CS226759B1 - Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin - Google Patents

Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin Download PDF

Info

Publication number
CS226759B1
CS226759B1 CS344280A CS344280A CS226759B1 CS 226759 B1 CS226759 B1 CS 226759B1 CS 344280 A CS344280 A CS 344280A CS 344280 A CS344280 A CS 344280A CS 226759 B1 CS226759 B1 CS 226759B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
sensor
connection
semiconductor sensor
output
mechanical quantities
Prior art date
Application number
CS344280A
Other languages
English (en)
Inventor
Frantisek Ing Klein
Original Assignee
Klein Frantisek
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Klein Frantisek filed Critical Klein Frantisek
Priority to CS344280A priority Critical patent/CS226759B1/cs
Publication of CS226759B1 publication Critical patent/CS226759B1/cs

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)

Abstract

Předmětem vynálezu je zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin, zvláště tlaku kapalin, (dále jen "snímač"), jehož napájecí vstup je spojen s výstupem řídícího proudového zdroje. Zapojení je vhodné zejména pro snímače tlaku hlubinných manometrů., používaných v hydrogeologii.

Description

Předmětem vynálezu je zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin, zvláště tlaku kapalin, (dále jen snímač), jehož napájecí vstup je spojen s výstupem řídícího proudového zdroje. Zapojení je vhodné zejména pro snímače tlaku hlubinných manometrů., používaných v hydrogeologii.
Snímače pro měření fyzikálně mechanických veličin, např. tlaku, síly, zrychlení, vibrací, kroutícího momentu apod., musí vykazovat přímo úměrnou závislost výstupního napětí na vstupní, měřené fyzikálně mechanické veličině. Vliv materiálových konstant, geometrických rozměrů, snímacích a oddělovacích membrán, nepatrné změny v technologii výroby a podobné faktory způsobují narušení vypočtené přímo úměrné závislosti, což se projevuje nelinearitou převodní charakteristiky snímače. Zpravidla činí 0,25 až 0,5 % z měřicího rozsahu.
Jsou známá zapojení tenzometrických polovodičových snímačů, jejichž nelinearita převodní charakteristiky jexkompenzována přídavným tenzometrem (CS AO 142 059, 142 053). Přídavný tenzometr je zapojen bud v obvodu děliče výstupního nebo napájecího napětí, nebo v obvodu zesilovače výstupního signálu. Přídavný tenzometr mění svůj odpor v závislosti na měřené veličině a v součinnosti s dalšími prvky zapojení mění napájecí napětí snímače tak, že průběh převodní charakteristiky snímače je linearizován.
Nevýhodou těchto zapojení je jejich obtížné uplatnění v opakované a sériové výrobě.
226 759
226 759
Technické parametry snímačů totiž vykazují zr-čný rozptyl a umístění přídavných tenzometrů, jejich poloha a orientace je závislá na individuálních parametrech snímače. Dodatečná montáž přídavných tenzometrů na měrné členy snímačů není technicky proveditelná.
Jsou také známá zapojení tenzometrických polovodičových snímačů mechanických veličin, jejichž nelinearita převodní charakteristiky je dodatečně korigována (J. Bretachi, Technisches liessen, 1976, atr. 223, 305, 349). Zlepšení linearity se dosahuje bud zmenšením měřicího rozsahu nebo optimalizací pracovního bodu nebo paralelní korekcí, např. Wheatstoneovým mostem, nebo sériovou korekcí, např. diodovými funkčními generátory, nebo elektromechanickou zpětnou vazbou.
Nevýhodou známých zapojení umožňujících dodatečnou korekci převodní charakteristiky je buď jen částečné zlepšení linearity nebo výrobně složité, nákladné a prakticky ne vždy proveditelné řešení.
Uvedené nevýhody odstraňuje zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin podle vynálezu, jehož podstata spočívá v tom, že na výstup tenzometrického polovodičového snímače je diferenciálním vstupem připojen diferenciální zesilovač, spojený signálovým výstupem přes kompenzační odpor s řídicím vstupem řídicího proudového zdroje·
Výhodou zapojení podle vynálezu'je, že nelinearity převodní charakteristiky snímače je dodatečně kompenzována v závislosti na měřené fyzikálně mechanické veličině. Odpadá pracný výběr snímačů, vykazujících požadovanou linearitu převodní charakteristiky. Výrazně se zmenší množství nepoužitelných snímačů. Zvýší se citlivost a přesnost snímačů o jeden až dva desetinné řády. Zapojení je výrobně jednoduché a způsobilé pro sériovou výrobu.
Konkrétní příklad zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin podle vynálezu je schematicky blokově znázorněn na přiloženém výkrese.
Tenzometrický polovodičový snímač 2. je napájecím vstupem 6 spojen s výstupem 2 řídícího proudového zdroje χ. Na výstup X snímače 2 je diferenciálním vstupem 8 připojen diferenciální zesilovač 2, spojený signálovým výstupem 2 přes kompenzační odpor £ a řídícím vstupem lo řídícího proudového zdroje i·
Výatupní napětí snímače 2 je funkcí měřené veličiny, např. tlaku, napájecího proudu a teploty. Se zanedbáním teplotního vlivu pro ně platí vztah u = f ( p, i ) (l) kde značí výstupní napětí, £ tlak a i napájecí proud. Je-li napájecí proud i konstantní, je možno vyjádřit převodní charakteristiku snímače 2 řadou 2 3 u i ( ex p + C2 p + Oj p + .,; ) (2) v níž c^, <%>, jeou konstanty, stanovené provedením snímače 2. Linearizačního účinku převodní charakteristiky se dosahuje v zapojení podle vynálezu tím, že snímač 2 je napájen z řídícího proudového zdroje i, jehož velikost závisí lineárně na měřené veličině, na tlaku £ podle vztahu imi0(l+k.p) (3) kde k je konstanta stanovená zapojením řídícího proudového zdroje χ, citlivostí snímače zesílením diferenciálního zesilovače 2 a velikostí kompenzačního obvodu £. S použitím vztahů (2) a (3) lze vztah (l) formulovat
226 759
3 a 1θ (l + k . p) (c^p + Cgp + e^pJ + ...)
2 3 34 4 nebo u « Íq (c^jp + c2P^ + k · c1p<: + o-jp* + k . CjP* + c^p* + k . c^p4 + (4)
Členy třetího a vyšších řádů mají v praxi zanedbatelný vliv, takže vztah (4) lze upravit u Íq ( CpP * p (¾ + k.Cj^ ) (5)
Ze vztahu (5) vyplývá, že pro bude výstupní napětí snímače 3 lineární funkcí vstupní měřené veličiny, např. tlaku V zapojení podle vynálezu se požadovaná velikost konstanty k nastaví kompenzačním odporem 4. Zapojení snímače 2. s takto nastaveným kompenzačním odporem 4 linearizuje závislost jeho výstupního napětí na měřené fyzikálně mechanické veličině. Změní-li se velikost měřené fysikálně mechanické veličiny, změní se rozdílové napětí na výstupu ¥ snímače 2.· Siferenciální zesilovač 2 j® upraví a zesílí, takže výstupní napětí na jeho signálovém výstupu 9, vyvolá změnu řídicího proudu, tekoucího přes sériově zapojený kompenzační odpor 4 řídicím vstupem 10 do řídicího proudového zdroje 1 . Kompenzační odpor 4, jehož velikost je volena podle nelinearity převodní charakteristiky snímače 2 způsobí, že proud vycházející z řídicího proudového zdroje 1 má právě takovou hodnotu, která je nutná pro kompenzaci nelinearity snímače 2.

