CS225975B1

CS225975B1 - Electron beam deflecting circuitry in automatic image focusing processes

Info

Publication number: CS225975B1
Application number: CS119682A
Authority: CS
Inventors: Ludek Rndr Frank; Petr Rndr Vasina
Original assignee: Ludek Rndr Frank; Petr Rndr Vasina
Priority date: 1982-02-22
Filing date: 1982-02-22
Publication date: 1984-03-19

Description

Vynález se týká zapojení pro vyohylování elektronového svazku při automatickém zaostřování obrazu v rastrovacím elektronově optickém systému.The present invention relates to an electron beam deflection circuit for automatically focusing an image in a scanning electron optical system.

V rastrovacím elektronově optickém systému je obraz zkoumaného objektu vytvářen tím způsobem, že zkoumaný objekt je ohledávám soustředěným svazkem primárních elektronů a je detekován v závislosti na okamžité poloze svazku primárních elektronů obrazový signál, který může být tvořen signálem sekundární emise libovolného druhu, odraženými nebo prošlými elektrony anebo proudem ze vzorku do zemního vodiče. Detekovaný obrazový signál je používán k bezprostřední modulaci zobrazovacího elektronového svazku v monitoru rastrovacího elektronově optického systému. Vyohylování obou elektronových svazků probíhá synchronně, takže na monitoru je výtvořen obraz, jehož zvětšení je dáno poměrem rozkmitů obou vychylovaných elektronových svazků od příslušných optiokýoh os a jehož lokální jas odpovídá intenzitě zvoleného obrazového signálu v příslušném bodě zkoumaného objektu.In a scanning electron optical system, the image of the object to be examined is formed by the object being examined by a focused primary electron beam and, depending on the instantaneous position of the primary electron beam, an image signal is detected which may consist of a secondary emission signal of any kind, reflected or transmitted electrons or current from the sample to the ground conductor. The detected image signal is used to directly modulate the imaging electron beam in the monitor of the scanning electron optical system. The deflection of the two electron beams takes place synchronously, so that an image is produced on the monitor whose magnification is given by the ratio of the oscillations of the two deflected electron beams from the respective optiocy axes and whose local brightness corresponds to the intensity of the selected video signal at the respective point of the object.

V rastrovacím elektronově optickém systému je tedy bezprostředně k dispozici elektrická veličina úměrná hodnotě obrazového signálu v bodě odpovídajícím okamžitému stavu vyohylování svazku primárních elektronů, které probíhá v řádcích. Jestliže tento signál v pravidelných intervalech digitalizujeme, dostaneme obraz jako matici hodnot funkce dvou proměnných.Thus, in a scanning electron optical system, an electrical quantity proportional to the value of the video signal at a point corresponding to the instantaneous deflection state of the primary electron beam that occurs in rows is immediately available. If we digitize this signal at regular intervals, we get the image as a matrix of the values of the function of two variables.

Tuto matici lze on-line zpracovávat v počítači, ukládat v jeho paměti a eventuelně dále zpracovávat off-line.This matrix can be processed on-line in a computer, stored in its memory and possibly further processed off-line.

Vyřešení automatického zaostřování rastrovacího elektronové optického systému předpokládá realizovat pomooí speciální elektroniky čtyři základní funkoe:The solution of autofocusing of the scanning electron optical system assumes four basic functions using special electronics:

- vytvoření matice diskrétních hodnot obrazové funkce- creating a matrix of discrete values of the image function

- vyhodnocení obrazu oo do ostrosti- evaluation of the image oo into sharpness

- rozhodnutí o stavu seřízení optioké soustavy a určení parametrů žádaného etavu- deciding on the state of alignment of the optic system and determining the parameters of the desired etave

- nastavení optické soustavy podle vypočtenýoh parametrů.- setting the optical system according to the calculated parameters.

Tyto kroky se opakují v iterační smyčce ukončené na základě rozhodovacího kritéria, jehož volba souvisí se způsobem vyhodnocování ostrosti obrazu.These steps are repeated in an iteration loop terminated based on a decision criterion, the choice of which is related to the method of evaluating the sharpness of the image.

