DD135091A1 - Einrichtung zum beschichten durch hochratezerstaeubung mit dem plasmatron - Google Patents

Einrichtung zum beschichten durch hochratezerstaeubung mit dem plasmatron

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DD135091A1
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screening
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Lothar Reissmueller
Dietrich Huebner
Ullrich Heisig
Klaus Goedicke
Wolfgang Hempel
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Lothar Reissmueller
Dietrich Huebner
Ullrich Heisig
Klaus Goedicke
Wolfgang Hempel
Teschner Goetz
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0089382A1 (de) * 1982-03-18 1983-09-28 Ibm Deutschland Gmbh Plasmareaktor und seine Anwendung beim Ätzen und Beschichten von Substraten
DE10239014A1 (de) * 2002-08-20 2004-03-04 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage mit zwei Magnetrons

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DE10239014B4 (de) * 2002-08-20 2009-04-09 Von Ardenne Anlagentechnik Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage mit zwei Magnetrons

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