CS222962B1 - Způsob pokrývání polovodičových přístrojů povlaky ponořováním - Google Patents

Abstract

Cílem vynáleau je pokrývání polovodičových přístrojů hmotou, u níž se dosahuje hladký povrch, který nemá póry a trhliny a také vysoká odolnost vůči klimatickým účinkům při elektrickém zatížení a kromé toho, zajišiuje se vysoká životnost nevyužité hmoty pro povlaky. Úkol, vynálezu spočívá v tom, aby se vyloučilo použití hermetických těles a odstranily nedostatky již známých způsobů ponořování, a kromě toho, aby se zajistily nové provozní jakosti pro polovodičové přístroje zpracované ponořením s tím, že se musí najiti stejnorodý systém složek jako hmota pro pokrytí. V souladu s vynálezem, hmota pro pokrývání představuje jednotlivé složky: látku, zvyšující adhezi, prostředek pro vytváření příčných vazeb mezi makromolekulami a silikonový kaučuk. Složky se nanášejí na polovodičové přístroje v dané následnosti za sebou u několika ponořeních, po každém ponoření následuje sušení a tak nepřicházejí navzájem do styku. Po tomto polovodičové přístroje se nechají na výdrž při teplotě nad 100 °C, převážně při 120 °C. Je možné uskutečnit! cílevědomý nárůst vrstvy silikonového kaučuku o viskositě 70 000 ± 20 000 mPa.c.

Description

Způsob pokrývání polovodičových přístrojů povlaky ponořováním

Cílem vynáleau je pokrývání polovodičových přístrojů hmotou, u níž se dosahuje hladký povrch, který nemá póry a trhliny a také vysoká odolnost vůči klimatickým účinkům při elektrickém zatížení a kromé toho, zajišiuje se vysoká životnost nevyužité hmoty pro povlaky. Úkol, vynálezu spočívá v tom, aby se vyloučilo použití hermetických těles a odstranily nedostatky již známých způsobů ponořování, a kromě toho, aby se zajistily nové provozní jakosti pro polovodičové přístroje zpracované ponořením s tím, že se musí najiti stejnorodý systém složek jako hmota pro pokrytí.

V souladu s vynálezem, hmota pro pokrývání představuje jednotlivé složky: látku, zvyšující adhezi, prostředek pro vytváření příčných vazeb mezi makromolekulami a silikonový kaučuk.

Složky se nanášejí na polovodičové přístroje v dané následnosti za sebou u několika ponořeních, po každém ponoření následuje sušení a tak nepřicházejí navzájem do styku. Po tomto polovodičové přístroje se nechají na výdrž při teplotě nad 100 °C, převážně při 120 °C.

Je možné uskutečnit! cílevědomý nárůst vrstvy silikonového kaučuku o viskositě 70 000 ± 20 000 mPa.c.

222 962

Ha3B3HHe H3oópeTeHHa

Cnocod ΠΟΚρΗΤΗΗ HOJiyiipOBOflHHKOBHX HpHÓOpOB OdOJIOHKQMH oKyHaHHeM * -

OdJiaCTL· HBHM6H6HHH HSOdpeTQHHH - ' '

H3odpeTemie KacaeTca cnocoda hokphthh οκτήηηηθμ nojiyupoBOflHHKOBHX HpHdopOB QÓQJÍQ^SSSSSÍ B HaCTHOCTH ΜΗΚρΟΟΧβΜ, KOTopae MoryT ιτρημθηητβοη irpu 3HaaiiTe^LHoS β>ι&κηοοτϊι oKpyxaDGieĚ cpesa h k Ha^exHocTH κοτορυχ npej^BBJBWTca ποβηοιθηHue TpedoBaHHH.

XapaKTepscToa %3bgcthhx TexigraeoKHx pemeHM

JUh 3auíHTH ot MexamreeeKHX Harpy30K h ot spejmax BO3#eĚctbhí oRpysaioinet cpe^a HoxyupoBOSHHKOBae npHdopHsaKxmaiDT B OdOJIOTOE. Tas KaK H60dX0#HM0CTL B 3WITe BHyTpHnpHdopHHX cxew, a Taxse ycjroBHH oicpyscamet epe#a ohchb paaoraHH, to h ancjio μθτο#οβ 3aKjnoaeffita noJiyiipoBOAHHKOBax BpadopoB b odOJTOHKH BeCLMa B6JE0KO.

Pa3jmaioT repMeureHae h HerepMeTwme odoxoHKH. Γθρμθτϊηηημη odojio^Kaj® HasuBaiOT Taraie aopuyca, κοτορπβ ημθώτ τθήβ 1,33 . ΙΟ~θ Ha . ju c*“¹ /b pacaeTe Ha rejnrir npn pa3HHae xaBJíeHHĚ b I awí 3th aopuyca η3γοϊ3κώιβηκιτοη c πρημθηθhhsm MeTaooB, cTeoa h κθροκοεκΗ. Exaroflapa np^Menenz©

