten Phasenkontrast-oder Interferenzkontrasteinrichtungen für Durch- und Auflichtmikroskope, kann aber auch integrierender Bestandteil des Mikroskops sein. Dabei sind z.B. für Phasenkontrast keine speziellen Phasenkontrastobjektive erforderlich, sondern die erforderlichen Phasenringe können in einem von einem Teil des Zwischenabbildungssystems erzeugten Bild der Objektivpupille angeordnet werden. An gleicher Stelle lassen sich die zur Durchführung des polarisationsoptischen Interferenzkontrasts erforderlichen Wollastonprismen einschieben. Auf diese Weise ist ein schneller Wechsel zwischen beiden Kontrastarten möglich. Der Erfindungsgegenstand wird vor allem in der Biologie und Medizin, aber auch in technischen Arbeitsgebieten, wie Chemie und Metallographie, zur Kontrastierung von Phasenobjekten eingesetzt. Das sind solche mikroskopischen Objekte, die bei normaler Hellfeldbeobachtung nicht oder nur schwach kontrastiert sind.The intermediate imaging system is used for contrasting in phase contrast or in polarized light interfering contrasts of nonreflective and incident light reflectivities, such as environmental organic or inorganic objects. It serves primarily as a supplementary unit in conjunction with adapted phase contrast or interference contrast devices for transmitted and reflected light microscopes, but may also be an integral part of the microscope. Thereby, e.g. For phase contrast, no special phase contrast objectives are required, but the required phase rings can be arranged in an image of the objective pupil generated by a part of the intermediate imaging system. At the same place, the Wollaston prisms necessary for carrying out the polarization-optical interference contrast can be inserted. In this way, a quick change between both types of contrast is possible. The subject invention is mainly used in biology and medicine, but also in technical fields of work, such as chemistry and metallography, for contrasting phase objects. These are microscopic objects that are not or only slightly contrasted in normal bright field observation.

Charakteristik der bekannten technischen Lösungen:Characteristic of the known technical solutions:

Die bisher bekanntgewordenen Zwischenabbildungssysteme zur Durchführung von Kontrastverfahren, wie sie z.B. von Gabler in der Zeitschrift Archiv für Eisenhüttenwesen (1952) S. 145 — 150 und in der DD 53 890 angegeben worden sind, bilden bekannterweise zwar die Objektivpupille in eine zugängliche Ebene ab und sind damit für die Durchführung des Phasenkontrastverfahrens und anderer mit natürlichem Licht arbeitender Interferenzkontrastverfahren geeignet, berücksichtigen aber nicht die für den polarisationsoptischen Interferenz kontrast zu erfüllende Bedingung, daß bei der Pupillenabbildung aus linear polarisiertem Licht wieder angenähert linear polarisiertes Licht entsteht. Da keine Maßnahmen vorgesehen sind, um die lineare Polarisation des Lichtes von der Objektivpupille bis zu ihrem Zwischenbild zu erhalten, ist eine polarisationsoptische Kontrastierung nicht möglich. In der Veröffentlichung von Gabler wird bei einem Auflichtmikroskop für Phasenkontrast mit Hilfe einer Beleuchtungslinse und nach Reflexion am Illuminatorspiegel zunächst in der Objektivpupille ein erstes Bild der Ringblende und nach Reflexion am Objekt an der gleichen Stelle ein zweites Bild der Ringblende und schließlich durch den ersten Teil des Zwischenabbildungssystems ein drittes Bild der Ringblende erzeugt, wo das Phasen-plättchen angeordnet wird. Schließlich bilden Objektiv und Zwischenabbildungssystem das Objekt in der Feldblende des Okulars ab. Mit der in der DD 53.890 beschriebenenThe intermediate imaging systems hitherto known for performing contrasting techniques, e.g. by Gabler in the journal Archiv fur Eisenhuettenwesen (1952) pp. 145-150 and in DD 53 890, it is well known that the objective pupil forms an accessible plane and is therefore more suitable for performing the phase contrast method and others using natural light Interference contrast method suitable, but do not take into account the contrast to be met for the polarization optical interference condition that arises in the pupil imaging of linearly polarized light again approximately linearly polarized light. Since no measures are provided to obtain the linear polarization of the light from the objective pupil to its intermediate image, polarization-optical contrasting is not possible. In the Gabler publication, in a reflected-light microscope for phase contrast with the aid of an illumination lens and after reflection on the illuminator mirror first in the objective pupil a first image of the ring diaphragm and after reflection at the object in the same place a second image of the ring diaphragm and finally through the first part of Intermediate imaging system generates a third image of the ring diaphragm, where the phase plate is placed. Finally, lens and intermediate imaging system image the object in the field stop of the eyepiece. With that described in DD 53.890

