CZ310063B6 - Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu - Google Patents
Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu Download PDFInfo
- Publication number
- CZ310063B6 CZ310063B6 CZ2022-405A CZ2022405A CZ310063B6 CZ 310063 B6 CZ310063 B6 CZ 310063B6 CZ 2022405 A CZ2022405 A CZ 2022405A CZ 310063 B6 CZ310063 B6 CZ 310063B6
- Authority
- CZ
- Czechia
- Prior art keywords
- sample
- spectrometer
- microscope
- inlet
- differentially pumped
- Prior art date
Links
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims abstract description 13
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 11
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 63
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 229920000426 Microplastic Polymers 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/62—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating the ionisation of gases, e.g. aerosols; by investigating electric discharges, e.g. emission of cathode
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/02—Non-SPM analysing devices, e.g. SEM [Scanning Electron Microscope], spectrometer or optical microscope
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
Předmětem řešení je zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu organických a syntetických vzorků, které je tvořeno klasickým elektronovým mikroskopem nebo environmentálním rastrovacím elektronovým mikroskopem zaměřeným na vzorek umístěný na držáku v komoře vzorku zaplněné inertním plynem a dále je tvořeno hmotnostním spektrometrem, který nasává molekuly a ionty uvolněné ze vzorku elektronovým paprskem mikroskopu. Vstup iontů do spektrometru (2) je tvořen vstupní trubicí (8), kterou je spektrometr (2) suvně uložen ve stěně komory (6) vzorku mikroskopu a která je po délce rozdělena tlak omezujícími clonami (10) na řadu diferenciálně čerpaných komor (11) s různými stupni vakua.
Description
Zarizeni pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analÿzu
Oblast techniky
Vynâlez se tÿkâ zarizeni, které umoznuje simultânni obrazovou analÿzu vzorku elektronovÿm mikroskopem a chemickou analÿzu integrovanÿm hmotnostnim spektrometrem.
Dosavadni stav techniky
V rastrovacim elektronovém mikroskopu dopadâ na zkoumanÿ vzorek ùzkÿ paprsek primârnich elektronù o energiich od jednotek do desitek kV. Primârni elektrony uvolnuji z povrchové vrstvy vzorku signâlni elektrony, které nesou informaci o jemné strukture povrchu i materiâlovém slozeni vzorku a v mikroskopu se detekuji. Uvolnuji se rovnez elektricky neutrâlni molekuly i nabité castice hmoty vzorku - ionty, které rovnez nesou informaci, avsak jiného druhu nez elektrony, o chemickém slozeni vzorku.
V beznÿch elektronovÿch mikroskopech je vzorek umisten a prohlizen v komore vzorku v podminkâch hlubokého vakua. Ve vakuu se nachâzi také cela drâha primârnich elektronù od zdroje az do komory vzorku, i kompletni draha signâlnich elektronù od vzorku k senzoru detektoru. Pri zkoumâni vzorkù obsahujicich latky, které se ve vakuu odparuji, jejichz struktura se po odparu hrouti, nebo u elektricky izolacnich vzorkù, nastâvaji u beznÿch mikroskopù problémy. To se tÿkâ napr. biologickÿch vzorkù. Ke zmene nebo ke zniceni vzorku ve vakuu v dùsledku vyparovâni mùze dojit drive, nez je zachycen jeho obraz. Proto byly vyvinuty tzv. environmental^ rastrovaci elektronové mikroskopy, které maji v komore vzorku tlak blizkÿ atmosférickému tlaku v jednotkach az tisicich Pa, a tak umoznuji zkoumat vzorky v plynném prostredi.
Environmental^ mikroskopy jsou konstruovany tak, ze svazek primârnich elektronù prevâznou câst své drâhy od zdroje ke vzorku prochâzi tubusem ve vakuu pri tlaku alespon 10-2 Pa. Pred vstupem do komory vzorku je zarazena jedna, nebo vice clonami oddelenÿch diferenciâlne cerpanÿch komor s postupne se zvysujicim tlakem v râdu desetin az stovek Pa, zatimco v komore vzorku je tlak v rozmezi 10-6 az 103 Pa, pri kterém se vzorek neposkodi. Svazek primârnich elektronù prochâzi clonami mezi tubusem mikroskopu, diferenciâlne cerpanÿm komorami a komorou vzorku.
