CS266216B1 - Polovodičový tenzoreziator - Google Patents

Abstract

Tenzorezistoř obsahuje Izolační podložku z pololzolujícího arsenidu gé- 11a a tenzooitlivou vrstvu z plasticky deformovaného monokrystaliokého f11qu silně legovaného germánia, ooř umožňuje rozšířit pracovní rozsah teplot do 4,5 K*

Description

1 266216

ΟΠΗΟΑΗΗΕ H3OEPETEHHÍI K ABTOPCKOMY CBHflETEJIBCTBY 3aHBneHo: 24.11.82 3aaBKa Ks 3532256/25-28 Í1KH4 G 01 B 7/18

AeTopbi: H.T.ropGanyK, Π.Α,CaKHflOH, ΚΚΑ.Τχορκκ h tO.M.lllBapu;

3aHBHTenb: Ηηοτητυτ nojiynpoaoflHMKOB AKaneMHH Hayx YicpaHHCKoň CCP

HaBBaHHe ΗΒοόρετβΗΗΗ: ΠΟΒΥΠΡΟΒΟ,ΠΗΗΚΟΒΜίί TEH30PE3HCT0P

Il3o6peTeHHé othochtch k HBMepHTen&amp;Hoň fexHHKe, a ΗΜβΗΗο κ nonynpOBOflHH-KOBblM TeH3Ope3HCTOpaM$ Η MOX6T ÓblTb HCnOnb3OBaHO nPH H3MepeHHH fle<t>OpMaUHÍI ByCJIOBHHX KpHOrGHHbK TeMTiepaŤyp B 3ΠβΚΤρθΗΗΚΘ, MeflHBHHe, 3JieKTpO3HepreTHKe Hflpyrnx oÓnacTHx HayKH h Texmnw. IÍ3BeCTeH nanynpOBOflHHKOBwft ΤβΗ3θρβ3ΗβΤθρ, COflepjKamnň H3OJIHBHOHHyi0 nofljiox-xy H3 CHTanna hjih KepaMHKH H TeHsonyBCTBHTenbHbiň cnoň hs nonHKpHCTajuiHHec-Koň unenKH repMaHHH £l J· ÓffHaKo 3tot TeH3ope3HCTop He oÓecneHHE eT TpeóyeMOň tohhocth H3MepeBnH bycnOBHHX HH3KHX TeMnepaTyp (HHXe 293°K) B CBH3H C ΒΟ3ΗΗΚΗΟΒβΗΗβΜ BHyrpeHHHXTeMnepaTypHbix HanpHxeHHft H3-3a pasnHHHbix TeMijepaTypHbix κοβΦΦηηηθητοβ JiHHeň-Horo pacumpeHHB repMaHHH h MaTepnana ποηηοχκκ.

HanSonee Ójihskhm k H30ÓpeTeHHio no TexHHnecKoň cymHocra h flocraraeMOMy 3φ-φβκτγ ΗΒΠΗβτοΗ nanynpoBOffHHKOBbiň TeH3Ope3HCTop, coflepwainnň H3onHUHOHHyio non-jioxxy na oTBepxneHHoro cBH3yK>mer.o a TeH3o<íyBCTBHTenbHbiň cnoft H3 MOHOKpHCTan-jiHnecKoro CHiibHOJiernpoBaHHoro repMaHHH [2].

OflHaKO H3BecTHbiií naTnuK He oóecneuHBaeT TpeóyeMoň tohhocth HSMepeHnň bycnoBHHX HH3KHX TeMnepaTyp b cbh3h c Βθ3ΗΗΚΗ0ΒβΗΗ6Μ βηυτρθηηηχ TeMnepaTypHbix

HanpHWeHHň no aHajIOrHHHblM npHHHHaM. 1

Uejibio H3o6peTeHHH HBJíHeTCfl noBbímeHHe touhocth η pacuiHpeHHe paóonero nna-na3pHa TeMneparyp TeH3ope3HCTopa no 4,2°K.

Uenb nocTHraerca τθμ, hto b nánynpoBOflHHKOBOM TeH3ope3HCTope, conepxameMH30JiHnHOHHyio nonnoxKy h TeH3onyBCT3HTenbHbiň cnoft H3 cnnbHOJiernpoBaHHoro rep-mhhhh. HsonHiJHOHHaH noflnoxxa BwnojiHeHa H3 nonyH30JiHpyiomero apčeHHna rannHH, - 2 - - 266216 a TeH3OMyBCTBHTeJIbHblň CJIOfl - H3 nnaCTHWeCKH ΑθφορΜΗρΟΒβΗΗΟίί MOHOKpMCTaJlnH-Hecxoft njienKH. noitynpoBOflHHKOBMň Teu3ope3HCTop conepjKHT H3onHUHOHHyra nonno»Ky H3 nony-HsojTHpyioincro apceHHfla rannHH, na KOTopyio HaHeceH TeHaouyBCTBHT&amp;nbHbiň c.noňH3 rmacTi-mecKH neibopMHpoBaHHoň MOHOKpHCTajijiHnecKoň ruieHKH CHjibHonerHpoBaH-Horo repMamifl. IIoJiynpoBOflHHKOBbiři TeH3ope3HCTop pa6oTaeT cJieayiotUHM o6pa30M.