Základním problémem je vyhodnocení ostrosti obrazu. Nemáme-li k dispozioi žádné informace o zobrazeném objektu, pak můžeme k hodnocení obrazu využívat jen jeho prostorové frekvenčních charakteristik. Tato oesta zahrnuje použití dvourozměrných ortogonálníoh transformací obrazu. Potřebné programy jspu poměrně pomalé a vyžadují značný objem paměti počítače. Existují také nákladné speciální procesory pro ortogonální transformace, avšak žádný z těohto způsobů vyhodnocování obrazu nepřichází z ekonomického a provozního hlediska v úvahu pro rutinní zaostřování rastrovacího elektronově optického systému.The basic problem is the evaluation of image sharpness. If we do not have any information about the displayed object, then we can use only its spatial frequency characteristics to evaluate the image. This oesta involves the use of two-dimensional orthogonal image transformations. The required programs are relatively slow and require a considerable amount of computer memory. There are also expensive special processors for orthogonal transformations, but none of these methods of image evaluation is economically and operationally suitable for routine focusing of a scanning electron optical system.

Předpokládáme-li však například v zobrazeném objektu nevelký počet kontrastních hran, oož lze obvykle zajistit, pak máme možnost vycházet z gradientu obrazového signálu. Gradient obrazového signálu na kontrastní hraně v obraze lze považovat za veličinu kvantitativně charakterizující stav zaostření obrazu.However, if we assume, for example, a small number of contrasting edges in the displayed object, which can usually be ensured, then we have the possibility to start from the gradient of the video signal. The gradient of the image signal at the contrast edge in the image can be considered a quantity quantitatively characterizing the state of focus of the image.

Výpočet gradientu obrazového signálu tvořeného složkou ve směru řádku a složkou ve směru sloupce obrazové matioe, tj. ve směru vodorovném a svislém na obrazovce monitoru, můžeme ovšem provádět jen s oelou obrazovou matioí, musíme tedy praoovat s obrazovou maticí zapsanou v paměti péčítače. Pouze řádkovou složku gradientu obrazového signálu by bylo možná určovat v reálném čase. Tento způsob je zřejmě v principu pomalý a navío vyžaduje, aby byla k dispozici obrazová paměl. Musíme se však na něj omezit proto, že obrazové matioe je vytvářena po řádcích a sloupcovou složku gradientu obrazového signálu nelze vypočítávat on-line. Tyto důvody dosud rozhodujícím způsobem omezovaly vývoj a používání)přijatelně jednoduchých prostředků pro automatické zaostřování rastrovacích elektronově optických systémů.However, the gradient of the image signal consisting of the component in the row direction and the component in the column direction of the image matioe, ie in the horizontal and vertical direction on the monitor screen, can only be calculated with a large image matrix. Only the line component of the image signal gradient could be determined in real time. This method is apparently slow in principle and, moreover, requires that image memory be available. However, we have to confine ourselves to this because the image matioe is created line by line and the column component of the image signal gradient cannot be calculated online. These reasons have so far decisively limited the development and use) of reasonably simple means for automatically focusing scanning electron optical systems.

