CZ201984A3 - Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech - Google Patents

Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech Download PDF

Info

Publication number
CZ201984A3
CZ201984A3 CZ2019-84A CZ201984A CZ201984A3 CZ 201984 A3 CZ201984 A3 CZ 201984A3 CZ 201984 A CZ201984 A CZ 201984A CZ 201984 A3 CZ201984 A3 CZ 201984A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
needle
capacitor
miniature
connector
sensor
Prior art date
Application number
CZ2019-84A
Other languages
English (en)
Other versions
CZ308267B6 (cs
Inventor
Jaroslav PLOCEK
Ladislav Sieger
Original Assignee
České vysoké učení technické v Praze
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by České vysoké učení technické v Praze filed Critical České vysoké učení technické v Praze
Priority to CZ2019-84A priority Critical patent/CZ201984A3/cs
Priority to EP20155747.7A priority patent/EP3696519A1/en
Publication of CZ308267B6 publication Critical patent/CZ308267B6/cs
Publication of CZ201984A3 publication Critical patent/CZ201984A3/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H11/00Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties
    • G01H11/06Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by detecting changes in electric or magnetic properties by electric means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01HMEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
    • G01H3/00Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R19/00Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
    • G01R19/0084Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring voltage only
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G2/00Details of capacitors not covered by a single one of groups H01G4/00-H01G11/00
    • H01G2/02Mountings
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/02Casings; Cabinets ; Supports therefor; Mountings therein
    • H04R1/04Structural association of microphone with electric circuitry therefor
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R1/00Details of transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R1/44Special adaptations for subaqueous use, e.g. for hydrophone
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00Electrostatic transducers
    • H04R19/04Microphones
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/40Structural combinations of fixed capacitors with other electric elements, the structure mainly consisting of a capacitor, e.g. RC combinations

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

Snímač sestává z mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru (10) umístěného na špičce kovové duté jehly (11) o malém vnějším průměru. Jeden přívod SMD kondenzátoru (10) je vodivě spojen s jehlou (11), druhý přívod SMD kondenzátoru (10) je připojen k vodiči (12), procházejícímu dutinou jehly (11). Špička jehly (11) s kondenzátorem (10) a připojovacím vodičem (12) je pokryta tenkou nepropustnou elektroizolační vrstvou (13). Druhý konec jehly (11) je opatřen miniaturním konektorem (14) pro připojení tenkého propojovacího koaxiálního kabelu (20). Propojovací koaxiální kabel (20) je pomocí dalšího konektoru (21) připojen k elektricky stíněnému adaptéru (30), obsahujícímu miniaturní baterii (31) sloužící jako zdroj polarizačního napětí, oddělovací rezistor (32), přepínač polarizačního napětí (33) a výstupní oddělovací kondenzátor (34). Adaptér (30) je vybaven výstupním BNC konektorem (35), umožňujícím připojení k následnému měřicímu, zobrazovacímu či vyhodnocovacímu zařízení.

