DD244768B1 - PROCESS FOR MAINTAINING LOADING OF NICKEL LAYERS - Google Patents

PROCESS FOR MAINTAINING LOADING OF NICKEL LAYERS Download PDF

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DD244768B1 DD28539185A DD28539185A DD244768B1 DD 244768 B1 DD244768 B1 DD 244768B1 DD 28539185 A DD28539185 A DD 28539185A DD 28539185 A DD28539185 A DD 28539185A DD 244768 B1 DD244768 B1 DD 244768B1
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Falk Richter
Wilfried Lamm
Renate Gesemann
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Liebknecht Mikroelektron
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Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Erhaltung der Lötfähigkeit von Nickelschichten und ist vorzugsweise für die Herstellung elektronischer Bauelemente einsetzbar. Ziel der Erfindung ist es, die Weichlötfähigkeiten vernickelter elektronischer Bauelemente unter Verwendung eines umweltfreundlichen Vergoldungsverfahrens bei Einsparung von Gold zu erhalten. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch die Abscheidung von 10 bis 50 nm dicken, dichten Goldschichten gelöst, indem die vernickelten Substrate für die Zeitdauer von 0,5 bis 10 min in ein an sich bekanntes ungiftiges, reduktives Goldbad mit einem pH-Wert im Bereich 7 bis 13 und einer Temperatur von 355 bis 371 K bei einer Badbelastung von 1 bis 10 dm,/l eingetaucht werden.The invention relates to a method for maintaining the solderability of nickel layers and is preferably used for the production of electronic components. The aim of the invention is to obtain the soldering capabilities of nickel-plated electronic components using an environmentally friendly gold plating process while conserving gold. According to the invention the object is achieved by the deposition of 10 to 50 nm thick, dense gold layers by the nickel-plated substrates for the period of 0.5 to 10 min in a known non-toxic, reductive gold bath with a pH in the range 7 to 13 and a temperature of 355 to 371 K at a bath load of 1 to 10 dm, / l are immersed.

Description

einem durch Schwefelsäure einstellbaren pH-Wert im Bereich 7 bis 13 und einer Badtemperatur von 355 bis 371K bei einer Badbelastung von 1 bis 10dm2/l eingetaucht werden.be adjusted by a sulfuric acid adjustable pH in the range 7 to 13 and a bath temperature of 355 to 371K at a bath load of 1 to 10dm 2 / l.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem Vergoldungsbad 0,1 bis 10mg/l Thallium-I-Nitrat zugegeben werden.2. The method according to claim 1, characterized in that the gilding bath 0.1 to 10 mg / l Thallium-I-nitrate are added.

Anwendungsgebiet der ErfindungField of application of the invention

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erhaltung der Lötfähigkeit von Nickelschichten, vorzugsweise solchen, die als Kontaktschichten bei der Herstellung von elektronischen Bauelementen aufgebracht werden.The invention relates to a method for maintaining the solderability of nickel layers, preferably those which are applied as contact layers in the manufacture of electronic components.

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

In der Elektrotechnik/Elektronik werden Bauteile aus unterschiedlichen Werkstoffenrwie z. B. Silicium, Keramik, Kupfer, Wolfram, Molybdän, Edelstahl vernickelt und durch Weichlöten verbunden. Eine Voraussetzung für optimale Weichlotverbindungen ist eine gute Benetzung der Nickeloberfläche. Es ist bekannt, daß sich auf Nickel bei Lagerung an Luft sehr rasch passive Deckschichten ausbilden können. Um die Lötfähigkeit der Nickelschichten zu erhalten, ist es vielfach üblich, diese durch eine Goldschicht zu schützen. Goldoberflächen weisen eine hohe Korrosionsbeständigkeit auf und wirken benetzungsfördernd.In electrical engineering / electronics components made of different materials such as r . As silicon, ceramic, copper, tungsten, molybdenum, stainless steel and connected by soldering. A prerequisite for optimal soft solder joints is a good wetting of the nickel surface. It is known that can be formed on nickel during storage in air very quickly passive cover layers. In order to preserve the solderability of the nickel layers, it is common practice to protect them with a gold layer. Gold surfaces have a high corrosion resistance and promote wetting.

Bekannte Vergoldungsverfahren sind Aufdampfen, Zerstäuben, galvanische und chemische (stromlose) Abscheidung. Aus ökonomischen Gründen ist ein möglichst geringer Edelmetallverbrauch zur Realisierung der geforderten Schichteigenschaften anzustreben.Known gold plating processes are vapor deposition, sputtering, galvanic and chemical (electroless) deposition. For economic reasons, the lowest possible precious metal consumption should be sought to achieve the required layer properties.