Tyto nevýhody odstraňuje zapojení pro vyehylování elektronového svazku při automatickém zaostřování obrazu, jehož podstatou je, že třetí až deeátý výstup přvmího čítače je spojen s prvními osmi vstupy multuplexeru, jehož druhýofc osm vstupů je spojeno s kladnou svorkou zdroje napětí, přičemž první až osmý výstup multiplexeru je spojen p prvním až osmým vstupem druhého a třetího čítače, jejichž první až osmý výstup jsou spojeny přes číslicově analogová převodníky s výstupy pro vyehylování elektronového svazku v osách x, y, přičemž vstupní svorka , vstupní svorka hodinových impulsů a výstupní svorka jsou spojeny s prvním, druhým vstupem a jedenáctým výstupem řídícího obvodu, jehož třetí, čtvrtý a pátý vstup a první a dvanáctý výstup je spojen s prvním, druhým a přenosovým výstupem a nulovaoím a hodinovým vstupem prvního čítače, zatímco přepínací vstup multiplexeru je spojen s druhou výstupní svorkou řídioího obvodu, jehož třetí, čtvrtý, pátý a šestý výstup je spojen s prvním, druhým hodinovým vstupem, nastavovacím a nulovaoím vstupem druhého čítač, přičemž sedmý, osmý, devátý a desátý výstup řídícího obvodu je spojen e prvním, druhým hodinovým vstupem a nulovaoím vstupem třetího čítače.These drawbacks are eliminated by electron beam autofocus wiring, whereby the third to the tenth output of the direct counter is connected to the first eight inputs of the multuplexer, the second of the eight inputs being connected to the positive terminal of the power supply, the first to the eightth output of the multiplexer it is connected by the first to eighth inputs of the second and third counters, whose first to eighth outputs are connected via digital analogue converters to the outputs for electron beam electronization in x, y axes, the input terminal, clock input terminal and output terminal connected to the first , a second input and an eleventh output of a control circuit whose third, fourth and fifth inputs and the first and twelfth outputs are coupled to the first, second and transmission outputs, and the zero and hour inputs of the first counter, while the multiplexer switching input is coupled to the second a control circuit output terminal of which the third, fourth, fifth and sixth outputs are coupled to the first, second clock inputs, the set and reset inputs of the second counter, the seventh, eighth, ninth, and tenth control circuit outputs being coupled to the first, second clock inputs; by resetting the third counter.

Vyšší účinky dosahované použitím zapojení podle vynálezu spočívají v tam, že řídící elektronická jednotka pro automatické zaostřování obraze má střídavě k dispozioi obrazový signál snímaný podél řádku a signál snímaný podél sloupce obrazové matice, jejichž zpracováním so získávají obš složky gradientu obrazového signálu v rovině rastrovacího obrazu a ostrost rastrovaného obrazu lze tedy na základě gradientu vyhodnotit onrline bez použití obrazové paměti· Dvojí přeběh řádku i sloupce obrazové matioe v navzájem opačnýoh směrech umožňuje využívat prvního přeběhu ke kalibraci vyhodnocovacího obvodu řídící elektronické jednotky a kompenzaci hysteaeze vychylování. Například u dokonalejšího systému vázaného kromě gradientu i na kontrast obrazu lze v prvním přeběhu řádku nebo sloupoe nastavovat komparační hladiny, mezi nimiž se pak ve druhém přeběhu měří čas náběhu signálu· Komparační hladiny zítkané ve druhém přeběhu se použijí k vyhodnocení následujícího přeběhu atd·The higher effects achieved by using the circuitry of the present invention are that the control unit for automatically focusing the image has alternately a video signal scanned along a row and a signal scanned along a column of the image matrix to process both components of the image signal gradient in the scanning image plane; Thus, the raster image sharpness can be evaluated on-line based on the gradient without the use of image memory. · Double sweep of the row and column of the image matrix in opposite directions allows to use the first sweep to calibrate the evaluation circuit of the control electronic unit and compensate for hysteaesis. For example, in a more advanced system, in addition to the gradient and image contrast, comparative levels can be set in the first sweep of a row or column, between which the signal rise time is measured in the second sweep. · Comparison levels obtained in the second sweep are used to evaluate the following sweep etc.

Vynález blíže objasní přiložený výkres, kde na obr· 1 je uveden příklad zapojení, na obr· 2 je znázorněna stopa průběhu elektronového svazku na monitoru a na zkoumaném objektu y elektronově optickém rastrovacím systému·The invention will be explained in more detail with the aid of the accompanying drawing, in which FIG. 1 shows an example of connection, FIG.

