DD131102A2 - Verfahren zum abtrennen duenner kristallscheiben aus halbleitermaterial von einkristallstaeben - Google Patents

Verfahren zum abtrennen duenner kristallscheiben aus halbleitermaterial von einkristallstaeben

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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EP0798092A3 (de) * 1996-03-29 1998-04-01 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd Verfahren zum Zerschneiden eines Einkristallbarren aus Halbleitermaterial

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EP0798092A3 (de) * 1996-03-29 1998-04-01 Shin-Etsu Handotai Co., Ltd Verfahren zum Zerschneiden eines Einkristallbarren aus Halbleitermaterial

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