CS230061B1 - Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody - Google Patents
Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody Download PDFInfo
- Publication number
- CS230061B1 CS230061B1 CS277882A CS277882A CS230061B1 CS 230061 B1 CS230061 B1 CS 230061B1 CS 277882 A CS277882 A CS 277882A CS 277882 A CS277882 A CS 277882A CS 230061 B1 CS230061 B1 CS 230061B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- cathode
- electrolyte
- voltage
- dielectric layers
- differential amplifier
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 14
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 4
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims description 3
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N Tartaric acid Natural products [H+].[H+].[O-]C(=O)C(O)C(O)C([O-])=O FEWJPZIEWOKRBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010407 anodic oxide Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N helium neon Chemical compound [He].[Ne] CPBQJMYROZQQJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 235000002906 tartaric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000011975 tartaric acid Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
Vynález se týká způsobu a zapojení k měření dielektrlckých vrstev v dutině katody pro plynový laser»
Katody plynových laserů jsou tvořeny zpravidla válcovou dutinou, na jejímž vnitřním povrchu je vytvořena tenká ďielektrická vrstva omezující rozprašování katody a zvyšující její životnost až o několik řádů. Pro výrobu těchto katod je žádoucí kontrola vlastností této vrstvy s možností jejího ovlivnění v technologickém procesu. Dosavadní způsob kontroly požadovaných kvalitativních parametrů katody se provádí poměrně obtížným způsobem. Katodu je třeba rozřezat na řadu vzorků. Dielektrická vrstva je přepažena kovovou protielektrodou a takto vytvořený systém kovdielektrikum-kov je podroben měření. Vyhodnocením parametrů řady vzorků se získá informace o rozložení a parametrech dielektrické vrstvy v dutině katody.
Nevýhodou dosavadního způsobu měření je, že katoda, která byla rozřezána na řadu vzorků, byla nenávratně zničena, nebylo možno vyloučit mechanickou deformaci vzorků při jejich vydělování z katody a tím i zkreslení výsledků.
Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje způsob měření dielektrických vrstev v dutině katody pro plynový laser, jehož podstatou je, že katoda s vytvořenou vnitřní dielektrickou vrstvou, uzavřená dnem z nevodivého materiálu sé naplní nejméně do výše 5 ®m elektrolytem a poté se mezi něj a vnější povrch katody přivádí napětí a snímá se volt-ampérová charakteristika elektrolytem pokryté dielektrické vrstvy, načež se vyvolá anodická oxidace zvýšením přiváděného maximálního napětí při snímání volt-ampérové charakteristiky alespoň na dvojnásobek a poté se přidá stejná dávka elektrolytu a měření se znovu opakuje, až po naplnění katody elektrolytem po její horní okraj.
230 001
Měření je umožněno zapojením, jehož podstatou je, že je tvo řeno řídícím obvodem spojeným jednak přes zdroj pilového napětí, diferenciální zesilovač a jednak přes vazební vodič s uzlem klad ného pólu měřené katody a se svorkou x horizontální osy zapisovače, jehož svorka y vertikální osy je spojena jednak s druhým vstupem diferenciálního zesilovače a jednak přes převodník proud napětí se záporným pólem měřené katody·
Hlavní předností tohoto způsobu měření je, že nedojde k destrukci katody a tuto je po sleptání vytvořené dielektrické vrst vy možno použít k dalším experimentům. Navíc lze poměrně rychle získat informace o rozložení dielektrické vrstvy v dutině katody bez rizika ovlivnění výsledků deformací vzorků.
Vynález blíže objasní přiložený výkres, kde na obr. 1 je na značená sestavená měřená katoda, na obr. 2 voltampérová charakte ristika v oblasti anodické polarizace, na obr. 3 blokové schéma zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody.
Katodu 10 pro plynový laser tvoří válcová dutina na horním okraji uzavřená, jak je patrno z obr. 1. Vnitřní dielektrické vrstva 11 v dutině katody 10 je vytvořena např. oxidací v plasmě doutnavého výboje. Katoda 10 je vespod vodotěsně uzavřena dnem 12 z nevodivého materiálu, inertního vůči elektrolytu 13« jehož první náplň je vyznačena výškovou hladinou a. Elektrický okruh měřené katody 10 se uzavírá přes spojovací elektrodu l4, např. hliníkový drát, mající zápornou polaritu a vnější povrch katody 10 mající kladnou polaritu. Elektrolyt tvoří např. kyselina vinná upravená čpavkem na pH«5,5, což však není podmínkou, může být nahrazen elektrolytem i jiného složení, který vytváří na kovu, z něhož je katoda vyrobena, vysokoohmovou anodickou oxidovou vrstvu.
Volt-ampérová charakteristika na obr. 2 představuje závislost napětí U/V/ na proudu I/A/. Napětí Uk představuje hranici, kdy iontová složka proudu začíná převládat nad elektronovou.
Blokové schéma na obr. 3 sestává z řídícího obvodu 1^, který je spojen jednak přímo a jednak přes zdroj 2 pilového napětí a diferenciální zesilovač 3 s uzlem kladného pólu měřeného vzorku £ katody 10 a se svorkou x horizontální osy zapisovače j6, který je svorkou £ vertikální osy spojen s druhým vstupem diferenciál5
230 001 ního zesilovače a jednak přes převodník proud-napěti se záporným pólem měřeného vzorku £ katody 10.
