CS215536B1 - Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů - Google Patents

Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů Download PDF

Info

Publication number
CS215536B1
CS215536B1 CS425379A CS425379A CS215536B1 CS 215536 B1 CS215536 B1 CS 215536B1 CS 425379 A CS425379 A CS 425379A CS 425379 A CS425379 A CS 425379A CS 215536 B1 CS215536 B1 CS 215536B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
probe
metal
sample holder
periodic
charge
Prior art date
Application number
CS425379A
Other languages
English (en)
Inventor
Karel Ulbert
Miloslav Sorm
Stanislav Nespurek
Josef Hejda
Original Assignee
Karel Ulbert
Miloslav Sorm
Stanislav Nespurek
Josef Hejda
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Karel Ulbert, Miloslav Sorm, Stanislav Nespurek, Josef Hejda filed Critical Karel Ulbert
Priority to CS425379A priority Critical patent/CS215536B1/cs
Publication of CS215536B1 publication Critical patent/CS215536B1/cs

Links

Landscapes

  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů sestávající z držáku vzorku, kovové sondy upevněné na izolátoru a vyhodnocovacího elektronického zařízení, kde držák vzorku se pohybuje periodicky nebo neperiodicky vzhledem k sondě. Přístroj je opatřen dvěma kontakty v blízkosti sondy, z nichž první elektromechanicky spojuje v okamžiku přiblížení držáku vzorku k sondě odvrácenou síranu sondy s držákem vzorku a druhý při oddálení držáku vzorku od sondy spojuje elektromechanicky libovolné místo sondy se vstupní svorkou vyhodnocovacího zařízení. Jediný vysoký izolační odpor je potřebný pro držák sondy, o hodnotě vyšší než ΙΟ13 Ω, vyhodnocovací zařízení není elektrometrického typu, má vstupní odpor 10_1 až ΙΟ12 Ω. Zařízení je tím jednoduché, necitlivé k vlivům vlhkosti, netrpí polarizačními efekty a je odolné vůči vnějším elektrickým poruchám. Je vhodné pro určování charakteristik izolantů různých tvarů a struktury povrchu, pokud jde o jejich schopnost se elektricky nabíjet a vybíjet.

