DD200534A1 - METHOD FOR THE PERIODIC EVACUATION OF A RECIPIENT - Google Patents
METHOD FOR THE PERIODIC EVACUATION OF A RECIPIENT Download PDFInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur periodischen Evakuierung eines Kleinrezipenten auf einen Druck im Feinvakuumbereich fuer die Durchfuehrung vakuumtechnologischer Prozesse im Chargenbetrieb. Das Ziel der Erfindung ist die Erhoehung der Wirtschaftlichkeit, und die Aufgabe ist die Verkuerzung der Evakuierungszeit. Erfindungsgemaess wird der Rezipient mit einem groesseren evakuierten Behaelter bis zum Druckausgleich verbunden. Danach wird mit einem Pumpensatz im Rezipienten das Arbeitsvakuum erzeugt. Nach Abschluss des vakuumtechnologischen Prozesses im Rezipienten, waehrend der Chargierzeit, wird der Behaelter vom laufenden Pumpensatz wieder evakuiert.The invention relates to a method for the periodic evacuation of a Kleinrezipenten to a pressure in the fine vacuum range for carrying out vacuum technological processes in batch operation. The aim of the invention is to increase the economy, and the task is to shorten the evacuation time. According to the invention, the recipient is connected to a larger evacuated container until pressure equalization. Thereafter, the working vacuum is generated with a pump set in the recipient. After completion of the vacuum technological process in the recipient, during the charging time, the container is evacuated from the current pump set again.
Description
Verfahren zur periodischen Evakuierung eines RezipientenMethod for the periodic evacuation of a recipient
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur beschleunigten periodischen Evakuierung eines Kleinrezipienten auf e inen Druck im •Peinvakuumbereich· Das Anwendungsgebiet der Erfindung liegt im Bereich der Vakuumtechnologie, ζβ Ββ dem Elektronenstrahlschweißen, wo jeweils ein oder mehreres in einer Charge zusammenfaßbare Y/erkstücke einem technologischen Prozeß untersogen werden*The invention relates to a method for accelerated periodic evacuation of a small receptacle on e inen pressure in • Peinvakuumbereich · The field of application of the invention lies in the field of vacuum technology, ζ β Β β electron beam welding, where in each case one or more s zusammenfaßbare in a batch Y / ork-piece a undergo technological process *
Charakteristik der bekannten technischen. LösungenCharacteristic of the known technical. solutions
Die Evakuierung von Rezipienten auf Feinvakuum im 1 Pa-Bereioh erfolgt meist durch mechanische Drehschieberpumpen« Zur Verkürzung der Evakuierungsdauer ist es üblich, die Evakuierung in Stufen auszuführen und für die jeweilige Stufe nach Arbeitsdruck und Saugvermögen angepaßte Pumpen einzusetzen· Diesem Zweck dienende Pumpenkombinationen bestehen z.B. aus der Reihenschaltung einer Drehschieber- und einer Wälzkolbenpumpe» Die Evakuierung eines Rezipienten erfolgt hiermit z» T· in der Weise, daß zunächst mittels der Drehschieberpumpe durch die nicht angetriebene Wälzkolbenpumpe hindurch auf Grobvakuura und anschließend durch Zuschalten der Wälskolbenpumpe auf Feinvakuum evakuiert wird* .The evacuation of receptacles to a fine vacuum in the 1 Pa range is usually carried out by mechanical rotary vane pumps. "In order to shorten the evacuation time, it is customary to carry out the evacuation in stages and to use pumps adapted for the respective stage according to working pressure and pumping speed. Pump combinations serving this purpose are e.g. from the series connection of a rotary vane and a Roots pump »The evacuation of a recipient is hereby z» T · in such a way that first by means of the rotary vane pump through the non-driven Roots pump on coarse vacuum and then evacuated by connecting the Wälzolbenpumpe to fine vacuum *.
