CS245242B1 - Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby - Google Patents
Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby Download PDFInfo
- Publication number
- CS245242B1 CS245242B1 CS847645A CS764584A CS245242B1 CS 245242 B1 CS245242 B1 CS 245242B1 CS 847645 A CS847645 A CS 847645A CS 764584 A CS764584 A CS 764584A CS 245242 B1 CS245242 B1 CS 245242B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- electrode
- superconducting
- electrode body
- compound
- production
- Prior art date
Links
Landscapes
- Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
Abstract
Řešení se týká terčové elektrody - katody pro magnetronové nanášení supravodiče vícekomponentního typu na nosič ve tvaru drátu nebo pásku. Elektroda sestává z tělesa elektrody z nemagnetického kovu obdélníkového nebo kruhového tvaru s vyfrézovanou drážkou, do které je zalisovéna supravodivá sloučenina. Prášková sloučenina se lisuje zároveň s tělesem elektrody na konečnou výšku elektrody.
Description
Vynález se týká terčové elektrody - katody pro magnetronové nanášení supravodiče vícekomponentního typu na nosič ve tvaru drátu nebo pásku a způsobu její výroby»
V současné době se neužívá principu magnetronového napravování supravodivých sloučenin na elektrický vodič· Takové supravodiče se vyrábí buS jako monolitní z těch sloučenin, které lze obvyklými technologiemi zpracovat až do formy drátu, nebo še supravodiče vyrábí jako složené ze dvou komponent - základní matrice, ve které jsou uloženy dráty kovu, obě komponenty jsou zpravidla dobře tvárné a lze z nich vyrobit drát požadovaných rozměrů» Následným žíháním takového drátu, případně drátů tvořících mnohožilový komposit, dojde difusí k vytvoření požadované supravodivé sloučeniny· Supravodivé sloučeniny, zejména ty, které mají vysokou kritickou teplotu, nelze však difusí vytvořit· Jedná se zpravidla o vícekomponentní sloučeniny, které jsou křehké a nelze je tvářením nebo obráběním zpracovat do požadované formy. Nelze z nich ani vyrobit magnetronový tárget - terč, ze kterého se přenáší v doutnavém výboji sloučenina na vodič»
Uvedené nedostatky odstraňuje terčová elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby podle vynálezu· Podstata vynálezu spočívá v tom, že elektroda sestává z tělesa elektrody z nemagnetického kovu obdélníkového nebo kruhového tvaru s vyfrézovanou drážkou, do které je zalisována supravodivá sloučenina» Elektroda se vyrábí tak, že do drážky tělesa elektrody se nasype supravodivá sloučenina, která se společně s tělesem elektrody slisuje na konečnou výšku elektrody.
Výhoda uvedené elektrody podle vynálezu spočívá především v tom, že elektroda umožní nanášet supravodivé vrstvy metodou magnetronového naprašování i z takových sloučenin, které dosud byly nezpracovatelné, a které mají vyšší kritickou teplotu a vyšší ampérovou zatížitelnost. Magnetronové naprašování je jediný způsob,
245 242 — 2 «ι jak vytvořit požadovaný tenký povlak na povrchu nosiče, který zachovává stechiometrické složení supravodivé slitiny - sloučeniny©
Příkladné provedení elektrody podle vynálezu je schematicky znázorněno na připojeném výkresu©
Příklad
Do drážky 2 tělesa elektrody 1. o počátečních rozměrech elektrody 120 x 300 mm hýla vsypána supravodivá sloučenina 2 (intermetalická sloučenina olova, molybdenu a síry ) Pb Mo Sg ve formě prášku o střední velikosti zrn do 10^ m. Pak byla elektroda lisována mezi rovnými kovadly lisu tlakem až 1500 MPa© Po slisování byla výška elektrody 2 mm© Po lisování je elektroda připravená pro další použití©
Supravodivá sloučenina se vyrobí ve formě prášku o střední velikosti zrn do 10ffcm© Její sypná husteta je menší než požadovar· ná hustota po vlisování do elektrody© Zvýšení hustoty sloučeniny ve slisované formě je podmíněno zmenšením objemu volně nasypaného prášku© Toho se dosahuje tím, že před slisováním je těleso elektrody vyšší než jeho konečná výška. Při lisovací operaci se sour· Časně lisuje těleso elektrody a nasypaný supravodivý prášek© Lisování probíhá mezi rovnoběžnými kalenými ocelovými deskami. Redukce výšky elektrody a také současně výšky nasypaného prášku vede k jeho zhutnění na požadovanou hustotu a k dosažení mechanické pevnosti pro další zpracování, případně přímo pro upevnění v magnet r onu©
Claims (2)
1· Terčová elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetřenovém poli, vyznačená tím, že sestává z tělesa elektrody (1) z nemagnetického kovu obdélníkového nebo kruhového tvaru s vyfrézovanou drážkou (2), do které je zalisována supravodivá sloučenina (3)·
2. Způsob výroby tercové elektrody podle bodu 1,vyznačený tím, že do drážky tělesa elektrody se nasype supravodivá sloučenina, která se společně s tělesem elektrody slisuje na konečnou výšku elektrody<>
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS847645A CS245242B1 (cs) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS847645A CS245242B1 (cs) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS764584A1 CS764584A1 (en) | 1985-07-16 |
| CS245242B1 true CS245242B1 (cs) | 1986-09-18 |
Family
ID=5425970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS847645A CS245242B1 (cs) | 1984-10-09 | 1984-10-09 | Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS245242B1 (cs) |
-
1984
- 1984-10-09 CS CS847645A patent/CS245242B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS764584A1 (en) | 1985-07-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5380341A (en) | Solid state electrochemical capacitors and their preparation | |
| KR100295145B1 (ko) | 서셉터 | |
| US5215639A (en) | Composite sputtering target structures and process for producing such structures | |
| EP2667391A1 (en) | Method of producing r-t-b sintered magnet | |
| CA1081369A (en) | Thermoelectric module | |
| EP0285030A2 (en) | Process for producing superconducting thin films | |
| GB2269491A (en) | Semiconducting joint and a method of its production | |
| JPS5857736A (ja) | 静電チヤツク | |
| EP0202895B1 (en) | Method of manufacturing compound superconductors | |
| EP0795917A2 (en) | Lead-acid battery with corrosion resistant electrode structure, and method of making same | |
| CS245242B1 (cs) | Terčové elektroda pro nanášení supravodivé vrstvy v magnetronovém poli a způsob její výroby | |
| US3641298A (en) | Electrically conductive material and electrical contact | |
| US5964904A (en) | Method of making an article that comprises dispersion-hardened lead | |
| DE2016211A1 (cs) | ||
| US3466237A (en) | Method of obtaining an intermetallic compound of niobium and tin in fabricated form | |
| US3816079A (en) | Method of producing grid electrodes for electronic discharge vessels | |
| JPS625329B2 (cs) | ||
| US3311964A (en) | Method of manufacturing a frame grid | |
| US5061357A (en) | Method of producing an electron beam emission cathode | |
| GB2093386A (en) | Magnetic head | |
| US3616404A (en) | Computer information storage device and method for making the same | |
| Pons et al. | High temperature oxidation of niobium superficially coated by laser treatment | |
| JPH01276511A (ja) | 酸化物超電導線材 | |
| JPS63193410A (ja) | 超電導線の製造法 | |
| US3632485A (en) | Method of making an electron discharge device grid having enhanced thermal conductivity and reduced secondary emission characteristics |