3THX KOpnyCOB, 3£βΚΤρθΗΗΗβ ΒΛθΜΘΗΤΗ MOSHO npeflOXpaHHTB OT Bcex ΒΗβΠΕΗΗΧ B03&eScTBHŽ, ΚρΟΜΘ TOMHGpaTypií OKpy$aW& cpe#H. Jto 3τογο Kopnyca HanowwTCH ηηθρτηπμ h cyxHM ra3om. IIpoaeccH repMeTsaaijfflí npom^HTca b aTMOCpepe τθχηοjroraaecKHx ra30B. Kpowe τογο, nojiyupoBojcHESOBne npsdopa iiepe# repMeTH3anHet ode3ramasTCH b BaayyMHHX neaax, ySMeHHH aíícopdHpoBaHHot BaarH. Hocjie 3amHeH&s b oóojioh- 2 Ky HeoóxofíHMa npoBepKa Ha γθρμθτηηηοοτβ. ΙΪ3βθοτηη οομηθ pa3JnraHHe μθτο#η repMeTH3anHH. Tas, HanpHMep, πρκ óTKa3e ot opraHHHecKHX MaTepnajioB'_t H3Becrao MeTajuni3HpoBaHřie odpaTHOK CTOPOHH nOjyiOJKKH ΜΗΚρΟΟΧΘΜΗ Η ΠρΗΙΙ3ΗΒ3ΗΗΘ Θθ ΒΟΘΖ noBepxHocTLio κ ocHOBaimto Kopnyca mm KpenjieHHe c homodiko πρζηο^ίΗΟΓΟ cTeKJia. IÍ3-3a paoxoaóB na MeTaJum3amw npoine HpHKJieHBaTL ΒΗΥΤρίϊΠρΗόόρΗΗΘ ΘΛβΜβΗΤίΙ οποκοηληομ cmojioh.

JUh repMeTH3ai#ní KopnycoB η3βθοτηη τθκηθ onocoda, ksk hmnyjiBCHaH KoímeHcaTopsas CBapKa, jia3epHaa cBapKa, θλθκτροηHO-Jiy^eBaH cBapica,. natóa c ctoocaMH mm de3 hhx, jmdo řep- * MeTH3anjra o noMoncbio nae^Horo CTe^Jia, irpu κοτοροδ: KpimiKa Kopnyca οοθεηηηθτοη o paMož Kopnyca ,ηη3κοππ3Βκημ cTemiOM.

ΓβρΜΘΤΗ33ΙζΠΗ C ΙΙΟΜΟΙΜ ΟρΓβΗΗΗβΟΚΗΧ ΚΛθθΒ HecpaBHHMa C μθτολημη repMerasatwJXTMeTajraHsaniHeft mni ο ποΜοπξκο GTemia, t.k. Bce opramraecKue HCKyccTBeHHne MaTepnazni b pe3y3ii»Taτθ κορρο3ΗΗ nponycKaiOT BJiary.

BnaronapH repMeTH3anHH? nojiyirpoBonHHKOBHx πρπόοροΒ b othx Kopnyoax sogthtqjotch χοροιππθ 3KcmiyaTaiíH0HHiíe cBoiicTBa b TpedyeMoS TeMnepaTypHOH odjiacTH h npn padoTe bo bjis^hoS cpe^e. ΟΛΗΟΒρβΜΘΗΗΟ ΗΘΛΪ>3Η yiiyCKaTL H3 BH£a, OTHOCHTejILHO bhcokhs 3aTpara Ha repMeTH3auřw KopnycoB, KaK Hanpmep, npH ΜΘΤΗΟΗ3ζ3Ιξ0Η, ΠρΟΒβρΚβ Ha ΓβρΜΘΤΗΗΗΟΟΤΒ H Tifl.

Jlajiee η3Βθοτηη cnocoda 33κώοηθηηη b~ HerepMeTiPžHHe odojiomoa, TaK HanpHMep, πρηηητο, noKpuBaTB nojiynpoBojymKOBHe npadopu JUIH ΚΟρΟΤΚΟΒρβΜΘΗΗΟΗ 3ΗϋξΗΤΙί OT Β03£βΚ0ΤΕΗΗ BJI3PH ΟΛΟθΜ JiaKa. JUs opraHEraecKHx 3amnTHnx cjioeB, conepnamnx ro 3aTBepKeBaHHH peaKTHHHHe rpymm, Heodxojwo ynHTHBaTB βο3μο3κκοθ Η3ΜΘΗβΗΗΘ GOUpOTHBJíeHKH ΟΛΘΜΘΗΤΟΒ ΜΗΚρΟΟΧΘΜ. 3ΤΗ CJIOH JISKa HaHOCHTCH C ΠΟΜΟΙ3ΪΒΙΟ KHCTH, ρθΟΠΣϋΙΘΗΗΘΜ, ΟΚΥΉΗΗΗβΜ mm onpeocoBKoíi. Ohh He odecnenHBaioT AocTaTOHHot 3ainHTH οτ μθΧΗΗΗΉΘΟΚΗΧ B03fleĚCTBHS. ΠρΗ ΠΟΚρίΙΤΗΗ HOJiyiipOBOJlHHKOBHX npHdopOB THKCOTpOHHUMH CMGJIHMH, TOJICTKM CJIOH ΟΗΗΤΘΤΗΗβΟΚΟro MaTepnana odecnenHBaeT 3acpiTy ot κπημητηηθοκηχ B03fleSctbzh h μθχηηηηθοκηχ Harpy30K. OdojioHKa odpasyeTcn b pe3yjn>TaTe oKyHaHHH nojiynpoBo^HHKOBHX npsdopoB b thkcotpohHyio cMony, HanpHMep, ^eHOJio-ajiLserEmHyio mm onoKCHKHyra

- 3 cmojih.

