CZ2018708A3 - High power laser beam mirror converter - Google Patents

High power laser beam mirror converter Download PDF

Info

Publication number
CZ2018708A3
CZ2018708A3 CZ2018-708A CZ2018708A CZ2018708A3 CZ 2018708 A3 CZ2018708 A3 CZ 2018708A3 CZ 2018708 A CZ2018708 A CZ 2018708A CZ 2018708 A3 CZ2018708 A3 CZ 2018708A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
mirror
converter
polynomial
reflecting surface
curvature
Prior art date
Application number
CZ2018-708A
Other languages
Czech (cs)
Other versions
CZ308613B6 (en
Inventor
Pavel Pintr
Jan Václavík
Martin Veselý
David Macner
Original Assignee
Ăšstav fyziky plazmatu AV ÄŚR, v. v. i.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ăšstav fyziky plazmatu AV ÄŚR, v. v. i. filed Critical Ăšstav fyziky plazmatu AV ÄŚR, v. v. i.
Priority to CZ2018708A priority Critical patent/CZ308613B6/en
Publication of CZ2018708A3 publication Critical patent/CZ2018708A3/en
Publication of CZ308613B6 publication Critical patent/CZ308613B6/en

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
    • G02B27/0938—Using specific optical elements
    • G02B27/0977—Reflective elements
    • G02B27/0983—Reflective elements being curved
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S2301/00—Functional characteristics
    • H01S2301/20—Lasers with a special output beam profile or cross-section, e.g. non-Gaussian
    • H01S2301/206—Top hat profile

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

Vynález se týká zrcadlového konvertoru (1) vysokovýkonového laserového svazku, který obsahuje zrcadlo s tvarovou odraznou plochou. Tvarová odrazná plocha zrcadla má tvar určený rozvinutým polynomem vyššího stupně, viz vzorec v obrázku k anotaci, kde k je konická konstanta, c je křivost, Aje koeficient i-tého členu polynomického rozvoje, N je počet polynomických koeficientů v rozvoji, r je poloměr zakřivení plochy, Eje rozvinutý polynom i-tého řádu a x, y, z jsou souřadnice bodu tvarové odrazné plochy v pravoúhlém souřadném systému. Zrcadlo je výhodně z hliníku nebo mědi, případně je opatřeno dielektrickými vrstvami uzpůsobenými pro zvýšení odrazivosti.The invention relates to a mirror converter (1) of a high-power laser beam, which comprises a mirror with a shaped reflecting surface. The shape of the reflecting surface of the mirror has the shape determined by the expanded polynomial of higher degree, see the formula in the figure for annotation, where k is a conical constant, c is curvature, A is the coefficient of the i-th term polynomial development, N is the number of polynomial coefficients in development, r is the radius of curvature surfaces, E is the expanded polynomial of the i-th order ax, y, z are the coordinates of the point of the shaped reflecting surface in a rectangular coordinate system. The mirror is preferably made of aluminum or copper, or is provided with dielectric layers adapted to increase the reflectivity.

Description

Zrcadlový konvertor vysokovýkonového laserového svazkuHigh power laser beam mirror converter

Oblast technikyField of technology

Vynález se týká zrcadlového konvertoru vysokovýkonového laserového svazku, který obsahuje zrcadlo s tvarovou odraznou plochou.The invention relates to a mirror converter of a high-power laser beam, which comprises a mirror with a shaped reflecting surface.

Dosavadní stav technikyPrior art

Zrcadlový konvertor vysokovýkonového laserového svazku je optické zařízení, které upravuje prostorové i výkonové vlastnosti laserového svazku. Využití konvertoru je zejména v průmyslových aplikací k laserovému zušlechťování povrchů, jako je laserové svařování, navařování i kalení atd., a to v pracovní oblasti UV, VIS, IR zejména však pro vlnové délky 900 nm - 1070 nm, ve které pracuje většina průmyslových laserů.A high-power laser beam mirror converter is an optical device that adjusts the spatial and power properties of a laser beam. The converter is used mainly in industrial applications for laser finishing of surfaces, such as laser welding, surfacing and hardening, etc., in the working area of UV, VIS, IR, but especially for wavelengths 900 nm - 1070 nm, in which most industrial lasers work. .

