DD154038A2

DD154038A2 - ARRANGEMENT FOR STRAIGHT AND LEVEL MEASUREMENT

Info

Publication number: DD154038A2
Application number: DD22490380A
Authority: DD
Inventors: Gerd Schuchardt
Original assignee: Gerd Schuchardt
Priority date: 1976-04-13
Filing date: 1980-11-03
Publication date: 1982-02-17
Also published as: DE3128451A1; FR2493511B1; CH655179A5; JPS5788302A; DD154038B2; GB2086589A; FR2493511A1; GB2086589B

Abstract

Bei einer Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung, insbesondere fuer grosse Messflaechen, sollen die Messgenauigkeit und -sicherheit erhoeht werden. Aus diesem Grunde ist eine Messanordnung zur Oberflaechenpruefung zu schaffen, deren Messergebnis unabhaengig von vertikalen Verkippungen um beliebige horizontale Drehachsen der Messflaeche ist.Erfindungsgemaess werden an der gleichen Messflaeche, vorzugsweise am Messtisch, in x- und y- Koordinatenrichtung je eine aus der DD-PS 125 440 an sich vorbekannte und aus einem kommunizierenden Gefaesssystem bestehende Messanordnung mit Vertikalwegaufnehmern und elektrischen Auswertemitteln fest angeordnet. Diese Messanordnungen ermitteln fuer die z- Koordinatenmessung der Messflaeche Kippkorrekturwerte, die in einer Auswertestufe mit dem Messergebnis der z- Koordinatenmessung verknuepft werden.Die Erfindung stellt eine Zusatzerfindung zur DD-SP 125 440 dar.In an arrangement for measuring straightness and evenness, in particular for large measuring surfaces, the accuracy and safety of measurement should be increased. For this reason, a measurement arrangement is to be provided for surface testing, the measurement result of which is independent of vertical tilting about arbitrary horizontal axes of rotation of the measuring surface. According to the invention, one each from the DD-PS is at the same measuring surface, preferably at the measuring table, in the x- and y-coordinate direction 125 440 per se known and consisting of a communicating Gefaesssystem measuring arrangement with Vertikalwegaufnehmern and electrical evaluation means fixedly arranged. These measuring arrangements determine for the z coordinate measurement of the measuring surface tilt correction values which are linked in an evaluation stage with the measurement result of the z coordinate measurement. The invention represents an additional invention to DD-SP 125 440.

Description

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Titel der Erfindung: - ' " Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsines sung Title of the Invention: - Arrangement for straightness and flatness

Anwendungsgebiet der Erfindung: ' Field of application of the invention:

J Die Erfindung betrifft eine Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung, insbesondere für große Meßflächen, die mindestens aus zwei.als Vertikalwegaufnehiner ?;irkenden flüssigkeitsgefüllten sowie auf einer Meß- und einer Referenzfläche angeordneten kommunizierenden Gefäßen mit den Gefäßen aufgesetzten Traggestellen besteht und bei der in jedem Gefäß mit Traggestell eine Membran und ein Geber enthalten sind, an dessen Ausgang von der Membranhöhe bzw. -ausdehnung abhängige elektrische.Signale anliegen, die über einen Differenzbildner einem Meßverstärker zugeführt werden, der ausgangsseitig über eine Filterstufe mit einer Anzeigestufe- in Verbindung steht. J The invention relates to an arrangement for straightness and flatness measurement, in particular for large measurement areas, consisting of at least zwei.als Vertikalwegaufnehiner; is arranged irkenden fluid-filled, as well as a measuring and a reference surface communicating vessels placed with the vessels carrying frames, and wherein in each? Container with support frame, a membrane and a transmitter are included, at the output of the membrane height or -ausdehnung dependent electrical.Üignale applied, which are fed via a differential former a sense amplifier, the output side is a filter stage with a Anzeigestufe- in combination.

