DD243050A1

DD243050A1 - RECIPIENT FOR VACUUM PLANTS

Info

Publication number: DD243050A1
Application number: DD28330885A
Authority: DD
Inventors: Eberhard Steigmann; Peter Paetzelt; Martin Ellsel
Original assignee: Hochvakuum Dresden Veb
Priority date: 1985-11-27
Filing date: 1985-11-27
Publication date: 1987-02-18

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Rezipienten fuer Vakuumanlagen mit veraenderlicher axialen Laenge. Derartige Rezipienten koennen insbesondere fuer kleinere Vakuumanlagen im Bereich der Forschung, der Pilotproduktion und fuer die Kleinserienfertigung eingesetzt werden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Rezipienten zu schaffen, der mit geringem technischen und oekonomischen Aufwand an die variablen technologischen Anforderungen, insbesondere hinsichtlich der axialen Laenge, angepasst werden kann. Erfindungsgemaess wird die Aufgabe derart geloest, dass als Rezipient fuer Vakuumanlagen mindestens zwei axial offene Mantelteile, die beidseitig gleiche Dichtflaechen besitzen, und ein axiales Abschlussteil, oder bei axial beidseitig freier Rezipientenachse zwei Abschlussteile, vakuumdicht montiert sind, und dass vorhandene Flanschanschluesse in den Mantelteilen aussermittig angeordnet sind. Fig. 1The invention relates to a recipient for vacuum systems with veraenderlicher axial length. Such recipients can be used in particular for smaller vacuum systems in the field of research, pilot production and for small batch production. The invention has for its object to provide a recipient who can be adjusted with little technical and economic expenditure on the variable technological requirements, in particular with respect to the axial length. According to the invention, the object is achieved in such a way that at least two axially open shell parts, which have the same sealing surfaces on both sides, and an axial end part, or in the case of both sides free recipient axis two end parts, are mounted vacuum-tight as a recipient for vacuum systems, and that existing Flanschanschluesse in the shell parts off-center are arranged. Fig. 1

Description

Hierzu 2 Seiten Zeichnungen ·For this 2 pages drawings ·

Anwendungsgebiet der Erfindung jField of application of the invention j

Die Erfindung betrifft einen Rezipienten für Vakuumanlagen mit veränderlicher axialer Länge. Derartige Rezipienten können insbesondere für kleinere Vakuumanlagen im Bereich der Forschung, der Pilotproduktion und für die Kleinserienfertigung eingesetzt werden. iThe invention relates to a recipient for vacuum systems with variable axial length. Such recipients can be used in particular for smaller vacuum systems in the field of research, pilot production and for small series production. i

Characteristic of the known technical solutions ^! ,

Ein Teil der Vakuumanlagen ist für konkrete Aufgaben und Technologien ausgelegt. Der zugehörige Rezipient wird in seinerPart of the vacuum equipment is designed for specific tasks and technologies. The associated recipient is in his

Ausgestaltung an die Aufgabe angepaßt und kann dann grundsätzlich nicht mehr geändert werden. ]Design adapted to the task and can then basically not be changed. ]

Im Bereich der Forschung, Pilotproduktion und Kleinserienfertigung gibt es zahlreiche kleine Anlagen, die für allgemeine Vakuumtechnologien vorgesehen sind und jeweils einen Rezipienten haben, der oft aus Glas, aber auch aus: Metall besteht. Die technologisch bedingten Rezipienten-Einbauten müssen dann jeweils dem Erfordernis entsprechend in den RezipientenIn the field of research, pilot production and small batch production, there are numerous small plants designed for general vacuum technologies, each with a recipient, often made of glass but also metal. The technologically conditioned recipient internals must then each in accordance with the requirement in the recipient

hineingebaut werden. ito be built into. i

Die Beobachtung dertechnologischen Prozesse ist bei den Glasrezipienten relativ gut möglich. Jedoch ist dieser des öfteren zu reinigen, was einen erheblichen meist manuellen Aufwand bedeutet. Für Verfahren mit hoher Wärmeentwicklung sindThe observation of the technological processes is relatively well possible with the glass containers. However, this is often to clean, which means a considerable manual effort usually. For processes with high heat development

