CS219599B1 - Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike - Google Patents
Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike Download PDFInfo
- Publication number
- CS219599B1 CS219599B1 CS670181A CS670181A CS219599B1 CS 219599 B1 CS219599 B1 CS 219599B1 CS 670181 A CS670181 A CS 670181A CS 670181 A CS670181 A CS 670181A CS 219599 B1 CS219599 B1 CS 219599B1
- Authority
- CS
- Czechoslovakia
- Prior art keywords
- lid
- housing
- control lever
- switches
- proximity switches
- Prior art date
Links
Landscapes
- Position Input By Displaying (AREA)
Description
Vynález s,a týká prevedenia vysielača informácií pre polohovacie zariadenia najma v mikroelektronike.
Pri výrobě mikroelektronických súčiastok je potřebné pri mnohých technologických operáciách zabezpečit přesné potohovanie či už křemíkových dosiek alebo jednotlivých čipov. Operátor sleduje presnosť polohovánia buď pomocou mikroskopu alebo na obrazovke televízneho monitora. Zariadenie, pomocou ktorého operátor dává povely pre polohovacie zariadenia, musí byť teda jednoduché a 1'ahko ovládatelné. Túto úlohu plní obvykle ovlád-acia páka a sústava mikrospínačov.
Nevýhoda takéhoto spósobu vysielania informácií spočívá v nízkej spolahlivosti a obmedzenej životnosti mechanických mikrospínačov. Výměna mikrospínačov je prácna, pretože je potřebné znova ich mechanicky nastavit.
Uvedené nevýhody zmierňuje a technický problém rieši vysielač informácií pre polohovacie zariadenia najma v mikroelektronike podlá vynálezu, ktorého podstatou je, že pozostáva z plášťa, v ktorom sú upevněné aspoň štyri bezdotykové spínače pravidelné od seba vzdialené. Plášť je uzatvorený vekom, ktoré má na vnútornej ploché vytvořená kuželová, plochu. Ďalej je plášť opatřený vekom, v ktorom je v střede upevněné výkyvné ložisko. Cez výkyvné ložisko prechádza ovládací element, opatřený v mieste přechodu rovinou bezdotykových spínačov clonou. Ovládací element je na spodnom konci opatřený odpruženou gul'kou dosadajúcou na kuželová plochu veka. Plášť je vo vnútri medzi bezdotykovými spínačmi a vekom opatřený dorazovou deskou so středovým otvorom. Výhodou vysielača informácií pre polohovacie zariadenie najma v mikroelektronike je, že k přenosu informácií sú využité bezkontaktně spínače, ktorých životnost' je prakticky neobmedzená, daná životnosťou polovodičových prvkov. Nakoíko spínače neobsahujú nijaké mechanické prvky, nie je potřebné mechanicky ich přestavovat po
Claims (4)
- PREDMET Vysielač informácií pre polohovacie zariadenia najma v mikroelektronike, vyznačujúce sa tým, že pozostáva z plášťa (3), v ktorom, sú upevněné aspoň štyri bezdotykové spínače (4) pravidelné od seba vzdialené, pričom plášť (3) je uzatvorený vekom (6), ktoré má na vnútornej ploché vytvořená kuželová plochu a vekom (2), v ktorom je v střede upevněné výkyvné ložisko (1]1 2 čas používania zariadenia. Taktiež mechanizmus, ktorý navracia páku po vychýlení do východzej polohy pracuje spoíahlivejšie, pretože naň nepůsobí direktívna sila mikrospínačov. To dovoluje operátorovi jemnejšie .narábať s ovládacou pákou a regulovat pohyb polohovacieho zariadenia. Vysielač informácií pre polohovacie zariadenie je příkladné .zobrazený na připojených výkresech, kde na obr. 1 je nakreslený vysielač informácií v pozdížnom řeze a na obr.