"' Charakteristik der bekannten technischen Lösungen: '' Characteristic of the known technical solutions:

Aus der DD-PS 125 ¹^O ist das Meßprinzip bekannt, mit zwei oder mehreren kommunizierenden Gefäßen, in denen eine Flüssigkeit je nach relativer vertikaler Lage der Gefäße zueinander jeweils eine mit einem Geber in Verbindung stehende Membran auslenkt. Aus diesen Auslenkungen werden elektrische Signale gewonnen, die nach Differenzbildung verstärkt, gefiltert und angezeigt werden. Ein ähnliches Meßverfahren ist auch zwischenzeitlich aus der DS-OS 2739975 bekanntgeworden. Die kommunizierenden Gefäße stellen Vertikalwega.ufnehmer dar, die zur Messung bzw. Prüfung der Oberflächengeometrie großer Werkstücke oder zur Meßsteuerung von Fertigungssystemen verwendet werden. Ein großer KachteilFrom the DD-PS 125 ¹ ^ O the measuring principle is known, with two or more communicating vessels in which a liquid depending on the relative vertical position of the vessels to each other deflects a standing in conjunction with a donor diaphragm. From these deflections electrical signals are obtained, which are amplified, filtered and displayed after subtraction. A similar measuring method has also become known in the meantime from DS-OS 2739975. The communicating vessels represent vertical path sensors used for measuring or checking the surface geometry of large workpieces or for measuring control of production systems. A big Kachteil

dieses Meßprinzips ist, daß ein Verkippen der Anordnung statisch und dynamisch im Meßvorgang erhebliche Meß- bzw. Fertigungsfehler bringt. Dadurch werden-die Meßgenauigkeit der Oberflächenmessung und die zuverlässige mögliche Auflösung der Feinbearbeitungs- und Meßeinrichtung begrenzt.This measuring principle is that tilting the arrangement brings significant measurement or manufacturing errors statically and dynamically in the measuring process. This limits the accuracy of measurement of the surface and the reliable possible resolution of the finishing and measuring device.

Aim of the invention;

Ziel der Erfindung ist die Erhöhung der Meßgenauigkeit undThe aim of the invention is to increase the accuracy and

-sicherheit. ·-security. ·

ι Darlegung des Wesens der Erfindung: - ' Presentation of the essence of the invention:

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die''Meßanordnung der DD-PS 125 4-40 so zu verbessern, daß deren Meßergebnis unabhängig von vertikalen Verkippungen um beliebige horizontale Drehachsen der Meßfläche ist. Diese Aufgabe'wird bei einer Anordnung zur Gerad- und Ebenheitsmessung, insbesondere für große Meßflächen, die mindestens aus zwei als Vertikalwegaufnehmer wirkenden flüssigkeitsgefüllten sowie auf einer Meß- und einer Referenzfläche angeordneten und kommunizierenden Gefäßen mit den Gefäßen aufgesetzten Traggestellen besteht und bei der die in jedem Gefäß mit Traggestell eine Membran und ein Geber enthalten sind, an dessen Ausgang von der Membranhöhe bzw. -ausdehnung abhängige elektrische Signale anliegen, die über einen Differenzbildner einem Meßverstärker zugeführt werden, der ausgangsseitig über eine Filterstufe mit einer Anzeigestufe in Verbindung steht, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Filterstufe über eine zwei weitere Eingänge enthaltende Auswertestufe mit der Anzeigestufe in Verbindung steht, daß-an der Meßfläche in'Jeder horizontalen Koordinateneinrichtung jeweils mindestens zwei weitere Vertikalwegaufnehmer. vorzugsweise in großem Abstand voneinander, fest angeordnet sind, deren elektrische Ausgangssignale in an sich bekannter Weise über jeweils einen weiteren Differenzbildner jeweils einem weiteren Meßverstärker mit jeweils einer nachfolgenden weiteren Filterstufe zugeführt sind und daß jede der beiden weiteren Filterstufen jeweils über eine Umrechenstufe mit jeweils einem der zwei weiteren Eingänge der Auswertestufe inThe invention has for its object to improve the''Meßanordnung the DD-PS 125 4-40 so that the measurement result is independent of vertical tilting about any horizontal axes of rotation of the measuring surface. This task is in an arrangement for straightness and flatness measurement, in particular for large measuring surfaces, which consists of at least two acting as Vertikalwegaufnehmer liquid-filled and arranged on a measuring and a reference surface and communicating vessels with the vessels patch support frames and in which the in each Container with support frame, a diaphragm and a transmitter are included, at the output of the membrane height or extent dependent electrical signals are applied, which are fed via a differential former a sense amplifier, the output side via a filter stage with a display stage in connection, according to the invention thereby solved in that the filter stage is connected to the display stage via an evaluation stage containing two further inputs, that at least two further vertical displacement sensors are connected to the measuring surface in each horizontal coordinate device. Preferably, at a great distance from each other, are fixed, whose electrical output signals are fed in a conventional manner via a respective further difference former in each case a further measuring amplifier, each with a subsequent further filter stage and that each of the two further filter stages each have a conversion stage with one of the two further inputs of the evaluation stage in