Die genannten physikalischen Verfahren sind unter diesem Gesichtspunkt nachteilig, weil eine erhöhte Goldumlaufmenge durch die unerwünschte Goldabscheidung auf Teilen der Beschichtungsapparatur (beim Sputtern kommt noch die Problematik des Resttargets hinzu) unvermeidlich ist.The above-mentioned physical methods are disadvantageous from this point of view, because an increased circulation of gold due to the unwanted gold deposition on parts of the coating apparatus (when sputtering still adds the problem of the residual target) is unavoidable.

Die elektrolytische Abscheidung des Goldes ist zwar sparsamer, erfordert aber zu jeder Fläche, die vergoldet werden soll, einen elektrischen Anschluß, der selbst wieder die Vergoldung stören kann. Außerdem wird oft ein gröberes Korn als mit den entsprechenden stromlosen Bädern abgeschieden.Although the electrolytic deposition of gold is more economical, it requires an electrical connection to every surface that is to be gold-plated, which itself can again disturb the gold plating. In addition, a coarser grain is often deposited than with the corresponding electroless baths.

Die stromlosen Goldbäder werden in zwei Gruppen eingeteilt, die Zementationsbäder und die reduktiven Bäder. Ein Zementationsbad wird bspw. in der DE-OS 2803147 beschrieben. Es hat jedoch wie alle Bäder dieses Typs den prinzipiellen Nachteil, das Substrat anzugreifen. Die Schichtdicke der mit diesem Bad herstellbaren Goldüberzüge ist begrenzt, die Haftfestigkeit geringer als bei bekannten reduktiven Bädern.The electroless gold baths are divided into two groups, the cementation baths and the reductive baths. A cementation bath is described, for example, in DE-OS 2803147. However, like all baths of this type, it has the fundamental disadvantage of attacking the substrate. The layer thickness of the gold coatings that can be produced with this bath is limited, the adhesive strength is lower than in the case of known reductive baths.

Zu den stromlosen Vergoldungsbädern gehört auch das reduktiv arbeitende Bad, das im WP 150762 dargestellt ist und sich durch seine Ungiftigkeit und relative Stabilität auszeichnet. Es werden dafür handelsübliche Reduktionsmittel verwendet (Natriumhypophosphit, Formaldehyd und Hydrazin). Zur Stabilisierung der Lösung werden Natriumsulfit, eine Di- bzw. Triaminoalkyl- und/oder Di- bzw. Triaminoarylverbindung, Kaliumbromid und ein Chelatbildner eingesetzt. Als Goldsalze werden Alkalisulfitoaurate der allgemeinen Formel Ме[Аи(5ОзЫ eingesetzt. Die Temperatur des Bades soll im Bereich 353 bis 371K liegen. Nachteilig bei dem Bad mit den angegebenen Toleranzen der Badzusammensetzung ist, daß eine zuverlässige Erhaltung der Lötbarkeit erst bei Schichtdicken der Au-Schicht von >200nm auftritt.The electroless gold plating baths also include the reductive bath, which is shown in WP 150762 and is characterized by its non-toxicity and relative stability. Commercially available reducing agents are used for this purpose (sodium hypophosphite, formaldehyde and hydrazine). To stabilize the solution, sodium sulfite, a di- or Triaminoalkyl- and / or di- or Triaminoarylverbindung, potassium bromide and a chelating agent are used. The temperature of the bath should be in the range of 353 to 371 K. A disadvantage of the bath with the specified tolerances of the bath composition is that a reliable preservation of the solderability takes place only at layer thicknesses of the bath. Layer of> 200nm occurs.

In der DE-OS 2215364 wird ein Verfahren zum Vergolden von Wolfram-oder Molybdänelektroden angegeben, bei dem auf vernickelten und anschließend versilberten Elektrodenkörpern 30 bis 100nm dicke Goldschichten stromlos abgeschieden werden. Eine Goldschicht dieser Dicke genüge für eine gute Verlotung der Elektrodenkörper mit anderen Anschlußteilen oder Bauelementen. Als nachteilig an diesem Verfahren ist die Verwendung eines giftigen Goldbades (Kaliumgoladcyanid) anzusehen.In DE-OS 2215364 a process for the gilding of tungsten or molybdenum electrodes is specified, in which 30 to 100nm thick gold layers are deposited electrolessly on nickel-plated and then silvered electrode bodies. A gold layer of this thickness is sufficient for a good soldering of the electrode body with other connecting parts or components. A disadvantage of this method is the use of a poisonous gold bath (Kaliumgoladcyanid) to see.