Glasrezipienten oft ungeeignet. jGlass containers often unsuitable. j

Bei Metallrezipienten ist meist ein Schauglas vorhanden. Die Lage wird einmal beim Bau des Rezipienten festgelegt und kann dann nicht mehr verändert werden. In der Folge ist es dann möglich, daß bestimmte technologische Prozesse nicht mehr ausreichend beobachtet werden können, da sie außerhalb des einmal festgelegten Sichtwinkels stattfinden.-Ebenso sind andere Flanschanschlüsse im Rezipienten einmal festgelegt und müssen später akzeptiert werden, das heißt Einbauten werden sehr aufwendig in den vorhandenen Rezipienten eingebaut. Dieses Einbauen in den vorhandenen Rezipienten ist oft sehr nachteilig und vielfältige günstigere technologische Einrichtungen können nicht genutzt werden, da es in dem vorhandenen Rezipienten räumlich nicht möglich ist. Bekannt geworden ist behelfsweise einen „Zwischenring" zwischen Rezipiententeller, d. h. der Grundplatte und dem Rezipienten selbst,,anzuordnen. Im Ergebnis liegt def vorhandene Rezipient lediglich um das feste Maß des Zwischenringes höher. An den im Rezipienten vorhandenen Flanschanschlüssen für optische, elektrische und mechanische Durchführungen kann auch mit Zwischenring nichts verändert werden. Diese starre maßliche Gegebenheit des Rezipienten macht sich zwangsläufig dort nachteilig bemerkbar, wo applikative Untersuchungen oder vielfältige Forschungsarbeiten ein häufiges Ändern dertechnologischen Einbauten erforderlich machen.For metal recipients, a sight glass is usually available. The situation is determined once during the construction of the recipient and can then no longer be changed. As a result, it is then possible that certain technological processes can no longer be sufficiently observed, since they take place outside the once defined angle of view. - Likewise, other flange connections in the recipient once set and must be accepted later, that is, internals are very expensive in installed the existing recipient. This incorporation into the existing recipient is often very disadvantageous and a variety of cheaper technological equipment can not be used because it is spatially impossible in the existing recipient. As a result, the existing recipient is only higher by the fixed dimension of the intermediate ring than the "flange" between the recipient plate, ie the base plate and the recipient itself, and the flange connections for optical, electrical and mechanical feedthroughs provided in the recipient Nothing can be changed with the intermediate ring, since this rigid dimensionality of the recipient inevitably becomes disadvantageous where applicative investigations or diverse research work necessitate a frequent change of the technological installations.

Das Anfertigen mehrerer verschiedener Rezipienten bringt einerseits auch nicht das universelle Ergebnis, andererseits müssen Rezipienten grundsätzlich von Spezialfirmen der Vakuumtechnik hergestellt werden und ein „schneller" Eigenbau ist nicht möglich.On the one hand, the production of several different recipients does not produce the universal result, on the other hand, recipients are basically produced by specialized companies of vacuum technology and a "quick" self-construction is not possible.

Object of the invention

Der Erfindung liegt das Ziel zugrunde, universelle Serien-Vakuumanlagen vorteilhaft für unterschiedliche Vakuumverfahren einsetzen zu können.The invention is based on the objective of being able to use universal series vacuum systems advantageously for different vacuum methods.

