DD203793A1 - DEVICE FOR AUTOMATIC MACHINING OF ELECTRONIC COMPONENTS - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung ist anwendbar zur automatischen Bearbeitung, wie Messen, Abgleichen, Kennzeichnen, Kontaktieren, Belichten elektronischer Bauelemente, insbesondere mikroelektronischer Bauelemente. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, bei der fuer die automatische Bearbeitung zusammengefaszter Objekte nur ein Antriebsmechanismus erforderlich ist. Die Erfindung besteht darin, dasz auf einem Grundrahmen (1) ein durch bekannte Antriebsmechanismen in X;Y-Richtung beweglicher programmierbarer und mit einer Objektaufnahmevorrichtung (5) versehener erster Kreuztisch (2) sitzt,der einen in X;Y-Richtung freibeweglichen und ueber Kupplungen mit dem ersten Kreuztisch (2) arretierbaren zweiten Kreuztisch (7) traegt, auf dem ein in Z-Richtung beweglicher und steuerbarer, mit einem Meszwertaufnehmer (10) versehener Tragarm (9) sowie ein in Z-Richtung aus- und einfahrbarer Fuehrungsstift (11) sitzt, wobei der Fuehrungsstift (11) zusammen mit einer mit dem Grundrahmen (2) fest verbundenen Fuehrungsbuchse (14) im arretierten Zustand den mechanischen Nullpunkt der gesamten Einrichtung bildet und dasz am Grundrahmen (1) ein in Z-Richtung beweglicher und steuerbarer Arbeitskopf (12) zur Aufnahme von Bearbeitungswerkzeugen angebracht ist.The invention is applicable to automatic processing, such as measuring, balancing, marking, contacting, exposing electronic components, in particular microelectronic components. The invention has for its object to provide a device in which only one drive mechanism is required for the automatic processing zusammenaszter objects. The invention resides in that on a base frame (1) is seated a programmable master stage (2) movable by known drive mechanisms in the X, Y direction and provided with an object receiving device (5), which moves in the X, Y direction and over Clutches with the first cross table (2) lockable second cross table (7) bears on which a movable in the Z direction and controllable, with a Meszwertaufnehmer (10) provided support arm (9) and in the Z direction extendable and retractable Fuehrungsstift ( 11), the guide pin (11) together with a base frame (2) firmly connected guide bush (14) in the locked state forms the mechanical zero point of the entire device and on the base frame (1) a movable and controllable in the Z direction Working head (12) is mounted for receiving processing tools.
Description
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Einrichtung zur automatischen Bearbeitung von elektronischen BauelementenDevice for automatic processing of electronic components
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur automatischen Bearbeitung, wie Messen, Abgleichen, Kennzeichnen, Kontaktieren, Belichten, elektronischer Bauelemente, insbesondere mikro-elektronis eher Bauelement e.The invention relates to a device for automatic processing, such as measuring, balancing, marking, contacting, exposing, electronic components, in particular microelectronics component rather e.