Postup při měření dielektrických vrstev je následující. Dnem uzavřená katoda 10 se naplní do výše alespoň 5 mm elektrolytem 13. Pláší katody 10 se připojí na diferenciální zesilovač ji a spojovací elektroda se spojí přes převodník £ proudu na napětí s diferenciálním zesilovačem J(. Vybavením řídícího obvodu 1 se uvede do činnosti zdroj 2 pilového napětí, který je řídícím obvodem 1 řízen tak, aby se na výstupu diferenciálního zesilovače 3 objevilo narůstající kladné napětí takového průběhu, že pro přírůstek napětí AU a přírůstek proudu Al platí vztah;
Zl U + Δΐ = konstantě
Proudová zpětná vazba je uzavřena z diferenciálního zesilovače 3 přes měřený vzorek j? katody 10 a převodník 4 proudu napětí na diferenciální zesilovač Napěťová zpětná vazba z diferenciálního zesilovače 3 je uzavřena přes řídící obvod 1 a zdroj 2 pilového napětí na diferenciální zesilovač 3· Během měření je souřadnicovým zapisovačem 6 zapsána volt-ampérová charakteristika dielektrické vrstvy 11 (viz obr. 2). Po zapsání V-A charakteristiky zajistí řídící obvod 1 nastavení napětí na diferenciálním zesilovači tak, aby bylo nejméně 2x větší než U^. Po skončení anodické oxidace části katody 10 zaplněné elektrolytem 13 vybavíme řídící obvod 1, který nastaví celé zapojení do výchozí polohy, aby po dolití další dávky elektrolytu 13 do katody 10 byl měřící obvod připraven pro zakreslení volt-ampérové charakteristiky dalšího segmentu.
Vynález je určen k využití při konstrukci studených katod helium-neonových laserů.
Claims (2)
- 4.-Způsob k měření dielektriokých vrstev v dutině katody pro plynový laser, vyznačený tím, že katoda s vytvořenou vnitřní dielektrickou vrstvou, uzavřená dnem z nevodivého materiálu se naplní nejméně do výše 5 n® elektrolytem a poté se mezi něj a vnější povrch katody přivádí napětí a snímá volt-ampérová charakteristika elektrolytem pokryté dielektrické vrstvy, načež se vyvolává anodická oxidace zvýšením přiváděného maximálního napětí při snímání volt-ampérové charakteristiky alespoň na dvojnásobek a poté se přidá stejná dávka elektrolytu a měření se znovu opakuje, až po naplnění katody elektrolytem po její horní okraj.
- 2,Zapojení k měření dielektriokých vrstev v dutině katody pro plynový laser, vyznačené tím, že je tvořeno řídíoím obvodem (l) spojeným jednak přes zdroj (2) pilového napětí, diferenciální zesilovač (3) a jednak přes vazební vodič s uzlem kladného pólu měřeného vzorku (5) katody (lO) a se svorkou (x) horizontální osy zapisovače (6), jehož svorka (y) vertikální osy je spojena jednak s druhým vstupem diferenciálního zesilovače (3) a jednak přes převodník (4) proud-napětí se záporným pólem měřeného vzorku (5) katody (lO).
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS277882A CS230061B1 (cs) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS277882A CS230061B1 (cs) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS230061B1 true CS230061B1 (cs) | 1984-07-16 |
Family
ID=5365844
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS277882A CS230061B1 (cs) | 1982-04-19 | 1982-04-19 | Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS230061B1 (cs) |
-
1982
- 1982-04-19 CS CS277882A patent/CS230061B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Amatore et al. | Electrochemical kinetics at microelectrodes: Part IV. Electrochemistry in media of low ionic strength | |
| Murray et al. | Chronopotentiometric and Chronocoulometric Measurements of Adsorption of Lead and Mercury (II) at Mercury Electrodes. | |
| AU5290079A (en) | Measuring ph | |
| EP0849590A3 (en) | Gas sensor | |
| CS230061B1 (cs) | Způsob a zapojení k měření dielektrických vrstev v dutině katody | |
| US5322601A (en) | Amperometric gas sensor to selectively determine the partial pressures of a gas | |
| EP2861975B1 (de) | Verwendung eines referenzsystems für elektrochemische analyse- und abscheideverfahren | |
| US3975681A (en) | Electrode for measuring thickness of dielectric layers on conductive substrates | |
| JPS61280560A (ja) | 酸素濃度測定方法 | |
| US4306775A (en) | Electrolytic display cell and control therefor | |
| US4430164A (en) | Fault-compensating electro-analytical measuring process and equipment | |
| DE102020121683A1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Sensorelements für einen potentiometrischen Sensor | |
| ATE142017T1 (de) | Patronenförmiges ableitelement für potentiometrische messketten und verfahren zu dessen herstellung | |
| US2842736A (en) | Polarograph | |
| JPH053909B2 (cs) | ||
| WO1983001687A1 (en) | Pulsed electro-analysis | |
| SU808564A1 (ru) | Способ измерени поверхности де-ТАли | |
| JPS57192850A (en) | Detecting device for limit current system oxygen concentration performing internal resistance compensation | |
| US7800376B2 (en) | Method and device for measuring ultrahigh vacuum | |
| WO2019228979A1 (de) | Potentiometrische messkette und verfahren zur ph-wert-bestimmung | |
| WO1989003991A1 (en) | Methods of detecting micro-organisms | |
| US4101823A (en) | Method and apparatus for measuring cathode emission slump | |
| Rammelt et al. | The Influence of Geometry in a Two Electrode Arrangement and the Results of the Impedance Measurement by Corrosion Tests | |
| EP0942280A1 (en) | Automatic measuring device for the concentration of a developing agent | |
| SU1514833A1 (ru) | Способ электролиза и потенциостатическа установка дл его осуществлени |