CS205948B1 - Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého - Google Patents

Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého Download PDF

Info

Publication number
CS205948B1
CS205948B1 CS345779A CS345779A CS205948B1 CS 205948 B1 CS205948 B1 CS 205948B1 CS 345779 A CS345779 A CS 345779A CS 345779 A CS345779 A CS 345779A CS 205948 B1 CS205948 B1 CS 205948B1
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
oxide
cadmium
weight
glass
traces
Prior art date
Application number
CS345779A
Other languages
English (en)
Inventor
Radomir Kuzel
Josef Broukal
Josef Bursa
Pavel Hoeschl
Bohuslav Rehak
Original Assignee
Radomir Kuzel
Josef Broukal
Josef Bursa
Pavel Hoeschl
Bohuslav Rehak
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Radomir Kuzel, Josef Broukal, Josef Bursa, Pavel Hoeschl, Bohuslav Rehak filed Critical Radomir Kuzel
Priority to CS345779A priority Critical patent/CS205948B1/cs
Publication of CS205948B1 publication Critical patent/CS205948B1/cs

Links

Landscapes

  • Non-Adjustable Resistors (AREA)
  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

Vynález se týká způsobu výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého.
Stabilní tlustovrstvé resistory pro mikroelektroniku se vyrábějí většinou z jemně mletých složek obsahujících olovnatá skla s vysokým obsahem kysličníku olovnatého a sloučenin drahých kovů: platiny, paladia, ruthenia, zlata apod. Vlastnosti takto připravených resistorů plně vyhovují pro hromadné použití pro mikroelektroniku, avšak vlastní směs pro sítotiskovou pastu je velmi drahá s ohledem na obsah drahých kovů. Dosud nebyla plně vyřešena výroba tlustovrstvých resistorů na bázi levných kovů nebo polovodičů, případně při použití minimálního přídavku drahých kovů. Při hromadném použití levných kovů jsou předpoklady podstatně snížit jak cenu potřebných sítotiskových past, tak i ušetřit drahé kovy. Základním problémem, kíterý nebyl dosud uspokojivě vyřešen, je výběr a příprava vhodného skla a polovodivé sloučeniny. Dále je nutno vyřešit vhodný způsob výroby levného tlustovrstvé205948 ho resistorů pro hromadnou výrobu hybridních integrovaných obvodů pro mikroelektroniku.
Tuto problematiku řeší podle vynálezu způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého. Jeho podstata spočívá v tom, že se odporová pasta, jejíž pevná složka, tvořící 30 až 95 % hmotnosti této pasty, je tvořena směsí, obsahující 30 až 98 % hmotnosti jemně rozemletého skla, smíšeného v molárnim poměru z 5 až 60 °/o kysličníku olovnatého PbO, 1 až 50 % kysličníku boritého B2O3, 2 až 60 % kysličníku kademnatého CdO, 1 až 50 % kysličníku barnetého BaO a stopového množství až 5 % kysličníku měďnatého CuO a/nebo stopového množství až 10 % kysličníku hlinitého A12O3 a/nebo stopového množství až 10 % kysličníku sodného Na2O a/nebo stopového množství až 10 % kysličníku vizmutitého Bi2O3 a/nebo stopového množství až 10 % kysličníku křemičitého SiO2, a dále 1 až 60 % hmotnosti práškového kysličníku kademnatého CdO, a jejíž zbytek, tj. 5 až 70 % celkové hmotnosti i pasty, tvoří vhodné sítotiskové médium, naj nese sítotiskovou technikou na podložku a po vysušení při teplotě 20 až 200 °C se vypálí při teplotě v oblasti 500 až 850 °C. Dále je možno do pevné složky odporové pasty přidat alespoň jednu sloučeninu ruthenia ve formě jemného prášku v množství 0,1, až 15 % · celkově hmotnosti pevné složky odporové pasty. Podle dalšího význaků je možno zhotovené tlustovrstvé resistory ještě dodatečně zahřívat při teplotě 160 až 450 °C po dobu 5 minut až 30 hodin. Konečně podle posledního význaků vynálezu je možno sklo před smíšením s práškovým kysličníkem kademnatým CdO a alespoň jednou sloučeninou ruthenia ve formě jemného prášku přetavit při teplotě od 550 do 680 °C a ve vakuu.
