CS265283B1

CS265283B1 - Locking table fixture

Info

Publication number: CS265283B1
Application number: CS878414A
Authority: CS
Inventors: Jiri Ing Petr
Original assignee: Petr Jiri
Priority date: 1987-11-23
Filing date: 1987-11-23
Publication date: 1989-10-13
Also published as: CS841487A1

Abstract

Podstatou zařízení je pevná čelist spojená se základní deskou, mezi^kterou se svírá pomocí nosu otočné čelisti nosný kolík stolku preparátu. Otevřenou čelist tvoří páčka opatřená čepem otočným v ložisku. Na jednom konoi je páčka ukončená nosem a na její druhy konec dosedá ovládací kolík procházející základní deskou.The essence of the device is a fixed jaw connected to the base plate, between which the supporting pin of the specimen stage is clamped by means of the nose of the rotating jaw. The open jaw is formed by a lever equipped with a pivot pivoting in a bearing. At one end of the lever is a nose and at its other end is a control pin passing through the base plate.

Description

Vynález se týká aretačního zařízení stolku preparátu určeného k upevnění pozorovaných objektů u rastrovacích elektronových mikroskopů.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a detent table arresting device for attaching observed objects to scanning electron microscopes.

U rastrovacích elektronových mikroskopů se preparáty upevňují do stolku preparátu, který je opatřen mechanismy, které umožňují pohybovat v libovolném směru držákem s preparátem. Při provozu se klade velký důraz na tuhost konstrukce stolku preparátu, na neměnnou polohu preparátu vůči svazku elektronů v době fotografické expozice. Rozlišovací schopnost rastrovacích elektronových mikroskopů v řádu jednotek nanometrů je do značné míry podmíněna právě dokonalou tuhostí stolku preparátu, nebot mechanické vibrace preparátu mohou rozlišovapí schopnost rastrovacího elektronového mikroskopu zcela znehodnotit. Pokud je rozsah pohybů preparátu poměrně malý, cca do 20 - 30 mm, nečiní tuhost stolku preparátu většinou potíže, Mikroskop vybavený stolkem se shora uvedeným rozsahem umožňuje prohlížet pouze malé preparáty. Pokud je mikroskop přizpůsobený k pozorování větších preparátů, přes 100 - 200 mm, jsou ovládací stolky konstrukčně poměrně velké a proto jejich tuhost při fotografické expozici lze poměrně těžko zajistit. To se provádí zejména omezením svislého pohybu, čímž je možno spojit základnu stolku preparátu pevně s tělesem mikroskopu. Další možnost je vyloučení náklonu preparátu nebo jeho rotace, Jinou cestou ke zvětšení tuhosti stolku preparátu v době expozice je doctatečná podpěra ovládaná v době provozu mikroskopu, kterou se přechodně spojí některá část stolku preparátu s tělesem mikroskopu. Tím sice dojde po dobu expozice ke znemožnění některého z pohybů, což během expozice není na závadu, ale provoz a obsluha se tím poněkud zkomplikuje.In scanning electron microscopes, specimens are mounted in the specimen stage, which is equipped with mechanisms that allow the specimen holder to be moved in any direction. During operation, great emphasis is placed on the rigidity of the specimen stage design, the fixed position of the specimen relative to the electron beam at the time of photographic exposure. The resolution of scanning electron microscopes in the order of nanometer units is largely determined by the perfect rigidity of the specimen stage, because the mechanical vibration of the specimen can completely impair the scanning electron microscope's ability. If the range of specimen movements is relatively small, up to about 20 - 30 mm, the specimen stage rigidity is not usually a problem. A microscope equipped with a table with the above range allows only small specimens to be viewed. If the microscope is adapted to observe larger specimens, over 100 - 200 mm, the operating tables are relatively large in construction and therefore their stiffness during photographic exposure is relatively difficult to ensure. This is mainly done by limiting the vertical movement, whereby the base of the specimen stage can be firmly connected to the microscope body. Another possibility is to eliminate the tilt of the specimen or its rotation. Another way to increase the rigidity of the specimen stage at the time of exposure is to provide an adequate support controlled during the operation of the microscope to temporarily connect some part of the specimen stage to the microscope body. This will prevent any movement during the exposure, which is not a malfunction during the exposure, but the operation and operation will be somewhat complicated.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje aretační zařízení stolku, jehož podstatou je, že v základní desce je rovnoběžněThese previous drawbacks are eliminated by the table arresting device, whose essence is that the base plate is parallel

