CS219658B1 - Elektretová elektroda pre elektronické súčiastky - Google Patents

Description

Vynález sa týká elektretovej elektródy pre elektronické súčiastky na reguláciu ich vlastností.

Doteraz známe elektronické súčiastky, vyhotovované z tuhých látok a ich štruktúr, resp. využívajúce vakuum, uplatňuji! ako elektródy kovy, resp. silno dotované n+, resp. p+ polovodiče. Niektoré elektronické súčiastky využívajú kovové, príp. ; polovodičové materiály pre vytvorenie ohmických alebo blokujúcich kontaktov. Je známa generácia elektronických súčiastok, napr. diody, tranzistory a pod., ktoré využívajú na zlepšenie vlastností bariery na p-n priechode, heteropriechode, na rozhraní polovodič — izolant tzv. MIS štruktúry a ďalšie objemové javy. Súčasná prax vyžaduje elektronické súčiastky, ktoré by účinnejšie reagovali na vonkajšie vplyvy, napr. světlo, žiarenie, elektrické a magnetické pole, resp. teplo a v dósledku toho dosahovali vyššie technické parametre.

Uvedené požiadavky zabezpečuje elektretová elektroda pre elektronické súčiastky podía vynálezu, ktorého podstata spočívá v tom, že aspoň jedna elektroda elektronickej súčiastky pozostáva z elektretovej štruktúry typu kov — elektret — kov.

Vynález elektretovej elektródy pre elektronické súčiastky umožňuje dosahovat1 vo vztahu k vonkajším vplyvom vyššie technické účinky elektronických súčiastok. Příklad elektretovej elektródy pre elektronické súčiastky je znázorněný na obr. 1. Na obr. 2 je uvedená závislost’ kapacity na napatí pri MIS štruktúre. 219658

Elektretová elektróda pre elektronické súčiastky je vyhotovená z kremíkovej podložky 1, ktorej jedna strana je připojená pomocou elektródy 6 na vonkajší zdroj napátia a na druhej straně kremíkovej podložky 1 je nanesená vrstva izolantu 2. Izolant 2 móže byť vyhotovený z kysličníka křemičitého alebo nitridu kremíka. Elektretová štruktúra, vytvořená podía vynálezu AO čís. 169 942, na izolante 2 reaguje na změny intenzity osvetlenia t a je vyhotovená z kovověj vrstvy 3 kadmium — telurovej vrstvy 4 a ďalšej kovověj vrstvy 5. Vlastňosťou tejto elektretovej štruktúry je to, že na jednej elektróde nazhromažďuje kladný a na druhej elektróde záporný náboj, pričom pri osvětlovaní cez priehíadnú kovovú elektrodu 5 v smere šípky L x sa vefkosť a polarita náboja mění. Kovová , vrstva 3 je připojená na elektrodu 7. Intenzitou osvetlenia sa na rozhraní kremíkovej podložky 1 a izolantu 2 ovplyvňuje polarita a vefkosť náboja a tým aj výsledná závislost’ kapacity C na napatí U, Na obr. 2 je závislost’ kapacity C na napatí U. pri MIS štruktúre označená plnou čiarou a interval regulovánia C — U závislosti štruktúry podía vynálezu přerušovanými čiarami v závislosti na osvětlení Lx.

Vynález možno využiť na reguláciu vlastností ; elektronických súčiastok, napr. tranzistorov, typu Λ FET, MESFET, tenkpvrstvových tranzistorov, magnetodiód, Schotthyho diód, fotovoltaických článkov, Hallových a magnetoodporových sondách apod.

Claims (2)

1. PREDMET Elektretová elektroda pre elektronické súčiastky vyznačujúca sa tým, že aspoň jedna elektróda elektronickej súčiastky pozostáva z elektretovej štruktúry typu kov (3) elektret (4) a kov (5).
2. 2 výkresy

   obr. 1 ,2/q 6SS

   obr. 2