CS219212B1

CS219212B1 - Device for detecting flatness defects of flat plates, especially ceramic ones

Info

Publication number: CS219212B1
Application number: CS153181A
Authority: CS
Inventors: Olga Cizinecka
Original assignee: Olga Cizinecka
Priority date: 1981-03-04
Filing date: 1981-03-04
Publication date: 1983-03-25

Abstract

Vynález se týká způsobu zjišťování vad rovinnosti plochých desek, zejména keramických podložek pro hybridní integrované obvody a zařízení pro tento způsob. Vynález řeší konstrukční uspořádání přípravku, který zjišťuje vady rovinnosti pneumaticky na základě přisání podložky k pracovnímu stolu. Podstata způsobu spočívá v tom, že plochá deska se přisaje k rovné pracovní desce pneumaticky. Podstata zařízení je v tom, že neprodyšný stůl, opatřený hubicí, do které je nasazen přívod vývěvy přes průtokoměr, je opatřen pracovní deskou s alespoň jedním průduchem. Vynálezu může být využito zejména při zjišťování vad rovinnosti keramických podložek pro hybridní integrované obvody a všeobecně při zjišťování vad rovinnosti nepružných kovových či jiných desek.The invention relates to a method for detecting flatness defects in flat plates, in particular ceramic substrates for hybrid integrated circuits and a device for this method. The invention solves the structural arrangement of a device that detects flatness defects pneumatically by sucking the substrate to a work table. The essence of the method consists in that the flat plate is sucked to a flat work table pneumatically. The essence of the device is that an airtight table, equipped with a nozzle into which a vacuum pump inlet is inserted via a flow meter, is equipped with a work table with at least one vent. The invention can be used in particular for detecting flatness defects in ceramic substrates for hybrid integrated circuits and generally for detecting flatness defects in inelastic metal or other boards.

Description

Vynález se týká způsobu zjišťování vad rovinnosti plochých desek, zejména keramických podložek pro hybridní integrované obvody a zařízení pro tento způsob.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a method for detecting flatness defects of flat plates, in particular ceramic substrates for hybrid integrated circuits and apparatus for such a method.

Vynález řeší konstrukční uspořádání přípravku, který zjišťuje vady rovinnosti pneumaticky na základě přisání podložky k pracovnímu stolu.The invention solves the constructional arrangement of the fixture which detects flatness defects pneumatically by sucking the pad to the workbench.

Podstata způsobu spočívá v tom, že plochá deska se přisaje k rovné pracovní desce pneumaticky. Podstata zařízení je v tom, že neprodyšný stůl, opatřený hubicí, do které je nasazen přívod vývěvy přes průtokoměr, je opatřen pracovní deskou s alespoň jedním průduchem.The essence of the method is that the flat plate is sucked pneumatically into the flat worktop. The essence of the device is that the airtight table provided with a nozzle into which the pump inlet through the flow meter is fitted is provided with a worktop with at least one vent.

Vynálezu může být využito zejména při zjišťování vad rovinnosti keramických podložek pro hybridní integrované obvody a všeobecně při zjišťování vad rovinnosti nepružných kovových či jiných desek.In particular, the invention may be used to detect the flatness defects of ceramic substrates for hybrid integrated circuits and, in general, to detect the flatness defects of inelastic metal or other plates.

Vynález se týká zařízení pro zjišťování vad rovinnosti plochých desek, zejména keramických podložek pro hybridní integrované obvody.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The invention relates to a device for detecting flatness defects of flat plates, in particular ceramic washers for hybrid integrated circuits.

V současné době se vady rovinnosti desek zjišťují buď různými indikátory, nebo· opticky napr. průsvitem. Obě metody jsou zdlouhavé. Ve výrobě je často třeba pouze zjistit, zda rovinnost v určité toleranci vyhovuje či ne. Tak kupříkladu při výrobě hybridních integrovaných obvodů, zvláště při operacích pájení keramických podložek do pouzder a při ultrazvukovém přivařování čepů a vývodů, vznikají potíže vlivem nerovností těchto podložek. Mezi podložkou a pouzdrem při pájení a mezi podložkou a kovadlinou při sváření vznikají dutiny, které způsobují nežádoucí rezonance a opakované odpadávání svarů nebo jejich sníženou pevnost. V některých případech při nedostatečném pneumatickém upnutí podložek — nepostačující rovinnost — ke kovadlině se přidržují podložky pinzetou, což vede mnohdy ke značnému poškození vrstev. Je také znám automat pro· hlídání křivosti keramických desek, při němž je použit prvek pro vyhodnocení podtlaku. Reaguje na změnu podtlaku, nastavitelnou v mezích 0 až 380 mm sloupce Hg. Zařízení AOL-12 fy De H-a-art je však složité, a tudíž i drahé.Currently, the flatness defects of the boards are detected either by various indicators or optically, for example, by luminance. Both methods are lengthy. In production, it is often only necessary to find out whether flatness meets a certain tolerance or not. Thus, for example, in the manufacture of hybrid integrated circuits, particularly in the operations of soldering ceramic pads into housings and in ultrasonic welding of pins and outlets, difficulties arise due to unevenness of the pads. Cavities occur between the washer and the sleeve during soldering and between the washer and the anvil during welding, causing unwanted resonances and repeated weld sagging or reduced strength. In some cases, if the pads are not pneumatically clamped - insufficient flatness - to the anvil, the pads are held with tweezers, which often leads to considerable damage to the layers. There is also a known machine for monitoring the curvature of ceramic plates, in which a vacuum pressure evaluation element is used. It responds to a change in vacuum, adjustable between 0 and 380 mm Hg. However, the AOL-12 from De H-a-art is complex and therefore expensive.