J^ajiee η3βθοτθη cnocod βηχρθβογο ηοπηηθηκη, npn κοτοροΜ ΛΟΟΤΗΓΗΘΤΟΑ ΙΙΟΚρΗΤΗΟ ΟΗΗΤΟΤΗΊΟΟΚΗΜ MaTepHaJIOM TOJUipíHOH flO HeCKOJIBKHX fteCHTHX MHJUEHMCTpa. HaCTB nOJiyirpOBOflHHKOBHX npadopoB, nojvie^amaa hokphthh, HarpeBaeTCH ao I20°-I8Q° C, a 3aTeM noffBepraeTCH Βθ3Λβ2οτΒΗΚ) β3βηχρθηηογο H3MejiBneHHoro b hhjií rpaíiyjiHTa. 3aTBepaěBaiQniet upa KOMHaraoS TeMnepaType, HO eiHe peaJKTHBHOfi OjmOKOMHOHeHTHOS CMOJIH. CHHTeTHHeCKafl ' CMOJia npHKJieiíBaeTCH κ pasoipeToS nacTH, t.k. upa θτοη TeMnepaType OHa pasMamaeTca. 3aTeM CMona 3aTBep#eBaeT npn 3toě TeMnepaType OKOHnaTejiLHO.

TeiuionpoBOAHOGTL TaKHX odojionen nojiynpoBojWKOBHX npiidopoB HefíocTaTOHHa. ΚροΜβ τογο, H3roToaBjmeMHe τθκημ odpa3OM odoJIOHKH ΕΕΜΘΙ0Τ HenpaBHJIBHyB) ΓΘΟΜΘΤρΗΗΘΟΚ^ΊΟ $opMy. JJpyTOH CHOcod 3amiKPieHHH nOJlynpOBOJÍHHKOBHX UpndopOB B odOJIOHKH sto 3ajiHBKa nx b ^opMax, HanpuMep, H3 imacTMaccH hjqí MeTanjia. IIojiyiipoBOAHHKOBHe npndopn 3aKjia#HBaioTCH b φορτ^Η. OcTasniHecH nycTodu sanojnunoTcn bhjíkoh cmojio®, KOTopaa 3aTeu 3aTBep£eBaeT. HeodxoflHMO πρημθηητβ npn stom xopoino ode’3raseHHHe cmojih, jyra τογο, HTodu ho odpa3OBHBajincL ny3upLKH. Bo3mohho TaKse norpynaTL nojiynpoBOflHHKOBHe npndopH b φορΜΗ, 3anojmeHHHe TpedyeMot nopnnen cmojih.

Enaro^apn dojininoK TOjnuHHe cjioh miacTMaccoBoro ποκρητηη, MOJKHO ΛΟΟΤΗΓΗΥΤΒ dOJiee jyniTejIBHOrO ΒρβΜβΗΗ 33ΰξΚΤΗ οτ aTΜΟύφθρΗΟΗ BJiarn. ΗθΟΜοτρη Ha sto, Bjiara npoHHKaeT bo BHy— TpnupiídopHyio nacTL (MHKpocxeMy) b MecTax βηβοήοβ ducTpee, H6M CKB03L IUláCTMaCCy.

Upa tojicthx cjiohx imacTMaccH Β03ΗΗκαθτ TSKse spyran npodjieMa, a ΗΜθΗΗΟ npodjieMa, MexammecKHX HanpjBKenHH, H3-3a bhcoKoro κοθφφπΐίΗβΗΤΗ pacnrapeHEH cmojih ho cpaBHeHHK) c hojíJIOKKOH. JtM ΤΟΓΟ, HTOdH npeflOTBpaTHTB npn 3T0M ΜθΧ8ΗΗΗθ0Κ0β pa3pymeHae cmojih, πρημθηηιοτοη cmojih c KanojnniTejLHMH hjdi cMeca cmoji c jyníTejiBHog ynpyrocTBK). Upasna πρπ θτομ yxyn,UiaCTCH TepMOCTadHJILHOCTB. HCKJHOHeHHe COCTaBJIHKT ΗθΚΟΤΟρΗθ

- 4 204 536 sajniBO^HHe Maccu Ha da3e ciunncoHa, κοτορκθ o^hsko odecneqJŠfeaioT He3HaHHTejii>Hyio 3auiHTy ot MexamnecKHx Harpy3OK. ·