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Verbindung steht. - · Connection stands. - ·

Es ist vorteilhaft, wenn die jeweils auf den Gefäßen aufsitzenden Traggestelle hermetisch abgeschlossen und über Luftschläuche, vorzugsweise mit einer gemeinsamen zur Atmossphäre korrespondierenden Luftaustrittsöffnung, miteinander verbunden sind.It is advantageous if the support frames which are each seated on the vessels are hermetically sealed and connected to one another via air hoses, preferably with a common air outlet opening corresponding to the atmosphere.

An der Meßfläche, vorzugsweise am Meßtisch für das Meßobjekt, werden in jeder horizontalen Koordinatenrichtung je eine an sich aus der DD-PS 125 4-4-0 vorbekannte Meßeinrichtung mit den Vertikalwegaufnehmern fest angeordnet. Damit werden sowohl in x- als auch in y-Richtung vertikale Verkippungserscheinungen gemessen. Aus den Meßergebnissen dieser Yer- kippungen werden getrennt nach den horizontalen Drehachsen in einer Umrechenstufe Korrekturwerte ermittelt, die in der Auswertestufe mit dem Meßergebnis der Höhenkoordinatenmessung verknüpft werden. Das Meßergebnis der ζ-Koordinate der Meßfläche ist somit frei von beliebigen vertikalen Verkippungsauswirkungen des Meßobjektes um horizontale Drehachsen. Um eine möglichst hohe Genauigkeit zu erreichen,ist es zweckmäßig, die paarweisen Vertikalwegaufnehmer in einem möglichst großen Abstand voneinander an der Meßfläche anzuordnen. In der Praxis zeigt sich jedoch, daß ein möglichst grosser Abstand der Vertikalwegaufnehmer die Meßgenauigkeit bzw. -zuverlässigkeit nicht generell verbessert. Ursächlich dafür sind klimatische, vorwiegend aber aerodynamische Einflüsse z.B. durch Turbulenzen, die besonders bei großem Abstand-der Meßstellen voneinander unterschiedliche Auswirkungen auf die Membranen der Vertikalwegaufnehmer zeigen. Es ist deshalb vorteilhaft die Vertikalwegaufnehmer hermetisch abzuschließen und mittels eines Luftschlauches zu verbinden, der lediglich eine gemeinsame Luftaustrittsöffnung zur Atmosphäre aufweist. Auf diese Art und Weise werden gleiche klimatische und aerodynamische Bedingungen an den Membranen der Vertikalwegaufnehmer geschaffen.On the measuring surface, preferably on the measuring table for the object to be measured, a measuring device known per se from the DD-PS 125 4-4-0 with the vertical displacement sensors are fixedly arranged in each horizontal coordinate direction. This measures vertical tilting phenomena in both the x and y directions. From the measurement results of these yawings, correction values are determined separately according to the horizontal axes of rotation in a conversion stage, which values are linked in the evaluation stage to the measurement result of the height coordinate measurement. The measurement result of the ζ-coordinate of the measuring surface is thus free of any vertical Verkippungsauswirkungen the DUT about horizontal axes of rotation. In order to achieve the highest possible accuracy, it is expedient to arrange the pairwise Vertikalwegaufnehmer in the greatest possible distance from each other on the measuring surface. In practice, however, shows that the greatest possible distance of Vertikalwegaufnehmer does not generally improve the accuracy and reliability. This is due to climatic, but mainly aerodynamic influences, e.g. by turbulences, which show different effects on the membranes of the vertical displacement transducers, especially with a large distance between the measuring points. It is therefore advantageous hermetically complete the Vertikalwegaufnehmer and connect by means of an air hose, which has only a common air outlet to the atmosphere. In this way, the same climatic and aerodynamic conditions are created on the membranes of Vertikalwegaufnehmer.