Anordnung für Durch- und Auflichtmikroskope erfolgt durch das Zwischenabbildungss\ die Abbildung der Objektivpupille in eine Ebene,in der, entweder gekoppelt mit einem Interferometer oder einem Phasenkontrasteinsatz, interferenzoptische oder phasenoptis Modulatoren, wie Glaskeile, Blenden oder Phasenplättchen,angeordnet werden können. Ein zugängliches Zwischenbild der Objektebene erlaubt die Einführung weiterer Meßelemente, · wie Halbschattenplatten, Meßskalen usw. Durch den zweiten Teil des Zwischenabbildungssystems wird dieses Zwischenbild in die Feldblende des Okulars abgebildet. In dem DE-GM 7144 093 wird ein Zwischenabbildungssystem für Durch- und Auflichtmikroskope beschrieben, mit dem es möglich ist, in einem Zwischenbild der Pupille zur Kontrastierung optische Elemente, wie Phasenplättchen, Wollastonprismen und in einem Zwischenbild der Objektebene im wesentlichen für Meßzwecke verschiedene Strichfiguren anzuordnen oder nach dort einzuspiegeln. Da jedoch keine Maßnahmen vorgesehen sind, um die lineare Polarisation des Lichts von der Objektivpupille bis zu ihrem Zwischenbild zu erhalten, ist aus den schon genannten Gründen eine polarisationsoptische Kontrastierung mit Hilfe von Wollastonprismen nicht möglich. In der AT 314222 ist ein Zwischenabbildungssystem enthalten, das die genannte Polarisationsbedingung durch die Forderung erfüllt, daß das Zwischenbild der Objektivpupille noch vor,dem ersten reflektierenden Element entsteht. Dieser Vorschlag ist aber konstruktiv sehr ungünstig, da bei einem dafür aufzuwendenden erträglichen Korrektionsaufwand eine gewisse Mindestlänge erforderlich ist, die entweder zu einer nicht vertretbaren Einblickhöhe führt oder, wie am Beispiel dargestellt, ein aufwendiges und konstruktiv ungünstiges Umlenksystem erforderlich macht, das den ßeobachtungsstrahlengang wieder einem in normaler Einblickhöhe liegenden Beobachtungstubus zuführt.Arrangement of transmitted and reflected light microscopes is performed by the Zwischenbildings \ image of the objective pupil in a plane in which, either coupled with an interferometer or a phase contrast insert, interference optical or phase-optics modulators such as glass wedges, apertures or phase plates can be arranged. An accessible intermediate image of the object plane allows the introduction of further measuring elements, such as semi-shade plates, measuring scales, etc. Through the second part of the intermediate imaging system, this intermediate image is imaged into the field stop of the eyepiece. In the DE-GM 7144 093 an intermediate imaging system for transmitted and reflected light microscopes is described, with which it is possible to arrange in an intermediate image of the pupil for contrasting optical elements, such as phase plates, Wollaston prisms and in an intermediate image of the object plane substantially for measuring purposes stick figures or to reflect there. However, since no measures are provided to obtain the linear polarization of the light from the objective pupil to its intermediate image, a polarization-optical contrasting using Wollaston prisms is not possible for the reasons already mentioned. In AT 314222 an intermediate imaging system is included, which satisfies the said polarization condition by the requirement that the intermediate image of the objective pupil arises before the first reflecting element. But this proposal is structurally very unfavorable, since at a cost for tolerable correction effort a certain minimum length is required, which either leads to an unacceptable level of insight or, as shown by the example, a complex and structurally unfavorable deflection system makes the eaufobachtungsstrahlengang again in normal viewing height lying observation tube feeds.

