DD118304A1 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4107711A1 (de) * 1991-03-09 1992-09-10 Leybold Ag Verfahren zum dotieren von grundmaterial mit dotiermaterial, zur herstellung einer chemischen verbindung oder einer legierung unter verwendung einer zerstaeubungskatode und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4107711A1 (de) * 1991-03-09 1992-09-10 Leybold Ag Verfahren zum dotieren von grundmaterial mit dotiermaterial, zur herstellung einer chemischen verbindung oder einer legierung unter verwendung einer zerstaeubungskatode und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE4107711C2 (de) * 1991-03-09 1999-11-11 Leybold Ag Verfahren und Vorrichtung zur Abscheidung dotierter Schichten oder chemischer Verbindungen oder Legierungen mittels einer Magnetronkathode

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