Zur Bearbeitung von elektronischen Bauelementen, insbesondere mikroelektronischen Bauelementen, sind eine Vielzahl von Verfahren und Einrichtungen bekannt, bei denen die zu bearbeitenden Objekte in bestimmte Positionen zu den Arbeitsköpfen der Bearbeitungseinrichtungen gebracht werden. Dies erfolgt·, in der Regel durch Kreuztische, die unter anderem auch bei einer automatischen Bearbeitung der Objekte durch programmgesteuerte Antriebsmechanismen, z.B. über Schrittmotoren, Getriebe und Spindeln, in X j Y-Richtung bewegt v/erden«For processing electronic components, in particular microelectronic components, a variety of methods and devices are known in which the objects to be processed are brought into specific positions to the working heads of the processing equipment. This is done, usually by means of cross tables, which inter alia also in the case of automatic processing of the objects by program-controlled drive mechanisms, e.g. via stepper motors, gears and spindles, moved in X y Y direction «
Bei der automatischen Bearbeitung von elektronischen Bauelementen ist es erforderlich, daß während des Bearbeitungsvorganges, z»B. dem Abgleichen von Leiter- oder Halbleiterstrukturen, gleichzeitig eine elektrische .Messung des momentanen Zustandes des Objektes erfolgt und nach Auswertung der Ließwerte in einem Rechner entsprechende Informationen in Form von Steuerbefehlen an die Antriebsmechanismen gegeben werden»In the automatic processing of electronic components, it is necessary that during the machining process, z. the matching of conductor or semiconductor structures, at the same time an electrical .Messung of the current state of the object takes place and after evaluation of the Ließwerte given in a computer corresponding information in the form of control commands to the drive mechanisms »
-1. FEfi 1982*087219-1. FEFi 1982 * 087219
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Dabei muß während der Bearbeitung des Objektes auf der einen Seite zur elektrischen Messung des momentanen Zustandes, z.B» über einen Meßwert auf nehmer, ein fester Kontakt, zu dem Objekt bestehen, auf der anderen Seite jedoch das Objekt oder der Arbeitskopf bewegt werden. Handelt es sich dabei um ein einziges zu bearbeitendes Objekt, ζ»Β. eine Struktur eines elektronischen Bauelementes, so ergeben sich für die Positionierung des Objektes und die Messung, die rechnergestützte Auswertung sowie die Steuerung einzelner Teile der Einrichtung keine besonderen Probleme.In this case, during the processing of the object on the one hand for the electrical measurement of the current state, for example, on a measured value on takers, a solid contact to the object exist, on the other hand, the object or the working head to be moved. If this is a single object to be processed, ζ »Β. a structure of an electronic component, there are no special problems for the positioning of the object and the measurement, the computer-aided evaluation and the control of individual parts of the device.
Sollen jedoch mehrere Probleme zusammengefaßt, z.B» eine Anzahl gleicher von einander unabhängiger auf einem Grundträger befindlicher elektronischer Bauelemente, automatisch bearbeitet werden, so ist ein wesentlich höherer Aufwand erforderlich, da nach dem Bearbeiten eines Objektes eine Umsetzung auf das nächste Objekt erfolgen muß. Dazu kann z.B. auf dem ersten Kreuztisch ein zweiter Kreuztisch angeordnet werden oder der Arbeitskopf selbst muß neben dem Kreuztisch ebenfalls in X; T-Richtung steuerbar sein..However, if several problems are combined, for example, "a number of the same independent of each other on a base carrier befindlicher electronic components are processed automatically, so much more effort is required because after editing an object, a conversion to the next object must be made. For this, e.g. on the first cross table, a second cross table are arranged or the working head itself must next to the cross table also in X; T direction to be controllable ..
Die Verwendung von mehr als einem Kreuztisch ist bereits aus dem DD-WP 115 006 und der BRD-OS Nr. 23'52113 bekannt. Derartige Lösungen haben jedoch den Nachteil·, daß ein doppelter mechanischer und elektrischer Aufwand für die Antriebsmechanismen einschließlich der Leistungselektronik erforderlich .ist und eine größere Anzahl τοη Rechenoperationen des Rechners notwendig werden, da die jeweilige Position der beiden*. Kreuztische oder des Kreuztisches und des Arbeitskopfes zueinander bestimmt und verarbeitet v/erden müssen. Weiterhin sind im System auftretende Fehler nur mit zusätzlichem Aufwand korrigierbar. Mit der Erhöhung des mechanischen Aufwandes entstehen zwangsläufig auch größere Massen, die zu beschleunigen und abzubremsen sind*The use of more than one XY stage is already known from DD-WP 115 006 and BRD-OS No. 23'52113. However, such solutions have the disadvantage · that a double mechanical and electrical effort for the drive mechanisms including the power electronics required .ist and a larger number τοη arithmetic operations of the computer will be necessary because the respective position of the two *. Cross tables or the cross table and the working head must be determined and processed to each other. Furthermore, errors occurring in the system can be corrected only with additional effort. With the increase of the mechanical effort inevitably also larger masses arise, which have to be accelerated and decelerated *
-ov -o v
Ziel der Erfindung ist es, mit geringem Aufwand eine relativ einfache Einrichtung zum automatischen Bearbeiten, einer Anzahl zusammengefaßter Objekte, insbesondere mikroelektroni-The aim of the invention is, with little effort, a relatively simple device for the automatic processing of a number of combined objects, in particular microelectronic devices.