Ziel der Erfindung:Object of the invention:

Es soll eine Einrichtung geschaffen werden, die es ermöglicht, mit Hellfeldobjektiven für normale und große Felder und hoher Bildqualität sowohl Phasenkontrast als auch polarisationsoptischen Interferenzkontrast durchzuführen und von einer anderen Beobachtungsart schnell umzuschalten, wie es für viele mikroskopische Untersuchungen, insbesondere von lebenden Objekten, wünschenswert ist und außerdem den Nachteil, der von Merstallinger angegebenen Lösung aufhebt.A device is to be created which makes it possible to carry out bright-field objectives for normal and large fields and high image quality both phase contrast and polarization-optical interference contrast and quickly switch from another type of observation, as is desirable for many microscopic examinations, in particular of living objects and also the disadvantage that overrides the solution given by Merstallinger.

Darlegung des Wesens der Erfindung:Explanation of the essence of the invention:

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde_;ein Zwischenabbildungssystem zur Durchführung von Kontrastverfahren bei Mikroskopen unter Verwendung von Hellfeldobjektiven für normale und große Felder zu schaffen, welches in den Strahlengang gebracht wird und mit HilfeThe invention is based on the object _; to provide an intermediate imaging system for performing contrast method in microscopes using bright field lenses for normal and large fields, which is brought into the beam path and with the aid

reflektierender Elemente und der Abbildungsoptik zugängliche Zwischenbilder der Objektebene und der Objektivpupille erzeugt. Dabei sind die reflektierenden Elemente so angeordnet und aufeinander abgestimmt, daß das in der Objektivpupille linear polarisierte Licht wieder als angenähert linear polares Licht im Zwischenbild der Objektivpupille erscheint. Es werden somit die für eine polarisationsoptische Interferenzkontrastabbildung einzuhaltenden Polarisationsbedingungen erfüllt. So ist z.B. bei der polarisationsoptischen Interferenzkontrastabbildung die Zerlegung des auf das aus doppelbrechendem Material bestehende beleuchtungsseitige Wollastonprisma fallende linear polarisierte Licht in seine senkrecht zueinander schwingende, jede für sich linear polarisierte ordentliche und außerordentliche Komponente wesentlich. Beide verlassen das Wollastonprisma um einen geringen Betrag lateral versetzt. Im abbildungsseitigen Wollastonprisma, das beim Erfindungsgegenstand im Bild oder in der Nähe des Bildes der Objektivpupille und damit innerhalb des Zwischenabbildungssysiems liegt, werden die beiden Komponenten wieder zu einem Strahl vereinigt,exakt aber nur dann, wenn sie als linear polarisiertes Licht beim abbildungsseitigen Wollastonprisma ankommen. Aus der theoretischen Optik ist bekannt, daß bei der Totalreflexion an einer Glasoberfläche zwischen parallel und senkrecht zur Einfallsebene schwingenden Strahlenkomponenten eine vom Einfallswinkel i? und der Brechzahl des Glases η abhängige Phasendifferenz δ auftritt. Es gilt:reflective elements and the imaging optics accessible intermediate images of the object plane and the objective pupil generated. In this case, the reflective elements are arranged and matched to one another so that the light linearly polarized in the objective pupil again appears as approximately linearly polar light in the intermediate image of the objective pupil. Thus, the polarization conditions to be observed for a polarization-optical interference contrast image are satisfied. For example, e.g. in polarization-optical interference contrast imaging, the decomposition of the linearly polarized light incident on the illumination-side Wollaston prism consisting of birefringent material into its orthogonal, each linearly polarized ordinary and extraordinary component is essential. Both leave the Wollaston prism laterally offset by a small amount. In the image-side Wollaston prism, which is the object of the invention in the image or in the vicinity of the image of the objective pupil and thus within the Zwischenabbildungssysiems, the two components are reunited into a beam, but only exactly when they arrive as a linearly polarized light in the image-side Wollaston prism. From the theoretical optics is known that in the total reflection on a glass surface between parallel and perpendicular to the plane of incidence vibrating beam components of the angle of incidence i? and the refractive index of the glass η dependent phase difference δ occurs. The following applies:

jf*jf *

sm²!?-- 2sm ² !? - 2

sin²i?sin ² i?