Claims (1)

  1. Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin, zvláště tlaku kapalin, jehož napájecí vstup je spojen s výstupem řídícího proudového zdroje, vyznačené tím, že na výstup (7) tenzometrického polovodičového snímače (2) je diferenciálním vstupem (8) připojen diferenciální zesilovač (3), spojený signálovým výstupem (9) přes kompenzační odpor (4) s řídícím vstupem (10) řídícího proudového zdroje (l).
CS344280A 1980-05-19 1980-05-19 Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin CS226759B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS344280A CS226759B1 (cs) 1980-05-19 1980-05-19 Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS344280A CS226759B1 (cs) 1980-05-19 1980-05-19 Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS226759B1 true CS226759B1 (cs) 1984-04-16

Family

ID=5374494

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS344280A CS226759B1 (cs) 1980-05-19 1980-05-19 Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS226759B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101936791B (zh) 数字压力计
US4986131A (en) Semiconductor strain detector
CN1122631A (zh) 具有完整温度信号的应变仪传感器
GB1591620A (en) Signal-conditioning circuits
US3228240A (en) Linearization of load cells
JP2579143B2 (ja) プロセス変数センサのディジタル補正の方法およびそのためのプロセス変数発信器
US20160033256A1 (en) Electronic interface for lvdt-type pressure transducers using piezoresistive sensors
US4190796A (en) Pressure detecting apparatus having linear output characteristic
Kleckers Force sensors for strain gauge and piezoelectric crystal-based mechatronic systems-a comparison
US3518886A (en) Analog converter
US3617878A (en) Ac to de high-accuracy low-level voltage measuring system
CS226759B1 (cs) Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin
CN203053529U (zh) 一种称重装置
CN114910152A (zh) 一种称重计量仪表的精度修正方法
Suryana et al. Strain gage for mass sensor using cantilever beam
Welsh et al. A method to improve the temperature stability of semiconductor strain gauge transducers
CN1111729C (zh) 带远处膜片及其校正电路的压力变送器
US11774302B2 (en) Sensor apparatus
US4001669A (en) Compensating bridge circuit
CS225665B1 (cs) Zapojení tenzometrického polovodičového snímače mechanických veličin
JPS6039521A (ja) 温度補償付力測定装置
CN88203185U (zh) 热敏电阻线性化器
SU1663460A1 (ru) Датчик давлени
JP2948958B2 (ja) トランスジューサ回路
RU1827013C (ru) Тензометрическое устройство