CS232450B1 - Optická soustava určená k pozorování elektronového svazku ve vakuu - Google Patents

Abstract

Podstatou soustavy je vstupní optický hranol (3), jehož vstupní stěna je opatřena acintilační destičkou (1), přičemž za jeho výstupní stěnou v optické ose je umístěna plenparalelnl destička (6) oddělující vakuový prostor, -a za ní vstupní objektiv (5), záměrná destička· (7), výstupní objektiv (8) n výstupní hranol (9) s okulárem (10). Optická soustava je výhodná pro elektronově optická přístroje, zejména pro elektronový lltograf.

Description

Vynález se týká konstrukčního uspořádání optická soustavy pro pozorování elektronového svazku ve vakuu v elektronově optických zařízeních, zejména v elektronovém litografu.

Tvarovaný svazek elektronů procházející elektromagnetickou projekční soustavou je nutné přesně zaostřit na povrch preparátu. Současně je nutné mít možnost určit polohu a korigovat úhlové natočení tohoto svazku, vzniklé průchodem elektronů elektromagnetickou projekční soustavou. U přístrojů, které jsou určeny k expozici prováděnou přímo na neprůhledný substrát elektronovým svazkem je velice obtížné seřídit projekční soustavu složenou Z elektromagnetických prvků a přesné zaostřední této soustavy na preparát. Prakticky znamená provést expozici na substrát, tento z vakuové komory vyjmout, vyvolat a posoudit kvalitu expozice. Následovalo by nestaveni na nové hodnoty projekční soustavy a postup by se musel maohokrát opakovat. Nastavení projekční soustavy by bylo možno provést vizuálně pomocí optického zařízeni, umožňujícího pozorovat zviditelněný, zvětšený obraz elektronového tvarovaného svazku z velké vzdálenosti od jeho osy, bez porušení vakua v komoře projekční soustavy a v místě, kde mé obsluha možnost provádět nutné korekce projekční soustavy. Zařízení tohoto druhu není však běžně známé.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje optická soustava určená k pozorováni elektronového svazku, jejíž podstatou je, že je tvořena vstupním optickým hranolem, jehož vstupní stěna je opatřena scintilační destičkou, přičemž za jeho výstupní stěnou v optické ose je umístěna planparalelní destička, oddělující vakuový prostor, a za ní vstupní objektiv, záměrná destička, výstupní objektiv a výstupní optický hranol s okulérem.

Hlavní předností řešení podle vynálezu je přenos zvětšeného optického obrazu elektronového svazku na optimální místo pro pozorování, možnost zaostření obrazu, snadná změna zvětšení řešená výměnou okuléru, možnost provést přesné určení velikosti stopy elektronového svazku a jeho natočení polohy. Výhodou je jednoduchá konstrukce, minimální počet optických členů a snadné nastavení. Zařízení umožňuje i dlouhodobé pozorování bez přílišné únavy obsluhy.

Vynález blíže objasní přiložené výkresy, kde na obr. 1 je Celkové uspóřádání, na obr.2 je tvar vyrytý na záměrné destičce a na obr. 3 je chod paprsků optickou soustavou.

Optická eoustava určená k pozorování elektronového svazku ve vakuu zobrazená na obr. 1 se skládá ze scintilační destičky 1 sloužící k zviditelnění elektronového svazku 2» natmelené na vstupním optickém hranolu J. Celek je umístěn v ultravakuové nádobě £. Obraz je snímá vstupním objektivem 2i který je umístěn v trubce oddělené od ultravakuového prostoru optickou planparalelní skleněnou destičkou 6. Vstupní objektiv 2 promítá obraz ee zvětšením 1x na rytou záměrnou destičku 2, kterou je možno natáčet o 90 ° s přesností 10 úhlových mi» nut. Tvar obrazce, vyrytého na záměrné destičce 2 obr. 2 je navržen tak, aby bylo možno snadno odečíst odchylku elektronového svazku od optické osy, jeho ortogonalitu, v případě požadavku, velikost jeho stopy na scintilační destičce 1, tím určit zvětšení projekční elektromagnetické soustavy a natočení obrazce elektronového svazku vzniklé jeho průchodem elektromagnetickými optickými Členy. Výstupní objektiv 8 promítá obraz přes výstupní hranol 2 do okuláru 10. který je výměnný, čímž je umožněno měnit zvětšení optické soustavy podle potřeby. Okulár 10 je upevněn na trubce 11. umožňující zaostření obrazu na sítnici oka pozorovatele. Záměrná destička 2 j® osvětlena nepřímým rozptýleným světlem .£2, které umožní odečtení potřebných údajů rozměru, polohy a natočení elektronového svazku i na tmavém pozadí.

Optická soustava je určena na pozorování zviditelné tvarované stopy elektronového svazku v zařízeních, kde není možné seřízení elektromagnetické projekční soustavy přímým pozorováním na stínítku, kde je nutná kontrola polohy a natočení tvarovaného elektronového svazku.

Claims (1)

1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU

   Optická soustava určená k pozorování elektronového svazku ve vakuu, vyznačená tím, že je tvořena vstupním optickým hranolem (3), jehož vstupní stěna je opatřena scintilační destičkou (1), přičemž za jeho výstupní stěnou v optické ose je umístěna planparalelní destička (6) oddělující vakuový prostor, a za ní vstupní objektiv (5), záměrná destička (7), výstupní objektiv (8) a výstupní optický hranol (9) s okulárem (10).