DD208200A1

DD208200A1 - VALVE FOR VACUUM TANK

Info

Publication number: DD208200A1
Application number: DD23490281A
Authority: DD
Inventors: Bernd Faust; Gerhard Wegat; Karl Winter
Original assignee: Adw Der Ddr Zi Fuer Isotopen U
Priority date: 1981-11-17
Filing date: 1981-11-17
Publication date: 1984-03-28

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Ventil, das sowohl eine vakuumdichte Trennung als auch eine Oeffnung an einer oder mehreren Stellen zwischen zwei Kammern eines Vakuumbehaelters bei geringer Baugroesse ermoglicht. Es besteht aus einem mit Oeffningen versehenen Trennflansch zwischen den zwei Kammern, einem ebenfalls mit Oeffnungen versehenen, auf dem Trennflansch drehbar gelagerten Ventilteller, einem Antrieb fuer den Ventilteller sowie Dichtungsmitteln zwischen Trennflansch und Ventilteller. Zahl, Lage und Form der Oeffnungen koennen in bestimmten Grenzen den zu loesenden Aufgaben angepasst werden. So koennen innerhalb eines Vakuumbehaelters verschiedene Bearbeitungsvorrichtungen mit verschiedenen Proben in Verbindung gebracht oder ganz oder teilweise voneinander getrennt werden.The invention relates to a valve which allows both a vacuum-tight separation and an opening at one or more locations between two chambers of a vacuum container with a small construction size. It consists of a provided with Oeffningen separating flange between the two chambers, a likewise provided with openings, rotatably mounted on the separating valve valve plate, a drive for the valve disk and sealing means between the separating flange and the valve disk. The number, position and shape of the openings can be adjusted within certain limits to the tasks to be solved. Thus, within a vacuum container, different processing devices can be associated with different samples or completely or partially separated from each other.

Description

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Ventil für Vakuumbehälter Anwendungsgebiet der ErfindungValve for vacuum container Field of application of the invention

Die Erfindung betrifft ein Ventil, das sowohl eine vakuumdichte Trennung als auch eine üffnung an einer oder mehreren Stellen zwischen zwei Kammern eines Vakuumbehälters ermöglicht.The invention relates to a valve which allows both a vacuum-tight separation and an opening at one or more locations between two chambers of a vacuum container.

Characteristic of the known technical solutions

Bekannte Vakuumventile sind als Eckventile, Durchgangsventile, Belüftungsventile und andere ausgelegt. Dabei werden Anordnungen mit Schwenkachsen und mit Schiebern verwendet« Bei letzteren ist in der Regel noch eine zweite Bewegungsrichtung, meist mit Zwangsführung, zur Erzielung einer ausreichenden Abdichtung erforderlich (IvI. von Ardenne, "Tabellen der Elektronenphysik, Ionenphysik und Übermikroskopie", Bd. 2, 772), Ebenso sind Pendelschieber bekannt, die jedoch, ähnlich den Plachschieberausführungen, die mehr als doppelte Baugröße der geforderten Durchlaßfläche benötigen* Daraus ergibt sich bei größeren Ausführungen ein erheblicher Materialbedarf und ein hohes Gewicht. Es wurde deshalb vorgeschlagen (US-PS 3 270 434), zwei Kreisplatten mit versetzten Durchlässen aufeinander abzudichten. Dabei wird eine ganze Innenkammer mittels Hubbewegungen bewegt. Auch diese Ausführung ist aufwendig. Die Anordnung einer drehbaren Drosselklappe zwischen den zwei Kammern (DE-PS 1 135 828) hat den Kachteil, daß die Drosselklappe weit ausschwenkt, so daß viel Bewegungsraum erforderlich ist» Schließlich gibt es noch den Vorschlag (DD-WP 149 695), das Ventil aus einer Dichtscheibe und mindestens zwei Ventiltellern aufzubauen, wobei die Dichtscheibe als Trennwand zwischen den beidenKnown vacuum valves are designed as angle valves, through valves, ventilation valves and others. Arrangements with swivel axes and with sliders are used. "In the latter case, a second direction of movement, usually with positive guidance, is usually required to achieve adequate sealing (Ivl von Ardenne," Tables of Electron Physics, Ion Physics and Overmicroscopy ", Vol , 772), Pendulum slide are also known, however, similar to the Plachschieberausführungen that require more than twice the size of the required passage area * This results in larger versions, a significant material requirements and high weight. It has therefore been proposed (US Pat. No. 3,270,434) to seal two circular plates with staggered passages to one another. In this case, a whole inner chamber is moved by means of lifting movements. This design is expensive. The arrangement of a rotatable throttle between the two chambers (DE-PS 1 135 828) has the Kachteil that the throttle swings far, so much space is required »Finally, there is the proposal (DD-WP 149 695), the valve from a gasket and at least two valve plates build up, the gasket as a partition between the two

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Kammern lösbar eingespannt ist und die Ventilteller an einer Traverse angeordnet sind. Die Traverse ist fest mit einer Ventilwelle verbunden, die ihrerseits in der Dichtscheibe gelagert ist«Chambers is releasably clamped and the valve discs are arranged on a crossbar. The traverse is firmly connected to a valve shaft, which in turn is mounted in the sealing disc «

Die bisher bekannten bzw. vorgeschlagenen Vakuumventile ermöglichen meist nur die Zustände "Ventil auf¹¹ oder "Ventil zu", i'ür Kombinationsaufgaben im Vakuum und im Vakuumbehälter erscheint die Anordnung mehrerer bekannter Vakuumventile wenig sinnvoll.The previously known or proposed vacuum valves usually allow only the states "valve to ¹¹ or" valve to ", i'ür combination tasks in vacuum and in the vacuum container, the arrangement of several known vacuum valves seems less useful.