Description

>215336
Vynález se týká přístroje pro bezkontaktnídetekci a měření povrchového elektrické-ho náboje materiálů.
Povrchový elektrický náboj materiálů sev současné době bezkontaktně měří pomocíelektronických elektrometrů různých typů:stejnosměrných, s kmitajícím jazýčkem ne-bo kmitajícím kondenzátorem nebo s fixníelektrodou a rotujícím vzorkem. Využívá sepři tom elektrického náboje indukovanéhona izolované kovové elektrodě spojené selektrometrem. Vstup elektrometru musíbezpodmínečně vykazovat hodnotu odporupřevyšující ΙΟ13 Ω, jinak dochází k vyrov-nání indukovaného náboje na hodnotu blíz-kou nule. Pro vstupní aktivní obvod elek-trometru se proto užívá speciální elektron-ky nebo polovodiče typu FET. Tyto aktivníprvky mají však řadu vlastností, působícíchpři měření potíže: nejsou dostatečně prou-dově stabilní, projevují se u nich vlivy stár-nutí, jsou zatíženy dlouhodobými polarizač-ními efekty, jsou bez speciálních dodateč-ných opatření choulostivé na vliv vlhkostia jsou citlivé ke vnějším elektrickým poru-chám. Výše uvedené nevýhody odstraňuje pří-stroj pro bezkontaktní detekci a měření e-lektrického náboje materiálů sestávající zdržáku vzorku, sondy a vyhodnocovacíhozařízení podle vynálezu, jehož podstataspočívá v tom, že kovová sonda je upevněnana vysokoohmovém izolantu, svou čelní plo-chou rovnoběžně s kovovým držákem vzor-ku, přičemž kovový držák vzorku a kovovásonda jsou mechanicky spojeny s kinema-tickým členem pro jejich vzájemný perio-diský nebo neperiodický pohyb v roviněčelní plochy kovové sondy, dále je přístrojopatřen prvním kovovým kontaktem, umístě-ným na straně kovové sondy odvrácené odvzorku, pro periodické nebo neperiodickéelektrické spojování odvrácené strany ko-vové sondy s libovolným místem elektrickyspojeným s kovovým držákem vzorku, dá-le je přístroj opatřen druhým kovovým kon-taktem, umístěným v libovolném místě ob-vodu nebo od vzorku odvrácené strany ko-vové sondy, pro periodické nebo neperio-dické elektrické spojování se svorkou elek-tronického nízkoohmového vyhodnocovací-ho zařízení.
Vyššího účinku popsaného zařízení podlevynálezu je dosaženo tím, že na kovovésondě vzniká při pohybu vzorku vzhledemke kovové sondě v důsledku mechanickyuzavíraného elektrického spojení odvráce-né strany kovové sondy s kovovým držákemvzorku, zprostředkovaného prvním kovo-vým kontaktem, reálný elektrický náboj,který je pak přiváděn z libovolného místakovové sondy mechanicky uzavíraným e-lektrickým spojením, zprostředkovaným dru-hým kovovým kontaktem, ke vstupní svor-ce elektronického nízkoohmového vyhod-nocovacího zařízení. Tímto způsobem je od-dělen pasivní prvek, tj. měřicí kovová son- da od aktivního prvku, elektronického níz-koohmového vyhodnocovacího zařízení. Izo-lant, na němž je upevněna sonda, lze snad-no realizovat s vysokým elektrickým odpo-rem, bez polarizačních efektů a bez zna-telného vlivu vlhkosti, užije-li se pro nějmateriálu vhodného typu a geometrie, např.tenké dlouhé keramické tyčinky. Nízký od-por elektronického vyhodnocovacího zaří-zení pak působí, že zařízení nepodléhá vpře-du uvedeným potížím při měření. Protožedobu sepnutí kontaktů lze volit krátkouvzhledem k době mezi jednotlivými přiblí-ženími kovového držáku se vzorkem k son-dě, realizovanými pomocí kinematickéhočlenu, sníží se silně pravděpodobnost vý-skytu vnější elektrické poruchy. Přístroj pro detekci a měření povrchové-ho eletkrického náboje materiálů je sche-maticky znázorněn na obrázku.
Sestává z držáku vzorku, sondy, a vyhod-nocovacího zařízení, přičemž kovová son-da 1 je upevněna na vysokoohmovém izo-lantu 2, o elektrickém odporu převyšujícímΙΟ13 Ω, svou čelní plochou rovnoběžně skovovým držákem 3 vzorku, přičemž kovo-vý držák 3 vzorku a kovová sonda 1 jsoumechanicky spojeny s kinetickým členem4 pro jejich vzájemný periodický nebo ne-periodický pohyb v rovině čelní plochy ko-vové sondy 1, dále je přístroj opatřen prv-ním kovovým kontaktem 7, umístěným nastraně kovové sondy 1 odvrácené od vzor-ku, pro periodické nebo neperiodické elek-trické spojování odvrácené strany kovovésondy 1 s libovolným místem elektrickyspojeným s kovovým držákem 3 vzorku, dá-le je přístroj opatřen druhým kovovým kon-taktem 8, umístěným v libovolném místěobvodu nebo odvrácené strany kovové son-ňy 1, pro periodické nebo neperiodické e-lektrické spojování se svorkou 6 elektro-nického nízkoohmového vyhodnocovacíhozařízení 5, jehož vstupní odpor je v rozme-zí 10_1 Ω až ΙΟ12 Ω, s výhodou v mezích103 až 10s Ω.
Pro lepší objasnění vynálezu bude nyníuveden popis činnosti; pomocí kinematic-kého členu 4 se periodicky nebo neperio-dicky přibližuje kovový držák 3 vzorku kekovové sondě‘Va umístěné na vysokoohmo-vém izolantu 2. Tím se v kovové sondě 1indukuje elektrický náboj, který se krátko-dobým mechanickým uzavřením prvníhokovového kontaktu 7, spojujícího elektrickystranu kovové sondy 1 odvrácenou od ko-vového držáku 3 vzorku s tímto kovovýmdržákem 3, převede na reálný elektrickýnáboj. Při periodickém nebo neperiodic-kém oddálení kovového držáku 3 vzorku odkovové sondy 1 se krátkodobým mechanic-kým uzavřením druhého kovového kontak-tu 8 elektricky spojí libovolné místo kovo-vé sondy '*3 se svorkou 6 elektronickéhonízkoohmového vyhodnocovacího zařízení 5.
Je patrno, že při každém pracovním cyk-lu, tj. přiblížení kovového držáku 3 s na-

Claims (1)

