DD213549A1 - METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES - Google Patents

METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES Download PDF

Info

Publication number
DD213549A1
DD213549A1 DD24594582A DD24594582A DD213549A1 DD 213549 A1 DD213549 A1 DD 213549A1 DD 24594582 A DD24594582 A DD 24594582A DD 24594582 A DD24594582 A DD 24594582A DD 213549 A1 DD213549 A1 DD 213549A1
Authority
DD
German Democratic Republic
Prior art keywords
alkali metal
metal vapor
front panels
vapor concentration
alkali
Prior art date
Application number
DD24594582A
Other languages
German (de)
Inventor
Bernhard Schonert
Manfred Hahn
Original Assignee
Werk Fernsehelektronik Veb
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Werk Fernsehelektronik Veb filed Critical Werk Fernsehelektronik Veb
Priority to DD24594582A priority Critical patent/DD213549A1/en
Publication of DD213549A1 publication Critical patent/DD213549A1/en

Links

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

Um auf die Frontplatten fotoempfindlicher Halbleiterkatoden fuer Fotoroehren, die im weitesten Sinne zur Umwandlung elektromagnetischer Strahlung im Wellenbereich 160 bis 1800 nm in elektrische Signale dienen, Alkalimetalle, insbesondere in geringen Mengen, kostenguenstig aufdampfen zu koennen, sollen die Herstellung jeder vorgegebenen Elektrodenkonfiguration mit geringen Toleranzen erlaubende, eindeutige und automatisch realisierbare Bedingungen aufgezeigt werden. Dazu werden die Frontplatten bei konstanten aeusseren Bedingungen einer in Vorversuchen ermittelten, optimalen Alkalimetalldampfkonzentration ausgesetzt. Als Mass fuer die Alkalimetalldampfkonzentration wird der Entladungsstrom zwischen zwei im Alkalimetalldampf liegenden Elektroden verwendet.In order to be able to inexpensively vaporize alkali metals, in particular in small quantities, on the front panels of photosensitive semiconductor cathodes for phototubes, which in the broadest sense serve to convert electromagnetic radiation in the waveband 160 to 1800 nm into electrical signals, the manufacture of any given electrode configuration with small tolerances is permitted , clear and automatically realizable conditions are shown. For this purpose, the front panels are exposed under constant external conditions to a determined in preliminary experiments, optimal alkali metal vapor concentration. As a measure of the alkali metal vapor concentration, the discharge current is used between two electrodes lying in the alkali metal vapor.

Description

Titel der Erfindung '; - , .. ; ; ; .-//V. . V'-.-: .' ' Verfahren zuta Aufdarnpfen von Alkäliinetall©n Anwendungsgebiet der ErfindungTitle of the Invention '; -, ..; ; ; .- // V. , V'-.- :. ''The method of zuta Aufdarnpfen Alkäliinetall © n Field of the Invention

Das Verfahren zum Aufdampfen von Älkalimetallfin wird zur S Herstellung von Fotokatoden für Fotoröhren,die imweitesten Sinne zur Umwandlung elektromagnetischer Strahlung im Vj'ellenlängenbereich 160 nm bis 1800 rim in elektrische Signale dienen, verwendet* ;The method of depositing alkali metal fin is used to prepare photocathodes for phototubes, most commonly used to convert electromagnetic radiation in the wavelength range of 160 nm to 1800 nm into electrical signals *;

Charakteristik der bekannten technischen LösungenCharacteristic of the known technical solutions

Bekannt ist eine Reihe von Alkaliantimonid-Fotokatoden, die den äußeren lichtelektrischen Effekt ausnutzen« Die verschiedenen Typen der Fotpkatoden unterscheiden sich vor allem in ihrer chemischen Zusammensetzung, die ihren spektralen Empfindlichkeitsbereich wesentlich bestimmt» Die hocheffektiven A III/av-Fotbemitter konnten aus verschiedenen Gründen die Alkaliantimohide nicht verdrängen.A number of alkali antimonide photocathodes which exploit the external photoelectric effect are known. The various types of photodkatters differ, above all, in their chemical composition, which essentially determines their spectral sensitivity range. The highly effective A III / av photoinitiators have been able to achieve the Do not displace alkali earthoids.

