CS252633B1 - Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope - Google Patents
Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope Download PDFInfo
- Publication number
- CS252633B1 CS252633B1 CS863212A CS321286A CS252633B1 CS 252633 B1 CS252633 B1 CS 252633B1 CS 863212 A CS863212 A CS 863212A CS 321286 A CS321286 A CS 321286A CS 252633 B1 CS252633 B1 CS 252633B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- transilluminated
- rasterized image
- electron
- aperture
- parallel scanning
- Prior art date
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000012216 screening Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Podstatou zařízení je, že pod zkoumaným objektem v ose elektronového svazku a v difrakční rovině objektivu je suvně uspořádán polovodičový detektor, například PIN dioda, opatřená otvorem tvořícím clonu, která je spojena přes zesilovací řetězec s monitorem.The essence of the device is that under the examined object in the axis of the electron beam and in the diffraction plane of the lens is slidable a semiconductor detector is arranged, for example PIN diode, provided with a hole forming an aperture that is connected via amplifier string with monitor.
Description
Vynález se týká zařízení k souběžnému snímání prozařovaného a rastrovaného obrazu v elektronovém mikroskopu.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to an apparatus for simultaneous scanning of radiated and raster images in an electron microscope.
Dosavadní elektronové mikroskopy neumožňují souběžné snímání prozářeného a rastrovaného obrazu pozorovaného objektu. A tedy neumožňuji souběžné srovnání obrazů kvalitativně jiných typů kontrastů.Previous electron microscopes do not allow simultaneous scanning of the irradiated and raster image of the observed object. Therefore, I do not allow parallel comparison of images of qualitatively different types of contrasts.
Dosavadní nevýhody odstraňuje zařízeni k souběžnému snímání prozářeného a rastrovaného obrazu v elektronovém mikroskopu, jehož podstatou je, že pod zkoumaným objektem, v ose elektronového svazku a v difrakčni rovině objektivu je suvně uspořádán polovodičový detektor, například PIN dioda opatřená otvorem tvořícím clonu, která je spojena přes zesilovací řetězec s monitorem.The disadvantages of the prior art are eliminated by a device for simultaneous scanning of the irradiated and rasterized image in an electron microscope, which consists in that a semiconductor detector, for example a PIN diode with an aperture forming aperture, is displaceably arranged below the object, through the amplification chain with the monitor.
Hlavní předností vynálezu je možnost souběžného pozorování jak prozařovaného obrazu na stínítku mikroskopu, tak i rastrovaného obrazu na stínítku monitoru, přičemž detektor vytváří současně funkční činnost clony. Zařízeni umožňuje pozorování i změnu pozorování jak v rastrovacím systému, tak i v prozařovacím systému.The main advantage of the invention is the possibility of simultaneous observation of both the radiated image on the microscope screen and the raster image on the monitor screen, whereby the detector simultaneously creates a functional aperture operation. The device allows observation and change of observation both in the scanning system and in the radiation system.
Vynález blíže objasňuje přiložený výkres, na kterém je schéma optické soustavy v osovém řezu. Optická soustava sestává z autoemisního zdroje 2 elektronového svazku, v jehož ose x jsou za sebou umístěny vychylovací cívky 2» zkoumaný objekt 2 a objektiv £.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is illustrated in greater detail in the accompanying drawing, in which the diagram of the optical system is in axial section. The optical system consists of an electron beam emission source 2 in which the deflection coils 2 of the object 2 and the objective lens 6 are arranged in succession.
V difrakčni rovině objektivu £, která je vyznačena osou y je umístěn polovodičový detektor 5, spojený přes zesilovací řetězec 7_ s monitorem 2· Polovodičový detektor 2 3® opatřen otvorem 6, který nahrazuje v požadovaném případě funkci clony. Pozorovací stínítko 2 elektronového mikroskopu ukončuje optickou soustavu. Detektor 2 lze vytvořit použitím například PXN diody.The semiconductor detector 5 connected to the monitor 2 via the amplification string 7 is located in the diffraction plane of the objective 6, which is indicated by the y-axis. The semiconductor detector 23 has an aperture 6 which replaces the aperture function if desired. The electron microscope observation screen 2 terminates the optical system. Detector 2 can be generated using, for example, a PXN diode.