Object of the invention

Das Ziel der Erfindung ist es, zwei Vakuumkammern wahlweise sowohl vakuumdicht voneinander zu trennen als auch bei Bedarf an einer oder mehreren Stellen miteinander zu verbindenThe object of the invention is to either vacuum vacuum tightly separate two vacuum chambers from each other as well as to connect at one or more points as needed

Explanation of the essence of the invention

Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, eine Anordnung zu schaffen, mit der zwei Kammern eines Vakuumbehälters sowohl vakuumdicht voneinander getrennt als auch miteinander verbunden werden können, wobei eine geringe Baugröße der Anordnung anzustreben ist.The object of the invention is to provide an arrangement with which two chambers of a vacuum container can be both vacuum-tight separated from each other and connected to each other, with a small size of the arrangement is desirable.

Das erfindungsgemäße Ventil für Vakuumbehälter besteht aus einem mit Öffnungen versehenen Trennflansch zwischen den zwei Kammern des Vakuumbehälters, einem ebenfalls mit Öffnungen versehenen, auf dem Trennflansch drehbar gelagerten Ventilteller, einem Antrieb für den Ventilteller sowie Dichtungen zwischen Trennflansch und Ventilteller. Die Abdichtung zwischen Drehteller und Trennflansch erfolgt mit bekannten Mitteln, z. B. mit Hilfe von Nullringen, die entweder am Drehteller oder am Trennflansch befestigt sind. Der Antrieb für den Ventilteller wird so ausgelegt, daß er auch den entsprechenden Andrückdruck des Ventiltellers gegen den Trennflansch bewirkt. Im einfachsten Falle kann der AntriebThe valve for vacuum container according to the invention consists of an apertured separating flange between the two chambers of the vacuum container, a likewise provided with openings, rotatably mounted on the separating flange valve plate, a drive for the valve disk and seals between the separating flange and the valve disk. The seal between the turntable and the separation flange is carried out by known means, for. B. by means of zero rings, which are attached either on the turntable or on the separating flange. The drive for the valve disk is designed so that it also causes the corresponding Andrückdruck of the valve disk against the separating flange. In the simplest case, the drive

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über eine Achse, die durch eine vakuumdichte Drehdurchführung im Behälterboden oder -deckel geführt wird, erfolgen.via an axis, which is guided by a vacuum-tight rotary feedthrough in the container bottom or lid done.

Zahl, Lage und Form der Öffnungen sind sowohl im Trennflansch als auch im Ventilteller in bestimmten Grenzen frei wählbar, so daß das Ventil den vielfältigsten Erfordernissen von Vakuumbehältern angepaßt werden kann· Im einfachsten .Falle befindet sich im Drehteller eine Öffnung, die mit den Öffnungen im Trennflansch nacheinander in Übereinstimmung gebracht werden kann. In der Regel wird jedoch die Zahl der Öffnungen auch im Drehteller größer als 1 sein, dabei ist nur darauf zu achten, daß noch eine vollständige Bedeckung der öffnungen im Trennflansch mit Hilfe des Ventiltellers möglich ist. In der Regel sind die Öffnungen kreisförmig, doch können sie für spezielle Zwecke auch anders geformt sein (Schlitze, Ellipsen usw.). Die Öffnungen brauchen auch nicht alle auf einer Kreisbahn zu liegen.Number, position and shape of the openings are freely selectable within certain limits both in the separating flange and in the valve plate, so that the valve can be adapted to the manifold requirements of vacuum containers. · In the simplest case, there is an opening in the turntable, which communicates with the openings in the Separating flange can be brought into line successively. In general, however, the number of openings in the turntable will be greater than 1, it is only necessary to ensure that even a complete coverage of the openings in the separating flange by means of the valve disk is possible. As a rule, the openings are circular, but they may also be shaped differently for specific purposes (slots, ellipses, etc.). The openings do not all need to lie on a circular path.

Das erfindungsgemäße Ventil kann in beliebige Vakuumbehälter eingebaut werden, am besten geeignet sind solche mit kreisförmiger Grundfläche.The valve according to the invention can be installed in any vacuum container, most suitable are those with a circular base.

Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Ventils können innerhalb einer Vakuumkammer verschiedene Bearbeitungsvorrichtungen mit verschiedenen Werkstücken (Proben) in Verbindung gebracht bzw. wahlweise ganz oder teilweise voneinander getrennt werden. Zum Zwecke der Werkstück-(Proben-)Entnahme kann eine vakuumdichte Abtrennung der beiden Vakuumkammern erfolgen. Es können auch mehrere Pumpsysteme angeschlossen werden, die getrennt voneinander einzeln oder insgesamt zur Erzeugung verschiedener Vakua oder insbesondere verschiedener Pumpzeiten nutzbar sind*With the aid of the valve according to the invention, different processing devices can be brought into connection with different workpieces (samples) within a vacuum chamber or, alternatively, can be completely or partially separated from one another. For the purpose of workpiece (sample) removal, a vacuum-tight separation of the two vacuum chambers can take place. It is also possible to connect a plurality of pump systems, which can be used separately or individually for producing different vacuums or, in particular, different pumping times.

embodiment

Die Figur zeigt den Schnitt durch einen Vakuumbehälter mit eingebautem erfindungsgemäßem Ventil.The figure shows the section through a vacuum container with built-in valve according to the invention.

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Das Ventil besteht aus einem Trennflansch 3, der so in den Vakuumbehälter eingebaut ist, daß dieser in die zwei Kammern 1 und 2 geteilt wird, aus einem auf dem'Trennflansch 3 drehbar gelagerten Ventilteller 4, aus Dichtungen 9 zwischen Trennflansch 3 und Ventilteller 4 sowie aus einem Antrieb zum Drehen des Ventiltellers 4 bzw. Anpressen des Ventiltellers 4 an den Trennflansch 3. Im Trennflansch 3 befinden sich drei jeweils um 90° versetzte Öffnungen, ini Ventilteller ebenfalls drei gleich große, um 90° versetzte Durchlässe« Das Zentrum des Ventiltellers 4 ist als Mutter 5 ausgebildet, während das Ende der Drehdurchführungsachse eine Gewindespindel 6 darstellt. Mutter 5 und Spindel 6 besitzen Anschläge 7, die nach einstellbarem Gewindehub zum Eingriff kommen. Somit kann das Gewinde in einer Richtung mittels Anschlag zur Mitnahme der Mutter 5 und damit zum Drehen des Ventiltellers 4 genutzt werden, während in der anderen Richtung das Gewinde zum Anpressen des Ventiltellers 4 an den Trennflansch 3 dient. Um das Anpressen des Ventiltellers 4 in der gewünschten Stellung zu ermöglichen und um die verschiedenen Stellungen des Ventiltellers 4 in bezug auf den Trennflansch 3 zu signalisieren, sind entsprechend der Anzahl der Öffnungen bzw. der erforderlichen Stellungen im vorliegenden Falle fünf Rastpunkte 8 vorgesehen, die zusätzlich Einrichtungen zur Signalgabe enthalten. Bei einer Stellung fallen die drei Öffnungen des Ventiltellers 4 mit den drei Öffnungen im Trennflansch 3 zusammen, bei einer weiteren Stellung (z. B₀ um 45° gegen die erstgenannte verdreht) sind alle Öffnungen verschlossen,und bei den drei übrigen Stellungen sind immer zwei andere Öffnungen geöffnet. Als Dichtungen sind Nullringe 9 eingesetzt, die am Drehteller 4 befestigt sind.The valve consists of a separating flange 3, which is installed in the vacuum container, that this is divided into the two chambers 1 and 2, from a rotatably mounted on dem'Trennflansch 3 valve plate 4, of seals 9 between the separating flange 3 and valve disk 4 and In the separating flange 3 are three each offset by 90 ° openings, ini valve plate also three equal large, offset by 90 ° passages «The center of the valve disc. 4 is designed as a nut 5, while the end of the rotary leadthrough axis represents a threaded spindle 6. Nut 5 and spindle 6 have stops 7, which come after adjustable threaded engagement. Thus, the thread can be used in one direction by means of stop for entrainment of the nut 5 and thus for rotating the valve disk 4, while in the other direction the thread for pressing the valve disk 4 serves to the separating flange 3. In order to allow the pressing of the valve disk 4 in the desired position and to signal the different positions of the valve disk 4 with respect to the separating flange 3, five locking points 8 are provided in accordance with the number of openings or the required positions in the present case, in addition Devices for signaling included. In one position, the three openings of the valve plate 4 coincide with the three openings in the divider vane 3 together, in another position (e.g., B ₀ to 45 ° to the first-mentioned twisted) all the openings are closed, and the three remaining positions are always two other openings open. As seals zero rings 9 are used, which are fixed to the turntable 4.

Claims

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1. Valve for vacuum container, characterized in that on a vacuum container in two chambers (1; 2) dividing and provided with openings separating flange (3) rotatably mounted also provided with openings and against the separating flange (3) sealed valve disc (4) is.

2. Valve according to item 1, characterized in that the center of the valve disk (4) as a nut (5) and the end of the rotary leadthrough axis as a threaded spindle (6) are formed and both stops (7) have

3. Valve according to item 1, characterized in that for the valve disk

(4) latching points (8) are provided with signaling.

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