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Ausführungsbeispiel. ....... Embodiment . .......

Die Erfindung soll nachstellend anhand eines in der Zeichnung · dargestellten· Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Es zeigen: .The invention will be explained in more detail with reference to an embodiment shown in the drawing. Show it: .

Fig 1:'Anordnung zur Ebenheitsmessung mit der erfindungsge-FIG. 1: Arrangement for measuring the planeness with the invention

mäßen Kippkorrekturproper tilting correction

Fig 2i Vertikalwegaufnehmer der Anordnung gemäß Fig. 1 mit 2i vertical displacement sensor of the arrangement of FIG. 1 with

hermetischem Abschlußhermetic conclusion

In Figur 1 ist eine Anordnung zur Ebenheitsmessung mit einer Kippkorrektur dargestellt. Auf einer Aufnahmevorrichtung 1 liegt ein Werkstück 3 i&it einer zu prüfenden Oberfläche 2. Die Meßanordnung besteht aus zwei Vertikalwegaufnehmern 30 und 31 > die über eine Röhre 16 miteinander verbunden sind. FIG. 1 shows an arrangement for measuring the flatness with a tilt correction. On a receiving device 1 is a workpiece 3 i & it a surface to be tested 2. The measuring arrangement consists of two Vertikalwegaufnehmern 30 and 31> which are connected to each other via a tube 16.

. Der Vertikalwegaufnehmer 30, der aus einem Gefäß 6, in dem sich eine Flüssigkeit 8 befindet, aus einer Membran 10 und 'aus einem mit der Membran 10 in Verbindung stehenden und an einem (Traggestell 14 befestigten Geber 12 (symbolisch dargestellt!) besteht (siehe Fig 2!), sitzt über einen Taster auf der Oberfläche 2 des Werkstückes 3 auf. Der Vertikalwegaufnehmer 3I, bestehend aus einem Gefäß 7, einer Flüssigkeit 9, einer Membran 11, einem Geber 13 (ebenfalls symbolisch dargestellt!) und einem Traggestell 15, sitzt mit einem Taster 32 auf einer Referenzfläche 33 der Aufnahmevorrichtung 1 auf. Die Aufnahmevorrichtung 1 ruht auf zwei Ständern 34, 35 auf einem Untergrund 36. Die elektrischen Ausgänge der Vertikalwegaufnehmer 30 und 31 sind über Leitungen 21 und 22 mit einem Differenzbildner 23 verbunden, dessen Ausgang über einen Meßverstärker 24 und ein Filter auf einen ersten Eingang einer Auswertestufe 54 geführt ist. , The Vertikalwegaufnehmer 30, which consists of a vessel 6, in which there is a liquid 8, from a membrane 10 and 'from one connected to the membrane 10 and on a (support frame 14 attached encoder 12 (shown symbolically!) Is (see 2!), Sits on a button on the surface 2 of the workpiece 3. The Vertikalwegaufnehmer 3I, consisting of a vessel 7, a liquid 9, a membrane 11, a transmitter 13 (also shown symbolically!) And a support frame 15, 2 sits on a reference surface 33 of the receiving device 1 with a push-button 32. The receiving device 1 rests on two uprights 34, 35 on a substrate 36. The electrical outputs of the vertical displacement sensors 30 and 31 are connected via lines 21 and 22 to a differential former 23 Output is performed via a measuring amplifier 24 and a filter to a first input of an evaluation stage 54.