Ukazuje se jako uzitecné zâroven s obrazovou analÿzou prostrednictvim mikroskopu analyzovat chemické slozeni vzorku reprezentované neutrâlnimi molekulami a nabitÿmi ionty uvolnenÿmi elektronovÿm paprskem za snizené nebo pokojové teploty, anebo po zahrâti vzorku aktivnim ohrevem az na nekolik set °C, a to spektroskopickou metodou prostrednictvim hmotnostniho spektrometru. To umoznuje ziskat o vzorku komplexnejsi informace. Zatim co hmotnostni spektrometr obvykle zjist’uje slozeni vzorku z relativne velké plochy nebo objemu, v kombinaci s elektronovou mikroskopii je mozno lokâlnim ohrevem elektronovÿm svazkem selektovat oblast zâjmu o velikosti jednotek mikrometrù az desitek nanometrù.
Hmotnostni spektrometr pracuje s delenim podle pomeru m/Q, kde m je hmotnost a Q nâboj fragmenta. Pouzivâ se pro urceni hmotnosti câstic, nebo stanoveni elementârniho slozeni vzorku nebo molekuly, a pro objasneni chemické struktury molekul. Princip hmotnostni spektrometrie je zalozen na ionizaci chemickÿch sloucenin, tvorbe nabitÿch molekul nebo fragmentù molekul a mereni jejich pomeru hmotnosti k nâboji.
Hmotnostni spektrometr je tvoren zdrojem iontù, hmotnostnim analyzâtorem, napr. kvadrupôlovÿm, kterÿ proud iontù rozcleni do drah podle hmotnostniho pomeru, a detektorem, na kterÿ navazuje zpracovâni sejmutÿch dat. Ve spojeni spektrometru s klasickÿm elektronovÿm
- 1 CZ 310063 B6 nebo environmentâlnim elektronovÿm mikroskopem je zdrojem molekul a iontù komora vzorku, resp. oblast obklopujici vzorek, na nejz pùsobi paprsek elektronù. Hmotnostni analyzâtor spektrometru funguje v prostredi velmi vysokého vakua 10-6 az 10-9 Pa. lonty „nasâvané“ v komore vzorku mikroskopu je tedy treba prevést do prostoru spektrometru, jehoz tlak se od tlaku v komore vzorku mùze lisit o nekolik râdù. Jsou znama zarizeni zamerena na reseni tohoto problému.
GB 861409 popisuje pristroj pro rentgenovou spektrometrii, ve kterém elektronovÿ paprsek mikroskopu prochâzi z vakuového prostredi tubusu diferenciâlne cerpanou komorou, dopadâ na vzorek umistenÿ ve vnejsi atmosfére a pri tom vyvolâvâ rentgenové zâreni. Rentgenové paprsky prochâzeji ve smeru odkloneném od elektronového paprsku sérii diferencialne cerpanÿch komor do komory, v niz je v hlubokém vakuu umisten spektrometr.
US 2010/0229263 uvadi systém urcenÿ k zobrazeni a analÿze hmotnostniho slozeni vzorku. Systém je tvoren ionizacni oblasti o tlaku blizkém atmosférickému, drzakem vzorku v ni umisteném, laserem zamerenÿm na vzorek, hmotnostnim spektrometrem v hlubokém vakuu, rozhranim propojujicim atmosférické a vakuované prostredi a optickÿm rastrovacim mikroskopem skenujicim vzorek. Castice, které ze vzorku uvolnuje laser, jsou nasavany kapilarou a vedeny na vstup spektrometru. Rozdil tlakù mezi atmosférou a vakuem preklenuje ztrata tlaku v kapilare.
Systém pro analÿzu a zobrazovani vzorku v ionizacni oblasti za atmosférického tlaku nebo blizkého atmosférického tlaku podle WO 2006081240 A1 obsahuje drzak vzorku, laser pro osvetleni vzorku, hmotnostni spektrometr, kterÿ ma alespon jednu vakuovou komoru, rozhrani atmosférického tlaku mezi ionizacni oblasti a hmotnostnim spektrometrem, skenovaci mikroskop pro skenovani vzorku s menitelnÿm odstupem od vzorku a vakuovou kapilarni trysku pro nasavani castic, které jsou desorbovany laserem. Soucasti systému je i ovladaci, zaznamové a zobrazovaci zarizeni. Neuvadi se moznost zmeny polohy spektrometru vzhledem ke vzorku, pripadne jeho vysunuti z komory vzorku.
WO 2004068131 popisuje hmotnostni analyzator pro provadeni analÿzy s vysokÿm rozlisenim v mikro-oblasti vzorku, ktera je vystavena ùcinku laserového paprsku. Zarizeni neumoznuje obrazovou analÿzu vzorku.
WO 2004017019 A1 uvadi zarizeni rastrovaciho mikroskopu s merici sondou v kombinaci s hmotnostnim spektrometrem s ionizacni jednotkou. Merici sonda ma dutou spici, ktera umoznuje, ze k tvorbe iontù dochazi jen na omezené plose vzorku.