Explanation of the essence of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Rezipienten zu schaffen, der mit geringem technischen und ökonomischen Aufwand an die variablen technologischen Anforderungen, insbesondere hinsichtlich der axialen Länge, angepaßt werdenThe invention has for its object to provide a recipient, which are adapted with little technical and economic effort to the variable technological requirements, in particular with regard to the axial length

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe derart gelöst, daß als Rezipient für Vakuumanlagen mindestens zwei axial offene Mantelteile, die beidseitig gleiche Dichtflächen besitzen, und ein axiales Abschlußteil, oder bei axial beidseitig freier Rezipientenachse zwei Abschlußteile, vakuumdicht montiert sind, und daß vorhandene Flanschanschlüsse in den Mantelteilen außermittig angeordnet sind.According to the invention the object is achieved in that as a recipient for vacuum systems at least two axially open shell parts, which have the same sealing surfaces on both sides, and an axial end part, or axially free on both sides recipients axis two end parts, vacuum-tight, and that existing flange connections in the shell parts off-center are arranged.

Auf dieser erfindungsgemäßen Grundlage ist es möglich mittels weniger beim Hersteller der Vakuumanlagen gefertigterOn this basis according to the invention, it is possible by means of less manufactured at the manufacturer of the vacuum equipment

Rezipientenmantelteile eine Vielzahl von speziellen Rezipienten zu montieren, die die Ausnutzung einer jeweils vorteilhaften technologischen Ausrüstung gestatten. Die grundsätzlich in der Vakuumtechnik angestrebte Verringerung von Dichtflächen wird bei der erfindungsgemäßen Lösung mißachtet, doch ist die technologische Beherrschung des Dichtproblems heute so weit entwickelt, daß kaum noch größere Probleme auftreten und die Vorteile überwiegen.Recipient shell parts to assemble a variety of special recipients that allow the use of each advantageous technological equipment. The principle sought in vacuum technology reduction of sealing surfaces is disregarded in the inventive solution, but the technological control of the sealing problem is so far developed today that hardly occur more problems and outweigh the benefits.

Durch die erfindungsgemäße Lösung, daß die Mantelteile beidseitig gleiche Dichtflächen aufweisen und vorhandene Flanschanschlüsse asymmetrisch zur axialen Höhe des Mantelteils angeordnet sind, bildet jedes Mantelteil durch Drehung bereits zwei verschiedene Rezipiententeile. Durch beliebige Summierung von gleichen und bezüglich der Höhe und Durchführungsanordnung verschiedenen Mantelteilen kann der konkret montierte Rezipient außerordentlich vielseitig gestaltet werden.By the inventive solution that the shell parts have on both sides the same sealing surfaces and existing flange connections are arranged asymmetrically to the axial height of the shell part, each shell part by rotation already forms two different recipient parts. By arbitrary summation of the same and with respect to the height and feedthrough arrangement different shell parts of the concretely mounted recipient can be made extremely versatile.

Ebenso können die Abschlußteile sowohl in der Verwendung als Deckel als auch Boclgnteil oder seitliche Abschlüsse in vielfältiger Weise gestaltet werden, insbesondere in den zwei Grundformen Abschlußteil ohne Flanschanschluß und Abschlußteil mit einem Raster von Flanschanschlüssen.Likewise, the closure parts can be designed in many ways, both in the use as a cover and Boclgnteil or lateral statements, in particular in the two basic forms final part without flange connection and end part with a grid of Flanschanschlüssen.

Vorteilhaft ist es, die Mantelteile in zwei oder drei axialen Längen mit jeweils unterschiedlichen Flanschanschlüssen zu fertigen.It is advantageous to manufacture the shell parts in two or three axial lengths, each with different Flanschanschlüssen.

Die damit möglichen Variationen zu einem Rezipienten sind derart groß, daß praktisch alle Anwendungsfälle technisch einwandfrei und individuell gelöst werden können. Zusätzlich ist es noch möglich, neben einfachen Mantelteilen auch Mantelteile sowie Abschlußteile mit Wasserkühlung herzustellen.The thus possible variations to a recipient are so large that virtually all applications can be solved technically perfect and individual. In addition, it is still possible to produce not only simple shell parts but also shell parts and end parts with water cooling.