Zapojení na obr. 1 sestává ze tří čítačů 1, 2, J, multiplexeru £ a řídícího obvodu g, který je spojen se vstupní svorkou £ prvním vstupem 13., druhým vstupem 12 se vstupní svorkou 10 hodinových impulsů a jedenáctým výstupem Vil s výstupní svorkou 11. První čítač 1 je spojen s řídioím obvodem g, a to nulovaoím vstupem g a prvním výstupem VI, hodinovým výstupem CÍP s dvanáctým výstupem V12, prvním a druhým výstupem Ql. Q2 a přenosovým výstupem CY se třetím, čtvrtým a pátým vstupem 13. 14. 15. Dále pak druhý výstup V2 řídícího obvodu £ je spojen s přepínaoím vstupem P multiplexeru £, třetí, čtvrtýj pátý a šestý výstup Y3. V4t V5 a V6 je spojen s prvním a druhým hodinovým vstupem CXP. GXDt s nastavovacím vstupem SX a s nulovacíA vstupem RX druhého čítače g. Podobným způsobem je propojen třetí čítač J s řídícím obvodem g, a to sedmým a osmým výstupem 22, V8 s prvním a druhým hodinovým vstupem OYU. CYD. devátým a desátým výstupem V9. V10 s nastavovacím vstupem SY a nulovacím vstupem RY. Třetí až desátý výstup Q3 až QlO prvního čítače i je spojen s prvními osmi vstupy Al až A8 multiplexeru £, přičemž jeho osm druhých vstupů Bl až B8 je spojeno s kladnou svorkou £ zdroje napětí, zatímoo jeho první až osmý výstup JI až Yg je paralelně spojen se vstupy DX1 až DX8 a DY1 až DY8 druhého a třetího čítače 2 a J, jejichž osm výstupů QX1 až QX8 a QY1 až QY8 je spojeno přes číslioobě analogové převodníky 6, 2 s výstupy pro vychylování elektronového svazku v oeóoh x, y.The circuit in FIG. 1 consists of three counters 1, 2, J, multiplexer 8 and control circuit g, which is connected to input terminal 8 by first input 13, second input 12 to input terminal 10 clock pulses and eleventh output Vil with output terminal 11. The first counter 1 is coupled to the control circuit g by a zero input g and a first output VI, a clock output C1P with a twelfth output V12, a first and a second output Q1. Q2 and transmission output CY with the third, fourth and fifth inputs 13. 14. 15. Further, the second output V2 of the control circuit 6 is connected to the switching input P of the multiplexer 8, the third, fourth fifth and sixth outputs Y3. V4t V5 and V6 are connected to the first and second clock inputs CXP. In a similar manner, the third counter J is connected to the control circuit g by the seventh and eighth outputs 22, V8 with the first and second clock inputs OYU. CYD. the ninth and tenth outputs of V9. V10 with setting input SY and reset input RY. The third to tenth outputs Q3 to Q10 of the first counter 1 are coupled to the first eight inputs A1 to A8 of the multiplexer 6, and its eight second inputs B1 to B8 are connected to the positive terminal 6 of the power supply while its first to eighth outputs J1 to Yg are parallel. connected to inputs DX1 to DX8 and DY1 to DY8 of the second and third counters 2 and J, whose eight outputs QX1 to QX8 and QY1 to QY8 are connected via digital to analogue converters 6, 2 with outputs for deflecting the electron beam in ω0oh x, y.