ist für den Achsenstrahl bei 90° Ablenkung 45°. Damit wird die η = \/3 δ = 60°, so daß nach dreimaliger Reflexion die Phasendifferenz 180° beträgt und die Resultierende aus beiden Strahlenkomponenten wieder in der gleichen Ebene wie vorher schwingt, also linear polarisiert ist. Dieser Effekt wird schon seit Jahrzehnten in einem Prisma mit dreifacher Reflexion, dem sogenannten Berek-Prisma (Zeitschrift „Instrumentenkunde Ig. 55/1936 H1 S.1), zur Beleuchtung bei Auflicht-Polarisationsmikroskopen ausgenutzt. Es wird durch zweckmäßigen Aufbau eines Zwischenabbildungssystems zur Erfüllung der Polarisationsbedingungen verwandt, indem die dreimalige Reflexion auf drei zwischen Objektivpupille und Pupillenbild gelegene einzelne totalreflektierende Prismen verteilt wird, wenn η (u.U. auch i?) so verändert wird, daß δ = 45° ist. In manchen Fällen kann es zweckmäßig sein, die Schwingungsrichtung der Strahl komponenten durch Einschalten einer polarisationsoptischen λ/2-Platte um 90° zu drehen, wenn z.B. wegen Drehung der Einfallsebene von einem zum folgenden Prismar der an einer reflektierenden Fläche ordentliche Strahl an der folgenden Fläche zum außerordentlichen und der außerordentliche zum ordentlichen un'd somit die aus diesen beiden Reflexionen resultierende Phasendifferenz null wird. Durch die λ/2-Platte wird erreicht, daß auch in diesem Teil der ordentliche Strahl ordentlicher und der außerordentliche Strahl außerordentlicher bleiben. Da die auf die Prismenflächen einfallenden abbildenden Strahlen ßtwas unterschiedliche Neigung haben und deshalb die reflektierenden Flächen mit unterschiedlichen Einfallswinkeln ϋ erreichen, ist die Phasendifferen nicht füris for the axis beam at 90 ° deflection 45 °. Thus, the η = \ / 3 δ = 60 °, so that after three times reflection, the phase difference is 180 ° and the resultant of both beam components again in the same plane as before vibrates, that is linearly polarized. This effect has been exploited for decades in a prism with triple reflection, the so-called Berek Prism (Magazine "Instrumentation Ig. 55/1936 H1 p.1), for illumination in incident-light polarizing microscopes. It is used by expedient construction of an intermediate imaging system to satisfy the polarization conditions by distributing the triple reflection on three individual total reflecting prisms located between the objective pupil and the pupil image, if η (possibly also i) is changed so that δ = 45 °. In some cases, it may be appropriate to turn the oscillation direction of the beam components by switching on a polarization-optical λ / 2 plate by 90 °, for example, because of rotation of the plane of incidence from one to the following prismar on a reflective surface ordinary beam on the following surface to the extraordinary and the extraordinary to the ordinary and therefore the phase difference resulting from these two reflections becomes zero. By the λ / 2 plate is achieved that even in this part of the ordinary ray neat and the extraordinary ray remain extraordinary. Since the incident rays incident on the prism surfaces have different inclinations and therefore reach the reflecting surfaces with different angles of incidence ϋ , the phase difference is not

alle Strahlen gleich, und. es ist für die außeraxialen Strahlen mit einer geringen Elliptizität des polarisierten Lichts zu rechnen, die aber im Extremfall nicht mehr als 1% beträgt und in der Praxis kaum stört. Da die Öffnungswinkel der abbildenden Lichtbündel an den verschiedenen Flächen im allgemeinen unterschiedlich sind, ist außerdem eine Optimierung durch Prismen unterschiedlicher Brechzahl möglich.all rays equal, and. it is to be expected for the off-axis rays with a low ellipticity of the polarized light, which is in extreme cases not more than 1% and hardly bothers in practice. In addition, since the aperture angles of the imaging light beams at the different surfaces are generally different, optimization by prisms of different refractive index is possible.

