CS252966B1 - Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment - Google Patents
Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment Download PDFInfo
- Publication number
- CS252966B1 CS252966B1 CS858984A CS898485A CS252966B1 CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1 CS 858984 A CS858984 A CS 858984A CS 898485 A CS898485 A CS 898485A CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- ionic
- cladding
- flanges
- length
- Prior art date
Links
- 238000005253 cladding Methods 0.000 title claims description 6
- 238000002513 implantation Methods 0.000 title 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné príruby s dížkou v závislosti na dlžke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.
252966 252966
Vynález sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantaciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory.
Doteraz známe zariadenia na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev metodami tónového plátovania alebo iónovej implantácie neumožňujú s ohladom na rozměry pracovnej komory, ktorá je mimo iného primárné závislá na velkosti a čerpacej schopnosti vákuových vývev upravovat povrch súčiastok hriadetového tvaru s velkým pomerom dížky ku prierezu súčiastok. Vákuové komory takýchto zariadení sú buď horizontálně, alebo vertiká’ne orientované a sú v tvare valca alebo hranola, ktoré sú osovo súmerné. Ak by sme použili vákuové komory, ktorých by dížka bola dostatočná pre umiestnenie súčiastok hriadetového tvaru, potom by to boli jednoúčelovo konstruované zariadenia, čím by bola obmedzená po- 4 žadovaná univerzálnost uvedených typov vákuových zariadení.
Uvedené nevýhody odstraňuje zariadenie podta vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva z vákuovej komory 1 pre zariadenie na iónové plátovanie alebo iónovú implantáciu na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev na dlhých hriadelových súčiastkach 3 tak, že o príruby 2 vákuovej komory 1 sa uchytia vyměnitelné príruby 4, ktorých dížka je volená v závislosti na dížke upravovaných súčiastok 3. Príruby 4 sú uzavreté vekami 5 o ktoré je upnutý prípravok 6 pre rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok 3 ktorých dížka přesahuje rozměr vákuovej komory 1 v priestore oproti zdrojů deponovaných častíc 7.
Navrhované riešenie podfa vynálezu představuje vyššiu univerzálnost zariadení pre iónové plátovanie a iónovú implantáciu a úpravu povrchu súčiastok a nástrojov hria»· dělového tvaru.
Claims (1)
- PREDMET Vákuová komora pre zariadenie na tónové plátovanie a iónovú implantáciu vyznačená tým, že vákuová komora (1) je opatřená přírubami (2) do ktorých sú uložené dlhé hriadetové súčiastky alebo nástroje (3) s dížkou presahujúcou rozměr komory (lj, pričom rozměr vyměnitelných prí- VYNALEZU rub (4) je prisposobený dížke súčiastok (3), ktoré sú uchytené o veká (5) v ktorých je prípravok (6) pre rotáciu, vratný a. posuvný pohyb súčiastok (3) počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory (lj oproti zdrojů deponovaných častíc (7). 1 list výkresov 252966 2 3 17 4T_A V
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS898485A1 CS898485A1 (en) | 1987-03-12 |
| CS252966B1 true CS252966B1 (en) | 1987-10-15 |
Family
ID=5441122
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS858984A CS252966B1 (en) | 1985-12-09 | 1985-12-09 | Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS252966B1 (cs) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ305025B6 (cs) * | 2001-04-19 | 2015-04-01 | Deutsche Bahn Ag | Způsob zabránění poškození lisovaného uložení u dvojkolí a zařízení k provádění tohoto způsobu |
-
1985
- 1985-12-09 CS CS858984A patent/CS252966B1/cs unknown
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CZ305025B6 (cs) * | 2001-04-19 | 2015-04-01 | Deutsche Bahn Ag | Způsob zabránění poškození lisovaného uložení u dvojkolí a zařízení k provádění tohoto způsobu |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS898485A1 (en) | 1987-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69926127D1 (de) | Selektive behandlung der oberfläche eines mikroelektronischen werkstücks | |
| ES387773A1 (es) | Procedimiento y aparato para la galvanoplastia en volumen de una pluralidad de articulos de pequeno tamano. | |
| CS252966B1 (en) | Vacuum chamber for ionic cladding and ionic implantation equipment | |
| ATE73036T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung von drehteilen ab stange. | |
| FR2411021A1 (fr) | Procede et composition pour le deplacement d'eau liquide a partir des surfaces d'articles | |
| EP0136716A3 (en) | Machine tool for treating surfaces | |
| DE3853768D1 (de) | Feinbohrwerkzeug. | |
| SU1171240A1 (ru) | Развертка | |
| GB1140195A (en) | Fluid driven vibrator | |
| SU399353A1 (ru) | Вптб | |
| SU1404342A1 (ru) | Дисковый инструмент | |
| SU427823A1 (ru) | Электрод-инструмент для электрохимической обработки наклонных поверхностей | |
| SU542631A1 (ru) | Способ шлифовани деталей из ферромагнитных материалов | |
| SU867626A1 (ru) | Устройство дл обработки деталей абразивной массой,подаваемой под давлением | |
| GB1506383A (en) | Location apparatus | |
| SU716556A1 (ru) | Способ обеззараживани объектов, инвазированных йцами гельминтов | |
| GB2202474A (en) | Device for descaling the surface of strip | |
| US2415267A (en) | Metalworking tool | |
| SU1442874A1 (ru) | Способ определени режущей способности шлифовального круга | |
| SU844139A1 (ru) | Патрон дл вибрационной обработкиОТВЕРСТий | |
| RU2005579C1 (ru) | Способ обработки фасонной детали и комбинированный инструмент для его осуществления | |
| SU1692762A1 (ru) | Режущий инструмент дл обработки отверстий | |
| DE59006548D1 (de) | Tragbares Schleuderstrahlgerät. | |
| SU831574A1 (ru) | Устройство дл магнитно-абразивнойОбРАбОТКи | |
| SU1065164A1 (ru) | Способ обработки глубоких отверстий |