Tipu πρκποχθΗΗΗ κ nanynpoBOflHHKOBOMy TeH3opesHCTOpy ne$QPMaij(HH HSMeHaeTcHero 3JieKTpHMecKoe conpoTHBneHne. Tax xax HejiHHeňHOCTb ne<i>opMauHOHHoň xapaK- 'TepHCTHKH CHJlbHOJierHpOBaHHOrO MOHOKpHCTajUIHHeCKOrO repMaHHH B .UHanaaOMe TeM-nepaTyp 4,2-450°K H3MeHaeTCH HecyntacTBeuHO, a τβΜπβρβτγρΗΜβ κόβΦΦηηηθητμ jih-ηθηηογο pacumpeHHH repMaHHH h apceroma rajuiHH b stom «Hana3OHe TeMnepaTypÓJIH3KH, TO BeíIHHHHa ΗβΠΗΗβήΗΟΟΤΗ rpaftyHpOBOHHOň XapaKTepHCTHKH TeH3Ope3HC-Topa He MenneTCH ot TeMnepaTypbi, mto ποΒΒοπΗβτ HcnonbsoBaTb npefljioaceHHbiň τβΗ-3ope3HCTop b uwpoKOM paSoneM flHana30He TeMnepaTyp no 4,2°K. Οηηχθηηιο BHyTpeH-hhx HanpHHceHHíi cnocoScTByeT η to, hto MOHOKpHCTajiJiHHecKaa iuieHKa b nponecceΗ3ΓΟΤΟΒΠβΗΗΗ TeH3Ope3HCTOpa rtOflBepraeTCH rUiaCTHqeCKOH ηβφορΜ3ηΗΗ. IIpeflJiaraeMbiň nonynpoBOflHHKOBbiň TeH3ope3HCTop πο3Βοηηθτ HSMepHTb ηθφορΜβ-iíhh b uiHpoKOM nuanaaoHe TeMnepaTyp, biuiotb no κρηογθηημχ TeMnepaTyp, h o6ec-nenHBaeT nHHeňHyro rpanyHpoBOHHyro xapaxTepHCTHKy b paciuHpeHHOM onana3OHe H3M6·paeMbix ηεφορΜβΗΗή no 1,5 x10-3OTH.en.

ΦΟΡΜΥΠΑ H3OBPETEHHS riOJiynpOBOnHHKOBblH ΤβΗ3θρβ3Η0Τθρ, COnepwaiHHň H3OnHHHOHHyro nOflJIOJKKy Η ΤβΗ-3OHyBCTBHTeJlbHblň CJIOň H3 CHJlbHOJlerHpOBaHHOrO repMaHHH, O. T Π Η H a JO m H ň-C Η ΤβΜ, MTO, C neJIbW ΠΟΒΜΒίβΗΗΗ TOHHOCTH H paCJUHpeHHH paĎOWerO flHana3OHaTeMnepaTyp 4,2°K, n3ojiHUHOHHaH nonnoatKa BbmojiHeHa hs nonyH3onHpy»mero ap-ceHHfla rajuiHH, a TeH3onyBCTBHTenbHbiň cnoň —· H3nnacTHnecKH ηθΦορΜΗροΒβΗΗοήMOHOjqJHCTajiJTHnecKOfl nneHKH. i UCTOHHHKH ΗΗφορΜβμΗΗ, ΠρΗΗΗΤΜβ BO ΒΗΗΜβΗΗβ ΠρΗ 3KCnepTH3e ίj . Πβηκοβ IO.M., BbponiHJio Γ.Η., MapbHMOBa H.H. HccnenoBaHHe bo3mojkhocth coanaHHH nonynpoBOHHHKOBbix npeoSpasoBaTejieft Ha ocHoee τοηκηχ nneHOK repMa-hhh. Te3HCbt noKJiaflOB pecny6nHKaHCKoň κοΗφερεΗΐίΗΗ "CTpyKTypa η φΗΒΗΗβοΚΗβCBOňCTBa TOHKHX nneHOK repMaHHH”. 2. US, A, 3254529 (προτοτΗπ),

P ΕΦΕΡ A T

nOJiynPOBOííHHKOBMří TEH30PE3HCT0P

TeHSopesHCTop conepacHT HaanunHOHHyro nonno»Ky hs nQnyH3onHpyromero apceHH-fla rajuiHH h TeH3OHyBCTBHfenbHHň cnoň hs nnacTircecKH ηβφορΜΗροΒΒΗΗοΰ moho-KpHCTaJIJIHHeCKOň ΠηβΗΚΗ CWIbHOJlerHpOBaHHOrO repMaHHH, ΗΤΟΠ03ΒΟΠΗβΤρ33ΠΙΗ-PHTbpaSoHHň rtnana30H TeMnepaTyp no 4,2PK. ΠρΗ3Η3Ηο Η3θ6ρετβΗΗβΜ no pe3ynbTaTaM 3KcnepTH3bi, ocymecTBneHHOň FocynapcT"βθηημμ ΚοΜκτετοΜ GCCP no nenaM ΗβοδρβτεΗΗή η οτκρωτΗΑ,

Claims (1)

1. 2662 tí pfeodT VYNÁLEZU Polovodičový tenzorezistor, obsahující izolačnípodložku s tenzocitlivou vrstvou silně legovaného ger-mánia, vyznačující se tím, že za účelem zvýšení přesnos-ti a snížení minimální pracovní teploty na 4,2 °K jeizolační podložko vytvořena z poloizolujíoího arzenidugalia á tenzocitlivé vrstva je vytvořena z plasticky de-formované mónokrystalioké fólie. Uigórodský výrobn^-polygrafícký podnik, Oagarina, 101, UzgorodΝ’ 1871, Cena 2,40 Kčs