Zur Verminderung der Goldschichtdicke sind auch Beschichtungen der Nickelschicht mit Palladium und anschließendem Goldflash bekannt. Nachteilig ist dabei, daß eine zusätzliche Edelmetallschicht benötigt wird.To reduce the gold layer thickness, coatings of the nickel layer with palladium and subsequent gold flash are also known. The disadvantage here is that an additional noble metal layer is needed.

Ziel der ErfindungObject of the invention

Es ist das Ziel der Erfindung, die Weichlotfähigkeit vernickelter elektronischer Bauteile bei Einsparung von Gold unter Verwendung umweltfreundlicher Vergoldungsverfahren zu erhalten.It is the object of the invention to obtain the solderability of nickel-plated electronic components while conserving gold using environmentally friendly gold plating methods.

Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

Ausgehend vom Ziel der Erfindung stellt sich die Aufgabe, ein Verfahren zur Erhaltung der Lötfähigkeit von Nickelschichten zu finden, bei dem auf die Nickelschicht eine haftfeste, dünne und dichte Goldschicht aus einem stromlosen ungiftigen Goldbad aufgebracht wird.Starting from the object of the invention, the object is to find a method for maintaining the solderability of nickel layers, in which an adherent, thin and dense gold layer of an electroless non-toxic gold bath is applied to the nickel layer.

Es zeigte sich überraschend, daß mit der nachfolgend aufgeführten engtolerierten Zusammensetzung eines an sich bekannten Goldbades Überzüge erzielt werden können, die bereits bei Schichtdicken von 10 bis 50 nm eine solche Dichtigkeit, aufweisen, daß die Weichlötfähigkeit der Nickelschichten bei Lagerung an Luft permanent (mehrere Monate) ohne Einschränkung erhalten bleibt:It was found, surprisingly, that with the below-listed narrow-tolerance composition of a gold bath known per se, coatings can be obtained which have such a tightness even at layer thicknesses of 10 to 50 nm that the solderability of the nickel layers when stored in air is permanent (several months ) is retained without restriction:

Gold als Na3 [Au(SO3I2] 0,6g/lGold as Na 3 [Au (SO 3 I 2 ] 0.6g / l

Formaldehyd 0,9 bis 1,1 g/lFormaldehyde 0.9 to 1.1 g / l

Natriumsulfit 7,7bis8,3g/lSodium sulfite 7.7 to 8.3 g / l

Ethylendiamin 0,7 bis 0,8 g/lEthylenediamine 0.7 to 0.8 g / l

Ethylendiamintetraessigsäure- 0,9 bis 1,0 g/lEthylenediaminetetraacetic acid 0.9 to 1.0 g / l

di-Natriumsalzdi-sodium salt

Kaliumbromid 0,8 bis 1,2 g/lPotassium bromide 0.8 to 1.2 g / l

Zusätzlich können dem Vergoldungsbad zur Beschleunigung der Abscheidung 0,1 bis 10 mg Thallium-I-Nitrat zugesetzt werden.In addition, 0.1 to 10 mg of thallium I-nitrate may be added to the gilding bath to accelerate deposition.

Der pH-Wert der Lösung wird im Bereich 7 bis 13 eingestellt. Die Badtemperatur soll zwischen 355 und 371K gehalten werden.The pH of the solution is adjusted in the range 7 to 13. The bath temperature should be kept between 355 and 371K.

Die Badbelastung kann zwischen 1 und 1OcJmVl liegen. Die Abscheidungsdauer liegt im Bereich von 0,5 bis 10min. Die Abscheidungsgeschwindigkeit ist bis nahe der Erschöpfung des Bades verhältnismäßig konstant.The bath load can be between 1 and 1OcJmVl. The deposition time is in the range of 0.5 to 10 minutes. The deposition rate is relatively constant until near the exhaustion of the bath.

Die Haftfestigkeit der erzeugten Goldschichten auf dem Nickel ist sehr gut und übertrifft z. B. die Bruchfestigkeit von Siliciumscheiben.The adhesion of the gold layers produced on the nickel is very good and exceeds z. B. the breaking strength of silicon wafers.