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scher Bauelemente, zu schaffen, die mit einem verhältnismäßig einfachen Rechenprograimn steueroar ist und bei der auftretende Fehler leicht korrigierbar sind.shear components, which is taxoar with a relatively simple Rechenprograimn and in which errors are easily correctable.
Darlegung des Wesens der ErfindungExplanation of the essence of the invention
Ausgehend von dem ™itel der Erfindung liegen die technischen Mängel der bekannten Lösung darin, daß beide Kreuztische oder Kreuztisch und Arbeitskopf jeweils voneinander unabhängige sehr aufwendige Antriebsmechanismen aufweisen müssen, die zu dem noch eine komplizierte Programmsteuerung erforderlich machen..Based on the ™ itel of the invention, the technical shortcomings of the known solution are that both cross tables or cross table and working head must each have independent of each other very complex drive mechanisms, which still require a complicated program control ..
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zu schaffen, bei der für die automatische Bearbeitung zusai mengefaßter Objekte nur ein Antriebsmechanismus erforderlich ist.The invention is therefore an object of the invention to provide a device in which only one drive mechanism is required for the automatic processing zusai mengefaßter objects.
Diese Aufgabe wird bei einer Einrichtung zur automatischen Bearbeitung von elektronischen Bauelementen dadurch gelöst, daß auf einem Grundrahmen ein durch bekannte Antriebsmechanismen in X; !-Richtung beweglicher, programmsteuerbarer und mit einer Objektaufnahmevorrichtung versehener erster Kreuztis eh sitst, der einen in X j Y-fiichtung frei oe^egbaren und über Kupplungen mit dem ersten Kreuztisch arretierbaren zweiten Kreuztisch trägt, auf dem ein in S-üichtung beweglicher und steuerbarer, mit einem Meßwertaufnehmer versehener Trägerarm sowie ein in Z-Richtung aus- und einfahrbarer Führungsstift sitzt, wobei der Führungsstift zusammen mit einer, mit dem Grundrahmen fest verbundenen Führungsbuchse im arretierten Zustand den mechanischen Nullpunkt der gesamten Einrichtung bildet und daß am : Grundrahmen ein in Z—Sichtung beweglicher und steuerbarer Arbeitskopf zur Aufnahme von Bearbeitungswerkzeugen angebracht ist. Vorteilhaft lassen sich die Kupplungen als Magnetkupplungen ausführen. Die Arretierung des zweiten Kreuztisches mit dem ersten Kreuztisch muß vor dem Lösen der Arretierung zwischen dem Führungsstift und der Führungsbuchse erfolgen. Ebenfalls muß vor dem Einführen des Führungsstift es in die Führungsbuchse die Arretierung des zweiten Kreuztisches mit dem ersten Kreuztisch durch Lösen der Kupplung aufgehoben werden. Der Antrieb des ersten Kreuz-This object is achieved in a device for automatic processing of electronic components, characterized in that on a base frame by a known drive mechanisms in X; Moving programmatically controllable and provided with an object receiving device first Kreuztis eh sitst who wears a freely oe eable in X y Y-direction and lockable via clutches with the first cross table second cross table on which a S-üichtung movable and controllable , provided with a transducer carrier arm and a Z-direction extendable and retractable guide pin, the guide pin together with one, firmly connected to the base frame guide bush in the locked state forms the mechanical zero point of the entire device and that on : base frame in Z -Sealing movable and controllable working head is mounted to accommodate editing tools. Advantageously, the clutches can be designed as magnetic clutches. The locking of the second cross table with the first cross table must be done before releasing the lock between the guide pin and the guide bush. Also, prior to insertion of the guide pin, the locking of the second cross table with the first cross table must be canceled by releasing the coupling in the guide bushing. The drive of the first cross
