CS243414B1 - Křemíkový terčík pro elektronky typu vidikon - Google Patents

Abstract

Řešení se týká křemíkového terčíku pro elektronky typu vidikon ee soustavou avětlocitlivých diod, vytvořenou na základním monokrystalickén křemíku typu N a opatřeného povrchovou svodovou vrstvou, vytvářející nad diodami vsájemně odizolované ostrůvky. Účelem řešení je snížení povrchového odporu svodové vrstvy takovou úpravou, jež ty nevyžadovala tepelné zpracování negativně ovlivňující elektrické parametry terčíku. Uvedeného účelu ae doaáhne tím, že ostrůvky svodové vrstvy jsou na svém povrchu překryty kovovou nebo jinou vodivou vrstvou

Description

(54) Křemíkový terčík pro elektronky typu vidikon

Řešení se týká křemíkového terčíku pro elektronky typu vidikon se soustavou svčtlocitllvých diod, vytvořenou na základním monokryatalickém křemíku typu N a opatřeného povrchovou avodovou vrstvou, vytvářející nad diodami vsdjemng odisolovane ostrůvky.

účelem řešení je snížení povrchového odporu svodové vrstvy takovou úpravou, jež ty nevyžadovala tepelné zpracování negativně ovlivňující elektrické parametry terčíku.

Uvedeného účelu ee dosáhne tím, že ostrůvky svodové vrstvy jsou na svém povrchu překryty kovovou nebo jinou voáivou vrstvou.

Vynál·* řeSí křeaíkový terčík pro elektronky typu vidikon, ae eoutavou světlocitlivých diod vytvořenou ne sdklednía aonokryatallckám křemíku typu N a opatřený povrchovou svodovou vrstvou >· slabi vodivého nebo polovodiváho materiálu například * polykryetellckého křešíku, vytvářející nad dlodaal jednotlivá vzájemně odizolovaná ostrůvky překrývající povrch a blízká okolí jednotlivých diod.

Křemíková terčíky pro elektronky typu vidikon, se soustavou světlocitlivých diod, jsou v blžnáa provedení zhotoveny tak, Se celý povrch terčíku se strany diod, jejichž hustota se obvykle pohybuje kolss 0,5 milionů diod ne 1 ca^{1 2}, je pokryt souvislou svodovou vrstvou se slabě vodivého nebo polovodiváho Materiálu.

O křeaíkových terčíků, u nichž se požaduje vySěí rozlišení, ee tato souvislé povrchová svodová vrstva nahresuje systáaea ostrůvků překrývajících jednotlivá diody s oo možno největším okolí·, tvořenýa zpravidla kysličník·· křemičitým.

Tyto ostrůvky obvykle ve tvaru čtverců se zhotoví rozleptánía souvislé povrchová svodová vrstvy. Pro vytvoření ostrůvků se z technologických i funkčních důvodů zatím používá vrstva saorfaího nebo polykrystalického křemíku.

Nevýhodou stávajícího uspořádání je to, že vrstva naneseného polykrystalického nebo eaorfního křeaíku né při bSžnS používaných tlouSÍkéch specifický odpor vBtSÍ než 30 kfi/q.

Je-li požadován nižSÍ odpor, je nutno k dotaci použít dalží tepelná operace, například dtfuse, číaž ee vSek většinou zhorSÍ zdvSrné vlastnosti diod e tím se také sníží dynamický pracovní rozsah terčíku.

Podstat· křemíkového terčíku pro elektronky typu vidikon spočívá v toa, že ostrůvky svodová vrstvy jsou na svéa povrchu překryty kovovou nebo jinou vodivou vrstvou. Z hlediska funkce ostrůvků a z technologických důvodů je výhodná překrývající vodivá vrstva z chromniklu.

Kažení podle vynálezu odstraňuje nevýhody současného uspořádání terčíku s ostrůvky tía, že uaožňuje dosáhnout požadovaného snížení povrchového odporu ostrůvků, a to pomSrnS jednoduchou technologickou operaoí, například vakuovým napařením kovu, jež neovlivňuje negativní elektrické vlastnosti terčíku.

Příklad provedení terčíku podle vynálezu je ne připojených obrázcích. Na obr. i je řez aktivní částí terčíku a na obr. 2 je nérys části vrchní strany terčíku.

V uvedením provedení je základním materiálem terčíku kruhové deska monokrystelického křeaíku 1 typu N o průměru 22 mm. Na vrchní stranS této desky jsou ve vyleptaných otvorech izolační vrstvy 2 * kysličníku křemičitého nadifundované oblasti typu P vytvářející soustavu světlocitlivých diod Z·

Na izolační vretvS 2 jsou vytvořeny čtvercové ostrůvky svodová vrsvy í vytvořené z polykrystalickáho křemíku. Tyto ostrůvky jsou ne svém povrchu překryty vodivou vrstvou 2 z chromniklu.

Claims (2)

1. p Sedm St vynálezu

   1. Křemíkový terčík pro elektronky typu vidikon se soustavou světlocitlivých diod, vytvořenou na základním monokryetalickém křemíku typu N e opatřený povrchovou svodovou vrstvou ze slabS vodivého nebo polovodiváho materiálu například z polykryatallckého křemíku vytvářející nad diodami jednotlivá, vzájemně odizolované ostrůvky překrývající povrch a blízké okolí jednotlivých diod, vyznačený tím, že ostrůvky svodové vrstvy (4) jsou na svém povrchu překryty kovovou nebo jinou vodivou vrstvou (5).
2. 2. Křemíkový terčík pro elektronky typu vidikon podle bodu 1, vyznačený tím, 4e vodivé vrstvě (5) překrývající ostrůvky svodové vrstvy (4) je vytvořena z chroaniklu.