Průběh elektronového svazku ne monitoru a na zkoumaném objektu v elektronově optickém rastrovacím systému je na obr. 2 znázorněn stopou elektronového svazku v n-téra cyklu vychylování mezi bodem Α_ρ, začátkem n-tého horizontálního řádku a bodem A^^, začátkem (n+l)n£ho horizontálního řádku. Elektronový paprsek je z bodu ^vychyl ován v řádkovém horizontálním směru j? tam a zpět, pak je proveden šikmý, zpětný, čárkovaně naznačený běh do bodu B_nn-tého řádku ve vertikálním směru s, n-tého ikuppoo. Elektronový paprsek rovněž absolvuje n-tý sloupec obrazu tam i zpět a cyklus je ukončen zpětným během do výchozího bodu A_n+j dalšího řádku.The waveform of the electron beam on the monitor and the object in the electron optical scanning system is shown in Fig. 2 by the trace of the electron beam in the n-tier of the deflection cycle between the point Α _ρ , the beginning of the nth horizontal line and the point A ^^ l) its horizontal line. The electron beam is deflected from the point ^ in the line horizontal direction j? back and forth, it is made oblique, reverse, indicated by the dashed lines running to the point B _n of n-th row in the vertical direction with n-th ikuppoo. The electron beam also passes through the n-th column of the image back and forth and the cycle is terminated backward to the starting point A _{n +} j of the next row.