Jsou známa řešení využívající pro konverzi vysokovýkonových laserových svazků refraktivní a reflektivní elementy s difraktivním povrchem, sadou zrcadel nebo hranolů, případně obsahující asférické povrchy optických čoček. Dále jsou známa řešení využívají kombinace 2 cylindrických optických čoček, které jsou vzájemně posunuty o 90 stupňů. Také jsou známa řešení využívají kombinace 2 cylindrických mikročočkových polí (LIMO) vzájemně posunutých o 90 stupňů a fokusační čočky.Solutions are known which use refractive and reflective elements with a diffractive surface, a set of mirrors or prisms, possibly containing aspherical surfaces of optical lenses, for the conversion of high-power laser beams. Furthermore, known solutions use a combination of 2 cylindrical optical lenses, which are mutually shifted by 90 degrees. Also known are solutions using a combination of 2 cylindrical microlens arrays (LIMO) offset from each other by 90 degrees and a focusing lens.

Známá řešení pracují v rozsahu vlnových délek od 380 nm - 1100 nm, ojediněle až do 20 pm. Jako materiál čoček se používají běžné materiály a skla BK7, UVFS (Fused Silica) atd., přičemž konvertované svazky mají běžné tvary, jako je čtverec, kruh, úsečka.Known solutions operate in the wavelength range from 380 nm - 1100 nm, occasionally up to 20 μm. Conventional materials and glasses BK7, UVFS (Fused Silica), etc. are used as the lens material, and the converted beams have common shapes such as square, circle, line.

Nevýhodou dosavadního stavu techniky je použití většího počtu optických prvků (nejméně 3 a více) k zajištění požadovaného tvaru spotů nebo nízká energetická účinnost mikročočkových polí.A disadvantage of the prior art is the use of a larger number of optical elements (at least 3 or more) to ensure the desired shape of the spots or the low energy efficiency of the microlens arrays.

Cílem vynálezu je odstranit nebo alespoň minimalizovat nevýhody dosavadního stavu techniky.The object of the invention is to eliminate or at least minimize the disadvantages of the prior art.

Podstata vynálezuThe essence of the invention

Cíle vynálezu je dosaženo zrcadlovým konvertorem vysokovýkonového laserového svazku, jehož podstata spočívá v tom, že tvarová odrazná plocha zrcadla má tvar určený rozvinutým polynomem vyššího stupněThe object of the invention is achieved by a mirror converter of a high-power laser beam, the essence of which consists in the fact that the shaped reflecting surface of the mirror has a shape determined by a developed polynomial of a higher degree.

-i-V1 - (i+k)c2r2 k je konická konstanta, c je křivost, Ai je koeficient i-tého členu polynomického rozvoje, N je počet polynomických koeficientů v rozvoji, r je poloměr zakřivení plochy, Ei je rozvinutý polynom i-tého řádu a x, y, z jsou souřadnice bodu tvarové odrazné plochy v pravoúhlém souřadném systému.-i-V1 - (i + k) c 2 r 2 k is a conical constant, c is the curvature, Ai is the coefficient of the i-th term of the polynomial expansion, N is the number of polynomial coefficients in the development, r is the radius of curvature of the surface, Ei is developed the polynomial of the i-th order ax, y, z are the coordinates of the point of the shaped reflecting surface in the rectangular coordinate system.

Výhodou řešení podle vynálezu je, že umožňuje vytvořit požadovaný laserový spot (obdélník, čtverec, úsečka) pouze za pomoci jednoho zrcadla bez potřeby dalších optických elementů, což značně zjednodušuje celé zařízení. Navrhovaný tvar zrcadla je přitom využitelný v oblasti vlnových délek UV, VIS, IR, zejména však 900 nm - 1070 nm pro procesy laserového kalení,The advantage of the solution according to the invention is that it makes it possible to create the desired laser spot (rectangle, square, line) with only one mirror without the need for additional optical elements, which greatly simplifies the whole device. The proposed shape of the mirror can be used in the wavelength range UV, VIS, IR, but especially 900 nm - 1070 nm for laser hardening processes,

- 1 CZ 2018 - 708 A3 svařování i navařování, přičemž zrcadlo je možno vyrobit z hliníku nebo mědi, tedy materiálů s vysokou teplotní vodivostí a je tak možno zrcadlo dobře chladit, zejména pak aktivním chlazením, což umožňuje použít vysokých pracovních výkonů laserového záření do 20 kW, ojediněle až do 50 kW. Navrhovaný tvar zrcadla lze přitom dobře vyrobit obráběním, např. technologií SPDT (Single Point Diamond Tuming).- 1 CZ 2018 - 708 A3 welding and surfacing, while the mirror can be made of aluminum or copper, ie materials with high thermal conductivity and the mirror can be well cooled, especially by active cooling, which allows the use of high laser power up to 20 kW, occasionally up to 50 kW. The designed shape of the mirror can be well produced by machining, eg with SPDT (Single Point Diamond Tuming) technology.