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tisch.es wird vorzugsweise durch rechnergesteuerte Schrittmotore über Spindeln und Getriebe erfolgen. Zur Erzielung der geforderten Genauigkeit der gesamten Einrichtung wird der Führungsstift spielfrei und verschleißarm in die Führungsbuchse eingefahren. Um weitere Antriebsmechanismen für die Bewegung des Meßwertaufnehmers in Z-Richtung zum Kontaktieren mit den Sinzelsubstraten einzusparen, wird vorteilhaft der Meßwertaufnehmer und der Führungsstift fest auif dem Tragarm angeordnet*It is preferably done by computer controlled stepper motors via spindles and gears. To achieve the required accuracy of the entire device of the guide pin is moved backlash and wear in the guide bushing. In order to save further drive mechanisms for the movement of the transducer in the Z-direction for contacting with the Sinzelsubstraten, advantageously, the transducer and the guide pin is arranged auif the support arm *
Der Torteil der erfindungsgeraäßen Einrichtung besteht darin, daß bei mehreren zusammengefaßten Objekten durch das gewählte System des Umsetzers von einem einzelnen Objekt zu einem anderen nur der Antriebsmechanismus für einen Kreuztisch erforderlich, ist.. Dadurch vermindern sich die zu bewegenden Massen beträchtlich, die Steuerungs- und Leistungselektronik für das zweite Antriebssystem kann entfallen und die Rechenoperationen des Rechners vereinfachen sich, wodurch Rechnerkapazität eingespart wird. Da der Aufwand für die Antriebsmechanismen sich reduziert und die Bearbeitung der einzelnen Objekte stets von der Position des mechanischen Nullpunktes erfolgt, wird auch eine höhere Genauigkeit der gesamten Einrichtung erreicht.The goal part of the erfindungsgeraäßen device is that when several combined objects by the selected system of the converter from a single object to another only the drive mechanism for a cross table is required .. This significantly reduces the masses to be moved, the control and Power electronics for the second drive system can be omitted and the computing operations of the computer are simplified, whereby computer capacity is saved. Since the effort for the drive mechanisms is reduced and the processing of the individual objects always takes place from the position of the mechanical zero point, a higher accuracy of the entire device is achieved.
An einem Ausführungsbeispiel soll die Erfindung näher erläutert, werden. Die dazu gehörige Zeichnung zeigt eine Einrichtung zum Abgleichen von Dünnschichtwiderständen in Hybridtechnik, wobei es sich bei dem zu bearbeitenden Objekt um ein, Großsubstrat handelt, auf dem sich mehrere Einzelsubstrate befinden.In one embodiment, the invention will be explained in more detail. The accompanying drawing shows a device for matching thin-film resistors in hybrid technology, wherein the object to be processed is a large substrate on which several individual substrates are located.