Bei der Herstellung einer solchen Fotokatode ist es üblich, eine Sh-Grundschioht mit einer Folge von Alkalimetalldämpfen zu beaufschlagen» Bei Beleuchtung der Emissions* schicht wird die Abhängigkeit zwischen Signalstrom und ein-In the production of such a photocathode, it is customary to apply a series of alkali metal vapors to a Sh base layer. When the emission layer is illuminated, the dependence between the signal current and a

»2 «· ' ' " ': ;'· " · '· .C.'ü.»2« · '' "':;' ·" '' '.C.'u.

gelagerter Alkalimetallmehg© als Haß for die zu erzeugende Alkalimetallkonzentration genutzt. Der Chemisrous dieser dünnen Fotoejnissionsschichtön ist aber außerordentlich empfindlich, und deshalb werden von dem Bearbeiter hohe Aufmerksamkeit und Kenntnis verlangt;, um solche Verfahren erfolgreich durchzuführen.*-'1 'stored Alkalimetallmehg © used as hate for the alkali metal concentration to be generated. However, the chemisurrence of these thin photographic layers is extremely sensitive, and therefore high attention and knowledge is required of the operator in order to successfully perform such procedures. * - ' 1 '

IEs sind auch Verfahren bekannt, die die Älkalimetalleinwirkung auf eine Antimon- und/oder schon teilweise vorhandene Alkaliantimonidschicht durch Entwicklung einer gewissen überschüssigen Menge des betreffönden Alkalimetalls bewirken, wobei die Beachtung des Signalstromes entfällt« Dedoch ist eine Dosierung breitenStreuungen unterworfen, und der erreichte Formierzustand entspricht häufig nicht den optimalen Werten der an gas treibten Fötoka töde.IEs are also known processes which effect the alkali metal effect on an antimony and / or already partially existing Alkaliantimonidschicht by developing a certain excess amount of the relevant alkali metal, the attention of the signal flow is eliminated. However, a dosage is subject to wide scattering, and corresponds to the achieved Formierzustand often not the optimum levels of gas-borne fetoka killing.

im Falle der an sich bekannten Sb-K-Cs-Fotokatode ist bei der dem Stande der Technik entsprechenden Verfahrensweise' zur Zäsiumentwicklung störend, daß der hoho Schichtwiderstand der Katode zu Verfälschungen bei der Signalstrombewertung führt,in the case of the Sb-K-Cs photocathode known per se, the method of cesium development which is in accordance with the state of the art is troublesome in that the high film resistance of the cathode leads to distortions in the signal current evaluation,

Ziel der Erfindung ; l·Aim of the invention; l ·

kostengünstiges Aufdampfen von Alkalimetallen auf die Frontplatten fotoempfindlicher Halbleiterkatoden, insbesondere Aufdampfen geringerer^Älkalimehgen.cost-effective vapor deposition of alkali metals on the front panels of photosensitive semiconductor cathodes, in particular vapor deposition of smaller amounts of alkali.

Darlegung dee Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention

- Die technischeAufgabe, die durch die.Erfindung gelöst ' '....' wird. ' . .. '' · 'v-v .' ; ·. :,' : ' ' " .'- The technical task, which is solved by the invention '' .... '. '. .. '''' vv. '; ·. : , ' : ''".'

Um auf die Frontplatteri fotoem-pfiridii.chor Halbleiterkatoden Alkalimetalle, insbesondere in geringeren Mengen, kostengünstig aufdampfen zu können, soll eine Möglichkeit aufgezeigt werden, jede vorgegebene HlektrodenkonfigurntiortIn order to be able to evaporate alkali metals, in particular in smaller quantities, inexpensively on the front panel of the semiconductor photovoltaic cells, a possibility is to be shown of any given electrode configuration

mit geringen Töleranzen unter eindeutigen, automatisch realisierbaren Bedingungen herzustellen,produce with low oiler lances under clear, automatically realizable conditions,

-Merkmale der Erfindung .Features of the invention.