Vynalez si klade za ùkol navrhnout kompaktni integrované zarizeni, které umozni komplexni simultanni obrazovou analÿzu a spektroskopickou analÿzu vhodnou zejména pro hodnoceni polutantù ohrozujicich zivotni prostredi.
Podstata vynâlezu
Uvedenÿ ùkol splnuje zarizeni pro obrazovou a spektroskopickou analÿzu, zejména organickÿch a syntetickÿch vzorkù, tvorené klasickÿm, nebo environmentâlnim rastrovacim elektronovÿm mikroskopem zamerenÿm na vzorek umistenÿ na drzâku v komore vzorku ve vakuu, anebo zaplnené inertnim plynem, a dâle tvorené hmotnostnim spektrometrem, kterÿ nasâvâ molekuly a ionty uvolnené ze vzorku elektronovÿm paprskem mikroskopu, pripadne po zahrâti externim zdrojem tepla.
Podstata zarizeni spocivâ v tom, ze vstup molekul a iontù do spektrometru je tvoren relativne krâtkou vstupni trubici, kterou je spektrometr suvne ulozen ve stene komory vzorku mikroskopu
- 2 CZ 310063 B6 a ktera je po délce rozdelena tlak omezujicimi clonami na radu diferencialne cerpanÿch komor s rùznÿmi stupni vakua.
Tlak omezujici clony oddelujicich diferencialne cerpané komory mohou bÿt vymenitelné v zavislosti na velikosti tlaku plynu v komore mikroskopu.
Aby se zamezilo kondenzaci plynu v diferencialne cerpanÿch komorach, mohou bÿt diferencialne cerpané komory vyhrivany.
Detekcni elektrody detektoru signalnich elektronù mikroskopu mohou bÿt umisteny na vstupu vstupni trubice spektrometru.
Vstup vstupni trubice mùze bÿt opatren odnimatelnÿm tesnicim krytem nasazenÿm pri odstaveném spektrometru nebo jeho kalibraci.
Drzak vzorku mùze bÿt ohrivan.
Diferencialne cerpané komory jsou evakuovany soustavou vÿvev, ktera mùze bÿt integrovana s plynovÿm chromatografem, jehoz vstup a vÿstupni trubice jsou propojeny se vstupni trubici spektrometru za ùcelem casové segmentace mereného signalu ve chromatografu vedouci k podstatnému zpresneni chemické analÿzy hmotnostnim spektrometrem.
Objasneni vÿkresu
Vynalez bude dale objasnen pomoci vÿkresu, na nemz je na obr. 1 schéma predmetného zarizeni pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analÿzu, zejména organickÿch a syntetickÿch vzorkù.
Priklady uskutecneni vynalezu
Zarizeni pro obrazovou a chemickou spektrometrickou analÿzu, jehoz schéma je na obr. 1, je tvoreno klasickÿm, nebo environmentalnim rastrovacim elektronovÿm mikroskopem a hmotnostnim spektrometrem 2. Mikroskop ma objektiv 1 opatrenÿ civkami 3 usmernujicimi elektronovÿ paprsek E, kterÿ prochazi clonou 4 mikroskopu a skenuje vzorek 5 umistenÿ v komore 6 vzorku na drzaku 7 vzorku. Komora 6 vzorku je zaplnena inertnim plynem o tlaku od 10-6 Pa az do 103 Pa, tedy az do tlaku blizkému atmosférickému tlaku.
Hmotnostni spektrometr 2 ma na vstupu trubici 8, kterou nasâvâ ionty uvolnené ze vzorku 5 elektronovÿm paprskem E mikroskopu, pripadne za asistence aktivniho ohrevu vzorku 5. Spektrometr 2 je prostrednictvim vstupni trubice 8 suvne ulozen ve stene komory 6 vzorku mikroskopu. Posuv spektrometru 2 ve smeru sipky zajisfuje posuvnÿ mechanismus 9. Posuv je rizen elektronikou a pocitacem, coz umoznuje zasunout spektrometr 2 do blizkosti vzorku 5 a zvÿsit tim jeho detekcni ùcinnost a dynamiku mereni. Trubice 8 spektrometru 2 je po délce rozdelena clonami 10, které prostor trubice 8 cleni na jednotlivé diferencialne cerpané komory 11 a vymezuji rozdily tlaku mezi sousednimi komorami 11. Komory 11 jsou napojeny prostrednictvim kanalù 12 na soustavu 13 vakuovÿch cerpadel, ktera v diferencialne cerpanÿch komorach 11 udrzuji rùzne nizkÿ tlak plynu, az po tlak blizici se vakuu, potrebnÿ pro cinnost hmotnostniho spektrometru 2. V praktickém provedeni budou kanaly 12 integrovany do vstupni trubice 8 spektrometru a budou se posunovat spolu se spektrometrem 2.