Ausführungsbeispiele:EXAMPLES

Anhand der Abbildung soll an zwei Ausführungsbeispielen für Durchlichtbeobachtung die Erfindung erläutert werden. Das von der nicht gezeichneten Lichtquelle kommende Lichtbündel 1 wird durch den unter 45° zum beleuchtungsseitigen Wollastonprisma orientierten Polarisator 2 linear polarisiert und im beleuchtungsseitigen Wollastonprisma in die ordentliche und außerordentliche Komponente zerlegt, die senkrecht zueinander schwingen. Nach Passieren des Kondensors 4 gehen beide Teilbündel um einen geringen Betrag lateral versetzt durch die Objektebene 5, passieren das Objektiv 6, die durch ein Strichkreuz angedeutete Objektivpupille 7 und werden an der voll verspiegelten Fläche des aus zwei verkitteten rechtwinkligen Prismen bestehenden Glaswürfels 8 reflektiert. Da die Komponenten mit ihrer Schwingungsrichtung senkrecht bzw. parallel zur Einfallsebene auf die Fläche 9 treffen, bleibt die lineare Polarisation für beide erhalten. An den Prismen 10, 13 und 14, die aus Glas mit der angenäherten Brechzahl η « _v'3 bestehen, werden beide Teilbündel totalreflektiert. Zwischen den parallel und senkrecht zur Einfallsebene schwingenden Komponenten jedes Teilbündels tritt dabei eine Phasendifferenz von δ * 60° auf, so daß am Prisma 10 aus dem linear polarisierten Licht elliptisch polarisiertes wird. Da der gleiche Vorgang an den Prismen 13 und 14 stattfindet, summiert sich die genannte Phasendifferenz und beträgt an dem durch Strichkreuz angedeuteten, vom Linsensystem 11 erzeugten Pupillenbild 16 » 180°, so daß dort wieder linear polarisiertes Licht entsteht. Es treten also zwei um einen geringen Betrag lateral versetzte senkrecht zueinander schwingende und im allgemeinen einen geringen Gangunterschied aufweisende Teilbündel in das abbildungsseitige Wollastonprisma 15 ein und treten räumlich vereinigt wieder aus. Der senkrecht oder parallel zum Polarisator 2 orientierte Analysator läßt nur die in seiner Durchlaßrichtung schwingenden Komponenten der beiden senkrecht zueinander schwingende Teilbündel passieren, die miteinander interferieren. Das vom Objektiv und Linsensystem 11 erzeugte Zwischenbild 12 des in der Objektebene 5 gelegenen Objektes, in dem für Meßzwecke Strichplatten oder andere Markierungen eingeführt werden können, wird vom Linsensystem 18 über das Prisma 19 und die voll verspiegelte Fläche 9 in die in Richtung 20 gelegene, nicht gezeichnete Feldblende des Okulars kontrastiert abgebildet. Die Brechzahl des Glases von Prisma 19 ist dabei unwesentlich. Prisma 19 kann auch durchThe invention will be explained on the basis of two exemplary embodiments for transmitted-light observation. Coming from the light source not shown light beam 1 is linearly polarized by the oriented at 45 ° to the lighting side Wollaston prism polarizer 2 and decomposed in the lighting side Wollaston prism in the ordinary and extraordinary component that oscillate perpendicular to each other. After passing through the condenser 4, both sub-beams pass laterally through the object plane 5 by a small amount, pass through the lens 6, the objective pupil 7 indicated by a line cross and are reflected on the fully mirrored surface of the glass cube 8 consisting of two cemented rectangular prisms. Since the components strike the surface 9 with their direction of oscillation perpendicular or parallel to the plane of incidence, the linear polarization remains the same for both. At the prisms 10, 13 and 14, which consist of glass with the approximate refractive index η « _v '3, both sub-beams are totally reflected. In this case, a phase difference of δ * 60 ° occurs between the components of each sub-beam oscillating parallel to and perpendicular to the plane of incidence, so that elliptically polarized light is emitted from the linearly polarized light at the prism 10. Since the same process takes place on the prisms 13 and 14, the said phase difference adds up and amounts to the pupil image 16, which is indicated by the crossed line and generated by the lens system 11, to be »180 °, so that linearly polarized light arises there again. Thus, two sub-beams which are laterally offset by a small amount and oscillate perpendicularly to one another and generally have a small path difference, enter the image-side Wollaston prism 15 and exit in a spatially unified manner. The analyzer oriented perpendicular or parallel to the polarizer 2 allows only the components of the two vertically oscillating sub-beams, which oscillate in its forward direction, to pass through one another and interfere with one another. The generated by the lens and lens system 11 intermediate image 12 of the located in the object plane 5 object in which can be inserted for measurement purposes reticles or other markings is from the lens system 18 via the prism 19 and the fully mirrored surface 9 located in the direction 20, not drawn field stop of the eyepiece shown in contrast. The refractive index of the glass of prism 19 is insignificant. Prism 19 can also be through