Bei dem bekannten Verfahren zeigt sich der Nachteil, daß unabhängig von dem Saugvermögen der eingesetzten PumpenkombinationIn the known method has the disadvantage that regardless of the pumping speed of the pump combination used
meist mehr, als 2/3, der Evakuierungszeit für die Vorevakuierung aufgewendet werden müssen· Auch durch Erhöhung des Saugvermögens der Evakuierungseinrichtung ist bei der Evakuierung von Kleinrezipienten infolge des zunehmenden Volumenanteiles der Evakuierungsieitungen keine proportionale Einsparung an Evakuierungszeit zu erreichen* Eine Elimination der Anlaufzeit der Wälzkolbenpumpen zu Beginn der zweiten Evakuierungsstufe erfordert den Einsatz zusätzlicher Pumpen»usually more than 2/3, the evacuation time for the pre evacuation must be spent · Even by increasing the pumping speed of the evacuation of the evacuation of small recipients due to the increasing volume fraction of Evakuierungsieitungen no proportional saving in evacuation time to achieve * Elimination of the startup time of the Roots pump At the beginning of the second evacuation stage requires the use of additional pumps »
Ziel der ErfindungObject of the invention
Das Ziel der Erfindung besteht darin, bei in Kleinrezipienten durchzuführenden diskontinuierlichen vakuumtechnologischen Prozessen kurzer Zykluszeit die Wirtschaftlichkeit des Verfahrens zu verbesserneThe aim of the invention is to improve the economics of the process in small recipients to be carried out discontinuous vacuum technological processes short cycle time
.Darlegung des Wesens der Erfindung.Development of the essence of the invention
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur periodischen Evakuierung eines Rezipienten auf Peinvakuum zu schaffen, welches eine wesentlich kürzere Evakuierungszeit benötigt»The invention has for its object to provide a method for periodic evacuation of a recipient on Peinvakuum, which requires a much shorter evacuation time »
Erfindungsgemäß wird die Aufgabe durch vorzugsweiser Verwendung einer Reihenschaltung einer Drehschieberpumpe und einer Wälzkolbenpumpe als Pumpensatz dadurch gelöst, daß der auf Atmosphärendruck befindliche Rezipient über ein Ventil mit einem evakuierten Behälter größenordnungsmäßig größeren Volumens als der Rezipient bis zum annähernden Druckausgleich zum Zweck der Vorevakuierung verbunden wird und anschließend über ein weiteres Ventil mit dem in Betrieb befindlichen, zur Peinevakuierung geeigneten Pumpensatz verbunden wird* Diese Verbindung bleibt auch während der Dauer des durchzuführenden technologischen Prozesses bestehen* Während der anschließenden Belüftungs- und Chargierzeit des Rezipienten wird der Behälter mit dem Pumpensatz verbunden und evakuiert· Zur Belüftung des Rezipienten wird ein an ihm angebrachtes Belüftungsventil geöff-According to the invention the object is achieved by preferentially using a series connection of a rotary vane pump and a Roots pump as a pump set that the recipient located at atmospheric pressure is connected via a valve with an evacuated container of the order of magnitude greater volume than the recipient until the approximate pressure equalization for the purpose of pre-evacuation and then This connection will be maintained for the duration of the technological process to be carried out * During the subsequent ventilation and charging time of the recipient, the container is connected to the pump set and evacuated Ventilation of the recipient, a venting valve attached to it is opened.
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net. Der Rezipient ist nach erfolgter Bestückung zum nächsten Evakuierungsprozeß wieder bereit, und das Verfahren wird wiederholt»net. The recipient is ready for the next evacuation process after placement and the procedure is repeated »
Es ist zur Verbesserung der Vorevakuierung vorteilhaft, diese mehrstufig durchzuführen» indem zeitlieh nacheinander mehrere evakuierte Behälter mit dem Rezipienten verbunden werden und diese zur erneuten Evakuierung mit dem Pumpensatz verbunden werden»In order to improve the pre-evacuation, it is advantageous to carry it out in several stages, by connecting several evacuated containers one after the other to the recipient and connecting them to the pump set for renewed evacuation »
Zur Durchführung des Verfahrens ist es zweckmäßig, zur Begrenzung dea Evakuierungsstoßes die Verbindung insbesondere, zwischen dem Rezipienten und dem Behälter über ein Ventil, herzustellen, das beim Öffnen einen stetig -zunehmenden Durchlaßquerschnitt freigibt«,In order to carry out the method, it is expedient, for the purpose of limiting the evacuation shock, to establish the connection in particular between the recipient and the container via a valve which releases a passage cross-section which increases steadily during opening,
AusführunpsbeJBpiel ' -Execution game '-
Die zugehörige Zeichnung zeigt eine Einrichtung zur Durchführung des Verfahrens in ihrem prinzipiellen Aufbau«The accompanying drawing shows a device for carrying out the method in its basic structure «