ΚρΟΜβ ΤΟΓΟ, Η3ΒΘ0ΤΘΗ CHOCOd TpaHC$epHOÉ OIipeCCOBKH HOJiyUPOBOJÍHHKOBHX HpHdopOB, KOTOpuS OCOdeHHO 3Κ0Η0ΜΗΗΘΗ ITpH 'η3Γοτοβλ:θηηη dojiLinoro Hncjia fleTajreg. OjmaKO npH npuMCHeHmi 9ΤΟΓΟ CHOCOda HeodXOJWH ΛΟρΟΓΟΟΤΟΑΙφΙθ npecc$opMH. B KaΗΘΟΤΒΘ Ο^ξΗΟΚΟΜΙΙΟΗΘΗΤΗΟΗ ΟΗΟΤβΜΗ ΠρΗΜΘΗΗΙΟΤΟΗ CMOJIH Ha CHJIHKOHOBOH m 3nOKCH£HOH ΟΟΗΟΒΘ, ΚΟΤΟρΗβ B ΗθΟΤΒθρ^θΗΗΟΜ coctohhhh npeACTaBJLHKT codoS irpx KOMHaTHoS TewmepaType noροιποκ, a npH padoneS TewnepaTypé ot 130° flo 180° C HaxoflHTCfl B Bfl3KOSCH#KOM COCTOHHHH. 3tH CMOJIU 3anpeCC0BHBa»TCH B $opwy, odBOJiaramaioT 3aparaee 3ajioHeHHHĚ Tyjia nojiyupoBosHHKObhS npadop h 3aTBepfleBaroT β τβπβιπιβ 1-5 mhhyt. Bo3HHKai0T EpOdjlCMH 33ΒξΗΤΗ OT ΜθΧΗΗίΓΊΘΟΚΗΧ Haj?py30K, B HaCTHOCTH,HpHΒΟΛΗΠξΗθ K HOBpeSfteHHIO 3JieKTpOAHHX BHBOflOB. B padOHHX ycjiobhhx dojr&nme nepenajm TeMnepaTypu itphbojvit κ MexamnecKHM HanpWKeHHHM H, BCJieflCTBHe 3ΤΟΓΟ, K HOBpeEfteHHflM HOJVIOHKH hjih paspuBy coejviHeHHH τοκοΒθ,ο^ιίξΗΧ fleTajien. BcjiejicTBHH θτοΓΟ, HeodXOflHMO. npeABapHTeJIBHpe. ΠΟϊφΗΤΗβ HyBCTBHTeJIBHHX Π0JQrnpOBOJXHHKOBHX. OJieMeHTOB 3JiaCTHHHOŽ CRHHKOHOBOH MaCCOH (Bce ΟΠΗΟΘΗΗΗΘ £0 CHX nop CHOCOdH B3HTH H3i H.Delfsí Hybridtechnik. Internationale Elektronische Rundschau 1971> Heft 12,

Epcžie ΤΟΓΟ, H3B0CTHH cnocodu 38ΚΕΕ)ΗΘΗΗΗ HOJiyiipOBOJXHHKOBHX npHdopOB B OdOJIOHKy HyTeM OKyHaHHH (DE-AS 1 221 324,

DB-OS 1 540 408).

TaK, HanpHMep, Η3ΒΘ0ΤΗ0 ΗΟΚρΗΤΗβ HHTerpaJILHUX ΜΗΚρΟΟΧΘΜ jvlh 3aníHTH ot KJEHMaTHHecKHX BO3^oficTBHjí dyHa-uaynyKOM, a JVIH 3aHIHTH OT ΜΘΧΗΗΗΗΘΟΚΗΧ Harpy3OK $eHOJIO-aJL&JieiTHHOH cmojioh ( dd-ps 96 381). HeodxojwaH ropanan cyinua Φθηολβηοaju^ernsHot cmojih npn 160 °C npHBOjyíT ojvíhko κ Η3ΜΘηθηηημ CBOĚCTB pa3JfflHHHX CJIO&HHX ΟΚΟΤΘΜ, Κ£Κ HanpHMep, CJIOH CrNi · ΚρΟΜΘ ΤΟΓΟ, B OdOJIOHKe Β03ΗΗΚ3ΙΟΤ pa3pHBH CJIOH $eHOJIOajiBseiwmog cmojih, KOTopue nacTO hphbojiht k OTCJianBamiHM. JUh θτογο npodoBajm β KauecTBe epocjioekh πρημθηητβ chjihkohobuh KaynyK. Πρπ θτομ μηκροοχθμη norpyjsajia b chuhkohobhh KaynyK h nocjre βηοηχηηηη οτογο cjtoh b CMOJisHyra Maccy.

- 5 3Ta npoMeiKyTOHHaH npocaoHKa H3 cohkohoboio KayayKa BCJieflCTBHe cBoež ojiacTHHHOCTH xoth h irpenflTCTByeT noBpesAohhhm ctokjehhhoh nojyioJKKH, ho Bce-TaKH HapymaeT paBHOMepHÓcTLj ' TexHOJioranecKorcf riponecca, t.k. ghjihkohobhh KayayK paciqpěflěaaeTČjTnď^- GTeiuiy HepaBHOMepHO, τηηθτοη b hhth, λθγκο HaaHHaoT KanaTB η ημθθτ He3HaaHTejiBHoe KanejiBHoe BpeMH.

Sto 3HaHHT, HTO 3JiaCTHHHOCTB BO BpGMH OdpadOTKH ÓHCTpO / H3MGHH6TCH, H HOBTOMy paCTBOp ftJIH ΟΚ^ΗΟΗΚΗ flOJKÍOH ΠΟΟΤΟΗΗ— ,