Objasnění výkresůExplanation of drawings

Vynález je schematicky znázorněn na výkrese, kde ukazuje obr. 1 uspořádání zrcadlového konvertoru ve formě homogenizačního fokusačního hliníkového nebo měděného konvertoru, obr. 2 uspořádání zrcadlového konvertoru podle vynálezu ve formě homogenizačního paprskového hliníkového nebo měděného konvertoru, obr. 3 tvar spotu na vstupu do laserové hlavice podle obr. 1, obr. 4 tvar spotu na výstupu z laserové hlavice podle obr. 1, obr. 5 tvar spotu na vstupu do konvertoru podle obr. 2 a obr. 6 tvar spotu na výstupu z konvertoru podle obr. 2.The invention is schematically illustrated in the drawing, where Fig. 1 shows an arrangement of a mirror converter in the form of a homogenizing focusing aluminum or copper converter, Fig. 2 shows an arrangement of a mirror converter according to the invention in the form of a homogenizing beam aluminum or copper converter, Fig. 3 shows the shape of a spot at the laser input. head according to Fig. 1, Fig. 4 the shape of the spot at the output of the laser head according to Fig. 1, Fig. 5 the shape of the spot at the inlet to the converter according to Fig. 2 and Fig. 6 the shape of the spot at the output of the converter according to Fig. 2.

Příklady uskutečnění vynálezuExamples of embodiments of the invention

Vynález bude popsán na příkladu uskutečnění zrcadlového konvertoru 1 vysokovýkonového laserového svazku 2, s výhodou kolimovaného laserového svazku, do konvertovaného svazku 3, kde konvertor 1 je tvořen zrcadlem, jehož odrazná plocha má tvar určený rozvinutým polynomem vyššího stupně cr 1+71-(1 + £)c V + X A,E.(x, v) (1) kde k konická konstanta, c křivostThe invention will be described by way of example of a mirror converter 1 of a high power laser beam 2, preferably a collimated laser beam, to a converted beam 3, wherein the converter 1 is formed by a mirror whose reflecting surface has a shape determined by a developed polynomial of higher degree cr 1 + 71- (1 + £) c V + XA, E. (X, v) (1) where k is a conical constant, c is a curvature

Ai koeficient i-tého členu polynomického rozvoje,Ai coefficient of the i-th term of polynomial development,

N počet polynomických koeficientů v rozvojiN number of polynomial coefficients in development

R poloměr zakřivení plochyR radius of curvature of the surface

Ei rozvinutý polynom i-tého řádu x, y, z ouřadnice bodu odrazné plochy v pravoúhlém souřadném systému.Ei is an expanded polynomial of i-th order x, y, from the coordinate of the point of the reflecting surface in a rectangular coordinate system.

Na obr. 1 je znázorněn konvertor j_ podle vynálezu ve formě homogenizačního fokusačního hliníkového nebo měděného konvertoru 1 se zrcadlem o průměru = 90 mm, s poloměrem křivosti R = 30 mm, konickou konstantou k = -1 a ohniskovou vzdáleností F = 300 mm.Fig. 1 shows a converter 1 according to the invention in the form of a homogenizing focusing aluminum or copper converter 1 with a mirror with a diameter = 90 mm, with a radius of curvature R = 30 mm, a conical constant k = -1 and a focal length F = 300 mm.