  1. 215 5 bitým vzorkem ke kovové sondě 1 a jehooddálení od kovové sondy 1 je generovánreálný elektrický náboj, jehož velikost jeúměrná velikosti náboje vzorku a jehož po-larita je opačná, než polarita povrchovéhonáboje vzorku. Tento náboj je periodicky ne-bo neperiodicky přiváděn k nízkoohmové-mu elektronickému vyhodnocovacímu zaří-zení 5. Jednotlivé nábojové dávky lze o so-bě známými způsoby sčítat, indikovat a za-znamenávat. Je výhodné sečíst naprogramo-vaný počet dávek, vynulovat čítači zaříze-ní a opakovat sčítání. Tímto způsobem lzepodle známých statistických vztahů zlep- pRedmEt Přístroj pro benzkontaktní detekci a mě-ření povrchového elektrického náboje ma-teriálů, sestávající z držáku vzorku, sondya vyhodnocovacího zařízení, vyznačený tím,že kovová sonda (1) je upevněna na vyso-koohmovém izolantu (2), svou čelní plo-chou rovnoběžně s kovovým držákem [3Jvzorku, přičemž kovový držák (3) vzorkua kovová sonda (1) jsou mechanicky spojenys kinematickým členem (4J pro jejich vzá-jemný periodický nebo neperiodický po-hyb v rovině čelní plochy kovové sondy(1 j, dále je opatřen prvním kovovým kon- 36 6 šit přesnost vyhodnocení vykompenzovánímnáhodných odchylek v jednotlivých nábojo-vých dávkách. Přístroj podle vynálezu je vhodný prospolehlivé, jednoduché a přesné stanovovánícharakteristik vzorků libovolných izolan-tů, například keramiky, skla, plastickýchmateriálů ve velké variantě tvarů a struk-tur, například ve formě vláken, textilu, gra-nulí, prášků atd., pokud jde o jejich schop-nost se elektricky nabíjet a vybíjet. Zvláš-tě vhodný je pro zjišťování účinnosti anti-statických úprav materiálů. YNÁLEZU taktem (7) umístěným na straně kovovésondy [1J odvrácené od vzorku, pro perio-dické nebo neperiodické elektrické spojo-vání odvrácené strany kovové sondy (1) slibovolným místem elektricky spojeným skovovým držákem (3) vzorku, dále je o-patřen druhým kovovým kontaktem (8J,umístěným v libovolném místě obvodu ne-bo od vzorku odvrácené strany kovové son-dy (1), pro periodické nebo neperiodickéelektrické spojování se svorkou (6) elek-tronického nízkoohmového vyhodnocovací-ho zařízení (5). 1 list výkresů
CS425379A 1979-06-20 1979-06-20 Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů CS215536B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS425379A CS215536B1 (cs) 1979-06-20 1979-06-20 Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS425379A CS215536B1 (cs) 1979-06-20 1979-06-20 Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS215536B1 true CS215536B1 (cs) 1982-08-27

Family

ID=5384837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS425379A CS215536B1 (cs) 1979-06-20 1979-06-20 Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS215536B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Secker The desing of simple instruments for measurement of charge on insulating surfaces
US6717413B1 (en) Contact potential difference ionization detector
US3621392A (en) Connectionless electrical meter for measuring voltage or power factor
CN109470133B (zh) 静电式自供能应变栅格传感器
Burdick et al. Theoretical expression for the noise equivalent power of pyroelectric detectors
Andò et al. A nonlinear electric field sensor that exploits coupled oscillator dynamics: The charge collection mechanism
Gerhardt What is impedance and dielectric spectroscopy?
CS215536B1 (cs) Přístroj pro bezkontaktní detekci a měření povrchového elektrického náboje materiálů
US3243701A (en) Apparatus for capacitive measurement of coating thickness utilizing a square wave source and galvanometer responsive to unidirectional discharge current
US3354388A (en) Method for measuring the moisture content of wood
Vosteen A review of current electrostatic measurement techniques and their limitations
Taylor et al. An instrument for measuring static dissipation from materials
US3927324A (en) Micrometeoroid velocity and trajectory analyzer
US3828250A (en) Electrostatic charge measuring device
Blacker et al. Electrostatic charge occurrence, significance and measurement
Ichijo et al. Highly Stabilized and Sensitive Reactance Meter
RU2121135C1 (ru) Электроизмерительный прибор
Jonassen Static Electric Measurements
RU2729169C1 (ru) Устройство для измерения удельного сопротивления полупроводниковых режущих керамических пластин
Fouracre et al. Surface conductivity measurements on thin polymer films
Jonassen Electrostatic Measurements
Buchman et al. Charge measurement
SU1659916A1 (ru) Устройство дл измерени напр женности электрического пол
Waqas et al. A MEMS Based Three Electrodes Ionization Sensor for Real-Time Detection of Transient Overvoltage in UHV Transmission Systems
Goswami et al. Analog frontend for fringe field capacitive soil moisture sensor