HO ΓΟΤΟΒΗΤΒΟΗ, ΠρΗΉθΜ, ΠΟΒΗΠΙΘΗΗΘ pnaCTHHHOCTH CHJIHKOHOBOro KaynyKa He Π03Β0ΗΗβτ λοοτηγηυτβ coxpaHHioiuyrocH TOjnmníy . CJIOH ΠΟΚρΗΤΕΗ. IÍ3 DB-OSl 540 408 Η3ΒΘ0ΤθΗ ClIOCOd OKyHaHHH, npa KOTOpOM HOJiynpOBO^HHKOBUS ITpíídop HOKpHBaeTCJI JWyMH BemecTBaMH. B nocjie#Hee BpeMH cTazio η3βθοτηο, hto jma noKpHTHH. nOJiynpOBOflHHKOBHX ITpHdopOB OdOJIOHKaMK ΠρΗΜβΗΗϊΟΤΟΗ CHJIHKOHOBHe MaOCH, KOTOpue npn COnpHKOCHOBeHHH c B03,nyX0M mm BaaroH, coftepacamenca b BO3jiyxe 3aTBepAeBaioT h, HanpnΜθρ, nocae C03£aHHH odojiOHKH nyTeM 3anHBKH odecneanBasT xoponme CBoficTBa noaynpoBo^HiiKOBHM irpudopaM. 3thJ cHJiHKOHOEHejMáccH HeVaBJíaiOTca κομποηθητηοη οηοτθμο2 h odpa3yK>T nocae oTBepwHHH odojioaKU c Henpa^uiBHOH γθομθτρη-Τ aecKOH φορΜοιι,. c Ha3BaHHHMH BLnne HeAocTaTKaMH jyia odpadoTKH.

UejiB H3odpeTeHHa

Ueju> H3odpeTeHua cogtoht b tom, HTodu nyTeM OKyHaHHa C03&aTL odoaoHKy nojiynpoBojnmKOBHM npndopaM, koTopas ημθθτ raauKyio, de3 TpenpiH h nop ποβθρχηοοτβ, ycTOHanByra κ khhMaTHaecKHM B03fteHCTB&HM πρπ ΘΛθκτρΗΗθοκοΗ Harpy3Ke, a κροΜθ τογο, HToda odecneaiiTB dojojnoĚ οροκ caysdH ηθηοποηβ30Β3ΗΗ0Η ftTIS OÓOJIOHKH MaCCH.

IfejioateHHe cy-UHocTH H3odpeTeHHa

3a&aaa, pemaeMaa H3odpeTeHneM, coctoht b tom, STodu πρπΜβHHH H3B0CTHHH CHOCOd ΠΟΚρΗΤΗΗ nOJiyiipOBOflHHKOBHX HpHdopOB odojiosKaMH oKyHaHzeM, ycTpamíB npn stom h3jiokohhho Bimie ' - 6 **··- '.V

HeSOCTaTKH, HCKJDOHHTB ΠρΗΜΘΗβΗΗΘ ΓβρΜβΤΗδΗρΟΒΘΗΗΗΧKOpiyCOB,>. a κροΜθ τογο, odeoneHHTL jyra nojiynpoBOftHHKOBHX npndopoB ποκριιτηχ odoJKmaMH,· ηοβηθ SKcimyaTaiícioHHHe cBoficTBa, Ha . OCHOBe OflHOpOflHOŽ CHOTCMH K0MH0H6HT0B B ΚΟΊβΟΤΒβ MaOCH ποκριιτΗΗ. ·.·'··'..···· /1? -/; / 7^ - .

TexHHHecKHMH npiraHHaMH HeflocTaTKOB b y^e Η3ΒθάτΗΗΧ perneHHHX HBJIHeTCH,‘cpě^H HpOHerO, TO, ΗΤΟ Η3ΒβΟΤΗΗΘ OflHOpOflHHS οηοτθμη κομποηθητοβ H6 nojmaioTcn odpadoTKe mni ηθ odeone_^BaET TpedyeMHe SKerayaTaiíaoHHHe KanecTBa. >*., ' ' .·J'·/.··' j/Aíyví-'·’ ' ·

CoraacHO H3odpeTeHmo, sahana péigaeTca τθμ, hto ποκρκτιιβ odojióHKoS npoHcxoflHT tskhm odpa3OM,'3To Macca jwh OKynaHUH pa3Jioaeiia Ha οτββΛΒΗΗβ κομηοηθητη: BemecTBO, noBuniajouíee ajy?e3HíO, cpe^cTBO, odpasyramee nonepenHHe cbh3H : we^jy> MaKpoMOJieKyjiaMH h OTBep^naioinHlča^a' xoxofiy^» bhcokobh3khh chjihkohobhS KaynyK. Κομηοηθητη ηηηοοητοη Ha nojrynpoBOAHHkobhě npndop b flaiiHoS nocjie^oBaTejiBHOcTH ο#ηη 3a spyrHM b ηθοκολβκο oKynaHiít c noc^esytomen 3a whm oKyHaimeM cyiiikož h, TaicuM odpa3OM, He conpHKOcaiOTCH flo θτογο xpyr c Jípyγομ. B κοηηθ npoixecca HaHeceHHH ποκρητηη nojiynpoBOflHHKOBHe npndopH BLmepaoíBaioTCH npn 'ónpejiejieHHon j TeMnepaType. Iíejiecoodpa3Ho npHMeHHTL oTBepswaioiííHficH npn κομηθτηοη TeMnepaType BHCOKOBH3KHS CHJEHKOHOBHH KajKyK C BH3KOGTB 70 000+20 000 Míla. c.

HOJiynpOBOflHHKOBUe npHdOpH B OdOJIOHKaX BHflepHHKaiOTCH npH ΤΘΜnepaTypax βηιπθ 100 °C, npejxnonTHTejiLHo npn 120 °C. Upa θτομ HeosHnarao duna ycTanoBjíeHa npBMan 3ββηοημοοτέ> Mew hhcjiom jíHefi BtwepsKH npn onpejiejieHHoS TeMnepaType h hhcjiom ληθη, b TeneHKe κοτορπχ jyw nojiynpoBOflHHKOBHX npndopoB b odojionKax HadjntwaJiacB TpedyeMas ycToíhHBOCTL κ βο3αθκοτβιεκ) Bjiam.