Die besten Ergebnisse hinsichtlich Dichtigkeit der Goldschichten, d. h. eines besonders feinkörnige und flächenhafte Struktur, ergeben sich bei der Vergoldung von stromlos abgeschiedenen Nickelschichten. Auch bei galvanisch abgeschiedenen oder gesputterten Nickelschichten ergeben sich zufriedenstellende Ergebnisse.The best results in terms of tightness of the gold layers, d. H. a particularly fine-grained and planar structure, resulting in the gold plating of electrolessly deposited nickel layers. Even with galvanically deposited or sputtered nickel layers results satisfactory results.

In der Regel ist es vor dem Vergolden erforderlich, die Nickeloberflächen auf bekannte Weise zu dekapieren. Danach ist in jedem Falle ein gründliches Spülen der Substrate notwendig, um die Verschleppung von Säure in die Vergoldungslösung zu vermeiden.As a rule, before gilding, it is necessary to decap the nickel surfaces in a known manner. After that, a thorough rinsing of the substrates is necessary in each case to avoid the carryover of acid into the gilding solution.

Es ist günstig, die vernickelten Substrate unmittelbar vor dem Eintauchen in das Goldbad in heißem deionisiertem Wasser vorzuwärmen.It is beneficial to preheat the nickel plated substrates immediately prior to immersion in the gold bath in hot deionized water.

Nachfolgend soll die Erfindung in einigen Ausführungsbeispielen näher erläutert werden:Below, the invention will be explained in more detail in some embodiments:

1. Ausführungsbeispiel1st embodiment

Es sollen glaspassivierte Siliciumscheiben vergoldet werden, die beidseitig mit einem bekannten Verfahren chemisch vernickelt wurden. Dazu werden die Siliciumscheiben aufrecht in ein Kunststoffmagazin gestellt und im ersten Verfahrensschritt 10s in gepufferter Flußsäure geätzt, danach für die Dauer von 60s in fließendem deionisiertem Wasser gespült, im Anschluß daran für die Dauer von 30s in deionisiertes Wasser mit einer Badtemperatur von 363K getaucht und nach Ablauf dieserZeit unverzüglich in ein Vergoldungsbad mit nachfolgender Zusammensetzung umgesetzt:It should be gilded glass passivated silicon wafers, which were chemically nickel-plated on both sides by a known method. For this purpose, the silicon wafers are placed upright in a plastic magazine and etched in the first step 10s in buffered hydrofluoric acid, then rinsed for 60 seconds in flowing deionized water, then dipped for 30 seconds in deionized water with a bath temperature of 363K and after Expiration of this time immediately converted into a gilding bath with the following composition:

GoHaIsNa3[Au(SO3I2] 0,6g/lGoHaIsNa 3 [Au (SO 3 I 2 ] 0.6g / l

Formaldehyd 1,0g/lFormaldehyde 1.0g / l

Natriumsulfit 8,0g/lSodium sulfite 8.0 g / l

Ethylendiamin 0,75g/lEthylenediamine 0.75g / l

Ethylendiamintetraessigsäure- 1,0 g/lEthylenediaminetetraacetic acid - 1.0 g / l

di-Natriumsalzdi-sodium salt

Kaliumbromid 1,0g/lPotassium bromide 1.0g / l

Die Temperatur des Goldbades beträgt 355 K, der pH-Wert 12,0, die Badbelastung 9,5 dmVl.The temperature of the gold bath is 355 K, the pH is 12.0, the bath load is 9.5 dmVl.

Nach einer Vergoldungszeit von 2 min werden die Scheiben dem Goldbad entnommen, intensiv in deionisiertem Wasser gespült und getrocknet. Die Goldschichtdicke beträgt 15 bis 25 nm, die vergoldeten Chips sind mehrere Monate an Luft lagerfähig, wobei die Lötbarkeit der Metalloberflächen ohne Einschränkung erhalten bleibt.After a gilding time of 2 minutes, the discs are removed from the gold bath, rinsed intensively in deionized water and dried. The gold layer thickness is 15 to 25 nm, the gold-plated chips are storable for several months in air, the solderability of the metal surfaces is retained without restriction.

2. Ausf Uhrungsbeispiel2. Execution example

Es sollen beidseitig galvanisch vernickelte Molybdänbleche mit den Abmessungen (300 χ 50) mm2 vergoldet werden. Da das Vergolden unmittelbar nach dem Vernickeln erfolgt, kann auf eine Aktivierung der Nickeloberflächen verzichtet werden. Nach dem Spülprozeß, der sich an das galvanische Vernickeln anschließt, werden die Gestelle mit den Molybdänblechen sofort in ein Goldbad mit derZusammensetzung wie im I.Ausführungsbeispiel umgesetzt. DieTemperatur des Goldbades beträgt 358 K, die Badbelastung 2dmVl.On both sides galvanically nickel plated molybdenum sheets with the dimensions (300 χ 50) mm 2 are to be gold plated. Since the gilding takes place immediately after nickel plating, activation of the nickel surfaces can be dispensed with. After the rinsing process following galvanic plating, the racks of molybdenum sheets are immediately converted to a gold bath having the composition as in the first embodiment. The temperature of the gold bath is 358 K, the bath load 2dmVl.