Auf einem Grundrahmen 1 sitzt ein erster Kreuztisch 2, der durcn Schrittmotoren 3j4 und über nicht dargestellte Getriebe und Spindeln in X- und !-Richtung bewegt wird. Auf dem ersten Kreuztisch 2 befindet sich die Objektaufnahmevorrichtung 5, auf der durch Yakuum angesaugt das zu bearbeitende Objekt,On a base frame 1 is seated a first cross table 2, which is moved by stepping motors 3j4 and via not shown gears and spindles in the X- and! -Direction. On the first cross table 2 is the object receiving device 5, on which sucked by Yakuum the object to be processed,
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ein Großsubstrat 6, gehalten wird. Weiterhin befindet sich, auf dem ersten Kreuztisch. 2 durch eine Kugelprismenführung frei "beweglich ein zweiter Kreuztisch 7. 2ur Arretierung des zweiten Kreuztisches 7 mit dem ersten Kreuztisch 2 sind am zweiten Kreuztisch 7 zwei Magnetkupplungen 8 angebracht. Weiterhin sitzt auf dem zweiten Kreuztisch 7 ein in Z-Hichtung beweglicher und steuerbarer Trägerarm 9, an dessen Snde sich ein rerstellöarer Meßwertaufnehnier 10 zur Kontaktierung mit dem Großsubstrat 6 befindet. Der Antriebsmechanismus für die Bewegung des Tragarmes 9 in Z-Sichtung, z.B. ein normaler Motorantrieb, ist hier nicht dargestellt. Üuf dem beweglichen Tragarm 9 ist ferner noch ein Führungsstift 11 angeordnet.a bulk substrate 6, is held. Still located, on the first cross table. 2 by a ball prism guide freely "movable a second cross table 7. 2ur locking of the second cross table 7 with the first cross table 2 are mounted on the second cross table 7 two magnetic clutches 8. Furthermore sits on the second cross table 7 in Z-direction movable and controllable support arm at the end of which there is an adjustable transducer 10 for contacting the bulk substrate 6. The drive mechanism for the movement of the support arm 9 in Z direction, eg a normal motor drive, is not shown here 11 arranged.
Am oberen Teil des Grundrahmens 1 befindet sich der Arbeitskopf 12, der in diesem Beispiel eine Srodiernadel 13 trägt und eine Führungsbuchse 14, die zusammen im arretierten Zustand mit dem Führungsstift 11 den mechanischen Nullpunkt der gesamten Einrichtung bildet. Der Arbeitskopf 12 ist durch bekannte, hier nicht weiter dargestellte Mittel ebenfalls in Z-Richtung beweglich und steuerbar. Das Einfahren des Führungsstiftes 11 in die Führungsbuchse 14 muß leicht—gängig und spiel frei erfolgen. Die konische Fase anr Fütrüngs stift «11 erlaubt geringe Fehler zu korrigieren. Weiterhin besitzt die gesamte Einrichtung noch ein Lichtschran&ensystem, woßei die Sender und Empfänger am Grundrahmen 1 und eine Sucimadel 16 am zweiten Kreuztisch 7 angeordnet sind.At the upper part of the base frame 1 is the working head 12, which carries a Srodiernadel 13 in this example and a guide bush 14, which together with the guide pin 11 forms the mechanical zero point of the entire device in the locked state. The working head 12 is also movable and controllable in the Z direction by known means, not shown here. The retraction of the guide pin 11 in the guide bushing 14 must be easy-course and play done freely. The conical bevel on Fütrüng's pencil11 allows small errors to be corrected. Furthermore, the entire device also has a light barrier system, in which the transmitters and receivers on the base frame 1 and a sucimadel 16 on the second cross table 7 are arranged.