ípyraM npn3HaK0M H3odpeTeHHH ηβηηθτοη bo3Moshoctb ynpaBneHHH nexeHanpaBjíeHHHM HapaupiBaHHeM cJioeB oTBepnflaioiqerocH Ha xojiofty¹’ βηοοκοβη3κογο . cmíHKOHOBoro KaynyKa, b ηθοτηοοτη, na οοηοβθ Budopa ποοτοηηηογο 3anaHHoro KOjmnecTBa cpe^CTBa, odpa3yioinero nonepemme CBH3H Messy MaspoMOJieKyjiaMH, a TaKse onpe,nejieHHoro ββθμθηη npedimaHna nojiynpoBO£HHKOBoro npndopa b βηηηθ juh oKyHaHHH η οοοτΒθτοτΒγκιΐξθδ TeMnepaTypn pacTBopa

- 7 πρκ SOCTaTOHHOM KOJDIHeCTBe CHJIHKOHOBOrO KSTOHa B BaHHe.

flpHMep OCymeCTBJíeHHfl Η3θύρθΤΘΗΗΗ '

Η3θόρβΤΘΗΗβ Π0,Πρ00Ηθβ ΗΟΗΟΗΗβΤΟΗ HHJKe Ha ΠρΗΜβρθ ΘΓΟ ocymeoTBjíeHKH. . / . .

HOJiyirpÓBOAHHKOBHe irpHdopH, B HaCTHOCTH HHTeipaJIBHHe ΜΗΚρΟcxeMH, ýcTaHaBjíHBaioTCH Ha onpenejieHHae MecTa b Mara3HHe,' pacoHHTaHHOM, HanpHMep, Ha 100 inTyK. ’

OTJíeJIBHHe ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΗ ftHH ΠΟΚρΗΤΗΗ ΗβΛΗΤΗ B ΟΤΑ&ΕΒΗΗΘ BaHHH. BHanajie HHTerpajt&HHe Kcncpocxem OKyHatoTcn b BemecTBO, no- . Bimaioinee a#re3ino, 'HanpHMep, οπηρτοβηζ pacTBop Giyoidoxypropyltriáthoxylan+Aminopropyltriathoxy^SaTeM CJIOÉ ΒβΙξβΟΤBa, noBíffliawdft ajy?e3mo 'cyniHTcn,· npn 70-100 °C. Hocjie θτογο HHTerpaELHne μηκροοχθμη OKyHaPTcn b BeinecTBo, odpasyromee nonepenHue cbh3H Mensy MaspoMOJieKyjiaMH, HanpHMep, cooTomqee H3 Dibutylzinndilaurat . B JiaKOBOM όθΗ3ΗΗΘ, CJIOH κοτοροΓο οπητβ-τθκη BHoyinHBaeTCH npH 70-100 °C. B τρβτπζ pa3 HHTerpajiLHue μηκροοχθμη OKyHa&TCH b BaHHy o chjihkohobhm KaynyKOM’. EaarosapH ηοοτοηηηομυ 3a#aHH0My KOjnmecTBy BenjecTBa, oópasysmero nonepemme cbh3H Mensy MaKpoMOJiexyJiaMH, HanpHMep, πρπ ΚΟΗΗβΗΤραφϊΗ Dibutylzinndilaurat b JiaKOBOM deH3HHe I : 15 h BpeMeHH οκτηθηηη μθηθθ I ceKyn^H, djiarosapn npedHBamw nojiynpoBosnnKOBnx npndopoB b BaHHe c chjehkohobhm KaynyKOM b Tenemie 3 MHHyT, πρπ τθμHepaType b BaHHe 50 °G, socTHraeTcn Tojniíraa cjioh chjihkoηοβογο KaynyKa, paBHan 0,6 mm.

Chjihkohobhh KaynyK ημθθτ doxBmyo bh3kocte, HanpHMep,

000 MHa. c, djiarosapn neMy oh xopoao npHjmnaeT κ ΜκκροcxeMaM h He μοηθτ cjihdikom όκοτρο οτθκητβ. HaHecenHoe βθmecTBO jyin odpaaoBaHHH nonepenHHx οβηθθη Mew ManpoMOJieKyjiaMH npoHHKaeT b chjihkohobhh KaynyK h npiiBojniT κ oTBepsΛθηηιο Ha BO3.nyxe, κοτοροβ 3aKaHHHBaeTCH μηκοημολβηο nocjie 16 nacoB.

HepBHe cTenaíoiííHe (no κθιηιημ) KOjnraecTBa οηπηκοηοβογο Kaynyxa HcnojEE>3yioTCH ποβτορηο. KaynyK, B03BpameHHUH TaKHM odpa- 8 30M, flQJI&eH ÓHTL HCH0JU>30BaH B ΤΘΗΘΗΗΘ ΟβΗΟΓΟ ftHH. IlOCJie 3Toro irponcxoAHT BTopoe cTeKasae b TeaeHae τρβχ aeTBepTea aaca c nocjieffyiouíHM TaMHOHupoBamieM HHTerpajiBHoS cx6mh Ha irpoKjiajtKe H3 ÓyMarH. Diaroiapa nocjiesyioineS, corjiacHO H3OόρθΤθΗΐοο, BHftepjKKe irpa 120 °C b TeaeHae 120 aacoB, οτ&ωΐΒHue BeiqecTBa coeflHHjwTCH b og^Hopo^Hyio Maccy ποκρκτΗΗ.

