CS219588B1 - Double three-side mirror system of optical instruments mainly double-light interferometers - Google Patents

Description

219 588 (54) Dvojitý, trojboký zrkadlový systém optických prístrojov, najma dvojlúčovýchinterferomietrov 1

Vynález rieši dvojitú trojbokú zrkadlovúsustavu, nazvaná tiež dvojitý zrkadlový ků-lový odrážač, používaný na přesné spatnéodrazenie světelných lúčov v optických prí-strojoch, najma v dvojlúčových interfero-metrech, určených na přesné meranie dí-žok. Sú známe trojboké, opticky odrazné sú-stavy vytvořené z troch na seba navzájomkolmých zrkadliacich ploch v převedení akohranoly, v kterých světelné lúče prechádza-jú opticky priehfadným rnateriálom, nazva-né hranolové kútové odrážače, a sú známetrojboké odrazné sústavy zložené z-trochna seba navzájom kolmých rovinných zrka-diel, nazvané zrkadlové kútové odrážače.

Použitie hranolových a zrkadlových ku-lových odrážačov ako posuvných optickýchčastí, najmá v dvojlúčových interferomet-rech umožňuje mimo iné přesné meraniedížok bez vačšiebo nároku na dokonalúpriamkovo-sť alebo rovinnosť vedenia posuv-nej časti.

Nevýhodou u týchto kůlových odrážačovje však obťažná výroba a kontrola splneniapožiadavky presnej vzájomnej kolmosti všet-kých tro-ch funkčných rovinných zrkadlia-cich ploch, najma u zrkadlových kůlovýchodrážačov s rovinnými zrkadlami připevně-nými na, zvláštny nosič vyhotovenie a kon-trolovanie vzájomnej kolmosti dosadacíchploch pre zrkadlá je výrobně náročné. Geo-metrická nepřesnost kůlového odrážačavzniklá pri výrobě obmedzuje přesnost in-terferenčného merania. U hranolových kůlo-vých odrážačov, kde světelné lúče prechádza-jú opticky priehfadným rnateriálom, nedosta-točná homogenita a nežiadúce pnutie mate-riálu obmedzujú tiež přesnost interferenčné-ho merania.

Vyššie uvedené nedostatky sú odstránenézrkadlovým kótovým odrážačom podlá vy-nálezu, u ktorého podstata riešenia spočíváv tom, že zrkadlový kútový odrážač je vy-tvořený z troch zhodných, pravoúhlých, rov-nobežnostenných štvorbokých hranolov ohranách a, a, výške v = 2a, ktoré majú svo-je dve pozdížne, priíahlé, na seba kolméplochy rovinné zrkadliace, ktorými plocha-mi sú adhézne spojené tak, že tým vzniknedvojitá, protilehlá sústava troch navzájomna seba kolmých zrkadliacich rovinnýchploch, nazvaný dvojitý, zrkadlový, kútovýodrážač.

Toto riešenie má oproti uvedeným zná-mým riešeniam tú výhodu, že nevyžadujevyhotovenie až troch navzájom na seba kol-mých zrkadliacich rovinných ploch na op-tickej časti z jedného kusá materiálu, akopri výrobě hranolových kútových odráža-čov, ani osobitného nosiča rovinných zrka-diel s dosadacími plochami, zaručujúcimi 2 ich vzájomnú kolmost v troch rovinách, akopri výrobě zrkadlových kútových odrážačov.

Je známe, že výroba dvoch navzájom pres-ne kolmých rovinných ploch je menej ob-ťažná ako výroba troch navzájom presnekolmých rovinných ploch. Okrem toho takémalé uhlové chyby, ktoré ešte nehrániavzájemnému adhéznemu spojeniu všetkýchtroch hranolov, sa symetricky kompenzujúa tým sa zlepšuje celková geometrická přes-nost kůlového odrážača. Dalšou výhodouriešenia podlá vynálezu je, že nahradzujedruhý kútový odrážač v takých optickýchsystémoch, najma v dvojlúčových interfero-metrech, kde sú dva odrážače umiestnenéna jednej optickej osi vo funkcii odrazeniado dvoch protifahlých smerov. Příklad prevedenia vynálezu je vyobraze-ný na pripojenom výkrese, kde obr. 1 před-stavuje dvojitý, zrkadlový, kútový odrážač,a obr. 2 je schematicky znázorněný příkladpoužitia vynálezu vo funkcii posuvného,dvojitého, zrkadlového, kůlového odrážačav dvojlúčovom interferometr! na přesné me-ranie dížok.

Na obr. 1 znázorněný dvojitý, zrkadlový,kútový odrážač pozostáva z troch zhodných,pravoúhlých, rovnobežnostenných štvorbo-hranolov (1, 1£, 1“) o hranách (a, aj, výškeške v = 2a, ktoré sú svojimi zrkadliacimi,funkčnými plochami adhézne spojené podlávyobrazenia, a připadne ešte z troch spon2, 2’, 2”, ktorými sú v tejto polohe dočasnéalebo natrvalo zaistené.

Na obr. 2 znázorněném dvojlúčovom in-terferometr světelné žiarenie zdroja Q,predchádzajúce polopriepustným, optickýmdeličom S je rozdělené na dve vetvy, ktorésú ďalej odchýlené zrkadlami Z, Z’ na dveprotifahlé strany v smere X—Y posuvného,dvojitého, zrkadlového, kótového odrážačaR, z ktorého sú odrážané spát do optického,polopriepustného deliča S, na ktorom tietolúče interferujú a ako světelné signály sazachytávajú detektorem D na ďalšie vyhod-notenie, pričom funkciou dvojitého, zrkad-lového, kůlového odrážača R, znázorněnéhona obr. 1 je přesné odrazenie lúčov obi-dvoch vetiev do tých istých smerov, v kto-rých na něho dopadli, bez ich uhlového vy-chýlenia.

Použitie vynálezu nie je viazané len nauvedený příklad, ale može sa aplikovat ajtam, kde boli používané doposial' známekútové odrážače. Ďalej pre dme t vynálezuvo vyhotovení z priehfadného materiálu bezodrazných vrstiev móže sa použit ako do-tykový uhlový kaliber pri výrobě napříkladnosiča zrikadiel pre zrkadlový kútový od-rážač známého prevedenia alebo na kon-trolu vzájomnej kolmosti osí X, Y, Z troj-rozměrných, koordinačných mechanických

Claims (2)

1. 21» 588 systémov. Podl'a potřeby spůsobu uohyteniahrany nefunkčných plůch hranolov kufrové- ho odrážača můžu byť zrazené alebo- za-oblené. PREDMET VYNÁLEZU

   1. Dvojitý, trojhoký, zrkadlový systém op-tických prístrojov, najma dvojlúčových in-terferometroiv na přesné meranie dlžok,vyznačujúci sa tým, že je vytvořený z trochzhodných, pravoúhlých, rovnobežnostennýchhranolov (1, 1’, l”j o hranách (a, a) výške(v = 2a] z materiálu vhodného na vyhoto-venie dvoch zrkadliacich, rovinných ploch,zvierajúcich medzi sebou pravý uhol, kto- rými plochami sú tieto hranoly (1, 1’, l”jnavzájem adhézne spojené v jeden celoktak, že tým vzniknú dve protil'ahlé trojbokésústavy zrkadiel.
2. 2. Dvojitý, trojhoký, zrkadlový systémpodTa bodu 1 vyznačujúci sa tým, že na-vzájem adhézne spojené hranoly (1, Γ, 1”)odrážača sú v tejto polohe zaistené napří-klad pružnými sponami (2, 2’, 2”). 1 výkres