Die Verbindung der einzelnen Teile ist in bekannter Weise mittels Schraub-oder Klammerverbindung möglich. Die Variationsbreite der erfinderischen Lösung wird insbesondere auch durch die Möglichkeit der Drehung der einzelnen Mantelteile um ihre Längsachse erhöht. Bei einer Klammerflanschverbindung für zylindrische Mantelteile ist eine stufenlose Drehung um 360° möglich. Bei Mantelteilen, z. B. mit quadratischer Dichtfläche, ist die Verdrehmöglichkeit entsprechend geringer und gestuft.The connection of the individual parts is possible in a known manner by means of screw or clamp connection. The range of variation of the inventive solution is particularly increased by the possibility of rotation of the individual shell parts about its longitudinal axis. With a clamp flange connection for cylindrical shell parts a stepless rotation by 360 ° is possible. For jacket parts, z. B. with square sealing surface, the Verdrehmöglichkeit is correspondingly lower and stepped.

Der Vorteil der erfindungsgemäßen Lösung besteht darin, daß mit relativ industriell gefertigten Rezipiententeilen beim Anwender eine hohe Zahl verschiedenartiger, den technologischen Erfordernissen angepaßter Rezipienten montiert werden kann. Das führt zu hohen Effekten, weil die verschiedenen technologischen Prozesse besser optimiert werden können.The advantage of the solution according to the invention is that a relatively large number of different, adapted to the technological requirements recipient can be mounted with relatively industrially manufactured container parts. This leads to high effects, because the various technological processes can be better optimized.

Ausführungsbeispielembodiment

Nachfolgend soll die Erfindung an einem Ausführungsbeispiel näher beschrieben werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt inThe invention will be described in more detail below with reference to an exemplary embodiment. The accompanying drawing shows in

Fig. 1: verschiedene Varianten von erfindungsgemäßen Rezipienten in vertikaler Ausführung für den Tischaufbau Fig.2: eine vertikale Ausführung mit rückseitiger Halterung Fig.3: eine horizontale Ausführung.Fig. 1: different variants of recipients according to the invention in a vertical design for the table structure Fig.2: a vertical version with rear bracket Fig.3: a horizontal version.

In der Fig. 1 sind in den Darstellungen a und b Rezipientenvarianten dargestellt, bei denen die Rezipienten-Mantelteile 2 und 3 in Darstellung a lediglich in Darstellung b als Rezipienten-Mantelteile 2' und 3' gedreht wurden. Der Bodenflansch 1 ist fest mit einer Tischkonsole 8 verbunden und besitzt den Vakuumanschluß 11, über den der Rezipient mit der nicht dargestellten Vakuum-Erzeugereinheit verbunden ist. Die Abschlußteile 4,5,6 sind als einfacher Deckel mit ein, zwei bzw. drei Flanschanschlüssen dargestellt. Die Rezipienten-Mantelteile 2,3 (2', 3') besitzen eine Vielzahl unterschiedlicher Flanschanschlüsse 12, die erfindungsgemäß außermittig zur Höhe des Rezipienten-Mantelteils angeordnet sind. Dadurch verdoppelt sich die Vielzahl der möglichen Gestaltungsvarianten. Die einzelnen Mantelteile und die Abschlußflansche sind miteinander durch bekannte, nicht dargestellte Klammerflansche verbunden. Dadurch wird auch ein stufenloses Verdrehen der einzelnen Teile untereinander möglich und die Gestaltungsbreite der Rezipienten steigt in das unendliche. Das gilt jedoch nur bei zylindrischen Mantelteilen. Bei z.B. quadratischen Mantelteilen sind nur vier Stellungen bei Drehung um die Längsachse möglich. Wichtig ist gemäß der Erfindung, daß die Dichtflächen alle gleichartig sind, damit sie untereinander kombiniert werden können. Die einzelnen Flanschanschlüsse, vorteilhafter Weise in verschiedenen Nennweiten ausgeführt, dienen zur Realisierung der verschiedensten Durchführungen wie elektrische, mechanische, optische und Medien-Durchführungen. Auch zur Anbringung einfacher Halterungen zur Verfahrensrealisierung sind sie geeignet.FIG. 1 shows in the representations a and b recipient variants in which the recipient jacket parts 2 and 3 in illustration a were only rotated in representation b as recipient jacket parts 2 'and 3'. The bottom flange 1 is fixedly connected to a table console 8 and has the vacuum port 11 through which the recipient is connected to the vacuum generator unit, not shown. The final parts 4,5,6 are shown as a simple cover with one, two or three Flanschanschlüssen. The recipient casing parts 2, 3 (2 ', 3') have a multiplicity of different flange connections 12, which according to the invention are arranged eccentrically to the height of the recipient casing part. This doubles the multitude of possible design variants. The individual shell parts and the end flanges are connected to each other by known, not shown Klammerflansche. As a result, a continuous rotation of the individual parts is possible with each other and the scope of the recipient increases in the infinite. However, this only applies to cylindrical shell parts. At e.g. square shell parts only four positions are possible when rotating about the longitudinal axis. It is important according to the invention that the sealing surfaces are all similar, so that they can be combined with each other. The individual flange connections, advantageously designed in different nominal widths, are used to implement the most diverse feedthroughs, such as electrical, mechanical, optical and media feedthroughs. They are also suitable for mounting simple holders for process realization.