265 283265 283

- 2 se svislým posuvem stolku preparátu uspořádána pevná čelist rovnoběžně proti otočné čelisti tvořené nosem na jednom konci páčky, upevněné čepem v ložisku, přičemž na druhý konec páčky dosedá ovládací kolík suvně uspořádaný přes těsnicí kroužek v základní desce, zatímco mezi pevnou čelist je sevřen proti nosu otočné čelisti nosný kolík stolku preparátu.A fixed jaw parallel to the rotary jaw formed by the nose at one end of the lever fixed by a pin in the bearing is arranged with a vertical displacement of the specimen table, with the control pin resting on the other end of the lever slidingly over the sealing ring in the base plate; nose swivel jaw support pin of specimen table.

Hlavní předností zařízení je poměrně jednoduchá konstrukce aretačního zařízení, snadná obsluha a zajištění dostatečné tuhosti zvolené polohy stolku preparátu, dále pak rozšíření rozsahu pozorování rozměrově větších preparátů.The main advantage of the device is the relatively simple construction of the arresting device, easy operation and ensuring sufficient rigidity of the selected position of the specimen table, as well as an extension of the scope of observation of larger specimens.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je v osovém řezu naznačen příklad jeho praktického provedení.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is illustrated in greater detail in the accompanying drawing, in which an exemplary embodiment thereof is illustrated in axial section.

Stolek preparátu tvoří základní deska 2 upevněná ke komoře 1_ elektronového mikroskopu pomocí Šroubů 3 přes kruhové těsnění lž. Pevná čelist 10 je připevněna k základní desce 2 zapuštěnými šrouby 11, Proti pevné čelisti 10 je svírán nosný kolík 14 stolku preparátu nosem 7, otočné čelisti 5. Nos 7 je proveden na jednom konci páčky 9 upevněné čepem 6 v ložisku 8. Ovládací kolík 4 prochází suvně přes těsnicí kroužek 13 v základní desce 2 a dosedá na druhý konec páčky 9.The specimen table consists of a base plate 2 fixed to the electron microscope chamber 1 by means of screws 3 via a circular seal 11b. The fixed jaw 10 is fastened to the base plate 2 by countersunk screws 11. Against the fixed jaw 10, the support pin 14 of the specimen table is clamped by the nose 7, the pivot jaws 5. The nose 7 is provided at one end of the lever 9 fastened by a pin 6 in the bearing 8. it slides slidingly over the sealing ring 13 in the base plate 2 and abuts the other end of the lever 9.

Obsluha aretačního zařízení za provozu elektronového mikrosko pu je velmi jednoduchá. Při vyhledávání požadovaného náklonu držáku s preparátem uvnitř rastrovacího elektronového mikroskopu se nejprve uvolní pomocí ovládacího kolíku 4 otočná čelist 5a tím i nosný kolík 14 stolku preparátu* Po nalezení požadované polohy držáku s preparátem se zatlačením ovládacího kolíku 4 mechanicky pev ně zaaretuje ustavená poloha stolku preparátu prostřednictvím jeho nosného kolíku 14, který se sevře mezi pevnou čelistí 10 a nosem 7 otočné čelisti 5.Operation of the locking device during operation of the electron microscope is very simple. When searching for the desired specimen holder tilt within the scanning electron microscope, the rotary jaw 5a and thus the specimen table carrier 14 are first released using the control pin 4. After locating the desired specimen holder position, pressing the control pin 4 mechanically locks the established specimen table position its support pin 14, which is clamped between the fixed jaw 10 and the nose 7 of the rotary jaw 5.

Claims

Scanning electron microscope specimen table locking device, characterized in that a fixed jaw (10) is arranged parallel to the vertical displacement of the specimen table parallel to the rotary jaw (5) formed by the nose (7) at one end of the lever (9) ) fixed by a pin (6) in the bearing (8), the other end of the lever (9) being abutted by a control pin (4) slidably disposed over the sealing ring (13) in the base plate (2) while clamped between the fixed jaw (10) against nose (7) jaws (5) support pin (14) specimen table *