- 2 je nakreslený podorys obr. 1. Vysielač informácií pre polohovacie zariadenia najmá v mikroelektronike pozostáva z plášťa
- 3. V plášti 3 sú upevněné aspoň štyri bezdotykové spínače 4 pravidelné od seba vzdialené. Plášť 3 je uzatvorený vekom 6, ktoré má na vnútornej ploché vytvorenú kuželo-vú plochu. Z druhej strany je plášť 3, opatřený vekom 2, v ktorom je v střede upevněné výkyvné ložisko 1, Cez výkyvné ložisko 1 prechádza ovládací element 10, ktorý je v mieste přechodu rovinou bezdotykových spínačov 4 opatřený válcovou clonou 9. Ovládací element 10 má tiež na jednom konci vytvorenú dutinu 5, v ktorej je uložená pružina 8 a gulka 7. Vo vnútri plášťa 3 medzi bezdotykovými spíma-čmi 4 a vekom 6 je uložená dorazová doska 11 so středovým otvorom 12. V íkludovej polohe ovládacej páky 10 sú zopnuté všetky štyri bezdotykové spínače
- 4. Vychýlením ovládacej páky 10 sa zváčší podía směru vychýlenia vzdialenosť valcovej clony 9 od jedného alebo súčasne dvoch bezdotykových spínačov 4, čo spósobí ich rozopnutie. Na základe informácií odoberaných z bezdotykových spínačov 4 sa potom polohovacie zariadenie pohybuje v jednom alebo súčasne v dvoch smeroch. Návrat ovládacej páky 10 do východzej po-lohy po jej uvolnění zabezpečuje direktívna sila vyvolaná stlačením pružiny 8 pri pohybe gulky 7 po kuželovej ploché veka B. Vychýlenie ovládacej páky 10 je obmedzené velkosťou středového otvoru 12 v dorazovéj doske 11. VYNÁLEZU cez ktoré prechádza ovládací element (10) opatřený v mieste přechodu rovinou bezdotykových spínačov (4) clonou (9), zatial čo ovládací element (10) je na jednom konci opatřený odpruženou gulkou (7) dosadajúcou na kuželová plochu veka (6), kým plášť (3) je vo vnútri medzi bezdotykovými spínačmi (4) a vekom (6) opatřený dorazovou doskou (11) so středovým otvorom (12). 1 výkres 219 599SOUP 1216-84
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS670181A CS219599B1 (sk) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CS670181A CS219599B1 (sk) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CS219599B1 true CS219599B1 (sk) | 1983-03-25 |
Family
ID=5414656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CS670181A CS219599B1 (sk) | 1981-09-11 | 1981-09-11 | Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CS (1) | CS219599B1 (cs) |
-
1981
- 1981-09-11 CS CS670181A patent/CS219599B1/cs unknown
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4939320A (en) | Self-setting switch-actuating assembly and method | |
| EP3133628A1 (en) | Input apparatus | |
| US20200003987A1 (en) | Laser alignment systems | |
| DE10250908B4 (de) | Grenzschalter | |
| CA1184475A (en) | Sliding disc transducer actuator | |
| US3252345A (en) | Actuating mechanism and parts therefor or the like | |
| US5907138A (en) | Multi-step pushbutton switch for electronic devices | |
| CS219599B1 (sk) | Vysielač informácií pre polohovacie zriadenia najma v mikroelektronike | |
| US20080223703A1 (en) | Multifunctional operating element | |
| CN103247473A (zh) | 磁力触发的接近开关 | |
| JPS5960205A (ja) | 多座標−感知ヘツド | |
| US8129638B2 (en) | Switch comprising a coupling for fixing to an actuating device | |
| KR20200046717A (ko) | 정밀 연마용 시료 이송 장치 | |
| US9721740B1 (en) | Zero moment switch mechanism | |
| EP0260734B1 (en) | Adjustable preparation mounting for a radiation beam apparatus | |
| US2805610A (en) | Mechanism for automatically adjusting the diaphragm of a photographic objective | |
| US4926011A (en) | Multiobjective switch opening and closing apparatus | |
| US4778955A (en) | Limit switch assembly | |
| US4425026A (en) | Refocusing mirror manipulator | |
| KR101750960B1 (ko) | 센서장치 | |
| JP2001124825A (ja) | オートハンドラ用ハンド | |
| US3316402A (en) | Arrangement for exchanging pole piece systems in corpuscular radiation apparatus | |
| EP3367205A1 (de) | Steuer-vorrichtung | |
| US3531607A (en) | Switch assembly | |
| US3333098A (en) | Aperture device for electron microscopes and the like |