JUh stoé BHsepKKH upa onpeflejieHHoS TeMnepaType ηθοζηαθηηο duna ycTanoBjíeHa apaMaa cbh3L Me^ny KOjnaaecTBOM αηθη bhsepacKH a KOJnraecTBOM jyieS, b Tenegae κοτορυχ jyia nojiynpoBojvhhkobhx npaóopoB b odojionKax HadjnoflanacB TpedyeMáa ycTOÉHBBOCTB K B03£eSCTBHK> BJiaTH. T&K ΗΗΤΗβΗβΒΗΘΉ BH#epJKKa npanaeT' yOTOikHBOCTL K ΒΟ3βθΗ0ΤΒΗΧ) OKpyaíaEomero B03flyxa upa 96 % OTHOCHTSflLHOĚ BJiaHHOCTa H TeMnepaTyp&i-40-^OG B ΤβΗβΗΗβ 5 SHeS. C yBejnraeHHeM jyiaTejiLHocTa BtwepjKKa pacTeT TaK&e JWTejIBHOCTL yCTOifoHBOCTH K ΒΟ3£θ2θΤΒΗΚ) BJiara. IIojiynpoBOAHHKOBHe npadopn, ποκρκτΗβ a odpadoTamrie TaaaM odpasoM, ημθιοτ xopomae KaaecTBa ποβθρχηοοτκ upa flOCTaToahoS Tojnipme cjioh ποκρπτΗΗ a reoMeTpaaecKH iipaBajiLHoa φορΜθ odojioaicai TpeiííHHu a οτωιοβΗΗΗ ηθ βο3ηηκηιοτ. ΠροιχβΗΤ dpaaa MHKpoexeM, ΠΟΚΡΗΤΗΧ TSKHM Odpa3OM, MaJI, Τ.Κ. JHOdOH βθφθΚΤ odcwioaKH μοβηο λθγκο ycTpaHaTB sopadoTKoa.' TpedyeMaa Tepmoctohkoctl upa TeMnepaTypax flo 150 °C a ycToSnaBocTB κ B03£eScTBHK) BJiara, b οπηοβηηομ BHfle, odecneaeHH.

Diarofíapa HaneceHmo cjioeB ποκρΗτηη oKynaHaeM corjiacHO H3odpeTeHHKi, mosho socTamiyTL HeorpaHaaeHHoro cpoaa cxysdu caHHKOHOBoro Kayayaa b Batme, nponejKHBaa pas b Hesejm ocTaBinaaca b Hea KaynyK. Kayaya He μοηθτ CTaTL Henparo^HHM BCJieaoTBaa oTcyTCTBan κοητηκτβ c BenjecTBOM, odpaayiomero nonepeaHne cBS3a Mew MaapoMOJieKyjiaMK. Ebiarosapa 3TOMy, noTepa MaTepaana ΗβΒβχηκΗ.

$owjia H3oópeTeHHfl

o r~.

O'

ω.

co

oo o

1. ClIOCOÓ nOKpHTHH nOJQ^OBOJpiKKOBHX ΠρΗόορΟΒ OÓOJIOHKaMH OKyηοηηθμ, οτπΗΉέκΐφώωϊ T6M, ^το Macca ποκρητμ, irpexcTaBJíeHHaa oT^ejnM® KOMnoHeHTaMH: ΒθπξβστΒΟ, noBHmaioinée ajp?e3HD, cpe^GTBO jvlh odpaaoBaHHa nonepe^Hax cBa3eií MejOT MaKpoMOjieKyjiaMH h OTBeps^aw^cfl πρκ KOMsaTHoS TermepaType, wemnpríí doomyio bhbkoctl chjqíkohobhS KayqyK, HanocHTca B^amoÉ nocaieAOBaTejiBHocTH no KomoHeHTaM οχο 3a spyrzM c nocjie;iyw& nocjce Kas^oro oKyuassa cymKoií, #o θτογο obh ηθ conpHKaca^oTca jjpyr cfjnpyroM, hhocjio ηοηοοθηκη ποκρΗτιω ποjrynpoBO^HHKOBue npHóopa bwpíkhbsjotch npa onpeA&JieííHOH τθμnepaType.

2. Cnocod corjiacHO nynKTy I, oTJEHBaDirpďicH tgm, ητο bh3Kqctb OTBepwwroca npn KowaTHOK TewepaType, we^ero óojibmy© bb3Koctb CKzoiKOHOBoro Kayiýica οοοτοβ&ηθτ 70 000 20 000 Míla . c.

/

3. Gnocod coiviacHo nyHKTy I, oTjnmawf&on τθμ, ητο nojiyuposofíΗΗΚΟΒΗθ ΙφΗόορΗ C ΗΒΗΘΟβΗΗΗΜ HOKpHTHCM ΒΗίξ6ρ?ΕΗΒΗίΟΤΟΗ HpK TeMnepaType οβειπιθ 100 °G, ηρθχποητητθ^ίΒΗΟ npn 120 °G.