eine andere verspiegelte Fläche ersetzt werden. Ein weiteres Ausführungsbeispiel betrifft die Möglichkeit mit 4 Totalreflexionen mit Glasprismen niedrigerer Brechzahl auszukommen. Die Anordnung entspricht der in der Abbildung dargestellten, es werden jedoch die voll verspiegelte Fläche 9 durch eine dünne Luftschicht = 0,01 mm und die totalreflektierenden Prismen 8, 10, 13 und 14 durch Prismen aus Glas mit einer Brechzahl η «s 1,554 ersetzt. Dann entsteht an jeder Fläche bei i? = 45° Einfallswinkel eine Phasendifferenz von δ ^ 45°. Da jedoch die Einfallsebenen der reflektierenden Flächen der Prismen 9 und 10 gedreht sind, wird die nach 9 ordentliche bei 10 außerordentliche Komponente und umgekehrt,"so daß sich die Phasendifferenzen gegenseitig aufheben. Diese Schwierigkeit läßt sich durch Einfügen einer polarisationsoptischen λ/2-Platte 21 beheben, da diese die Schwingungsrichtung um 90° dreht, so daß sich die bei Reflexion an den vier genannten Prismen entstehenden Phasendifferenzen addieren und im Pupillenbild wieder linear polarisiertes Licht ensteht. Durch Variation der Anordnung der reflektierenden Elemente und der abbildenden Systeme sind weitere Varianten möglich. Insbesondere kann durch unterschiedliche Brechzahlen der totalreflektierenden Prismen eine Optimierung hinsichtlich der von Prisma'zu Prisma sich ändernden Öffnungswinkel der abbildenden Strahlenbündel erfolgen.another mirrored surface will be replaced. Another embodiment relates to the possibility of using 4 total reflections with glass prisms of lower refractive index. The arrangement corresponds to that shown in the figure, but the fully mirrored surface 9 is replaced by a thin layer of air = 0.01 mm and the total reflecting prisms 8, 10, 13 and 14 by glass prisms with a refractive index η «s 1,554. Then arises on each surface at i? = 45 ° angle of incidence a phase difference of δ ^ 45 °. However, since the planes of incidence of the reflecting surfaces of the prisms 9 and 10 are rotated, the ordinary component becomes extraordinary at 10, and vice versa, so that the phase differences cancel each other out This difficulty can be realized by inserting a polarization-optical λ / 2 plate 21 As this changes the direction of oscillation by 90 °, so that the phase differences resulting from reflection at the four prisms mentioned add up again and linearly polarized light arises in the pupil image Further variants are possible by varying the arrangement of the reflecting elements and the imaging systems. In particular, different refractive indices of the totally reflecting prisms can be used to optimize the opening angle of the imaging beam bundles, which changes from prism to prism.

Claims

Erfindunqsansprüche:

1. Intermediate imaging system for performing contrasting microscopes, which is brought into the beam path and generated by means of reflective elements and the imaging optics accessible intermediate images of the object plane and the objective pupil, in which different stick figures can be arranged or mirrored for measurement purposes or exchangeable contrasting elements, such as Phase plates and Wollaston prisms, are provided, characterized in that in the Zwischenabbildungssystem between the objective pupil and the intermediate image of the objective pupil at least three deflecting prisms with coordinated refractive indices are arranged.

2. intermediate imaging system according to item!

in that between the objective pupil and the intermediate image of the objective pupil there are three totally reflecting glass prisms with the refractive index η 1/3.

3. Intermediate imaging system according to item 1, characterized by

that four total reflecting glass prisms with the refractive index of η ^ 1,554 are arranged between the objective pupil and the intermediate image of the objective pupil.

4. Intermediate imaging system according to item 2 or 3, characterized in that between the objective pupil and the intermediate image of the objective pupil, a polarization-optical plate is arranged.

5. Intermediate imaging system according to item 1, characterized in that the refractive indices of the totally reflecting prisms are different.

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