Ausgangsseitig ist die Auswertestufe 54 mit einer Registriereinrichtung 26 verbunden.On the output side, the evaluation stage 54 is connected to a registration device 26.

Die Vertikalwegaufnehmer 30 und 31 erzeugen über die Leitungen 21 und-22 elektrische Signale, die abhängig sind von der relativen Höhe der Taster 29 und 32 und damit von der Höhenkoordinate der Oberflächenmessung, des Werkstückes 3· Das Differenzsignal dieser beiden Ausgangssignale der Vertikalwegaufnehmer 30, 31 wird verstärkt und im Filter 25The Vertikalwegaufnehmer 30 and 31 generate via the lines 21 and 22 electrical signals that are dependent on the relative height of the buttons 29 and 32 and thus of the height coordinate of the surface measurement, the workpiece 3 · The difference signal of these two output signals of Vertikalwegaufnehmer 30, 31 is amplified and in the filter 25

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vom Spektruni der Störsignale, die vor allem durch Schwingungen am Aufstellungsort hervorgerufen werden, getrennt. Das Meßergebnis wird in der Registriereinrichtung 26 registriert bzw. angezeigt.From the Spektruni the interference, which are mainly caused by vibrations at the site separated. The measurement result is registered or displayed in the registration device 26.

Unterhalb der Aufnahmevorrichtung 1 sind mittels zweier Befestigungsglieder 37, 38 zwei weitere Vertikalwegaufnehmer 39j 40 fest angebracht, die durch eine Röhre 41 kommunizierend verbunden sind. Die zwei Vertikalwegaufnehmer 39 und 40 sind in x-Koordinatenrichtung der Aufnahmevorrichtung 1 angeordnet. Die Ausgangssignale der beiden Vertikalwegaufnehmer sind über Leitungen 42 und 43 einem weiteren Differenzbildner 44 zugeführt, dessen Ausgang mit einem Meßverstärker 45 in Verbindung steht. Der Ausgang des Meßverstärkers 45 ist an eine Filterkette 45 angeschlossen, die ausgangsseitig über eine Umrechenstufe 47 mit einem zweiten Eingang der Auswertestufe in Verbindung steht. In gleicher Weise ist (in der Zeichnung aus Gründen der Übersicht nicht dargestellt) ein weiteres Vertikalwegaufnehmerpaar in y-Koordinatenrichtung unter der Aufnahmevorrichtung 1 fest angeordnet, dessen Ausgangssignale gleichermaßen über einen Differenzbildner, Meßverstärker, Filterkette und Umrechenstufe (ebenfalls nicht in der Zeichnung dargestellt) mit dem dritten Eingang der Auswertestufe 54 in Verbindung stehen. ' . .Below the receiving device 1, two further Vertikalwegaufnehmer 39j 40 are fixedly mounted by means of two mounting members 37, 38, which are communicatively connected by a tube 41. The two Vertikalwegaufnehmer 39 and 40 are arranged in the x-coordinate direction of the receiving device 1. The output signals of the two Vertikalwegaufnehmer are fed via lines 42 and 43 to a further difference former 44 whose output is connected to a measuring amplifier 45 in connection. The output of the measuring amplifier 45 is connected to a filter chain 45, whose output side is connected via a conversion stage 47 to a second input of the evaluation stage. In the same way (not shown in the drawing for reasons of clarity) another Vertikalwegaufnehmerpaar in y-coordinate direction under the recording device 1 fixed, whose output signals equally through a difference, measuring amplifier, filter chain and conversion stage (also not shown in the drawing) with the third input of the evaluation stage 54 in connection. '. ,