Der zu evakuierende Rezipient 1 ist über eine mit einem Ventil 2 absperrbare Leitung 3 mit einem evakuierbaren Behälter 4» dessen Volumen 1 bis 2 Größenordnungen über dem des Rezipienten 1 liegt, verbunden« Über mit Ventilen 5 und 6 absperrbare Vakuumleitungen 7 und 8 ist der Rezipient 1 und der Behälter 4 mit einem Pumpensatz 9, der aus der Reihenschaltung einer Drehschieber- und einer Wälzkolbenpumpe besteht, verbunden« Zur Belüftung des Rezipienten 1 ist ein Belüftungsventil 10 vorgesehen©The recipient to be evacuated 1 is connected via a closable with a valve 2 line 3 with an evacuated container 4 »whose volume is 1 to 2 orders of magnitude above that of the recipient 1, connected via over valves 5 and 6 shut-off vacuum lines 7 and 8 is the recipient 1 and the container 4 with a pump set 9, which consists of the series connection of a rotary valve and a Roots pump, connected «For ventilation of the recipient 1, a vent valve 10 is provided ©
Im Ausgangszustand befindet sich der verschlossene Rezipient 1 auf Atmosphärendruck, der Behälter 4 ist evakuiert, die Ventile 2, 5, 6 und 10 sind geschlossen, der Pumpensatz 9 ist eingeschalten»In the initial state, the closed recipient 1 is at atmospheric pressure, the container 4 is evacuated, the valves 2, 5, 6 and 10 are closed, the pump set 9 is turned on »
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Die Evakuierung des Rezipienten 1 beginnt mit dem öffnen des Ventils -2. Hach dem sich sehr schnell einstellenden annähernden Druckausgleich zwischen Rezipient 1 und Behälter 4 wird das Ventil 2 geschlossen und das Ventil 5 geöffnet· In diesem Zustand wird der Rezipient 1 über den Pumpensatz 9 auf das im PeinVakuumbereich liegende Arbeitsvakuum für den im Rezipienten 1 durchzuführenden technologischen Prozeß evakuiert« Während der Ablaufdauer dieses Prozesses, z. Be der Ausführung einer Elektronenstrahlschweißung? ist es im allgemeinen erforderlich, das Arbeitsvakuum über das noch geöffnete Ventil 5 aufrechtzuerhalten· Unmittelbar nach Abschluß des Prozesses wird das Ventil 5 geschlossen und der Behälter 4 durch Öffnen des Ventils 6 über den Pumpensatz 9 erneut evakuiert. Gleichzeitig wird der Rezipient 1 über das Belüftungsventil 10 belüftet und neu beschickt« Danach wird er erneut verschlossen, das Belüf- tungsventil 10 und das Ventil 6 werden geschlossen, und damit ist der Ausgangszustand wiederhergestellt, und der Evakuierungsprozeß kann erneut ausgeführt werden« Zur Dämpfung des Evakuierungs- bzw· Belüftungsstoßes sind für die Ventile 2, 5, 6 und 10 Kugelventile eingesetzte Der Evakuierungsstoß beim Öffnen von Ventil 2 kann zusätzlich durch eine geeignete Geometrie des Durchlaßquerschnitts und angepaßte Drehbewegung den Erfordernissen angepaßt werden.The evacuation of the recipient 1 begins with the opening of the valve -2. Hach the very quickly adjusting approximate pressure equalization between the recipient 1 and container 4, the valve 2 is closed and the valve 5 is opened · In this state, the recipient 1 via the pump set 9 to the lying in PeinVakuumbereich working vacuum for the process to be performed in the recipient 1 technological process evacuated «During the expiration of this process, eg. B e of performing an electron beam welding ? it is generally necessary to maintain the working vacuum via the still open valve 5. Immediately after completion of the process, the valve 5 is closed and the container 4 is evacuated again by opening the valve 6 via the pump set 9. At the same time, the recipient 1 is ventilated and reloaded via the venting valve 10. Thereafter, it is closed again, the venting valve 10 and the valve 6 are closed, and thus the initial state is restored, and the evacuation process can be carried out again Evacuation or aeration shock are used for the valves 2, 5, 6 and 10 ball valves The evacuation shock when opening valve 2 can be additionally adapted to the requirements by a suitable geometry of the passage cross-section and adapted rotational movement.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DD23249481A DD200534A1 (en) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | METHOD FOR THE PERIODIC EVACUATION OF A RECIPIENT |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| DD23249481A DD200534A1 (en) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | METHOD FOR THE PERIODIC EVACUATION OF A RECIPIENT |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DD200534A1 true DD200534A1 (en) | 1983-05-11 |
Family
ID=5532903
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| DD23249481A DD200534A1 (en) | 1981-08-10 | 1981-08-10 | METHOD FOR THE PERIODIC EVACUATION OF A RECIPIENT |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DD (1) | DD200534A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19524609A1 (en) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Device for the rapid evacuation of a vacuum chamber |
-
1981
- 1981-08-10 DD DD23249481A patent/DD200534A1/en unknown
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19524609A1 (en) * | 1995-07-06 | 1997-01-09 | Leybold Ag | Device for the rapid evacuation of a vacuum chamber |
| EP0752531B1 (en) * | 1995-07-06 | 1998-11-04 | Leybold Aktiengesellschaft | Apparatus for rapid evacuation of a vacuum chamber |
| US6004109A (en) * | 1995-07-06 | 1999-12-21 | Balzers Und Leybold Deutschland Holding Ag | Apparatus for the rapid evacuation of a vacuum chamber |
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