Description

Propojovací koaxiální kabel (20) je pomocí dalšího konektoru (21) připojen k elektricky stíněnému adaptéru (30), obsahujícímu miniaturní baterii (31) sloužící jako zdroj polarizačního napětí, oddělovací rezistor (32), přepínač polarizačního napětí (33) a výstupní oddělovací kondenzátor (34). Adaptér (30) je vybaven výstupním BNC konektorem (35), umožňujícím připojení k následnému měřicímu, zobrazovacímu či vyhodnocovacímu zařízení.
CZ 2019 - 84 A3
Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech
Oblast techniky
Je řešen miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech, umožňující bodové snímání akustického tlaku bez narušení akustického pole snímačem, v kmitočtovém rozsahu jednotek až desítek kHz. Jako snímacího prvku je využito mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru s externím polarizačním napětím.
Dosavadní stav techniky
Akustické snímače, ovlivňující svojí přítomností akustické pole v kapalném nebo plynném prostředí jen v zanedbatelné míře, prakticky s rozměry aktivního prvku pod 1 mm, jsou v současnosti založeny na následujících třech principech.
Jedním z těchto principů je piezoelektrický snímač s PVDF folií. Tento snímač využívá piezoelektrických vlastnosti termoplastického fluoropolymeru polyvinylidenfluorid. PVDF folie je opatřena na obou stranách vodivými elektrodami a je umístěna na konci tenké kovové trubičky. Jeden z přívodů tvoří tělo trubičky, druhý přívod vodič vedený dutinou trubičky. Konec trubičky s folií je opatřen uzavírací kontaktní a stínící vrstvou. Vzhledem k malé kapacitě, vysoké impedanci a malé citlivosti snímače musí být bezprostředně za spojovacím kabelem použit zesilovač. Deformace PVDF folie akustickým tlakem vyvolává na elektrodách elektrický signál, který je úměrný časovému průběhu a velikosti deformace. Nejmenší realizovatelné snímače tohoto typu mají průměr 0,5 mm s tloušťkou folie 9 pm a jsou použitelné v kmitočtovém pásmu ca 1 až 100 MHz.
Pro aplikace v kmitočtové oblasti jednotek až desítek kHz má tato skupina následující nevýhody. Snímače mají nízkou citlivost a silnou nevyváženost kmitočtové charakteristiky. Vysoká impedance zdroje signálu daná malou kapacitou snímacího prvku způsobuje vyšší náchylnost k elektromagnetickému rušení. Realizace těchto snímačů je technicky a finančně náročná.
Podrobnější informace k této skupině snímačů lze nalézt v následujících článcích a patentech.
DeReggi, A.S., Roth, S.C., Kenney, J.M., Edelman, S. and Harris, G.R. Piezoelectric polymer probe for ultrasonic applications JAcoust Soc Am (1981) 69 853-859;
K tomuto článku příslušejí patenty US 4433400 A, US 4517665 A.
Shotton, K.C., Bacon, D.R. and Quilliam, R.M. A PVDF membrane hydrophone for operation in the range 0.5 MHz to 15 MHz Ultrasonics (1980) 18 123-126;
Lewin, P.A., Schafer, M. and Gilmore, J.M. Miniature piezoelectric polymer ultrasonic hydrophone probes Ultrasonics (1981) 19 213-216;
Bacon, D.R. Characteristics of a PVDF membrane hydrophone for use in the range
1-100 MHz IEEE Trans Sonics Ultrason (1982)29 18-25;
Preston, R.C., Bacon, D.R., Livett, A.J. and Rajendran, K. PVDF membrane hydrophone performance properties and their relevance to the measurement of the acoustic output of medical ultrasonic equipments Phys E. Sci Instrum (1983) 16 786- 796;
Platte, M. A Polyvinylidene fluoride needle hydrophone for ultrasonic applications Ultrasonics (1985)23 113-118;
- 1 CZ 2019 - 84 A3
Uvedeného typu snímače se týká například patent US 4316115 A.
Druhou skupinou jsou piezoelektrické snímače s tenkovrstvou polykrystalickou keramikou. U tohoto typu snímačů je na kovový substrát, například na titanový drátek o průměru 0,6 mm, speciálním postupem čelně nanesena vrstva piezokeramického materiálu a ta je opatřena další vodivou elektrodou. Drátek s piezokeramickou vrstvou je spojen s vnitřním vodičem přívodního koaxiálního kabelu. Po stranách je opatřen nejprve izolační vrstvou, a dále pak uzavírací kontaktní a stínící vrstvou, která je spojena s opláštěním přívodního koaxiálního kabelu. Deformace piezoelektrické vrstvy akustickým tlakem vyvolává na jejích elektrodách elektrický signál, úměrný časovému průběhu a velikosti deformace. Takto vzniklý miniaturní snímač lze využívat v širokém kmitočtovém pásmu od jednotek do sta MHz.
