CS223498B1 - Zapojení korekční jednotky pro laserový interferometr pracující ve vakuu - Google Patents

Abstract

Vynález ae týká napojení korekční jednotky pro laserový interferometr pracující ve vakuu. Podstatou vynálezů je zapojení nejméné jednoho čidla teploty materiálu přea diferenční zesilovač • prvním eumátorem, jehož výstup je spojen přea dekádu koefieientu roztažnosti, druhý sumátor, hlavní sumátor jednak přea komparátor a indikátorem n jednak přea přepínací obvod a analogové číslicovým převodníkem. Uezi druhý a hlavní aumátor je zapojen kalibrační obvod a přea apínač dekáda korekce. Vynález je určen zejnánn pro laserový interferometr pracujíeí ve vakuu, například v čerpaném prostoru elektronového litografu.

Description

(54) Zapojení korekční jednotky pro laserový interferometr pracující ve vakuu

Vynález ae týká napojení korekční jednotky pro laserový interferometr pracující ve vakuu. Podstatou vynálezů je zapojení nejméné jednoho čidla teploty materiálu přea diferenční zesilovač • prvním eumátorem, jehož výstup je spojen přea dekádu koefieientu roztažnosti, druhý sumátor, hlavní sumátor jednak přea komparátor a indikátorem n jednak přea přepínací obvod a analogové číslicovým převodníkem. Uezi druhý a hlavní aumátor je zapojen kalibrační obvod a přea apínač dekáda korekce. Vynález je určen zejnánn pro laserový interferometr pracujíeí ve vakuu, například v čerpaném prostoru elektronového litografu.

223 498

- 1 223 498

Vynález ee týká zapojení korekční jednotky pro laserový interferometr pracující s interferenční optickou soustavou umístěnou ve vakuu.

Při měření laserovým interferometrem praoujícím s optickou drahou ve vakuovém prostoru je měřený údaj určen počtem interferenčních jednotek daných rozdílem optických drah v referenční a měřené větvi interferometru. Vzhledem k tomu, že obě optické dráhy jsou ve vakuovém prostoru, je interferometr nezávislý na indexu lomu. Zapojení korekční jednotky, které řeěí tento problém téměř univerzálně, je popsáno v čs· AO č. 204 189· Toto zapojení umožňuje přepočet přímo na metriokou míru. Při tomto přepočtu je věak možné vzít i v úvahu normování měřeného výsledku na vztažnou teplotu tak, že je kompenzována tepelná roztažnost měřeného objektu· Zapojeni podle AO č. 204 189» které je určeno pro měření v normální atmosféře, je pro měření ve vakuovém prostoru poměrně složité a lze je značně zjednodušit za předpokladu, že teplotní odchylka od vztažné teploty Je pouze několik stupňů.

Toto zjednodušené zapojení korekční jednotky pro. laserový interferometr, pracujíoí ve vakuu, přináší vynález, jehož podstatou je, že ee vstupem prvního šumátoru je přes první dotek přepínače připojeno nejméně jedno čidlo teploty materiálu přes diferenční zesilovač a přes druhý dotek přepínače je spojena dekáda teploty, přičemž výetup prvního šumátoru je spojen přes dekádu koeficientu roztažnosti, druhý eusiátor s hlavním sumátorem, jehož výstup je spojen Jednak přes komparátor s indikátorem a jednak přes přepínací obvod s analogově číslicovým převodníkem spojeným s referenčním zdrojem, jehož výetup je ještě spojen nejméně s€ čidlcu teploty materiálu, e dekádou

- 2 223 498 teploty,, e dekádou korekce a s kalibračním obvodem, jehož výstup je spojen do uzlu mezi druhý a hlavni šumátor a přes spínač s dekádou korekce·

Hlavním přínosem vynálezu je obvodová jednoduchost při snížených pořizovacích nákladech a současném zvýšení spolehlivosti korekčního zařízení·

Vynález blíže objasní přiložený výkres blokového schéma. Jedno, případně více čidel 1 teploty materiálu s diferenčním zesilovačem jsou zapojeny přes první dotek přepínače 2 na vstup prvního sumátoru b· Počet čidel JL teploty materiálu je volen podle potřeby zařízení. Druhý dotek přepínače d® «pojen s výstupem dekády JL£ teploty. Výstup sumátoru h je spojen přes dekádu £ koeficientu roztažnosti, druhý sumátor hlavní sumátor 2» který je výstupem spojen přes komparátor J3 s indikátorem Jg. Výstup hlavního sumátoru 2 d® d®Stě spojen s přepínacím obvodem 10, opatřeným kontrolním vstupem a výstupem spojeným a analogově číslicovým převodníkem lí s výstupem automatiky korekce. Zapojeni je napájeno z referenčního zdroje který je výstupem spojen e jedním, nebo více čidly JL teploty materiálu, s dekádou 15 teploty s kalibračním obvodem JL4, s dekádou 12 korekce ja/ e analogově číelícovým převodníkem 11. Výstup kalibračního obvodu 14 je spojen s uzlem druhého a hlavního sumátoru J5 a 2 ^a ® dotekem spínače 16, který je spojen a dekádou 12 korekce, opatřené výstupem manuální korekce.