Die gesamte Einrichtung .wird durch einen Mikrorechner programmgesteuert:. Ausgangspunkt für den automatischen Abgleich der Einzelsubstrate auf dem Großsubstrat 6 ist der elektrische und mechanische Nullpunkt der Einrichtung. Der elektrische Mullpunkt ist eine genau definierte und-festgelegte Position, des ersten Kreuztisches 2, in der das Programm gestartet wird und auf die bei auftretenden Fehlern der erste Kreuztisch 2 wieder zurückgefahren werden kann. Der mechanische Nullpunkt der Einrichtung ist dann erreicht; wenn der auf dem zweiten Kreuztisch 7 sitzende Führungsstift 11 in der Führungsbuchse 14 arretiert ist. Das ah der Einrichtung angebrächte Licht-' Schrankensystem mit Sender/ Empfänger 15 und der SuchnadelThe entire facility is programmatically controlled by a microcomputer. The starting point for the automatic adjustment of the individual substrates on the large substrate 6 is the electrical and mechanical zero point of the device. The electrical mull point is a well-defined and fixed position of the first cross table 2, in which the program is started and can be moved back to the errors occurring in the first cross table 2. The mechanical zero of the device is then reached; when the seated on the second cross table 7 guide pin 11 is locked in the guide bush 14. The ah 'the institution angerächte light' barrier system with transmitter / receiver 15 and the search needle
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am zweiten Kreuztisch. 7 kontrolliert das Erreichen des mechanischen Nullpunktes und ermöglicht "bei größeren Abweichungen eine Unterbrechung des Programms und den automatischen Suchlauf des mechanischen Nullpunktes. Bei kleineren Abweichungen erlaubt die konische Fase am Führungsstift 11 eine Korrektur τοπ Fehlern*at the second cross table. 7 controls the mechanical zero point and allows "for larger deviations an interruption of the program and the automatic search of the mechanical zero point." For smaller deviations, the conical chamfer on the guide pin 11 allows a correction τοπ errors *
Nachdem das zu "bearbeitende Objekt, das G-roßs übst rat. β, mittels eines nicht dargestellten Beschickungsarms rechnergesteuert auf der Objektaufnahmevorrichtung 5 abgelegt, genau positioniert und durch ein Takuumansaugsystem fixiert wurde, sind die Voraussetzungen sum rechnergesteuerten Abgleich der Widerstanösstruicturen der Sinzelsubstrate auf dem Großsubstrat 6 gegeben. Der erste Kreuztisch 2 befindet sich auf dem elektrischen Nullpunkt und der zweite Kreuztisch 7 auf dem mechanischen Nullpunkt. Entsprechend der Position der Widerstandsstrukturen des zu bearbeitenden ersten Sinzelsubstrats wird nun der erste Kreuztisch 2 rechnergesteuert durch die Schrittmotoren 3j4 in die Position gebracht, in der nach Einschalten der Magnetkupplungen 8 und Absenken des Trägerarms 9 bei gleichzeitiger Lösung der Arretierung des Führungsstiftes 11 mit der Führungsbuchse 14 der Meßwertaufnehmer 10 auf dem abzugleichenden Sinzelsubstrat kontaktiert. Damit sind meßtechnisch die Voraussetzungen geschaffen, daß anschließend nach Absenken des Arbeitskopfes 12 und Aufsetzen der Srodiernadel 13 auf dem Substrat durch die rechnergesteuerte Bewegung des ersten Kreuztisches 2 in X; Ϊ-Richtung der automatische Abgleich erfolgen kann. Duron die kontinuierliche Messung und den Vergleich mit vorgegebenen Werten wird nach ihrsr Erreichung cer Abgleicüproseß für das erste Hinzeisübstrat beendet, der Arbeitskopf 12 mit Erodiernadel 13 wieder eingefahren und der zweite Kreuztisch 7 zu der Position des mechanischen Nullpunktes bewegt.. Nach Abschalten der Magnetkupplungen 8, mit gleichzeitigem Abheben des Meßwertaufnehmers 10 vom Sinzelsubstrat und dem Einfahren des Führungsstift es 11 in die Führungsbuchse 14 wird ?/ieder der mechanische Nullpunkt des zweiten Kreuztisches 7 erreicht. Größere auftretende Schritt",- oderAfter the object to be machined, which calculates the G-roughness β., Is stored on the object receiving device 5 by means of a loading arm, not shown, precisely positioned and fixed by a Takuumansaugsystem, the prerequisites are sum computer-controlled adjustment of the resist structures of the Sinzelsubstrate on the bulk substrate 6. The first cross table 2 is located at the electrical zero point and the second cross table 7 at the mechanical zero point. According to the position of the resistance structures of the first single substrate to be processed, the first cross table 2 is then brought into the position by the stepping motors 3j4, in FIG which, after switching on the magnetic couplings 8 and lowering the support arm 9, simultaneously with the arresting of the guide pin 11, contacts the guide bush 14 of the transducers 10 on the single substrate to be adjusted created after that, after lowering the working head 12 and placing the Srodiernadel 13 on the substrate by the computer-controlled movement of the first cross table 2 in X; Ϊ-direction of the automatic adjustment can be done. Duron, the continuous measurement and comparison with predetermined values is terminated after its achievement of the grading process for the first observation substrate, the working head 12 is retracted with eradicator needle 13 and the second mechanical stage 7 is moved to the position of mechanical zero. After the magnetic clutches 8 have been switched off, with simultaneous lifting of the transducer 10 from the Sinzelsubstrat and the retraction of the guide pin es 11 in the guide bushing 14 / ieder the mechanical zero point of the second cross table 7 is reached. Larger occurring step ", - or
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andere Fehler werden durch das Lichtschrankensystem erkannt, korrigiert, ausgewertet und angezeigt. Kleinere Fehler werden durch die konische Fase am Führungsstift 11 ausgeglichen·other errors are detected, corrected, evaluated and displayed by the light barrier system. Smaller errors are compensated by the conical chamfer on the guide pin 11.