Koeficienty polynomického rozvoje tohoto konvertoru 1 jsou:The polynomial development coefficients of this converter 1 are:

Koeficienty polynomického rozvoje Coefficients of polynomial development X2Y0 X2Y0 X0Y2 X0Y2 X4Y0 X4Y0 X0Y4 X0Y4 X6Y0 X6Y0 X0Y6 X0Y6

-2 CZ 2018 - 708 A3-2 CZ 2018 - 708 A3

-37.564 -37,564 -37.568 -37,568 8.400 8,400 th most common 3.525 3,525 th most common -40.504 -40,504 -1.252 -1,252 th most common

Takový konvertor 1 je určen pro konverzi kruhového Gaussova kolimovaného laserového svazku s výkonem 10 kW (ojediněle až 50 kW) na obdélníkový spot o rozměru 8 mm x 32 mm se stejným plošným výkonem, kdy je potřeba konvertovat zdrojový kruhový svazek 2 s kruhovým vstupním spotem 20, viz obr. 3, na konvertovaný svazek 3 s jiným tvarem výstupního spotu 30, např. viz obr. 4. Jak je vidět z porovnání obr. 3 a 4, dochází díky konvertoru 1 k přeměně tvaru a velikosti laserového svazku nebo k přeměně intenzity laserového světla.Such a converter 1 is intended for the conversion of a circular Gaussian collimated laser beam with a power of 10 kW (occasionally up to 50 kW) to a rectangular spot measuring 8 mm x 32 mm with the same area power, when it is necessary to convert a source circular beam 2 with a circular input spot 20. , see Fig. 3, to a converted beam 3 with a different shape of the output spot 30, e.g. see Fig. 4. As can be seen from the comparison of Figs. 3 and 4, the converter 1 changes the shape and size of the laser beam or the intensity. laser light.

Na obr. 2 je znázorněn konvertor 1 podle vynálezu ve formě homogenizačního paprskového hliníkového nebo měděného konvertoru 1 se zrcadlem o průměru = 90 mm, s poloměrem křivosti R = oo, s konickou konstantou k = 0 a ohniskovou vzdáleností F = oo mm.Fig. 2 shows a converter 1 according to the invention in the form of a homogenizing spoke aluminum or copper converter 1 with a mirror with a diameter = 90 mm, with a radius of curvature R = oo, a conical constant k = 0 and a focal length F = oo mm.

Koeficienty polynomického rozvoje tohoto konvertoru 1 jsou:The polynomial development coefficients of this converter 1 are:

Koeficienty polynomického rozvoje Coefficients of polynomial development X2Y0 X2Y0 X0Y2 X0Y2 X4Y0 X4Y0 X0Y4 X0Y4 X6Y0 X6Y0 X4Y2 X4Y2 X2Y4 X2Y4 X0Y6 X0Y6 0.085 0.085 0.35 0.35 -1.835 -1,835 th most common -0.828 -0.828 0.992 0.992 -1.829 -1,829 th most common 0.014 0.014 0.143 0.143

Takový konvertor 1 je určen pro konverzi kruhového Gaussova kolimovaného laserového svazku s výkonem lOkW (ojediněle až 50 kW) na homogenní obdélníkový spot, kdy je potřeba konvertovat zdrojový kruhový svazek 2 s kruhovým vstupním spotem 20, viz obr. 5, na konvertovaný svazek 3 s jiným tvarem výstupního spotu 30, např. viz obr. 6. Jak je vidět z porovnání obr. 5 a 6, dochází díky konvertoru 1 k přeměně distribuované intenzity na homogennější tvar.Such a converter 1 is intended for the conversion of a circular Gaussian collimated laser beam with a power of 10 kW (occasionally up to 50 kW) to a homogeneous rectangular spot, when it is necessary to convert a source circular beam 2 with a circular input spot 20, see Fig. 5, to a converted beam 3 s. another shape of the output spot 30, e.g. see Fig. 6. As can be seen from the comparison of Figs. 5 and 6, the distributed intensity converts the distributed intensity into a more homogeneous shape.

Konvertor 1 podle vynálezu, resp. zrcadlo, je vytvořen z vhodného materiálu s vysokou odrazivostí, jako je např. hliník nebo měď, který zároveň vykazuje i vysokou tepelnou vodivost, což je výhodné hlavně pro chlazení zrcadla, např. některým z aktivních chladicích prostředků, ať už vzduchových nebo kapalinových. Konvertor 1 je výhodně kombinován s fokusačním cylindrickým objektivem, nebo sadou cylindrických čoček, které umožňují dále zlepšit tvorbu výsledného (konvertovaného) spotu 30 požadovaných rozměrů. Pro zvýšení odrazivostí zrcadla je zrcadlo opatřeno dielektrickými vrstvami, což společně s SPDT obráběcím procesem umožňuje dosáhnout vysoké odraznosti zrcadla.Converter 1 according to the invention, resp. The mirror is made of a suitable material with high reflectivity, such as aluminum or copper, which at the same time has a high thermal conductivity, which is advantageous mainly for cooling the mirror, e.g. by one of the active cooling means, whether air or liquid. The converter 1 is preferably combined with a focusing cylindrical objective, or a set of cylindrical lenses, which make it possible to further improve the formation of the final (converted) spot 30 of the desired dimensions. To increase the reflectivity of the mirror, the mirror is provided with dielectric layers, which together with the SPDT machining process makes it possible to achieve a high reflectivity of the mirror.

