CS236157B1 - Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu - Google Patents
Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu Download PDFInfo
- Publication number
- CS236157B1 CS236157B1 CS833696A CS369683A CS236157B1 CS 236157 B1 CS236157 B1 CS 236157B1 CS 833696 A CS833696 A CS 833696A CS 369683 A CS369683 A CS 369683A CS 236157 B1 CS236157 B1 CS 236157B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- electron
- impedance
- input
- electron optical
- conductive materials
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
Podstatou zapojeni je, že vstupní uzel je spojen přes vstupní impedanci s invertujicim vstupem výkonového operačního zesilovače, jehož výstup je spojen přes elektronově optický člen a výstupním uzlem spojeným s referenčním odporem připojeným k zemnímu potenciálu a s vazební impedancí spojenou s lntervujicim vstupem výkonového operačního zesilovače, přičemž paralelně ke vstupní impedanci je připojen první korekční člen a paralelně ke zpětnovazební impedanci Je připojen druhý korekční člen. Zapojeni je určeno zejména pro přesné elektronově optické členy a proměnným magnetickým polem,např. v elektronových mokroskopech.
Description
(54) Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu
Podstatou zapojeni je, že vstupní uzel je spojen přes vstupní impedanci s invertujicim vstupem výkonového operačního zesilovače, jehož výstup je spojen přes elektronově optický člen a výstupním uzlem spojeným s referenčním odporem připojeným k zemnímu potenciálu a s vazební impedancí spojenou s lntervujicim vstupem výkonového operačního zesilovače, přičemž paralelně ke vstupní impedanci je připojen první korekční člen a paralelně ke zpětnovazební impedanci Je připojen druhý korekční člen. Zapojeni je určeno zejména pro přesné elektronově optické členy a proměnným magnetickým polem,např. v elektronových mokroskopech.
236 157 (11) (Bl) (51) Int Cl.’
H Ol J 37/26
236 157
236 157
Vynález se týká zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu s proměnným magnetickým polem. Elektronově optickým členem s proměnným magnetickým polem může být například systém pro vychylování elektronového svazku nebo systém pro dynamickou fokusaci elektronového svazku v elek:Á tronově optických zařízeních, napffklad elektronových litografech nebo mikroskopech.
Změny magnetického pole v elektronově optickém členu nesledují přesně změny proudu v jeho vinutí. Hlavním důvodem odchylek je vznik nežádoucích přídavných magnetických polí v důsledku výdcytu vířivých proudů v elektricky vodivých materiálech jak v okolí, tak v prostoru elektronově optického členu, s proměnným magnetickým polem. Uvedený vliv se obvykle kompenzuje konstrukcí elektronově optických členů s přídavným kompenzačním vinutím nebo se potlačuje stíněním feritovými materiály.
Kompenzační vinutí sice potlačí vliv okolních elektricky vodivých materiálů, ale ne zcela dokonale. Použití feritových materiálů odstíní vnější magnetické pole, a tím potlačí vznik vířivých proudů v okolních vodivých materiálech, avšak vyvolává vznik hystereze a zároveň negativně ovlivňuje magnetické pole elektronové čočky, ve které bývá uvedený elektronově optický člen obvykle umístěn. Případné pasivní korekční impedance řazené do série nebo paralelně s vinutím elektronově optického členu mají za následek zvýšené výkonové ztráty a jsou obtížně realizovatelné.
238 157
Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení, jehož podstatou je, že vstupní uzel je spojen přes vstupní impedanci s invertujícím vstupem výkonového operačního zesilovače, jehož výstup je spojen přes elektronově optický člen s výstupním uzlem spojeným s referenčním odporem připojeným k zemnímu potenciálu a s vazební impedancí spojenou s invertujícím vstupem výkonového operačního zesilovače, přičemž paralelně ke vstupní impedanci je připojen první korekční člen a paralelně ke zpětnovazební impedanci je připojen druhý korekční člen. /
Přínosem zapojení podle vynálezu je, že kompenzuje odchylky průběhu magnetického pole od požadovaného průběhu v elektronově optických členech, způsobené vznikem vířivých proudů v elektricky vodivých materiálech elektronově optických členů a v jejich okolí. Zapojení je určeno jak pro elektronově optické členy, které nejsou nebo nemohou být doplněny kompenzačním vinutím, tak pro kompenzované elektronově optické členy k potlačení zbytkových nevykompenzovaných složek..
Vynález blíže objasní přiložený výkres, na kterém je blokové zapojení.
Vstupní uzel 1_ je paralelně spojen se vstupní impedancí 2 a s prvním korekčním členem 8 připojenými na invertující vstup výkonového operačního zesilovače £, jehož neinvertující vstup je .spojen se zemním potenciálem. Výstup výkono- . vého operačního zesilovače £ je spojen přes elektronové optický Člen 2 s výstupním uzlem 2· Paralelně mezi invertující vstup výkonového operačního zesilovače £ a výstupní uzel £ je zapojena zpětnovazební impedance 2 a druhý korekční člen 9. Výstupní uzel 2 je ještě spojen pres referenční odpor 6, se zemním potenciálem.
Jak již v úvodu popisu bylo Pečeno, elektronově optický člen 2. tvoří například elektromagnetický systém pro vychylování elektronového svazku nebo jiný elektromagnetický systém,
-3 236 157 například pro dynamickou fokusaci elektronového svazku.