Komory 11 jsou osazeny tlakomery pro ochranu analyzatoru spektrometru 2. Soustava 13 vakuovÿch cerpadel je integrovana s chromatografem, jehoz vÿstupni trubice 14 ùsti do trubice 8 pred hmotnostni analyzator spektrometru 2. V pripade, ze bude plynovÿ chromatograf pripojen,
- 3 CZ 310063 B6 bude jedna ze clon 10 uzavrena tak, aby analyzovanÿ plyn proudil do hmotnostniho spektrometru 2 pres plynovÿ chromatograf. Ve smyslu toku plynu bude tedy plynovÿ chromatograf hmotnostnimu spektrometru 2 predrazen. Pro zajisteni pozadovanÿch tlakù plynu pro soucasnou cinnost plynového chromatografu a hmotnostniho spektrometru 2 je vyuzita soustava 13 vakuovÿch cerpadel. V pripade, ze chromatograf pouzit nebude, clony 10 budou pro analyzovanÿ plyn prùchozi, a ten bude analyzovan pouze hmotnostnim spektrometrem 2.
Diferencialne cerpané komory 11 jsou vyhrivany topnÿmi telesy 15, ktera jsou napajena ze zdroje Z, a kterÿmi lze obsah komor ohrivat na teploty radove stovek °C. Na vstupu do trubice 8 jsou umisteny detekcni elektrody 16 mikroskopu napojené na zesilovac A jimi vysilaného signalu. Detekcni elektrody 16 umoznuji zaznam obrazu vzorku mikroskopem pri zasunutém hmotnostnim spektrometru 2 do rùzné vzdalenosti od drzaku 7 vzorku 5, zejména v jeho blizkosti. Na vstupu trubice 8 mùze bÿt odnimatelne nasazen tesnici kryt 17, oddelujici prostredi komory 6 vzorku od spektrometru 2, aby pri jeho odstavce nebyl obsah trubice 8 cerpan vÿvevami mikroskopu a byla umoznena presna kalibrace spektrometru 2 kalibracnimi plyny. Drzak 7 vzorku mùze bÿt vyhrivanÿ; pak se bude kombinovat ohrev vzorku 5 prostrednictvim drzaku 7 s ohrevem paprskem E elektronù. Vzorky 5 mohou bÿt pri tomto usporadani analyzovany ve skupenstvi pevném, kapalném i plynném.
Zanzeni najde siroké uplatneni ve vede, vÿzkumu i prùmyslové praxi. Prikladem mùze bÿt vyuziti pro hodnoceni environmentalnich rizik zpùsobenÿch znecistenim zivotniho prostredi mikroplasty s moznosti jejich plosné a nasledne i lokalni identifikace v zivÿch i nezivÿch vzorcich. Zanzeni umoznuje obrazovou analÿzu vzorkù a chemickou analÿzu rezidualnich plynù vznikajicich pyrolÿzou na vyhrivaném drzaku vzorku.
Claims (7)
1. Zarizeni pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analÿzu organickÿch a syntetickÿch vzorkû tvorené elektronovÿm mikroskopem nebo environmentalnim rastrovacim elektronovÿm mikroskopem zamerenÿm na vzorek umistenÿ na drzaku (7) v komore (6) vzorku zaplnené inertnim plynem a dale tvorené hmotnostnim spektrometrem (2) se vstupem pro molekuly a ionty uvolnené ze vzorku elektronovÿm paprskem mikroskopu, vyznacujici se tim, ze spektrometr (2) zahrnuje vstupni trubici (8) pro vstup iontû, ktera je suvne ulozena ve stene komory (6) vzorku mikroskopu a ktera je po délce rozdelena tlak omezujicimi clonami (10) na radu diferencialne cerpanÿch komor (11) s rûznÿmi stupni vakua.
2. Zarizeni podle naroku 1, vyznacujici se tim, ze tlak omezujici clony (10) oddelujici diferencialne cerpané komory (11) jsou vymenitelné.
3. Zarizeni podle naroku 1 nebo 2, vyznacujici se tim, ze diferencialne cerpané komory (11) jsou opatreny ohrevem.
4. Zarizeni podle nekterého z predchozich narokû, vyznacujici se tim, ze na vstupu vstupni trubice (8) spektrometru jsou umisteny detekcni elektrody (16) mikroskopu.