Zapojení podle vynálezu se uvádí do provozu přivedením startovacího impulsu ke vstupní svorce á' čímž se vynulují všeohny tři čítače 1, g, g. Krátkým impulsem přivedeným z řídícího obvodu % na nulovací vstupy £, RX. RY všech tří čítačů 1, 2, 2» ⁸⁶ zapojení uvede do takzvaného vyohylovaoího cyklů e následujícím průběhem. Tímto impulsem propojí multiplexer £ nastavovací vstupy DX1 až DX8. resp. DYl až DY8 druhého a třetího čítače £, 2 ke třetímu až désátemu výstupu Q3 až Q10 prvního čítače 1. Třetí čítač 2 obdrží na nastavovací vstup SY impuls, který jej nastaví na číslo n-tého horizontálního řádku obsažená v prvním čítači 2 a současně impulsem na nulovací vstup RX druhého čítače 2 provede jeho vynulování. Jakmile obdrží druhý čítač 2 hodinové impulsy ha první hodinový vstup OXU z řídícího obvodu 2» proběhnou na jeho osmi výstupech uXl až 0X8 impulsy, které přes první číslicově analogový převodník £ vyvolávají vyohylování elektronového svazku ve směru osy x. Tím dojde k provedení horizontálního řádku na zkoumaném objektu a k jeho zaznamenání na monitoru v rastrovacím elektronově optickém systému z bodu An ve směru šipky doprava, viz obr. 2. Po dokončení tohoto řádkového průběhu vyšle řídící obvod 2 impuls k hodinovému vstupu CLU prvního čítače 1, čímž es změní stav na jeho prvním výstupu Ql. Novým impulsem z řídícího obvodu 2 ^na přepínací vstup P multiplexeru £ se propojí jeho druhé vstupy Bl až B8 se vstupy DX1 až DXB. resp. DY1 až DY8 druhého a třetího čítače 2 a J, které tím získávají vysokou logickou úroveň. Po obdržení nového Impulsu z řídícího obvodu 2 na nastavovací vstup SY druhého čítače £ a po příchodu hodinových pulsů na druhý hodinový vstup OXD druhého čítače 2 dojde přes výstupy <2J1 až QX8 a první Číslicově analogový převodník 6 k vyohylování elektronového svazku ve zpětném horizontálním směru x a tedy k provedení jednoho horizontálního řádku na zkoumaném objektu a k jeho zaznamenání na monitoru v rastrovacím elektronově optickém systému zpět k bodu An ve směru šipky doleva, viz obr. 2, Po ukénčení tohoto řádku vyšle řídící obvod 2 nový impuls k prvnímu čítači 1, který vyvolá změnu stavu na svých prvních dvou vý_ stupech Ql. 02. Po této změně vysílá řídící obvod 2 impuls na nulovací vstup RY třetího čítače J, který provede jeho vynulování. Poté řídící obvod 2 impulsem na přepínací vstup £ multůplexeru £ vyvolá propojení třetího až desátého výstupu Q3 až aio prvního čítače £ k osmi vstupům DX1 až DX8. resp. DYl až DY8 druhého a třetího čítače 2 a 2· Druhý čítač 2 obdrží na nastavovací vstup SX impuls, který jej nastaví na číslo n-tého vertikálního řádku, odpovídající okamžitému nastavení prvního počítače 1 a současně impulsem na nulovací vstup RY třetího čítače 2 &oho vynulování. Jakmile obdrží třetí čítač 2 impulsy na první hodinový vstup OYU. proběhnou na jeho osmi výstupech QY1 až QY8 impulsy, který přee druhý číslicově analogový převodník χ vyvolávají vyohylování elektronového svazku ve směru osy y. Tím dojde k provedení a zazanamenání vertikálního řádku na monitoru v rastrovacím elektronově optickém systému ve směru svislém seshora dolů, z bodu B_n vě směru šipky dolů, viz obr. 2.The circuit according to the invention is put into operation by applying a start pulse to the input terminal α ', thereby resetting all three counters 1, g, g. A short pulse is applied from the control circuit% to the reset inputs 8, RX. The RY of all three counters 1, 2, 2 » ⁸⁶ puts the wiring into the so-called power-up cycles e as follows. With this pulse, the multiplexer 8 connects the setting inputs DX1 to DX8. respectively. DY1 to DY8 of the second and third counters 8, 2 to the third to tenth output Q3 to Q10 of the first counter 1. The third counter 2 receives a pulse on the setting input SY, which sets it to the nth horizontal row number contained in the first counter 2 and pulse on the reset input RX of the second counter 2, it is reset. As soon as the second counter receives 2 clock pulses and the first clock input of the OXU from the control circuit 2, pulses occur at its eight outputs uX1 to 0X8 which cause the electron beam to deflect in the x-axis direction through the first digital-to-analog converter. This generates a horizontal line on the object to be examined and records it on the monitor in the scanning electron optical system from the point An in the direction of the arrow to the right, see Fig. 2. After completing this line, the control circuit 2 sends a pulse to the clock input CLU of the first counter 1; thus es changes the state on its first output Ql. A new pulse from the control circuit 2 ^{to the} switching input P of the multiplexer 8 connects its second inputs B1 to B8 with the inputs DX1 to DXB. respectively. DY1 to DY8 of the second and third counters 2 and J, which thereby obtain a high logical level. Upon receiving a new pulse from the control circuit 2 to the setting input SY of the second counter 6 and after receiving the clock pulses to the second clock input OXD of the second counter 2, the electron beam is deflected in the horizontal backward direction xa via outputs <2J1 to QX8. that is, to execute one horizontal line on the object under investigation and record it on the monitor in the scanning electron optical system back to the point An in the direction of the arrow to the left, see Fig. 2. After this line is finished, the control circuit 2 sends a new pulse to the first counter 1 state change at its first two outputs Q1. 02. After this change, the control circuit 2 sends a pulse to the reset input RY of the third counter J, which makes it reset. Thereafter, the control circuit 2 impulses the switching input 6 of the multiplexer 5 to connect the third to tenth outputs Q3 to a10 of the first counter 6 to the eight inputs DX1 to DX8. respectively. DY1 to DY8 of the second and third counters 2 and 2 · The second counter 2 receives a pulse on the set input SX, which sets it to the nth vertical row number corresponding to the instantaneous setting of the first computer 1 . As soon as the third counter receives 2 pulses for the first OYU clock input. there will be pulses on its eight outputs QY1 to QY8, which, via the second digital-to-analog converter χ, cause the electron beam to deflect in the y-axis direction. In this way, a vertical line on the monitor in the scanning electron optical system is executed and recorded in a vertical up-down direction, from point B _{n in the} downward direction of the arrow, see Fig. 2.