Die Frontplatter! werden bai konstant gehaltenen äußeren Bedingungen während einer definierten Zeit einer in Vorvcrsuchen für Jede herzustellende Elektrodenkonfiguration ermittelten, optimalen Alkalimetalldampfkonzentration aufgesetzt. Als Maß für die Alkalimetalldampfkonzentration wird der Entladungsetrom zwischen zwei im Alkalimetall-.10 dampf liegenden Elektroden verwendet»The frontplatter! For example, in the presence of constant external conditions during a defined time of optimum alkali metal vapor concentration determined in advance for each electrode configuration to be fabricated. As a measure of the alkali metal vapor concentration of the discharge is used between two electrodes lying in the alkali metal .10 vapor »»

Besonders vorteilhaft ist es, entsprechend einem für die herzustellende Elektrodenkonfiguration als optimal ermittelten Entladungsstrom zwischen zwei im Alkalimetalldampf liegenden Elektroden die Verdampferstromstärke zu ·. regeln. . : , -.. ' ' ./ :. , ,· .'. .· . ' , 'It is particularly advantageous, corresponding to a discharge current determined optimally for the electrode configuration to be produced, between two electrodes located in the alkali metal vapor to the evaporator current strength. regulate. , :, - .. '' ./ :. , ·. '. · ·. ','

Ausführungsbeispielembodiment

Die Erfindung wird gnHand des Aufdampfens von Kalium und Iläsium auf eine bereits mit Antimon bedampf te Frontplatte 'erläutert. i ; '; ·' ' .' :- ' '. . ' - ..' .. . " .-.' ' 'The invention will be explained gnHand of vapor deposition of potassium and Iläsium on an already coated with antimony front plate '. i ; '; · ''. ' : - ''. , '- ..' ... ".-. '''

erfindungsgemäß bilden zwei für die Fptostrommessung nicht verwendete Elektroden des Elektronenüberführungssystems in Fotokatodonnähe in einer zusätzlichen galvanisch weitgehend entkoppelten Heßschaltung^ eine Entladungsstrecke· Zur Erreichung möglichst hoher Ent ladung ss trönie ist die !!öhreninnenbeschaltung in optitnaler V^eise derart realisiert, daß ein das Kalium- und ein das Clisium-Reaktionsgemioch enthaltendes und mittels Strofiuiurchgang .erhitzbares ivickeiröhrchen an die auf negativem Potential liegende Elektrode angeschweißt ist. Dabei werden die La- dungsträger des gemessenen Entladungsstrpmes vor allem ; durch thermisch emittierte Elektronen infolge des herabgösötzterf^Kustrittspotentiöls an der VerdänipferoberflächeAccording to the invention, two electrodes of the electron transfer system in the vicinity of the photocathode in an additional galvanically largely decoupled hopping circuit form a discharge path for achieving the highest possible charge. and a test tube containing the clisium reaction mixture and heatable by heat sealing is welded to the negative potential electrode. The charge carriers of the measured discharge current are above all ; by thermally emitted electrons as a result of the down-flow of the Kustrittspotentiöls at the Verdänipferoberfläche

- 4~,-;'; . : ;:' 'C- 4 ~, - ; '; , :;: '' C

durch freigesetztes Kalium bzw. Cäsiumbewirkt· Unter thermisch konstant gehaltenen äußeren Bedingungen wir erfindungsgemäß die zur Ladungsträgerkonzentration korrelative Alkalimetalldampfkonzentration gesteuert,caused by liberated potassium or cesium. Under thermally constant external conditions, according to the invention, the concentration of alkali metal vapor which is correlated to the charge carrier concentration is controlled.