5. Zarizeni podle nekterého z predchozich narokû, vyznacujici se tim, ze vstup vstupni trubice (8) je opatren odnimatelnÿm tesnicim krytem (17) k nasazeni pri odstaveni spektrometru (2) nebo jeho kalibraci.
6. Zarizeni podle nekterého z predchozich narokû, vyznacujici se tim, ze drzak (7) vzorku je opatren ohrevem.
7. Zarizeni podle nekterého z predchozich narokû, vyznacujici se tim, ze diferencialne cerpané komory (11) jsou pripojeny k soustave (13) vÿvev, ktera je integrovana s plynovÿm chromatografem, jehoz vstup a vÿstupni trubice (14) jsou propojeny se vstupni trubici (8) spektrometru (2).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2022-405A CZ310063B6 (cs) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CZ2022-405A CZ310063B6 (cs) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CZ2022405A3 CZ2022405A3 (cs) | 2024-04-03 |
| CZ310063B6 true CZ310063B6 (cs) | 2024-07-03 |
Family
ID=90459357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CZ2022-405A CZ310063B6 (cs) | 2022-09-26 | 2022-09-26 | Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CZ (1) | CZ310063B6 (cs) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004017019A1 (de) * | 2002-07-24 | 2004-02-26 | Jpk Instruments Ag | Verfahren zur örtlich hochaufgelösten, massenspektroskopischen charakterisierung von oberflächen mittels einer rastersondentechnik |
| WO2004068131A1 (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | イオン化装置および微小領域分析装置 |
| WO2006081240A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-03 | The George Washington University | Protein microscope |
-
2022
- 2022-09-26 CZ CZ2022-405A patent/CZ310063B6/cs unknown
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004017019A1 (de) * | 2002-07-24 | 2004-02-26 | Jpk Instruments Ag | Verfahren zur örtlich hochaufgelösten, massenspektroskopischen charakterisierung von oberflächen mittels einer rastersondentechnik |
| WO2004068131A1 (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-12 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | イオン化装置および微小領域分析装置 |
| WO2006081240A1 (en) * | 2005-01-27 | 2006-08-03 | The George Washington University | Protein microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CZ2022405A3 (cs) | 2024-04-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Thürmer et al. | Accurate vertical ionization energy and work function determinations of liquid water and aqueous solutions | |
| CN108169092B (zh) | 大气颗粒物重金属及其同位素在线探测装置及其方法 | |
| JP2017509901A5 (cs) | ||
| US20130043380A1 (en) | Calibration of mass spectrometry systems | |
| Vittiglio et al. | A compact μ-XRF spectrometer for (in situ) analyses of cultural heritage and forensic materials | |
| US10309929B2 (en) | Practical ion mobility spectrometer apparatus and methods for chemical and/or biological detection | |
| JP6026936B2 (ja) | 異物検出装置 | |
| Kelly et al. | An environmental sample chamber for reliable scanning transmission x-ray microscopy measurements under water vapor | |
| Buzanich et al. | A portable micro-X-ray fluorescence spectrometer with polycapillary optics and vacuum chamber for archaeometric and other applications | |
| Escher et al. | FERRUM: a new highly efficient spin detector for electron spectroscopy | |
| Fisher et al. | Parallel imaging MS/MS TOF-SIMS instrument | |
| Szalóki et al. | A novel confocal XRF-Raman spectrometer and FPM model for analysis of solid objects and liquid substances | |
| US10073056B2 (en) | Practical ion mobility spectrometer apparatus and methods for chemical and/or biological detection | |
| JP5062598B2 (ja) | メスバウア分光測定装置 | |
| CZ310063B6 (cs) | Zařízení pro obrazovou a chemickou spektroskopickou analýzu | |
| US6122050A (en) | Optical interface for a radially viewed inductively coupled argon plasma-Optical emission spectrometer | |
| Wobrauschek et al. | X-Ray total reflection fluorescence analysis | |
| US5640012A (en) | Precision-controlled slit mechanism for electron microscope | |
| EP3167269B1 (en) | Portable electronic device for the analysis of a gaseous composition | |
| CN208187913U (zh) | 大气颗粒物重金属及其同位素在线探测装置 | |
| Gonzalez | Laser ablation–based chemical analysis techniques: a short review | |
| CN105632865A (zh) | 一种非放射性离子迁移管 | |
| JP6458011B2 (ja) | 空気中でのｘ線分析 | |
| Cabal et al. | Study of the uniformity of aerosol filters by scanning MA‐XRF | |
| JP7010373B2 (ja) | スペクトルデータ処理装置及び分析装置 |