Po skončení tohoto svislého řádkového průběhu vyšle řídící obvod 2 impuls k hodinovému vstupu CLU prvního Čítače 1, čímž se změní stav na jeho prvním výstupu Ql. Novým impulsem z řídícího obvodu 2 k přepínacímu vstupu P multiplexeru £ se propojí jeho druhé vstupy £1 aŽ B8 se vstupy DX1 až DX8. resp. DYl až DY8 druhého a třetího čítače 2 a 2» která tím získávají vysokou logickou úroveň, a vyšle nastavovaeí impuls na nastavovací vstup SY třetího čítače 2· Nyní řídící obvod 2 vyšle impuls ke druhému hodinovému vstupu OYD třetího Čítače 2» čímž dojde přes výstupy QY1 až QY8 a druhý číslicově analogový převodník χ k vychylování elektronového svazku ve zpětném vertikálním směru y a tedy k provedení a zazname5 nání jednoho vertikálního řádku na monitoru v rastrovacím elektronově optickém systému ve směru svislém, avšak zezdola nahoru do bodu B ve směru šipky, viz obr. 2. Tím je zaznamenán n-tý sloupec z bodu B v obou směrech. Pe skončení tohoto přeběhu se celý shora popisoWH vany funkční proces znovu opakuje pro n+1 řádek a sloupe* v bodech Α_β+^, B_n+j· ukončení celého snímku vyšle řídící obvod £ impuls na výstupní svorku 11, čímž ohláší ukončení snímku a současně zastaví další činnost až do znovu odstratovéní.At the end of this vertical line waveform, the control circuit 2 sends a pulse to the clock input CLU of the first counter 1, thereby changing the state at its first output Q1. A new pulse from the control circuit 2 to the switching input P of the multiplexer 8 interconnects its second inputs 81 to B8 with the inputs DX1 to DX8. respectively. DY1 to DY8 of the second and third counters 2 and 2 »thereby acquiring a high logic level and sending a setting pulse to the setting input SY of the third counter 2 · Now the control circuit 2 sends a pulse to the second clock input OYD of the third counter 2» to QY8 and a second digital-to-analog converter χ for deflecting the electron beam in the vertical backward direction y and thus making and recording one vertical line on the monitor in the scanning electron optical system in the vertical direction but from the bottom up to point B in the arrow direction; 2. The n-th column from point B is recorded in both directions. At the end of this overflow, the entire process description is repeated for the n + 1 row and the columns * at the points Α _{β +} ^, B _{n +} j · terminate the entire frame, send a pulse control circuit 6 to the output terminal 11, at the same time it stops further activity until it is removed again.

Vynález je určen k využití zejména v elektronovém rastrovacím mikroskopu, případně v elektronovém litografu.The invention is intended in particular for use in an electron scanning microscope or an electron lithograph.

Claims

Wiring for deflecting an electron beam in automatic focusing of an image in a scanning electron optical eystem. Characterized in that the third to tenth output (Q3 to Q10) of the first computer (1) is connected to the first eight inputs (A1 to A8) of the multiplexer (4). the second eight inputs (B1 to B8) are connected to the positive terminal (8) of the power supply, the first to eighth outputs (Y1 to Y8) of the multiplexer (4) being connected to the first to eighth multiplexers (DX1 to DX8,

DY1 to DY8) of the second and third counters (2 and 3), whose first to eighth outputs (QX1 to QX8, QY1 to QY8) are connected via the face-to-face analogue converters (6, 7) to the x, y axis beam outputs wherein the input terminal (9), the clock pulse input terminal (10) and the output terminal (11) are coupled to the first, second input and the eleventh output (II, 12, Vil) of the control circuit (5) of which third, fourth and fifth the input (13, 14, 15) and the first and twelfth outputs (VI and V12) are connected to the first, second and transmission outputs (Q1, Q2 and CY) and the zero and hour inputs (R and CLU) of the first counter (1), while the switching input (P) of the multiplexer (4) is connected to the second output terminal (V2) of the control circuit (5), whose third, fourth, fifth and sixth outlets (V3, V4, V5, V6) are connected to the first, second clock input (CXU, CXD), setting and resetting input (SX, RX) of the second counter (2), with The eighth, eighth, ninth, and tenth outputs (V7, V8, V9, V10) of the control circuit (5) are coupled to the first, second clock input (CYU, CYD) of the third counter (SY, RY) setting and reset (3) ·