Pro aplikace v kmitočtové oblasti jednotek až desítek kHz má tato skupina následující nevýhody. Snímače vykazují nízkou citlivost a silnou nevyváženost kmitočtové charakteristiky. Vyšší impedance zdroje signálu daná nevelkou kapacitou snímacího prvku způsobuje náchylnost k elektromagnetickému rušení. I tento typ snímače je technicky a finančně náročný.
Tento typ snímače je popsán například v patentu JP 2005089229 A nebo v článku Development of Miniatuře Needle-Type Hydrophone with Lead Zirconate Titanate Polycrystalline Film Deposited by Hydrothermal Method, Hiroshi KITSUNAI, Norimichi KAWASHIMA, Shinichi TAKEUCHI, Mutsuo ISHIKAWA, Minoru KUROSAWA and Etsuzo ODAIRA, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 5B, 2006, pp. 4688-4692.
Třetí skupinu tvoří optoelektrický snímač se světlovodným vláknem. Jednu jeho podskupinu tvoří reflexní snímač, který sestává ze skleněného optického vlákna ponořeného jedním koncem do kapaliny, v níž je snímán akustický tlak. Do vlákna je zavedeno světlo vhodné vlnové délky. Množství světla odraženého od konce vlákna závisí na indexu lomu kapaliny. Index lomu je závislý na hustotě kapaliny, která je ovlivněna akustickým tlakem. Odražené světlo je na druhém konci vlákna převedeno na elektrický signál, úměrný akustickému tlaku. Reflexní snímače bývají dále zdokonalovány vrstvami různých materiálů na snímacím konci vlákna, sloužícími ke zvýšení odrazu světla a jeho závislosti na akustickém tlaku. Výhodou tohoto snímače je necitlivost vůči elektromagnetickému rušení. Jeho nevýhodou je velmi nízká citlivost, použitelnost pouze v kapalinách a extrémní technická a finanční náročnost.
Takovýto snímač je popsán například v článku Staudenraus J. and Eisenmenger W., Fibre-optic probe hydrophone for ultrasonic and shock-wave measurements in water., Ultrasonics, Vol. 31, No. 4, pp. 267-273, 1993 nebo v patentu US 5010248 A.
Druhou podskupinou optoelektrických snímačů se světlovodným vláknem je Fabry - Perotův snímač. Zde je na čele vlákna nanesením další opticky propustné vrstvy zakončené zrcadlovou plochou vytvořena interferometrická komůrka. Deformace, zde změna délky této komůrky způsobená akustickým tlakem, vyvolává fázové změny koherentní světelné vlny, vracející se zpět vláknem po průchodu komůrkou. Tyto fázové změny jsou v připojeném optoelektrickém zařízení převedeny na elektrický signál. Výhodou je výrazně vyšší citlivost ve srovnání s reflexním snímačem i schopnost práce s nižšími kmitočty v řádu desítek kHz a stejně jako u reflexního snímače necitlivost vůči elektromagnetickému rušení. Nevýhodou pak je nižší citlivost, použitelnost pouze v kapalinách a rovněž tak, jako u reflexního typu, extrémní technická a finanční náročnost.
Tohoto typu snímačů se týkají například patenty US 5311485 A, DE 19541952 Al. V literatuře jsou popsány v následujících publikacích: Morris et al.: The Fabry-Pérot fiber-optic hydrophone, J. Acoust. Soc. Am., Vol. 125, No. 6, June 2009, nebo v článku JlNYU MA, MEIRONG ZHAO, XlNJING Huang, Hyungdae Bae, YONGYAO Chen, and Miao Yu, Low cost, high performance white-light fiberoptic hydrophone systém with a trackable working point, OPTICS EXPRESS
-2CZ 2019 - 84 A3
19008, Vol. 24, No. 17 | 22 Aug 2016.
Podstata vynálezu
Výše uvedené nevýhody odstraňuje miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech podle předkládaného řešení. Podstatou snímače je, že sestává z mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru, který je umístěn na špičce kovové duté jehly. Jeden přívod SMD kondenzátoru je vodivě spojen s jehlou a jeho druhý přívod je připojen k vodiči, který prochází dutinou jehly. Špička jehly s SMD kondenzátorem a připojovacím vodičem je pokryta tenkou nepropustnou elektroizolační vrstvou. Spodní konec jehly je opatřen miniaturním konektorem pro připojení tenkého propojovacího koaxiálního kabelu, který je pomocí konektoru připojen k elektricky stíněnému adaptéru. Tento adaptér je tvořen oddělovacím rezistorem, jehož jeden konec je propojen přes výstupní oddělovací kondenzátor s výstupním BNC konektorem pro připojení k měřicímu, záznamovému či vyhodnocovacímu zařízení, volenému v závislosti na použité aplikaci, a jehož druhý konec je spojen se společným vývodem přepínače. Jeden pól přepínače je spojen s kladným pólem miniaturní baterie, jejíž záporný pól je uzemněn. Druhý pól přepínače je spojen se zemnicí svorkou.
