CS252966B1 - Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu - Google Patents

Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu Download PDF

Info

Publication number
CS252966B1
CS252966B1 CS858984A CS898485A CS252966B1 CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1 CS 858984 A CS858984 A CS 858984A CS 898485 A CS898485 A CS 898485A CS 252966 B1 CS252966 B1 CS 252966B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
vacuum chamber
ion
components
ion implantation
flanges
Prior art date
Application number
CS858984A
Other languages
English (en)
Slovak (sk)
Other versions
CS898485A1 (en
Inventor
Dusan Liska
Ivan Pecar
Ladislav Semsey
Andrej Gajdos
Milan Ferdinandy
Jozef Kral
Original Assignee
Dusan Liska
Ivan Pecar
Ladislav Semsey
Andrej Gajdos
Milan Ferdinandy
Jozef Kral
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dusan Liska, Ivan Pecar, Ladislav Semsey, Andrej Gajdos, Milan Ferdinandy, Jozef Kral filed Critical Dusan Liska
Priority to CS858984A priority Critical patent/CS252966B1/cs
Publication of CS898485A1 publication Critical patent/CS898485A1/cs
Publication of CS252966B1 publication Critical patent/CS252966B1/cs

Links

Landscapes

  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Description

Riešenie sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantáciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory, ktorá je opatřená přírubami na ktoré sú připojené vyměnitelné príruby s dížkou v závislosti na dlžke upravovaných súčiastok, ktoré sú uchytené o veká v ktorých je prípravok umožňujúci rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory, oproti zdrojů deponovaných častíc.
252966 252966
Vynález sa týká vákuovej komory pre zariadenie na iónové plátovanie a iónovú implantaciu dlhých hriadelových súčiastok a nástrojov s dížkou presahujúcou rozměr komory.
Doteraz známe zariadenia na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev metodami tónového plátovania alebo iónovej implantácie neumožňujú s ohladom na rozměry pracovnej komory, ktorá je mimo iného primárné závislá na velkosti a čerpacej schopnosti vákuových vývev upravovat povrch súčiastok hriadetového tvaru s velkým pomerom dížky ku prierezu súčiastok. Vákuové komory takýchto zariadení sú buď horizontálně, alebo vertiká’ne orientované a sú v tvare valca alebo hranola, ktoré sú osovo súmerné. Ak by sme použili vákuové komory, ktorých by dížka bola dostatočná pre umiestnenie súčiastok hriadetového tvaru, potom by to boli jednoúčelovo konstruované zariadenia, čím by bola obmedzená po- 4 žadovaná univerzálnost uvedených typov vákuových zariadení.
Uvedené nevýhody odstraňuje zariadenie podta vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že pozostáva z vákuovej komory 1 pre zariadenie na iónové plátovanie alebo iónovú implantáciu na vytváranie funkčných tvrdých oteruvzdorných vrstiev na dlhých hriadelových súčiastkach 3 tak, že o príruby 2 vákuovej komory 1 sa uchytia vyměnitelné príruby 4, ktorých dížka je volená v závislosti na dížke upravovaných súčiastok 3. Príruby 4 sú uzavreté vekami 5 o ktoré je upnutý prípravok 6 pre rotáciu, vratný a posuvný pohyb súčiastok 3 ktorých dížka přesahuje rozměr vákuovej komory 1 v priestore oproti zdrojů deponovaných častíc 7.
Navrhované riešenie podfa vynálezu představuje vyššiu univerzálnost zariadení pre iónové plátovanie a iónovú implantáciu a úpravu povrchu súčiastok a nástrojov hria»· dělového tvaru.

Claims (1)

  1. PREDMET Vákuová komora pre zariadenie na tónové plátovanie a iónovú implantáciu vyznačená tým, že vákuová komora (1) je opatřená přírubami (2) do ktorých sú uložené dlhé hriadetové súčiastky alebo nástroje (3) s dížkou presahujúcou rozměr komory (lj, pričom rozměr vyměnitelných prí- VYNALEZU rub (4) je prisposobený dížke súčiastok (3), ktoré sú uchytené o veká (5) v ktorých je prípravok (6) pre rotáciu, vratný a. posuvný pohyb súčiastok (3) počas vytvárania vrstiev v priestore vákuovej komory (lj oproti zdrojů deponovaných častíc (7). 1 list výkresov 252966 2 3 17 4
    T_A V
CS858984A 1985-12-09 1985-12-09 Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu CS252966B1 (sk)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS858984A CS252966B1 (sk) 1985-12-09 1985-12-09 Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS858984A CS252966B1 (sk) 1985-12-09 1985-12-09 Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CS898485A1 CS898485A1 (en) 1987-03-12
CS252966B1 true CS252966B1 (sk) 1987-10-15

Family

ID=5441122

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS858984A CS252966B1 (sk) 1985-12-09 1985-12-09 Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS252966B1 (cs)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305025B6 (cs) * 2001-04-19 2015-04-01 Deutsche Bahn Ag Způsob zabránění poškození lisovaného uložení u dvojkolí a zařízení k provádění tohoto způsobu

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CZ305025B6 (cs) * 2001-04-19 2015-04-01 Deutsche Bahn Ag Způsob zabránění poškození lisovaného uložení u dvojkolí a zařízení k provádění tohoto způsobu

Also Published As

Publication number Publication date
CS898485A1 (en) 1987-03-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Scott et al. A device for precision splitting of micropaleontological samples in liquid suspension
ES2050467T3 (es) Herramienta desbarbadora con cuchilla oscilante.
CS252966B1 (sk) Vakuová komora pre zariadenie na iónové plátovanie a iónová implantáciu
DE3682497D1 (de) Winkelstueck fuer endodontisches instrument zum halten eines durchbohrwerkzeuges einer feile oder eines anderen werkzeuges.
DE3674839D1 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen foerdern und drehen von koerpern durch eine bearbeitungskammer.
SU1171240A1 (ru) Развертка
SU1355471A1 (ru) Способ импрегнировани абразивного инструмента
RU2067520C1 (ru) Слесарное зубило
ES2029978T3 (es) Caja para una herramienta de corte por chorro de liquido.
SU1199455A1 (ru) Устройство дл магнитной обработки режущего инструмента
SU921749A1 (ru) Электрод-инструмент дл размерной электрохимической обработки криволинейных поверхностей
Kwetkus Contact electrification of solids
ES2035648T3 (es) Utilizacion de particulas minerales para la adicion a sustancias de desecho que se han de almacenar.
LOPEZ Certification of the Zirshot Z-600 and Z-150 ceramic shot(HOMOLOGACION DE LOS PERDIGONES CERAMICOS ZIRSHOT Z 600 Y Z 150)
SU768586A1 (ru) Способ электрохимического шлифовани
SU867588A1 (ru) Способ электрохимической обработки деталей
DE59006548D1 (de) Tragbares Schleuderstrahlgerät.
CN112008617A (zh) 一种离子源打磨头性炭活化装置
SMIDT The use of ion implantation for materials processing(Annual Progress Report, 1 Oct. 1983- 30 Sep.)(1984)
SE9804392L (sv) Motordrivet handverktyg, för filning eller slipning, med synkront roterande obalanskroppar.
Yang et al. Investigation on Low Cycle Impact Fatigue
GB1568789A (en) Method and apparatus for use in cementation of a metallic mass having interstices therein
JPS57138567A (en) Grinding machine
SU833419A1 (ru) Материал дл изготовлени электро-дА-иНСТРуМЕНТА
Radon Stress biaxiality effects on slow crack growth in polymethylmethacrylate