Kippt beim Meßvorgang der Höhenkoordinate der auszuwertenden Oberfläche 2 die Aufnahmevorrichtung 1, so entsteht zwischen den Vertikalwegaufnehmern 30 und 31 ein Höhenunterschied, der nicht durch die Geometrie der Oberfläche 2 vom Werkstück 3» sondern auch durch einen Kippwinkel bedingt wird und als Meßfehler auf das Meßergebnis wirkt. Diese Kippung wird mit den beiden an der Aufnahmevorrichtung 1 angebrachten Vertikalwegaufnehmerpaaren (in x-Koordinatenrichtung Vertikalwegaufnehmer 39 und 40) je nach Koordinatenrichtung erfaßt und über die 'nachgeschalteten elektrischen Mittel ausgewertet. Dabei wird das verstärkte und-gefilterte Differenzsignal der Vertikalwegaufnehmer 39) 40 der Umrechenstufe 47 zugeführt, in der eine durch die Vertikalwegaufnehmer 39, 40 registrierte Höhenänderung Δ h in einen Kippwinkel Δ öd umgerechnet wird.Tilts the measuring device, the height coordinate of the surface to be evaluated 2, the recording device 1, 30 and 31 between the Vertikalwegaufnehmern a height difference, which is not due to the geometry of the surface 2 of the workpiece 3 »but also by a tilt angle and acts as a measurement error on the measurement result , This tilting is detected with the two mounted on the receiving device 1 Vertikalwegaufnehmerpaaren (in x coordinate direction Vertikalwegaufnehmer 39 and 40) depending on the coordinate direction and evaluated by the 'downstream electrical means. In this case, the amplified and filtered difference signal of Vertikalwegaufnehmer 39) 40 of the conversion stage 47 is supplied, in which a registered by the Vertikalwegaufnehmer 39, 40 height change Δ h is converted into a tilt angle Δ öd.

-b--b-

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Dabei gilt:Where:

b.b.

b=Abstand der Vertikalwegaufnehmer 39 und 4-0 voneinander. Der Kippwinkel Δ OC stellt also eine Kippung dar, welche die Aufnahmevorrichtung 1 momentan um eine parallel zur y-Koordinate liegende Kippachse vollführt hat. Dieser momentane Kippwinkel Δ<Χ wird von der Umrecheneinheit 47 der Auswertestufe 54 zugeführt. In der gleichen Weise wird durch das andere nicht in der Zeichnung dargestellte Vertikalwegaufnehmerpaar ein infolge einer Kippung um eine Kippachse parallel zur x-Achse auftretender momentaner Höhenunterschied erfaßt, aus dem analog zur Umrechenstufe 47 ein Kippwinkel Δ ß ermittelt wird. Auch dieser Kippwinkel A ß wirkt auf die Umrechenstufe 54 ein, in-der die das Meßergebnis der ζ-Koordinate'der Oberfläche 2 verfälschenden Höhenunterschiede durch Verkippungen um horizontale Drehachsen vom z-Koordinaten-Meßergebnis eliminiert werden. Verkippungserscheinungen der Aufnahmevorrichtung 1 beeinträchtigen nicht das in der Registriereinrichtung 26 registrierte Meßergebnis.b = distance of Vertikalwegaufnehmer 39 and 4-0 from each other. The tilt angle Δ OC thus represents a tilt which the receiving device 1 has currently performed about a tilt axis lying parallel to the y-coordinate. This instantaneous tilt angle Δ <Χ is supplied by the conversion unit 47 to the evaluation stage 54. In the same way is detected by the other not shown in the drawing Vertikalwegaufnehmerpaar a due to a tilt about a tilt axis parallel to the x-axis occurring momentary height difference from the analog to the conversion stage 47, a tilt angle .DELTA..beta. Is determined. Also, this tilt angle A ß acts on the conversion stage 54, in which the measurement result of the ζ-Koordinate'der surface 2 falsifying height differences are eliminated by tilting about horizontal axes of rotation of the z-coordinate measurement result. Tilting of the recording device 1 does not affect the registered in the registration device 26 measurement result.