4. Gnocod corjiacHO nynKTy I, oTjmawďica τθμ, ητο bo3mosho yiTpasjíemie nejieHanpaBjíeHHHM HapaJnaBasaeM caoeB OTBepssaiamerocn Ha xo&ofly”, oeioinero dojitmys) bh3koctl ciuníKonoBoro KaynyKa, ocodenno, na οοηοβθ Budopa ποοτοηηηογο 3a$aHHoro KowiecTBa cpescTBa jw oópa3OBaHHH nonepewKx cbh3Gh,

Mensy MaKpoMoaeKyjíaMH onpesaaeHHon λπητβτιβηοοτη npeduBaHHH HOJiyHpOBOSHHKOBHX HpHÓOpOB B ΒΗΗΗΘ QKtflíaHSíH. H COOTBeTCTBywi TeamepaTyps npa socTaTonHOM KOJcmecTBe conκοηοβογο KayayKa b Banse.

AsHOTaiw

CnOCOÓ ΠΟΚΡΗΤ0Η KOJiyKpOBOflHHKOBHX DpUdopOB οόώΐΟΚΚδΜΚ ΟΚγΗΒΗΗθΜ ’ · - ΠβΛΚΟ ΗδΟόρβΤΘΗΙΙΗ KBJLS6TCH ΠΟΚρΗΤΗβ HOJiyBpOBOňHHKOBWC ' ; ; ; dopoB''Maccot, npa kotoooě floeTHraěŤca rjia^Kaa noBepxHÓcTB/’ , _; ř;' ;. , iíe, ngp h TpenpíH, a TaKse BacoKaa yoToírmocTB k’ '··-.. ' Kw^aTiBíeci™ βο3^θ0οτβηημ npa ‘ 3^θκτρκκθοκοί Harpy3Ke, a ^v , κροΜθ Toro, oóecneHKBaeTca óojilhioS οροκ'cayadH iíeHcnojiL3O’^: :^J BaHHoM jwa oóojiohkh MačciL· 3a&a^K3oďpěTeHHa coctoht b · _ \_Λ-ϊ-Js TOM, KTOdH HCKJGOHHTB ΚΡΗΜΘΗΘΗΗΘ''H yCTpá\ * hhtl ne^ocTam: ysce η3βθοτηηχ· cirocddoB OKyHaHEH, a κροΜβ < τογο, odecHeHHTB HOBue 3KCKnyaTaiíK0HHue KaaeeTBaJua odpadoTaHHHX nOrpyseiBieM nOaynpOBOXHHKOBHX npndopOB ΤβΜ, HTO ’ ňOJCKHa dHTB Ha%nena osHopoftHaa ,οηοτθμη κομποηθητοβ b KanecTΒθ MácOH JUH ΠΟΙφΗΤΗΗ.' . _; '

CoraacHo Η3θόρβτβΗ03θ, Macca jyia ποκρπτΗΗ npe^cTaBJíeHa o^eaKM ΚΟΜΠΟΗβΗΤΜ: ΒδΙξβΟΤΒΟ,' ΚΟΒΗΙΠθΙΟΙξθθ ^ξΡθδΚΙΟ, OpeftCTBO jyia odpasoBaHKK nonepeKHHX cBK3eÉ Messy MaapoMoacKyaM h cohkohobhé KayayK.

ΚΟΜΠΟΗΘΗΤΗ H8HOCHTCH Ha KOJiynpOBOffHHKOBHe HpHdopu B flaHHOÉ nocjiesoBaTejiBHOCTH omh 3a spyrHM b ηθοκολβκο oKyHannS, c nocaejjywH nocae Ka^oro oKynaKKa cyinKoa η, τοκημ odpa3OM, χο stopo ηθ eonpHKacajoTca £pyr o japyroM. Hocae stopo noaynpoBo#κκκοΒΗβ npadopn BHsepsoíBaioTca irpa TeasiepaType cBHuie 100 °C, ΠρΘβΠΟΉΤΗΤ&ΜΟ ΙφΗ 120 °C<

Bo3Mokho neaeHanpaBJíeHHoe HapamoaKiíe caoa chjihkohobopo Kaynysa c bh3koctho 70 000 i 20 000 MHa . c.

Claims (4)

1· Způsob pokrývání polovodičových, přístrojů povlaky ponořováním, vyznačující se tím, že hmota pokrytí má jednotlivé slož ky, a to látku, zvyšující adhezi, prostředek pro vytváření příčných vazeb mezi makromolekulami a tvrdnoucí při pokojové teplotě, a silikonový kaučuk o velké viskositě, které se nanáší v dané následnosti podle složek za sebou a po každém ponoření násle< duje sušení až tyto vrstvy nepřicházejí do styku navzájem mezi sebou a po nanesení pokrytí polovodičové přístroje se nechávají ve výdrži při určité teplotě.

2. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že viskosita silikonového kaučuku tvrdnoucího při pokojové teplotě a majícíI ho velkou viskositu představuje 70 000 - 20 000 mPa.c.

3. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že polovodičové přístroje s naneseným pokrytím se nechávají ve výdrži při teplotě nad 100 °C, převážně při 120 °C.

4. Způsob podle bodu 1, vyznačující se tím, že je možné řízení cílevědomého nárůstu vrstev tvrdnoucích v chladu”, majících velkou viskositu silikonového kaučuku, zvláště, na základě volby stálého zadaného množství prostředku pro vytváření , příčných vazeb mezi makromolekulami určité doby trvání pobytu polovodičových přístrojů v lázni pro ponořování a při příslušné teplotě při dostatečném množství silikonového kaučuku v lázni.

Uznáno vynálezem na základě výsledků expertizy, provedené Úřadem pro vynálezectví a patentnictví, Berlín, DD