CS235800B1 - Zapojení pro kontrolu činnosti systému pro tvarování, zatemňování a vyohýlování elektronového nebo iontového svazku - Google Patents

Abstract

Podstatou zapojení je řídicí systém spojený prvním výstupem přes zatemňovací a tvarovací zesilovače s tvarovacím a zatemňovacím systémem a druhým výstupem přes vychylovací zesilovače elektronově Optického zařízení s vychylovacím systémem elektronově optického zařízení a druhým výstupem ještě přes vychylovací zesilovače monitoru s vychylovacím systémem monitoru, dále třetím výstupem spojený přes časovou základnu s horizontálním vychylovacím systémem osciloskopu. Detektor elektronů nebo iontů je spojen přes videozesilovače se vstupem pro řízení jasu monitoru a s vertikálním vychylovacím systémem osciloskopu. Zapoje- ■ ní je určeno pro elektronově optická zatřízení zejména pro elektronové nebo iontové litografy.

Description

Vynález se týká zapojení pro kontrolu činnosti systému pro tvarování, zatemňování a vychylování elektronového nebo iontového svazku například v elektronových nebo iontových litografech.

Průběžná a přehledné kontrola činnosti tvarovacího, zatemňovacího a vychylovacího systému je problematická vzhledem k tomu, že při práci litografu se elektronový nebo iontový svazek zatemňuje, tvaruje a vychyluje několik setkf&át až miliónkrát za sekundu. Kontrola se doposud prováděla až na exponovaných a vyvolaných resistech. Tím vznikla v případě poruchy značná časová a finanční ztráta·

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení pro kontrolu činnosti systému pro tvarování, zatemňování a vychylování elektronového nebo iontového svazku například v elektronovém nebo iontovém litografu, jehož podstatou je, že řídicí systém opatřený třemi výstupy je prvním výstupem spojen přes zatemňovací a tvarovací zesilovače se zatemňovacím a tvarovacím systémem, druhým výstupem je spojen přes vychylovací zesilovače elektronově optického zařízení s vychylovacím systémem elektronově optického zařízení a zároveň je spojen přes vychylovací zesilovač monitoru s vychylovacím systémem monitoru, přičemž detektory elektronů nebo iontů jsou spojeny s videozesilovači, jejichž první výstup je spojen se vstupem monitoru a druhý výstup s vertikálním vychylovacím systémem osciloskopu, jehož horizontální vychylovací systém je spojen s výstupem časové základny, jejíž vstup je spojen s řídicím syetémem.

Předností tohoto zapojení je, že umožňuje průběžnou a přehlednou kontrolu činnosti systému pro tvarování, zatem- * ňovéní a vychylování elektronového svazku na obrazovkách

-z238 MM během exponování mikrostruktur. Další výhodou je, že systém indikuje některé další závady,, například poruchy elektronové nebo iontové trysky, vysokonapěíového zdroje nebo zdrojů pro čočky, stigmátory a centrovací cívky.

Vynález blíže objasní přiložený výkres zapojení v blokovém uspořádání.

Zjednodušeně zakreslené elektronově optické zařízení 1 jehož středem prochází elektronový nebo iontový svazek 2 obsahuje mimo jiné zatemňovací a tvarovací systém 2 vychylovací systém £ elektronově optického zařízení, pod nímž jsou uspořádány detektory £ elektronů nebo iontů v blízkosti nad substrátem 6. Řídicí systém 10 se třemi výstupy, z nichž první dva výstupy jsou spojeny s elektronově optickým zařízením 1, a to první výstup je spojen přes zatemňovací a tvarovací zesilovače J se zatemňovacím a tvarovacím systémem 2· Druhý výstup řídicího systému 10' je spojen přes vychylovací zesilovače 8 elektronově optického zařízení s vychylovacim systémem £ elektronově optického zařízení a zároveň přes vychylovací zesilovače 11 monitoru s vychylovacím systémem 12 monitoru 13. Třetí výstup řídicího systému 10 je spojen přes časovou základnu 14 s horizontálním vychylovacim systémem 16 osciloskopu 15. Detektor £ elektronů nebo iontů je spojen s videozesilovači 9, jejichž první výstup je spojen se vstupem 18 pro řízení jasu mo- ¹ nitoru 13. Druhý výstup videozesilovače £ je spojen s vertikálním vychylovacim systémem 17 osciloskopu 15.

Zapojení pro kontrolu činnosti tvarování zatemňování a vychylování elektronového nebo iontového svazku pracuje za provozu takto:

Elektronový nebo iontový svazek 2: je upraven v zatemňovacím a tvarovacím systému 2 řízeném zatemňovacími a tvarovacími zesilovači 2· Upravený svazek je’vychylován vychylovacim systémem £ elektronově optického zařízení, který je ovládán vychylovacími zesilovači 8 elektronově optického zařízení a dopadá na substrát 6 s resistem.

Odražené nebo sekundární elektrony dopadají na detektor % elektronů nebo iontů, vybuzený signál je zesilován videozesilovači Výstupní signál z prvního výstupu řídí jas monitoru 13 přes vstup 18. Výstupní signál z druhého výstupu řídí vertikální vychylovací systém 17 osciloskopu 15 Informace pro tvarování zatemňování a vychylování elektronového nebo iontového svazku 2_t pro časovou základnu 14 a pro vychylovací zesilovače 11 monitoru dodává řídicí systém 10.

Během činnosti elektronového nebo iontového litografu je elektronový svazek v obrazovce monitoru 13 vektorově vychylován v souhlase s vychylováním elektronového svazku v elektronově optickém systému 1.

Na stínítku paměióyé obrazovky nebo obrazovky s dlouhým dosvitem monitoru 13 ee kontroluje pomocí jfcsové modulace správné pokrývání plochy čipů na substrátu 6 exponovanými mikrostrukturami. Na obrazovce osciloskopu 15 se kontroluje činnost tvarovacího a zatemňovacího systému Systém pro kontrolu činnosti indikuje i jiné závady, napři klad poruchy vysokonapělového zdroje nebo elektronové případně iontové trysky, dále poruchy zdrojů pro čočky, s£gmá tory a centrovaoí cívky nebo závady na detekčním systému.

Hlavní využití tohoto vynálezu jev elektronových a iontových litografech pro průběžnou rychlou a přehlednou kontrolu činnosti systémů pro vychyloyání, tvarování a zatemňování elektronového nebo iontového svazku.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   23S aaa

   Zapojení pro kontrolu činnosti systému pro tvarování, zatemňování a vychylování elektronového nebo iontového svazku například v elektronovém nebo iontovém litografu, vyznačené tím, že řídicí systém (10) opatřený třemi výstupy je prvním výstupem spojen přes zatemňovací a tvarovací zesilovače (7) se zatemňovacím a tvarovacím systémem (3) , druhým výstupem je spojen přes vychylovací zesilovače (8) s vychylovacím systémem (4) elektronově optického zařízení a zároveň je spojen přes vychylovací zesilovač (11) moniéc^í'¹vychylovacím systémem (12) monitoru, přičemž detektory (5) elektronů nebo iontů jsou spojeny s videozesilovači (9), jejichž první výstup je spojen se vstupem,(18) monitoru (13) a druhý výstup s vertikálním vychylovacím systémem (17) osciloskopu (15), jehož horizontální vychylovací systém (16) je spojen s výstupem časové základny (14), jejíž vstup je spojen s řídicím systémem (10).