Výhodou takto uspořádaného snímače akustického tlaku v kapalinách a plynech je především schopnost činnosti v kapalinách i plynech na kmitočtech řádu jednotek až desítek kHz při malých vlastních rozměrech. Snímač proto nenarušuje svojí přítomností vyšetřovaná akustická pole. Další výhodou je nízká impedance vlastního zdroje signálu, tedy kondenzátoru s kapacitou v řádu jednotek mikrofaradů, která způsobuje zvýšenou odolnost proti elektromagnetickému rušení a snižuje nároky na vstupní impedanci připojeného vyhodnocovacího zařízení. Velkou výhodou je možnost odděleného vyhodnocení rušivých signálů a užitečného signálu spojeného s rušením pomocí vypnutí polarizačního napětí. Významná je i finanční a technologická nenáročnost realizace tohoto snímače.
Objasnění výkresů
Příklad uspořádání miniaturního snímače akustického tlaku v kapalinách a plynech podle vynálezu je schematicky uveden na přiloženém obr. 1.
Příklady uskutečnění vynálezu
Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech, uvedený na přiloženém výkrese, sestává z mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru 10. v daném příkladu byl použit SMD kondenzátor velikost 0402, kapacita 2,2 pF, napětí 35 V, umístěného na špičce kovové duté jehly 11 o vnějším průměru 0,45 mm a délce 80 mm. Jeden přívod SMD kondenzátoru JO je vodivé spojen s jehlou 11 a druhý přívod SMD kondenzátoru JO je připojen k připojovacímu vodiči 12, který prochází dutinou jehly 11. Špička jehly 11 s SMD kondenzátorem 10 a připojovacím vodičem 12 je pokryta tenkou nepropustnou elektroizolační vrstvou 13. Tato vrstva musí být co nejtenčí, aby nebránila průchodu akustických vln a zároveň aby dokázala spolehlivě elektricky izolovat SMD kondenzátor 10 od kapaliny, v níž bude snímač případně použit. Druhý konec jehly 11 je opatřen miniaturním konektorem 14 pro připojení tenkého propojovacího koaxiálního kabelu 20. Propojovací koaxiální kabel 20 je pomocí dalšího konektoru 21 připojen k elektricky stíněnému adaptéru 30. obsahujícímu miniaturní baterii 31 sloužící jako zdroj polarizačního napětí 35 V, oddělovací rezistor 32. přepínač 33 polarizačního napětí a výstupní oddělovací kondenzátor 34. Adaptér 30 je vybaven výstupním BNC konektorem 35, umožňujícímu připojení k následnému zařízení, které je voleno podle aplikace snímače. Může se jednat o měřicí či zobrazovací zařízení, jako je AC voltmetr, osciloskop, převodník s počítačem a záznamovým či vyhodnocovacím zařízením a podobně.
-3 CZ 2019 - 84 A3
Protože jakékoliv připojení externího zdroje způsobuje pronikání rušivých signálů do systému, musí být zdroj polarizačního napětí uzavřen ve stíněném adaptéru 30 a jeho rozměry by měly být co nejmenší, aby se omezila i indukce z magnetických polí, tedy aby i uzavřená smyčka obsahující zdroj polarizačního napětí byla co nejmenší. Stávající snímač má například v oblasti 20 až 30 kHz citlivost cca 20 nV/Pa, takže zpracovávané signály leží v oblasti mikrovoltů až jednotek milivoltů a je tedy třeba udržet přiměřený odstup signál/šum + rušení. Velikost polarizačního napětí baterie 31 je shora omezena povoleným napětím použitelného SMD kondenzátoru 10. SMD kondenzátor 10 se vybere v co nejmenším provedení, které technologie umožňuje, a zároveň s co největší kapacitou a s co největším provozním napětím. Kompromisem odpovídajícím současným možnostem technologie se jeví SMD kondenzátor 10 s výše uvedenými hodnotami.
Akustický tlak v prostředí, v němž se snímač nachází, tedy v kapalinném či plynném prostředí, vyvolává časově proměnné deformace mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru 10. Tyto deformace ovlivňují jeho kapacitu. Při přiloženém polarizačním napětí pak na SMD kondenzátoru 10 vzniká střídavé napětí, které je úměrné jeho deformaci, a tedy i časovému průběhu akustického tlaku. Tento signál se sleduje a vyhodnocuje podle potřeby zařízením připojeným ke snímači pomocí výstupního BNC konektoru 35.
Přepínač 33 polarizačního napětí miniaturní baterie 31 umožňuje deaktivaci snímače a společně s tím i odlišení rušivých signálů od užitečného signálu vyvolaného akustickým tlakem.
Průmyslová využitelnost
Uvedený miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech je využitelný při vývoji a výrobě systémů pracujících s intenzivním akustickým polem v ultrazvukové i slyšitelné oblasti, jako jsou pračky, čističky, separační zařízení i detekční a zobrazovací systémy.