Průmyslová využitelnostIndustrial applicability

Zrcadlový konvertor vysokovýkonového laserového svazku podle vynálezu je využitelný zejména pro transformaci Gaussovského svazku na homogenní svazek TOP - HAT, pro změnu kruhového svazku na požadovaný výstupní tvar (čtverec, obdélník, úsečka, atd...) a pro změna výkonového profilu svazku. Vynález je využitelný zejména v průmyslových aplikacích k laserovému zušlechťování povrchů, jako je laserové svařování, navařování i kalení atd.The mirror converter of a high-power laser beam according to the invention can be used in particular for transforming a Gaussian beam into a homogeneous TOP-HAT beam, for changing a circular beam to a desired output shape (square, rectangle, line, etc ...) and for changing the beam power profile. The invention is particularly useful in industrial applications for laser finishing of surfaces, such as laser welding, surfacing and hardening, etc.

Claims (7)

PATENTOVÉ NÁROKYPATENT CLAIMS 1. Zrcadlový konvertor (1) vysokovýkonového laserového svazku, který obsahuje zrcadlo s tvarovou odraznou plochou, vyznačující se tím, že tvarová odrazná plocha zrcadla má tvar určený rozvinutým polynomem vyššího stupněA mirror converter (1) of a high-power laser beam, which comprises a mirror with a shaped reflecting surface, characterized in that the shaped reflecting surface of the mirror has a shape determined by a developed polynomial of higher degree -3 CZ 2018 - 708 A3 cr2 -3 CZ 2018 - 708 A3 cr 2 1 +vl-(l+Ř)í’2r2 k je konická konstanta, c je křivost, Ai je koeficient i-tého členu polynomického rozvoje, N je počet polynomických koeficientů v rozvoji, r je poloměr zakřivení plochy, Ei je rozvinutý polynom i-tého řádu a x, y, z jsou souřadnice bodu tvarové odrazné plochy v pravoúhlém souřadném systému.1 + vl- (l + Ř) í ' 2 r 2 k is a conical constant, c is the curvature, Ai is the coefficient of the i-th term of the polynomial expansion, N is the number of polynomial coefficients in the development, r is the radius of curvature of the surface, Ei is developed the polynomial of the i-th order ax, y, z are the coordinates of the point of the shaped reflecting surface in the rectangular coordinate system. 2. Zrcadlový konvertor (1) podle nároku 1, vyznačující se tím, že zrcadlo je z hliníku nebo mědi.Mirror converter (1) according to Claim 1, characterized in that the mirror is made of aluminum or copper. 3. Zrcadlový konvertor (1) podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že zrcadlo je opatřeno dielektrickými vrstvami uzpůsobenými pro zvýšení odrazivosti.Mirror converter (1) according to claim 1 or 2, characterized in that the mirror is provided with dielectric layers adapted to increase the reflectivity. 4. Zrcadlový konvertor (1) podle kteréhokoli z nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že tvarová odrazná plocha je vytvořena opracováním technologií Single Point Diamond Tuming (SPDT).Mirror converter (1) according to any one of claims 1 to 3, characterized in that the shaped reflecting surface is formed by Single Point Diamond Tuming (SPDT) processing. 5. Zrcadlový konvertor (1) podle kteréhokoli z nároků 1 až 4, vyznačující se tím, že zrcadlu je přiřazen systém chlazení.Mirror converter (1) according to any one of claims 1 to 4, characterized in that a cooling system is assigned to the mirror. 6. Zrcadlový konvertor (1) podle kteréhokoli z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že zrcadlo má průměr 90 mm, poloměr křivosti 30 mm, konickou konstantu k = -1 a ohniskovou vzdálenost 300 mm, přičemž koeficienty polynomického rozvoje jsou X2Y0 = -37.564, X0Y2 = -37.568, X4Y0 = 8.400, X0Y4 = 3.525, X6Y0 = -40.504 a X0Y6 = -1.252.Mirror converter (1) according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the mirror has a diameter of 90 mm, a radius of curvature of 30 mm, a conical constant k = -1 and a focal length of 300 mm, the coefficients of polynomial development being X2Y0 = -37,564, X0Y2 = -37,568, X4Y0 = 8,400, X0Y4 = 3,525, X6Y0 = -40,504 and X0Y6 = -1,252. 7. Zrcadlový konvertor (1) podle kteréhokoli z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že zrcadlo má průměr 90 mm, poloměr křivosti oo, konickou konstantu k = 0 a ohniskovou vzdálenosti <x> mm, přičemž koeficienty polynomického rozvoje jsou X2Y0 = 0.085, X0Y2 = 0.35, X4Y0 = 1.835, X0Y4 = -0.828, X6Y0 = 0.992, X0Y6 = 0.143, X4Y2 = -1.829 a X2Y4 = 0.014.Mirror converter (1) according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the mirror has a diameter of 90 mm, a radius of curvature oo, a conical constant k = 0 and a focal length <x> mm, the coefficients of polynomial development being X2Y0 = 0.085, X0Y2 = 0.35, X4Y0 = 1.835, X0Y4 = -0.828, X6Y0 = 0.992, X0Y6 = 0.143, X4Y2 = -1.829 and X2Y4 = 0.014.
CZ2018708A 2018-12-17 2018-12-17 High power laser beam mirror converter CZ308613B6 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2018708A CZ308613B6 (en) 2018-12-17 2018-12-17 High power laser beam mirror converter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CZ2018708A CZ308613B6 (en) 2018-12-17 2018-12-17 High power laser beam mirror converter