Zum Abgleichen des zweiten Einzelsubstrats muß nun ein neues Verhältnis zwischen Meßwertaufnehmer 10 und Großsubstrat 6 hergestellt werden. Dies wird bei dieser Einrichtung dadurch erreicht., daß der zweite Kreuztisch 7 in der Position des me cha, nischen Nullpunktes gehalten wird, während der erste Kreuztisch 2 rechnergesteuert eine neue Position bezieht.. lach Erreichen dieser neuen Position wird der zweite Kreuztisch 7 mit dem ersten Kreuztisch 2 durch Einschalten der Magnetkupplung 6 wieder arretiert, der Führungsstuft 11 aus der Führungsbuchse 14 ausgefahren, wobei gleichzeitig der Meßwertaufnehmer 10 mit dem Einzelsubstrat kontaktiert und der Abgleich des zweiten Einzelsubstrats kann auf die gleiche Art und Weise wie das erste Einzelsubstrat erfolgen. Dieser Vorgang läßt sich für den Abgleich aller Sinzelsubstrate auf dem Großsubstrat wiederholen Ist das Großsubstrat vollständig bearbeitet, werden rechnergesteuert der erste Kreuztisch 2 und der zweite Kreuztisch 7 in eine bestimmte Position gebracht und mittels des Beschikkungsarms: das bearbeitete Großsubstrat gegen ein unbearbeitetes ausgetauscht.For balancing the second single substrate, a new ratio between the transducer 10 and the large substrate 6 must now be established. This is achieved in this device in that the second cross table 7 is held in the position of me cha nical zero point, while the first cross table 2 computer-controlled a new position .. lach reaching this new position, the second cross table 7 with the first cross table 2 locked again by switching on the magnetic coupling 6, the guide stage 11 extended from the guide bush 14, wherein simultaneously the transducer 10 contacted with the single substrate and the adjustment of the second single substrate can be done in the same manner as the first single substrate. This process can be repeated for the alignment of all Sinzelsubstrate on the bulk substrate If the large substrate is completely processed, computer controlled, the first cross table 2 and the second XY table 7 are brought into a specific position and replaced by the Beschikkungsarms: the processed bulk substrate against an unprocessed.
Claims (7)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23709882A DD203793B1 (en) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | DEVICE FOR AUTOMATIC MACHINING OF ELECTRONIC COMPONENTS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23709882A DD203793B1 (en) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | DEVICE FOR AUTOMATIC MACHINING OF ELECTRONIC COMPONENTS |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD203793A1 true DD203793A1 (en) | 1983-11-02 |
| DD203793B1 DD203793B1 (en) | 1986-05-21 |
Family
ID=5536480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DD23709882A DD203793B1 (en) | 1982-02-01 | 1982-02-01 | DEVICE FOR AUTOMATIC MACHINING OF ELECTRONIC COMPONENTS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD203793B1 (en) |
-
1982
- 1982-02-01 DD DD23709882A patent/DD203793B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DD203793B1 (en) | 1986-05-21 |
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Legal Events
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