Claims (1)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech, vyznačující se tím, že sestává z mnohovrstvého keramického SMD kondenzátoru (10) umístěného na špičce kovové duté jehly (11), kde jeden přívod SMD kondenzátoru (10) je vodivě spojen s jehlou (11) a druhý přívod SMD kondenzátoru (10) je připojen k vodiči (12), který prochází dutinou jehly (11), přičemž špička jehly (11) s SMD kondenzátorem (10) a připojovacím vodičem (12) je pokryta tenkou nepropustnou elektroizolační vrstvou (13), kde spodní konec jehly (11) je opatřen miniaturním konektorem (14) pro připojení tenkého propojovacího koaxiálního kabelu (20), který je pomocí konektoru (21) připojen k elektricky stíněnému adaptéru (30), který je tvořen oddělovacím rezistorem (32), jehož jeden konec je propojen přes výstupní oddělovací kondenzátor (34) s výstupním BNC konektorem (35), pro připojení k měřicímu, záznamovému či vyhodnocovacímu zařízení, a jehož druhý konec je spojen se společným vývodem přepínače (33), jehož jeden pól je spojen s kladným pólem miniaturní baterie (31), jejíž záporný pól je uzemněn, a druhý pól přepínače (33) je spojen se zemnicí svorkou.
CZ2019-84A 2019-02-13 2019-02-13 Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech CZ201984A3 (cs)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2019-84A CZ201984A3 (cs) 2019-02-13 2019-02-13 Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech
EP20155747.7A EP3696519A1 (en) 2019-02-13 2020-02-05 Miniature sensor of acoustic pressure in liquids and gases