So wird z. 8. bei mittels eitles Ofens auf 450 K erhitztem Fotokatodenraum und gleichzeitig auf 480 K gehaltenem Fo- to röhren innenra'um die Meßstrecke Kaliumverdampfer - positive Gegenelektrode mit 50 V Gleichspannung beaufschlagt und der Kaliumverdampfer über einen Prozeßrechner stromgesteuert« Es wird z. B. für 20 Minuten ein Strom von 5 .10 A zwischen Kaliumverdampfer und positiver Gegenelektrode aufrechterhalteri , das Regeln der dazu notwendigen Verdampferotromstärke erfolgtautomatisch. Durch programmierten Steuerbefehl wird eine Formierphase eingehal- ten« intsprochend der herzustellenden Elektrodankonfigu-.ration'wird dieser Vorgang wiederholt bzw, die Bedampfüngszekt und/oder die Verdampferstromstärke den Erfordernissen entsprechend verändert«So z. 8. In the case of an oven heated to 450 K with a heated photocathode space and simultaneously held at 480 K, the measuring section potassium evaporator - positive counterelectrode is supplied with 50 V DC voltage and the potassium evaporator is current-controlled via a process computer. For example, a current of 5 .10 A between potassium evaporator and positive counter electrode maintained for 20 minutes, the regulation of the necessary Verdampferotromstärke takes place automatically. By means of a programmed control command, a forming phase is maintained. "In accordance with the electrode configuration to be produced, this process is repeated or the bedding effect and / or the evaporator flow strength are changed as required."

Darauf wird die Temperatur des Fotoröhreninnenraums auf 470 K gesenkt und ein Steuerbefehl zum Erwärmen des Cä~ siumvordampfers erteilt .Bei ebenfalls mit 50 V Gleichspannung beaufschlagter Meiistrecke wird z. B. für 15 Minuten ein Strom von 5 . 10 A zwischen Cäsiumverdaföpfer und positiver Gegenelektrode aufrechterhälten. Daran schließt sich ebenfalls eine Formiorphase an. Gegebenenfalls wird auch dieser Vorgang komplett wiederholt bzw, die Bedampfungszeit und/oder die Verdampferstrpmstarke den Erfordernissen entsprechend veraridert.Thereafter, the temperature of the interior of the phototube is lowered to 470 K and a control command for heating the Caesiumvordampfers granted. Also with 50 V DC loaded Meiistrecke z. B. for 15 minutes a stream of 5. Maintain 10 A between cesium digestor and positive counter electrode. This is followed by a formative phase. If appropriate, this process is also completely repeated or the evaporation time and / or the evaporator flow rate are modified according to the requirements.

Oa insbesondere für die Alkalimetall-Verdampfungs~Prozeßsteuerung, die kontinuierlich über relativ lange BearboitungsEeiten.erfolgen muß, die Entladungsstromstärke in der angegebenen Hößsehaltung als Meßgröße verwendet wird, kann für diesen Regelprozeß ein Prozeßrechner eingesetzt vieroen, der die Ausgabe einer entsprechenden ιEspecially for the alkali metal evaporation ~ process control, which must continuously over relatively long BearboitungsEeiten.serfolgen, the discharge current is used in the specified Hößsehaltung as a measured variable, can be used for this control process a process computer four, the output of a corresponding ι

Steuergröße mit Hilfe eines speziellen Verarbeitungspronrommo übernimmt. Das wird dadurch ermöglicht, daß die Frozeßabläufe nun erstmalig algorithrnisch boschroibbar werden durch den eindeutigen funktionalen Zusammenhang zwischen Meß- und SteuergröSe, wobei eine nicht vernieidbare Hysterese klein gehalten werden kann.Control variable with the help of a special processing priority. This is made possible by the fact that the Froß processes are now for the first time algorithmically boschroibbar by the unique functional relationship between the measured and SteuergröSe, with a non-vernieidbare hysteresis can be kept small.

Claims (2)