Nevýhody současného stavu techniky jsou odstraněny zařízením pro zjišťování vad rovlnnosti plochých desek, zejména keramických, jehož podstatou je, že neprodyšný stůl, opatřený hubicí, do které je nasazen přívod vývěvy přes průtokoměr, je opatřen šikmou pracovní deskou s alespoň jedním průchodem.Disadvantages of the prior art are eliminated by a device for detecting flatness defects of flat plates, in particular ceramic plates, which consists in that the airtight table provided with a nozzle into which the pump inlet through the flow meter is fitted is provided with an inclined worktop with at least one pass.

Výhodou vynálezu je, že rovinnost desek lze zjišťovat rychle, s orientační přesností, v kterékoliv fázi výroby a odstranit podložku s vadami rovinnosti už na začátku výrobního procesu.An advantage of the invention is that the flatness of the plates can be detected quickly, with orientation accuracy, at any stage of production and the pad with flatness defects removed at the beginning of the manufacturing process.

Vynález bude blíže vysvětlen a popsán v příkladu možného provedení podle vynálezu pomocí Obrázku.The invention will be explained and described in more detail by way of example of a possible embodiment according to the invention by means of the Figure.

Zařízení se skládá z neprodyšného dutého stolu 1 válcového tvaru, jehož horní plochu tvoří šikmá pracovní deska 3 opatřená šestnácti kruhovými průduchy 2 o průměru 0,1 mm. Množství průduchů 2 a jejich rozložení závisí na tvaru a rozměrech zkoušených podložek 7. Ve spodní části stůl 1 vybíhá v hubici 4, ke které je přes průtokoměr 6 připojena vývěva 5 neustále v chodu. Zkoušená podložka 7 se položí na pracovní desku 3 stolu 1. Poloha podložky 7 je vymezena třemi dorazovými kolíky 8. Je-li rovná, ihned po položení se přisaje, zároveň klesne průtok vzduchu měřený průtokoměrem. Měří se rozdíl průtoků vzduchu před a po přiložení podložky 7. Není-li podložka 7 rovná, nepřisaje se a z pracovní desky 3 spadne. Chod vývěvy se nastaví tak, aby podložky ještě vhodné pro výrobu se přisály a ostatní spadly, nebo se měří průtok vzduchu před a po přiložení podložky a z naměřeného rozdídu průtoků se posuzuje křivost podložky (velký rozdíl průtoků — podložka vyhovuje, malý rozdíl průtoků — podložka je křivá. Tento způsob je vhodný pro třídění podložek do skupin. Zařízení je vhodné pro třídění podložek 7 dle požadovaného rozdílu průtoků. Zařízení podle tohoto příkladu se osvědčilo i při zjišťováni vad způsobených príškvarky, výstupky apod.The device consists of an airtight hollow table 1 of cylindrical shape, the upper surface of which is formed by an inclined worktop 3 provided with sixteen circular vents 2 with a diameter of 0.1 mm. The amount of vents 2 and their distribution depends on the shape and dimensions of the test pads 7. In the lower part, the table 1 extends in the nozzle 4, to which the pump 5 is connected continuously via the flow meter 6. The test washer 7 is placed on the worktop 3 of table 1. The position of the washer 7 is delimited by three stop pins 8. If it is straight, it is sucked immediately after laying, at the same time the air flow measured by the flow meter drops. Measure the difference in air flow before and after applying the washer 7. If the washer 7 is not straight, do not suck and fall off the worktop 3. The pump operation is adjusted so that the pads still suitable for production are sucked in and others fall, or the air flow is measured before and after the pad is applied and the measured flow distribution is assessed for the curvature of the pad (large flow difference - mat satisfactory, small flow difference - mat) This device is suitable for sorting washers into groups The device is suitable for sorting washers 7 according to the required flow difference The device according to this example has also proved useful in detecting defects caused by greaves, protrusions etc.

Vynález je možno použít všude, kde se zjišťuje rovinnost nepružných desek, anebo se hledají vady v rovinnosti.The invention can be used wherever the flatness of inelastic plates is detected or flatness defects are sought.

Po náležité úpravě dimenzí a vývěvy je možno vynálezu použít na orientační zjišťování rovinnosti i rozměrnějších kovových či jiných nepružných desek.Once the dimensions and the vacuum pump have been appropriately adjusted, the invention can be used to provide even flattened metal or other inelastic plates for orientation.

Claims

SUBJECT

Device for detecting flatness defects of flat plates, especially ceramic plates, characterized in that the airtight table (1), equipped with a nozzle (4), into which the feed of the invention (5) via the flow meter (6) is fitted, is provided with an inclined worktop (3). ) with at least one vent (21.

1 sheet of drawings