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2019-84A CZ201984A3 (cs) 2019-02-13 2019-02-13 Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ308267B6 CZ308267B6 (cs) 2020-04-01
CZ201984A3 true CZ201984A3 (cs) 2020-04-01

Family

ID=69944933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2019-84A CZ201984A3 (cs) 2019-02-13 2019-02-13 Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech

Country Status (2)

Country Link
EP (1) EP3696519A1 (cs)
CZ (1) CZ201984A3 (cs)

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1175553A (en) * 1967-04-20 1969-12-23 Schlumberger Technology Corp Depth Sensitive Transducer
CS162302B1 (cs) * 1973-05-16 1975-07-15
US4316115A (en) 1979-12-03 1982-02-16 Raytheon Company Polymeric piezoelectric microprobe with damper
US4517665A (en) 1980-11-24 1985-05-14 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Acoustically transparent hydrophone probe
US4433400A (en) 1980-11-24 1984-02-21 The United States Of America As Represented By The Department Of Health And Human Services Acoustically transparent hydrophone probe
DE3802024A1 (de) 1988-01-25 1989-08-03 Wolfgang Eisenmenger Sondenhydrophon
DE69325732T2 (de) * 1992-03-18 2000-04-27 Knowles Electronics Inc Festkörper-Kondensatormikrofon
US5311485A (en) 1992-10-30 1994-05-10 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Fiber optic hydrophone
DE19541952A1 (de) 1995-11-10 1997-05-15 Christian Dr Koch Faseroptisches Hydrophon
JP4451104B2 (ja) 2003-09-16 2010-04-14 学校法人桐蔭学園 Pzt圧電結晶膜の製法及び超音波トランスデューサ
KR100531716B1 (ko) * 2003-12-04 2005-11-30 주식회사 비에스이 Smd용 콘덴서 마이크로폰
US7911315B2 (en) * 2006-07-28 2011-03-22 Honeywell International Inc. Miniature pressure sensor assembly for catheter
US8094839B2 (en) * 2009-04-30 2012-01-10 Solid State System Co., Ltd. Microelectromechanical system (MEMS) device with senstivity trimming circuit and trimming process
US8611566B2 (en) * 2011-03-01 2013-12-17 Epcos Ag MEMS-microphone
JP2015153764A (ja) * 2014-02-10 2015-08-24 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサ、積層セラミックコンデンサ連及び積層セラミックコンデンサの実装構造体
US10182296B2 (en) * 2014-11-11 2019-01-15 Invensense, Inc. Secure audio sensor
MX2016000776A (es) * 2016-01-19 2017-07-19 Inst Nac De Astrofísica Óptica Y Electrónica Microsensor capacitivo hermetico para la medicion de presion en medios biologicos y metodo de fabricacion.

Also Published As

Publication number Publication date
EP3696519A1 (en) 2020-08-19
CZ308267B6 (cs) 2020-04-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN108036852B (zh) 一种光纤声传感器及多点声波检测装置
Staudenraus et al. Fibre-optic probe hydrophone for ultrasonic and shock-wave measurements in water
Lima et al. Mandrel-based fiber-optic sensors for acoustic detection of partial discharges—A proof of concept
Wang et al. Acousto-optical PD detection for transformers
US8166825B2 (en) Method and apparatus for noise reduction in ultrasound detection
Beard et al. Characterization of a polymer film optical fiber hydrophone for use in the range 1 to 20 MHz: A comparison with PVDF needle and membrane hydrophones
Murray et al. Fiber-wrapped mandrel microphone for low-noise acoustic measurements
Shotton et al. A PVDF membrane hydrophone for operation in the range 0.5 MHz to 15 MHz
CN104820174B (zh) 光纤外腔式珐珀传感器阵列的变压器局部放电检测系统
CN104062569A (zh) 一种复眼式光纤efpi的局部放电方向检测方法
CZ201984A3 (cs) Miniaturní snímač akustického tlaku v kapalinách a plynech
CN109100670B (zh) 一种光纤局部放电超声传感系统的灵敏度校验方法
Bloomfield et al. Membrane hydrophone phase characteristics through nonlinear acoustics measurements
CN111948423A (zh) 一种基于石墨烯的流速传感器光学芯片及其应用
WO2016004821A1 (zh) 复眼式光纤efpi局部放电方向检测系统
Wilkens et al. Frequency response of a fiber-optic dielectric multilayer hydrophone
Song et al. Angular dependence of the frequency response of an extrinsic Fabry-Perot interferometric (EFPI) fiber acoustic sensor for partial discharge detection
Mosland Reciprocity calibration method for ultrasonic piezoelectric transducers in air
Minasamudram et al. Thin film metal coated fiber optic hydrophone probe
Golacki et al. Distributed optical fibre acoustic sensors–future applications in audio and acoustics engineering
CN104913839A (zh) 一种基于光纤m-z干涉仪的波动传感器
Wang et al. Implementation of a fiber-wrapped polymer mandrel acoustic emission sensor
WO2003087780A1 (en) Improved non-destructive evaluation method employing dielectric electrostatic ultrasonic transducers
Guo et al. Study on partial discharge of GIS based on optical fiber EFPI sensor
Zargari et al. A non-invasive optical fibre sensor for detection of partial discharges in SF/sub 6/-GIS systems