Vstupní impedance 3 a zpětnovazební impedance 2 určují zesílení mezi výstupním uzlem 2. a vstujbním uzlem 1 a určují optimální proudovou odezvu ve vinutí elektronově optického členu 2 na signál na vstupním uzlu JL· Přídavný první korekční člen 8 a druhý korekční Člen 9 koriguje odchylky magnetického pole od požadovaného průběhu v elektronově optickém Členu v důsledku vzniku vířivých proudů. Časové konstanty a hodnoty reálných složek prvního korekčního členu 8 a druhého korekčního členu 2 se určí z odezvy magnetického pole v elektronově optickém členu na skokovou změnu napětí na vstupním uzlu 1_ nebo v případě elektronového litografu naexponováním průběhu výchylky elektronového svazku na elektronový resist. Rozdíl mezi skokovou funkcí a odezvou v časové a amplitudové oblasti aproximujeme prvním korekčním členem 8 a druhým korekčním členem 9, které se skládají například z odporových, kapacitních a induktivních členů. Jejich složení je závislé na průběhu odezvy magnetického pole a na přesnosti aproximace.
Zapojení pracuje za provozu takto:
Výkonový operační zesilovač 4 dodává proud do vinutí elektronově optického členu 2, v jehož sérii je referenční odpor 6. Zisk zapojení a optimální proudová odezva jsou určeny hodnotami vstupní impedance 3 a zpětnovazební impedance 2· Při změnách proudu ve vinutí elektronově optického členu dochází ke změně magnetického pole uvnitř i v okolí elektronově optického členu. Ve všech vodivých materiálech v dosahu proměnného magnetického pole dochází ke vzniku vířivých proudů, které vytvářejí nežádoucí přídavné magnetické pole s různými časovými konstantami a různými amplitudovými příspěvky k základnímu magnetickému poli. Uvedené odchylky magnetického pole od požadovaného průběhu se kompenzují prvním korekčním členem 8 a druhým korekčním členem 2·
Hlavní využití tohoto vynálezu je v náročných elektronově optických zařízeních, například elektronových litografech a elektronových mikroskopech pro zlepšení dynamických parametrů přesných elektronově optických členů s proměnným magnetickým polem.
Claims (1)
- PŘEDMĚT VYNÁLEZU236 157Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu, vyznačené tím, že vstupní uzel (1) je spojen přes vstupní impedanci (3) s invertujícím vstupem výkonového operačního zesilovače (4), jehož výstup je spojen přes elektronově optický člen (5) s výstupním uzlem (2) spojeným s referenčním odporem (6), připojeným k zemnímu potenciálu a s vazební impedancí (7) spojenou ε invertujicím vstupem výkonového operačního zesilovače (4), přičemž paralelně ke vstupní impedanci (3) je připojen první korekční Člen (8) a paralelně ke zpětnovazební impedanci (7) je připojen druhý korekční člen (9).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS833696A CS236157B1 (cs) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS833696A CS236157B1 (cs) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS369683A1 CS369683A1 (en) | 1984-02-13 |
| CS236157B1 true CS236157B1 (cs) | 1985-05-15 |
Family
ID=5377769
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS833696A CS236157B1 (cs) | 1983-05-25 | 1983-05-25 | Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS236157B1 (cs) |
-
1983
- 1983-05-25 CS CS833696A patent/CS236157B1/cs unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CS369683A1 (en) | 1984-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6366076B1 (en) | Device with wide passband for measuring electric current intensity in a conductor | |
| US4206401A (en) | Length measuring system | |
| KR100508070B1 (ko) | 임피던스 검출 회로, 임피던스 검출 장치 및 임피던스검출 방법 | |
| RU2114439C1 (ru) | Устройство для измерения тока | |
| US4961049A (en) | Magnetically-coupled apparatus for measuring electrical current | |
| US3422305A (en) | Geometry and focus correcting circuit | |
| US5309086A (en) | Current measuring transducer operating on the compensation principle | |
| WO1999057578A2 (en) | Ac current sensor having high accuracy and large bandwidth | |
| US5539354A (en) | Integrator for inductive current sensor | |
| US4866378A (en) | Displacement transducer with opposed coils for improved linearity and temperature compensation | |
| EP3030915B1 (en) | Adjustable compensation ratio feedback system | |
| US4380703A (en) | Method and device for the regulation of a magnetic deflection system | |
| US4864232A (en) | Temperature compensation for displacement transducer | |
| EP0595367B1 (en) | Displacement transducer with opposed coils for improved linearity and temperature compensation | |
| US20030071609A1 (en) | Magnetic flux sensor and method | |
| GB2301515A (en) | Magnetic correction circuit and picture display using it | |
| CS236157B1 (cs) | Zapojení pro korekci vlivu elektricky vodivých materiálů v prostoru elektronově optického členu | |
| JP2025042602A (ja) | 電流センサ及び測定装置 | |
| JP4249448B2 (ja) | 容量計の校正方法、校正用標準容量ボックス、静電容量の測定方法、容量測定用ボックス及び容量計 | |
| US11892475B2 (en) | Two-in-one coil current sensor | |
| Beug et al. | Two-stage coaxial inductive voltage divider and its calibration setup for use between 1 and 100 kHz | |
| Dubowik et al. | A fundamental step-up method for calibrating active compensated current comparator standards at power frequencies | |
| Souders | An audio-frequency four-terminal resistance bridge | |
| US4884038A (en) | Transconductance amplifier with transformer coupled forward feed | |
| GB2274760A (en) | Reducing VDU electric field emissions |