Während der Zeitdauer von 5 min werden 25 bis 40 nm Gold abgeschieden. Nach dem Vergolden werden die Substrate in bekannterWeise gespült und getrocknet. Die Lötfähigkeit der metallisierten Molybdänbleche ist bei Lagerung an der Luft mehrere Monate gewährleistet.During the period of 5 minutes 25 to 40 nm gold are deposited. After gilding, the substrates are rinsed in a known manner and dried. The solderability of the metallized molybdenum sheets is guaranteed for several months when stored in air.

3. Ausführungsbeispiel3rd embodiment

Es sollen Siliciumscheiben einseitig vergoldet werden, die auf der Rückseite in bekannter Weise durch Zerstäuben vernickelt wurden. Zunächst erfolgt die Maskierung der Scheibenvorderseiten mit einem handelsüblichen Schutzlack. Die magazinierten Substrate werden 60s in 10%ige Schwefelsäure getaucht und anschließend 30s in fließendem deionisiertem Wasser gespült. Danach werden die Scheiben 30s in deionisiertem Wasser, dessen Temperatur 363K beträgt, vorgewärmt und in ein Goldbad umgesetzt, das zusätzlich zu der im 1 .Ausführungsbeispiel angegebenen Zusammensetzung 2,0 mg Thallium-I-Nitrat enthält. DerpH-Wert der Vergoldungslösung wurde durch Zugabe von Schwefelsäure auf 7,4 eingestellt. Bei einer Badtemperatur von 363 K wird in 5 min bei einer Badbelastung von 5dm2/l eine Goldschicht mit 35 bis 50 nm Dicke abgeschieden, die eine Lagerung der vergoldeten Substrate an Luft über mehrere Monat erlaubt, ohne daß die Lötfähigkeit negativ verändert wird.Silicon wafers are to be gold-plated on one side, which were nickel-plated on the reverse in a known manner by sputtering. First, the masking of the wafer front pages with a commercially available protective coating. The stored substrates are dipped in 10% sulfuric acid for 60 seconds and then rinsed in flowing deionized water for 30 seconds. Thereafter, the slices 30s are preheated in deionized water, the temperature of which is 363K, and reacted in a gold bath containing 2.0 mg of thallium I-nitrate in addition to the composition shown in the first embodiment. The pH of the gilding solution was adjusted to 7.4 by the addition of sulfuric acid. At a bath temperature of 363 K, a gold layer of 35 to 50 nm thickness is deposited in 5 min at a bath load of 5dm 2 / l, which allows the gilded substrates to be stored in air for several months, without the solderability is changed negatively.

Claims (1)

1. Verfahren zur Erhaltung der Lötfähigkeit von Nickelschichten mit einer bekannten Vorbehandlung zur Aktivierung der Nickelschichten, dadurch gekennzeichnet, daß 10 bis 50 nm dicke Goldschichten auf den Nickelschichten abgeschieden werden, indem die vernickelten Substrate für die Zeitdauer von 0,5 bis 10 min in ein an sich bekanntes ungiftiges, reduktives Goldbad mit der ZusammensetzungA method of preserving the solderability of nickel layers with a known pretreatment to activate the nickel layers, characterized in that 10 to 50 nm thick gold layers are deposited on the nickel layers by the nickel-plated substrates for the period of 0.5 to 10 min in a a known non-toxic, reductive gold bath with the composition Gold als Na3[Au(SOa)2] 0,6g/lGold as Na 3 [Au (SOa) 2 ] 0.6g / l Formaldehyd 0,9 bis 1,1 g/lFormaldehyde 0.9 to 1.1 g / l Natriumsulfit 7,7bis8,3g/lSodium sulfite 7.7 to 8.3 g / l Ethylendiamin 0,7 bis 0,8 g/lEthylenediamine 0.7 to 0.8 g / l Ethylendiamintetraessigsäure- 0,9 bis 1,0 g/lEthylenediaminetetraacetic acid 0.9 to 1.0 g / l di-Natriumsalzdi-sodium salt Kaliumbromid 0,8 bis 1,2 g/l,Potassium bromide 0.8 to 1.2 g / l,
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