Erfindungsanspruch ^Claim for invention ^ 1. Verfahren zum Aufdampfen von Alkalimetallen auf die Frontplatten fotoempfindlicher Halbleiterkatoden, insbesondere' Auf dampfen geringerer Aikalimerigen, gekenn- zeichnet dadurch, daß bei konstant gehaltenen äußeren Bedingungen die Frontplatten während einer definierten Zeit einer in Vorversuchen für jede herzustellende Elektrodenkonfiguration ermittelten, optimalen Alkali-- metalldämpfkonzentration ausgesetzt werden und daß als Maß für dieAlkalimetalldampfkonzentration der EntladungsetVom zwischen zwei im Alkälimetallciampf liegenden Elektroden verwendet wird·1. A method for evaporating alkali metals on the front panels of photosensitive semiconductor cathodes, in particular 'on vaporizing lesser Aikalimerigen, characterized in that at constant external conditions, the front panels during a defined time of a pre-determined for each electrode configuration to be produced, optimal alkali metal metal vapor concentration are exposed and that as a measure of the alkali metal vapor concentration, the discharge rate is used between two lying in Alkälimetallciampf electrodes · 2. Verfahren nach Punkt 1, gekennzeichnet dadurch, daß entsprechend einem für die herzustellende Slektrodenkonfiguration als optimal ermittelten Hntladungsstrom zwischen zwei im Alka lime talldatnpf liegenden Elektroden die dem Verdampfer zugeführte^ Stromstärke geregelt wird.2. The method according to item 1, characterized in that in accordance with a produced for the slektrodenkonfiguration as optimally determined Hntladungsstrom between two lime in Alka electrodes lying in the Alkka supplied to the evaporator ^ amperage is regulated.
DD24594582A 1982-12-14 1982-12-14 METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES DD213549A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD24594582A DD213549A1 (en) 1982-12-14 1982-12-14 METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DD24594582A DD213549A1 (en) 1982-12-14 1982-12-14 METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DD213549A1 true DD213549A1 (en) 1984-09-12

Family

ID=5543312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DD24594582A DD213549A1 (en) 1982-12-14 1982-12-14 METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES

Country Status (1)

Country Link
DD (1) DD213549A1 (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2006876A1 (en) * 2006-03-08 2008-12-24 Hamamatsu Photonics K.K. Photoelectric surface, electron tube comprising same, and method for producing photoelectric surface

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2006876A1 (en) * 2006-03-08 2008-12-24 Hamamatsu Photonics K.K. Photoelectric surface, electron tube comprising same, and method for producing photoelectric surface
EP2006876A4 (en) * 2006-03-08 2012-09-19 Hamamatsu Photonics Kk Photoelectric surface, electron tube comprising same, and method for producing photoelectric surface

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE821092C (en) Photosensitive element
DE973156C (en) Process for the production of photoelectrically conductive layers for photoresistors
DE2813250C2 (en) Process for the production of compound semiconductor chips
DE1544183A1 (en) Breeding of thin semiconductor layers
Apker et al. Exciton-enhanced photoelectric emission from f-centers in rbi near 85 k
DE2826752A1 (en) PHOTOELEMENT
DE1295310B (en) Evaporation control method
DE2750611A1 (en) METHOD AND DEVICE FOR COATING A SUBSTRATE
DE2805247A1 (en) DEVICE FOR THE PRODUCTION OF CONNECTING SEMICONDUCTOR THIN FILMS
DE2720424A1 (en) DEVICE FOR GENERATING AN ION OR ELECTRON BEAM OF HIGH INTENSITY
DE1290409B (en) Process for producing thin layers from cadmium salts by vapor deposition
DE69911012T2 (en) FLAT ELECTRON EMITTER
DE2945156C2 (en)
DD213549A1 (en) METHOD FOR THE EXPOSURE OF ALKALIMETALLES
DE4213796A1 (en) DEVICE AND METHOD FOR ION IMPLANTATION
DE69729820T2 (en) electron tube
DE1639219A1 (en) Process for producing a photosensitive, electron-emitting electrode and electrode produced by the process
US4163153A (en) Ion beam means
DE102005040087A1 (en) Depositing method for depositing absorber layers for thin-layer solar cells covers layer-forming elements in a vapor phase while depositing them on a substrate
US4862006A (en) Method of fabrication of an x-ray image intensifier and an x-ray image intensifier thus obtained
DE1462101B1 (en) METHOD OF MANUFACTURING A PHOTOCONDUCTIVE IMAGE ELECTRODE FOR IMAGE RECORDING TUBES
DE1614753A1 (en) Photoelectric conductors
Johnson et al. A comparative study of the determination of zinc and molybdenum by atomic absorption spectrometry with a carbon filament atom reservoir
DE1293196B (en) Method for making a secondary emission electrode
DE1596179C2 (en) Device for the direct generation of electricity

Legal Events

Date Code Title Description
ENJ Ceased due to non-payment of renewal fee