CS233932B1 - Způsob zpětného získáváni diamantového prášku z pil s diamantovým bortem, zejména pro řezání křemíkových monokrystalů - Google Patents

Abstract

Vynález se týká způsobu zpětného získávání diamantového prášku z pil s diamantovým bortem, užívaných zejména pro řezání křemíkových monokrystalů. Podstata vynálezu spočívá v tom, že kovová vrstva s diamantovým bortem se odstřihne z těla pily tak, aby vnější průměr vzniklého mezikruží byl maximálně o 5 mm větší než nanesené kovové vrstvy, načež se mezikruží vloží do roztoku koncentrované kyseliny dusičné a vody v poměru 1:1 až 1:10 nebo roztoku kyseliny dusičné a chlorovodíkové v poměru 1:3 až 5, do kterého se po nejdéle 10 minutách přidá 0,5 až 1 díl peroxidu vodíku, načež po rozpuštění kovové vrstvy a sedimentaci diamantových zrn následuje jejich promytí vodou, vyčistění působením například kyseliny fluorovodíkové po dobu 2 minut a po propíráni vodou se diamantová zrna vysuší například etanolem a acetonem.

Description

Vynález se týká způsobu zpětného získávání diamantového prášku z pil s diamantovým bortem, vhodných zejména pro řezání křemíkových monokrystalů, případně jiných polovodičových mate* riálů.

Na pily s diamantovým bortem užívané pro řezání křemíkových destiček jsou kladeny vysoké nároky nejen na kvalitu řezného materiálu, ale i na mechanické vlastnosti kovového těla pily, na které je diamantový bort nanesen» Při řezání meiekrys* talického křemíku je tělo pily vystaveno vysokému mechanickému namáhání a proto jsou pro jeho výrobu používány materiály s vysokou mechanickou pevností a odolností« Tyt· vlastnosti jsou diktovány i ekonomickými požadavky pr© co nejtenčí řez tak, aby se prořezem znehodnotil· minimální množství monokryetalického křemíku. Vhodnými materiály pro těle pily jsou tenké plechy ze slitin na bázi Ni, Cu, Zn neb© z oceli s legujícími přísadami, vysokotavitelných kovů. Diamantový bort je na těle pily zakotven v kovové vrstvě z Ni, případně slitin Cu, Ag a podobně.

Při extremních pracovních podmínkách pil s diamantovým bortem - vysoké otáčky, velké mechanické namáhání, je životnost těchto pil poměrně nízká. Sebemenší závada na těle pily nebo v řezné vrstvě, způsobuje nekvalitní řez a tak znehodnocení opra® covávaného materiálu. Pily, které nezaručují požadovanou kvalitu řezu jsou okamžité vyřazovány. Pila s deformovaným nebo jinak porušeným tělem má však řeznou vrstvu resp. diamantový

233 932 bort v této vrstvě stále vyhovující a znovj· použitelný, ./

Převážná většina způsobů získání diamantového prášku z Pii je založena na tepelném zpracování, kdy kovový základ vrstvy je roztaven a diamantový bort vycezen či jiným způsobem oddělen.

Další způsob získávání diamantového prášku z pil je založen na anodickém rozpouštění kovové vrstvy, ve které je diamantový bort zakotven,

Nevýhoda tohoto způsobu spočívá v tom, že rozpouštění kovového základu je vždy provázeno rozpouštěním těla pily, čímž značně narůstá spotřeba elektrického proudu. Technologické zařízení, které je nutné pro využití tohoto způsobu je značně nákladné. <

Uvedené nevýhody odstraňuje způsob zpětného získávání diamantového prášku z pil s diamantovým bortem podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že kovová vrstva s diamantovým bortem se odstřihne z těla pily tak, aby vnější průměr vzniklého mezikruží byl větší maximálně o 5 mm než průměr nanesené kovové vrstvy, načež se mezikruží vloží do roztoku koncentrované kyseliny dusičné a vody v poměru 1:1 až 1:10 , nebo do roztoku kyseliny dusičné a chlorovodíkové v poměru 1:3 až 5 , do kterého se po nejdéle 10 minutách přidá 0,5 až 1 díl peroxidu vodíku, načež po rozpuštění kovové vrstvy a sedimentaci diamantových zrn následuje jejich promytí vodou, vyčistění například působením kyseliny fluorovodíkové po dobu 2 minut a po proprání vodou se diamantová zrna vysuší například etanolem a aceto- » nem.

Pro zpětné získávání diamantového prášku z pil s diamantovým bortem podle vynálezu je potřeba pouze jednoduché vybavení reakČními nádobami pro vlastní chemické rozpouštění a další výhodou je jednoduché získání diamantového prášku z roztoku, který je možno opět použít.

Příklad provedení č, 1

Pila s diamantovým bortem, jejíž tělo je vyrobeno ze slitiny Ni,

Cu, Zn se sestřihne tak, aby po úpravě zbylo pouze mejzikruží

I obsahující na vnitřním průměru kovovou vrstvu s diamantovým bortem a na vnějším průměru proužek o 2 mm větší než je průměr kovové vrstvy. Takto upravená pila se vloží do skleněné nádoby s roztokem HNO^ a Εύ,Ο v poměru 1:1, Po dokonalém rozpuštění a sedimentaci diamantových zrn se roztok slije, sediment se třikrát

233 932 propláchne vodou,'vyčistí působením kyseliny fluorovodíkové po dobu 2 minut a pe opětném proprání vodou se vysuší etaaolem a ©cetonem»

Příklad provedení c» 2

Pila s diamantovým bertem, jejíž tělo je zhotoveno z legované eceli se upraví jako v příkladu provedení δ» 1 a vloží se do rozpouštěcí lázně tvořené roztokem HNO^ a HG1 v poměru 1:3 ₃do kterého se po 10 minutách přidá 0,5 dílu HgOg k urychlení roz** ^ř pouštění» Po rozpuštění kovu a sedimentaci diamantových zrn ae _u roztok slije a následuje trojí propláchnutí sedimentu vodou, vyčistění roztokám koncentrované kyseliny fluorovodíkové po do* bu 2 minut, další proprání vodou a vysušení etanolem a aeetonem»

Claims (1)

1. Předmět v y n á 1 e ž u

   233 932

   Způsob zpětného získávání diamantového prášku z pil s diamantovým bortem, zejména pro řezání křemíkových monokrystalů, vyznačený tím , že kovové vrstva s diamantovým bortem se odstřihne z těla pily tak, aby vnější průměr vzniklého mezikruží byl větší maximálně o 5 mm než průměr nanesené kovové vrstvy, načež se mezikruží vloží do roztoku koncentrované kyseliny dusičné a vody v poměru 1:1 až 1:10 , nebo roztoku kyseliny dusičné a chlorovodíkové v poměru 1:3 až 5, do kterého se po nejdéle 10 minutách přidá 0,5 až 1 díl peroxidu vodíku, načež po rozpuštění kovové vrstvy a sedimentaci diamantových zrn následuje jejich promytí vodou, vyčistění působením například kyseliny fluorovodíkové po dobu 2 minut a po proprání vodou se diamantová zrna vysuší například etanolem a acetonem.