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ2018708A3 true CZ2018708A3 (en) 2020-06-24
CZ308613B6 CZ308613B6 (en) 2021-01-06

Family

ID=71104684

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2018708A CZ308613B6 (en) 2018-12-17 2018-12-17 High power laser beam mirror converter

Country Status (1)

Country Link
CZ (1) CZ308613B6 (en)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006066687A1 (en) * 2004-12-22 2006-06-29 Carl Zeiss Laser Optics Gmbh Optical system for creating a line focus, a scanning system for producing a scanning beam focus and a method for laser processing of a substrate
DE102016102591A1 (en) * 2016-02-15 2017-08-17 Limo Patentverwaltung Gmbh & Co. Kg Device for shaping laser radiation

Also Published As

Publication number Publication date
CZ308613B6 (en) 2021-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN213903954U (en) Laser scanning device capable of changing size and shape of laser focus spot
KR100206095B1 (en) Method and device for focusing laser beam
IL205858A (en) Beam forming device
CN103576316B (en) A kind of infrared laser zoom beam-expanding system and laser process equipment
CN112630984A (en) Laser scanning device and scanning method capable of changing size and shape of laser focus position light spot
CN101788716B (en) Laser beam expanding system
TWI834736B (en) Laser machining system
US8824052B2 (en) Apparatus for shaping the light rays of a laser beam
CN102004319B (en) Ultraviolet zoom beam expander
JP2018505568A (en) Line beam forming device
CN110753596B (en) Device and method for laser-based separation of transparent and fragile workpieces
CN111715624A (en) Laser cleaning device
US20240066630A1 (en) Laser device for generating laser radiation and 3d printing device comprising such a laser device
CN106711765A (en) Semiconductor laser cladding light source structure with function of three-light-spot irradiation one-step forming
CZ2018708A3 (en) High power laser beam mirror converter
JP6581077B2 (en) Laser system or laser exposure system
CN104526160B (en) A kind of laser processing and laser-processing system
JPH05145148A (en) Solid state laser resonator
CN103576317B (en) A kind of ultraviolet laser variable power beam-expanding system and laser process equipment
Beckmann et al. Optical systems for high-power laser applications: principles and design aspects
CN210427969U (en) ZOOM cutting device based on adjustable annular light spot of aspherical mirror
CN103576318A (en) Green light laser zooming and beam expanding system and laser processing device
CN108508614B (en) Infrared laser continuous multiplying power beam expanding system suitable for 1064nm wavelength
JP7453328B2 (en) Conversion device for laser radiation
US9024232B1 (en) Apparatus for scribing thin films in photovoltaic cells