Zur Steigerung der Genauigkeit der Kippkorrektur ist es zweckmäßig, die Vertikalwegaufnehmer 39 und 40 in möglichst großem Abstand b voneinander anzuordnen. In der Praxis zeigt sich, daß klimatische und aerodynamische Einflüsse durch unterschiedliche !einwirkungen auf die Membranen 10 und 11 der Vertikalwegaufnehmer 30 bzw. 39 und 31 "bzw. 40 das Meßergebnis der Höhenkoordinateniaessung und der Kippwinkelerfassung beeinträchtigen. Je größer jeweils der Abstand b der Vertikalwegaufnehmer 30 und 31 bzw. 39 und 40 voneinander ist, umso größer ist die Gefahr der unterschiedlichen Umweltbedingungen an den Membranen 10, 11. Um diesem Nebeneffekt zu begegnen, sind die Traggestelle 14 und 15 jeweils hermetisch abgeschlossen und über zwei Luftschläuche 48, 49 mit einem T-Stück 50 verbunden, dessen dritter Anschlußkanal 51 frei bleibt·. Die beiden Anschlußkanäle des T-Stückes 50 zu den Traggestellen 14, 15 sind durch zwei Schrauben 52 und 53 regulierbar. Der Anschlußkanal 51 bildet die einzige Korrespondenzstelle der her-To increase the accuracy of the tilt correction, it is expedient to arrange the Vertikalwegaufnehmer 39 and 40 in the greatest possible distance b from each other. In practice, it is found that climatic and aerodynamic influences due to different effects on the membranes 10 and 11 of the vertical displacement sensors 30 and 39 and 31 "and 40, affect the measurement result of the height coordinate measurement and the tilt angle detection 30 and 31 or 39 and 40 from each other, the greater the risk of different environmental conditions on the membranes 10, 11. To counter this side effect, the support frames 14 and 15 are each hermetically sealed and two air hoses 48, 49 with a The two connecting channels of the T-piece 50 to the supporting frames 14, 15 are adjustable by means of two screws 52 and 53. The connecting channel 51 forms the only correspondence point of the forthcoming T-piece 50.

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metisch abgeschlossenen Traggestelle 14, 15 zur Atmosphäre (vergl. Pig. 21). Die Schrauben 52 und 52 werden so eingestellt, daß eine Druckwelle, die in den Anschlußkanal 51 einströmt, an den Membranen 10, 11 gleiche Luftdruckbedingungen hervorruft. Durch die vorteilhafte Ausgestaltung wird erreicht, daß nicht nur der Luftdruck an sich, sondern auch, insbesondere bei größeren Abständen der Meß- bzw. Meß- und Referenzstellen, störende aerodynamische Bedingungen, wie Luftturbulenzen, das Meßer-' gebnis nicht verfälschen.metically closed supporting frames 14, 15 to the atmosphere (see Pig. 21). The screws 52 and 52 are adjusted so that a pressure wave, which flows into the connecting channel 51, causes the same pressure conditions on the membranes 10, 11. The advantageous embodiment ensures that not only the air pressure per se, but also, especially at larger distances of the measuring or measuring and reference points, disturbing aerodynamic conditions, such as air turbulence, the Meßer- 'result does not distort.

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Claims

-ί- 224 9 03

He claim; ,

Arrangement for straightness and flatness measurement according to DD-PS 125 440, in particular for large measuring surfaces, which consists of at least two acting as Vertikalv / gaufnehmer liquid-filled and arranged on a Heß- and a reference surface communicating vessels with the vessels patch support frames and in which in each Container with support frame, a diaphragm and a transmitter are included, at the output of the membrane height or -ausdehnung dependent electrical signals applied, the v / ground via a differential former a sense amplifier, the output side is connected via a filter stage with a display stage, characterized in that the JPilterstufe is connected via an evaluation stage containing two v / ee inputs with the display stage in that at the measuring area in each horizontal coordinate direction at least two further Vertikalwegaufnehmer, preferably at a large distance from each other, fixed angeord are net whose electrical output signals are supplied in a conventional manner via a respective further difference former in each case a further measuring amplifier, each with a subsequent further .Pilterstufe and that each of the two other Pilt ^ rstufen via a conversion stage with one of the two other inputs of the evaluation stage communicates.

Arrangement according to item 1, characterized in that the respective resting on the vessels supporting frames are hermetically sealed and hoses connected via air, preferably with a common atmosphere corresponding to the air outlet opening, are interconnected.

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