Die Fig.2 zeigt sinngemäß einen gleichartigen Rezipienten, nur daß am Mantelteil 7 die Aufhängung seitlich über die Konsole 9 erfolgt und unten ein zugängliches Anschlußteil 6 vorhanden ist. Wenn vorteilhaft, dann kann der Rezipient so ausgelegt werden, daß ein Mantelteil durch eine Hebevorrichtung ständig verfahrensgemäß geöffnet werden kann. Ebenso ist es möglich, mit einer speziellen Schleuse eine Beschickung des Rezipienten zu gewährleisten.2 shows, mutatis mutandis, a similar recipient, except that the jacket part 7, the suspension takes place laterally over the bracket 9 and below an accessible connector 6 is present. If advantageous, then the recipient can be designed so that a jacket part can be opened by a lifting device constantly according to the method. It is also possible to ensure a feed of the recipient with a special lock.

In Fig. 3 ist eine Variante in horizontaler Anordnung dargestellt. Die Positionsnummern sind wie in Fig. 1 und 2 verwendet. Die Ergänzung'"zeigt die dritte dargestellte Lage des ansich gleichen Teils an. Der gesamte Rezipient ist auf der Konsole 10 gelagert. Es könnte dabei auch eine Tischkonsole 8 sinngemäß verwendet werden.In Fig. 3, a variant is shown in a horizontal arrangement. The position numbers are as shown in Figs. 1 and 2 used. Supplement "" indicates the third position of the same part as shown, and the entire recipient is mounted on the console 10. It could also be a table console 8 used analogously.

Mit einer nicht zur Erfindung gehörenden Zwischenschaltung von Ventilen wäre diese Ausführung auch als Schleusenanlage aufbaubar.With a not belonging to the invention interposition of valves, this design would also be buildable as a lock system.

Die Ausführungsbeispiele zeigen sehr deutlich, daß fast in jedem technologischen Spezialfall ein ganz konkreter und vorteilhafter Rezipient mittels der erfindungemäßen Lösung aufgebaut werden kann.The embodiments show very clearly that in almost every technological special case a very concrete and advantageous recipient can be constructed by means of the solution according to the invention.

Claims

claims:

1. Recipient for vacuum systems with variable axial length, characterized in that as Rezipieht at least two axially open shell parts, which have the same sealing surfaces on both sides, and an axial end part, or at axially both sides free recipient axis two end parts, are mounted vacuum-tight, and that existing flange connections are arranged eccentrically in the shell parts. ;

2. Recipient according to item 1, characterized in that the axial lengths of the various shell parts are different.