čidlo teploty materiálu je tvořeno platinovým odporovým teploměrem v a&stkovém zapojení. Každé čidlo-má vlastní diferenční zesilovač 2!. Počet čidel JL teploty materiálu a diferenčních zesilovačů 2: závisí na metodice měření a není omezen.

Střední hodnota teploty materiálu je vytvářena prvním eumátorem 4, který tvoří monolitický operační zesilovač. Přepínač 2 umožňuje manuální volbu a nastaveni střední teploty pomocí dekády n teploty, která může být realizována například váhovými odporovými čtveřicemi, které jsou přepínané číslicovými přepínači. Podobně může být vytvořena dekáda 2 koeficientu tepelné roztažnosti, která spolu s druhým šumátorem £ vytváří součin koeficientu tepelné roztažnosti a střední teploty· Hlavní sumátor 2 sečltá algebraicky napětí kalibračního obvodu 11, druhého sumátoru 6 a případně dekády 12 korekce. Dekádu 12 korekce je

- 3 223 498 možné přepojit přes přepínač 16 při manuální předvolbě korekce a při testování· Výstup hlavního sumátoru J® přiveden na komparátor 8 opojený e indikátorem £ tří stává: kladného napětí, záporného napětí a napětí blízkého nule na výstupu hlavního sumátoru 2· Indikátor 2 sestává ze dvou LED diod· Při nulovém stavu svítí obě diody, mimo tento stav bu<L první nebo druhá· Současně je výstup hlavního sumátoru 2 přiveden přes přepínací obvod 10 na analogově číslicový převodník 11· Popsané zapojení je praktioky zdvojeným systémem, který umožňuje automatický výpočet korekce na základě údajů čidel _1 teploty materiálu s možností manuální předvolby teploty materiálu· Výstup korekční jednotky je dvojí; při plně automatizovaném provozu jsou korekční údaje předávány do vybódnooovaoí elektroniky z analogově číslicového převodníku 11· nebo při manuálním nastaveni korekce z dekády 12 korekce· Dekáda 12 korekce je řešena podobně jako dekády 2 a 15 koeficientu roztažnoeti a teploty· Při nastaveni číselného údaje manuálně na dekádě <12 korekce, která je shodná s údajem na analogově číelioovém převodníku JL1 při automatickém provozu, je při sepnutém spínači 16 na výstupu hlavního sumátoru 2 nulové napětí, které indikuje názorně indikátor 2· Ti® J® «®bezpečena nezávislá kontrola výpočetního obvodu na funkci analogově číslicového převodníku 11 a zabezpečena náhradní funkce při poruěe·

Uvedené zapojení je vhodné pro plně automatizované laserové interferometry pracující ve vakuu u složitých přístrojů, kde je nutná ryoblá diagnostika při poruěe a velmi názorná kontrola správné funkce·

Claims (1)

1. P 8 Ϊ D Μ í T VYNALEZU 223 498

   Zapojení korekční jednotky pro/laserový interferometr pracující ve vakuu, vyznačené tím, že se vstupem prvního sumátoru (4) je přes první dotek přepínače (3) připojeno nejméně jedno čidlo (l) teploty materiálu přes diferenční zesilovač (2) a přes druhý dotek přepínače (3) je spojena dekáda (15) teploty, přičemž výstup prvního sumátoru (4) je spojen přes dekádu (5) koeficientu roztažnost!, druhý šumátor (6) s hlavním sumátorem (7), jehož výstup je spojen jednak přes komparátor (8) s indikátorem (9) · jednak přes přepínací obvod (lO) e analogové čís lícovým převodníkem (ll) spojeným s referenčním zdrojem (13), Jehož výstup je ještě spojen nejméně se Usét//sew čidlu» (l) teploty materiálu, e dekádou (15) teploty, s dekádou (12) korekce a s kalibračním obvodem (l4), jehož výstup je spojen do uzlu mezi druhý a hlavní eumátor (6 a 7) a přes spínač (ló) s dekádou (12) korekce·