Zařízeni pracuje za provozu elektronového mikroskopu takto: Po seřízení elektronového mikroskopu uvedeme do činnosti rastrovací adaptér a detektor 2 tvořící clonu vsuneme na optickou osu x systému tak, aby svazek odpovídající světlému poli procházel otvorem 2 detektoru 5.The device operates in the operation of the electron microscope as follows: After adjustment of the electron microscope, activate the scanning adapter and insert the screening detector 2 on the optical axis x of the system so that the beam corresponding to the bright field passes through the opening 2 of the detector 5.
V tomto případě vzniká na stínítku 2 prozařovacího mikroskopu v čase rozvinutý obraz ve světlém poli, jehož zorné pole je dáno rozkmitem rastrovacího adaptéru a z detektoru tvořícího clonu je možno snímat v čase rozvinutý elektrický signál, získaný dopadem elektronů, zkoumaným objektem 2 rozptýlených, tedy signál v temném poli, který po zpracování videotrasou monitorujeme na televizní obrazovce monitoru 2·In this case, on the screen 2 of the radiation microscope, the developed image in the bright field is generated in time, whose field of view is given by the oscillation of the scanning adapter and from the detector forming the aperture. a dark field that we monitor on video monitor screen 2 after video route processing ·
Při přesunutí detektoru 2 mimo optickou osu x snímáme z detektoru 2 převážně signál odpovídající světlému poli a na stínítku 2 prozařovacího mikroskopu pozorujeme v čase rozložený obraz v temném poli.When the detector 2 is moved away from the x-axis, we mainly detect the signal corresponding to the bright field from the detector 2 and observe the decomposed image in the dark field over time on the screen 2 of the radiation microscope.
Vynález je určen pro elektronově optická zařízení.The invention is intended for electron-optical devices.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS863212A CS252633B1 (en) | 1986-05-04 | 1986-05-04 | Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS863212A CS252633B1 (en) | 1986-05-04 | 1986-05-04 | Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS321286A1 CS321286A1 (en) | 1987-02-12 |
| CS252633B1 true CS252633B1 (en) | 1987-09-17 |
Family
ID=5371545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS863212A CS252633B1 (en) | 1986-05-04 | 1986-05-04 | Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS252633B1 (en) |
-
1986
- 1986-05-04 CS CS863212A patent/CS252633B1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS321286A1 (en) | 1987-02-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4211924A (en) | Transmission-type scanning charged-particle beam microscope | |
| US4441124A (en) | Technique for inspecting semiconductor wafers for particulate contamination | |
| CN107123584B (en) | The research trends sample behavior in charged particle microscope | |
| US6797954B2 (en) | Patterned wafer inspection method and apparatus therefor | |
| CN110849926B (en) | Method for examining samples using a charged particle microscope | |
| US4720191A (en) | Method and apparatus for light span microscopic dark-field display of objects | |
| US4929041A (en) | Cathodoluminescence system for use in a scanning electron microscope including means for controlling optical fiber aperture | |
| EP1953791A1 (en) | Apparatus for observing a sample with a particle beam and an optical microscope | |
| US6553323B1 (en) | Method and its apparatus for inspecting a specimen | |
| US20040016888A1 (en) | Semiconductor device inspecting apparatus | |
| KR20230043199A (en) | Charged particle beam device and sample observation method | |
| JP2000161948A (en) | Circuit pattern inspection apparatus and circuit pattern inspection method | |
| CN111627787B (en) | Multibeam Scanning Transmission Charged Particle Microscope | |
| JP2021162590A (en) | Transmissive type charge particle microscope comprising electronic energy loss spectroscopic detector | |
| US3872305A (en) | Convertible scanning electron microscope | |
| CS252633B1 (en) | Device for parallel scanning of transilluminated and rasterized image in electron miscroscope | |
| DE69211378T2 (en) | Raster reflection diffraction electron microscope | |
| Wilke | Laser scanning in microscopy | |
| US3155827A (en) | Electron microscope with a secondary electron source utilized for electron probe analysis | |
| JP7676719B2 (en) | How to image a sample using a transmission charged particle microscope | |
| US12183542B2 (en) | Transmission electron microscope and imaging method | |
| DE112017007498B4 (en) | CARRIER JET DEVICE | |
| GB1588234A (en) | Transmission type beam nicroscopes utilising a scanning technique | |
| JP4045058B2 (en) | Multiple charged particle detector and scanning transmission electron microscope using the same | |
| Kimoto et al. | Scanning electron microscope as a tool in geology and biology |