Způsob podle vynálezu umožňuje vhodný způsob výroby levného tlustovrstvého resistoru pro hromadnou výrobu zejména tím, ! že při vlastním stavování uvedených směsí na podložce dochází k částečnému rozpouštění vodivých částeček — kysličníku kademj natého — v kademnatém skle á tím i k jejich lepšímu propojování do elektricky vodivých řetězců. Rovněž příměsi sloučenin ruthenia přispívají u některých odporových hmot k tvorbě výhodných vodivých oblastí v tlustovrstvých resistorech.
Způsob podle vynálezu je dále blíže popsán na několika příkladech provedení.
! Příklad 1
Skleněná frita o molárním složení 30 % kysličníku olovnatého PbO, 15,5 % kysličníku barnatého BaO, 26 % kysličníku kademnatého CdO, 23 % kysličníku boritého B2O3, 5 % kysličníku sodného Na2O a 0,5 % kysličníku vizmutitého Bi2O3 se rozdrtí a rozemele na částice o rozměru pod 10 μπι. Tento i prášek se smísí s práškovým kysličníkem ka-. demnatým CdO o rozměrech částic pod 5 μΐη. Hmotnostní poměr obou složek je 70 % mletého skla a 30 % kysličníku kademnatého CdO.
Připravená směs obou prášků se dobře ? smísí se sítotiskovým mediem, které obsahuje 10 % hmotnosti ethylcelulosy a 90 % hmotnosti terpineolu na odporovou pastu obsahující 70 % hmotnosti práškové směsi a 30 % hmotnosti media.
Odporová pasta se nanese na keramické
2Π5 948 korundové destičky, opatřené stříbrnými nebo zlatými elektrodami. Nanášení se provádí sítotiskovou technikou. Nanesené vrstvy na keramické destičce se po vysušení na teplotě 150 °C po dobu 5 až 10 minut vypálí na teplotě 700 °C po dobu 10 minut. Vypálené odporové vrstvy o rozměrech 4X2 mm a tloušťce kolem 10 μΐη mají elektrický odpor kň ± 10 %. Pro zvýšení teplotní stability odporu se vrstvy dodatečně temperují při teplotě 220 °C po dobu 2 až 5 hodin. Teplotní součinitel odporu vrstev je —500 · 10-6 “C-1 a změna odporu za dobu 1000 hodin při teplotě 120 °C je+0,5 %.
[ Příklad 2
Skleněná frita o molárním složení 20 % kysličníku olovnatého PbO, 25 % kysličníku boritého B2O3, 35 °/o kysličníku kademnatého CdO, 16,5 % kysličníku barnetého BaO, 0,5 % kysličníku vizmutitého Bi2O3, 1,5 % kysličníku křemičitého SiO2, 1,5 % kysličníku hlinitého A12O3 se rozdrtí a umele na částice o rozměrech pod 10 μηι. Tato skleněná frita se smísí s práškovým kysličníkem kademnatým CdO o rozměrech částic pod μΐη a s práškovým dirutheničitanem diolovnatým Pb2Ru2O6 o rozměrech částic pod 1 μΐη. Hmotnostní poměr uvedených složek je 80 % mletého skla, 16 °/o kysličníku kademnatého CdO a 4 % dirutheničitanu dioolovnatého Pb2Ru2O6.
Připravená směs těchto prášků se dobře smísí se sítotiskovým mediem, které obsahuje 10 % hmotnosti ethylcelulosy a 90 % hmotnosti terpineolu, na odporovou pastu obsahující 66 % hmotnosti práškové směsi a 34 % hmotnosti media. Odporová pasta se nanese na keramické korundové destičky opatřené stříbrnými nebo zlatými elektrodami. Nanášení se provádí sítotiskovou technikou. Nanesené vrstvy na keramických destičkách se po vysušení na teplotě 150 °C po dobu 5 až 10 minut vypálí na teplotě 700 °C po dobu 15 minut. Vypálené vrstvy o rozměrech 4X2 mm a tloušťce 10 μπι mají hodnotu elektrického odporu 20 kQ ±10 °/o, teplotní součinitel odporu je —4 · 10_G °C_1.
Příklad 3
Skleněná frita o složení uvedeném v příkladu 2 se smísí s práškovým kysličníkem kademnatým CdO o rozměrech částic pod μηι a s práškovým kysličníkem rutheniči; tým RuO2 o rozměrech částic pod 0,2 μπι. i Hmotnostní poměr uvedených složek je ί 80 % mletého skla, 15 °/o kysličníku kai demnatého CdO a 5 % kysličníku rutheni; čitého RuO2. Příprava odporové pasty a naí tištění odporových vrstev se provede stejným způsobem jako v příkladě 2. Vysůšené vrstvy še vypálí na teplotě 720 °C po dobu 15 minut. Vypálené vrstvy o rozměrech 4X2 mm a tloušťce 10 μπι mají hodnotu elektrického odporu 500 Ω ± 10 %, teplotní součinitel odporu je +40 · 10~6 °C_1.
Příklad 4
Skleněná frita o molárnim složení 20 % kysličníku olovnatého PbO, 25 % kysličníku boritého B2O3, 35 % kysličníku kademnatého CdO, 16,5 % kysličníku barnatého BaO, 3 % kysličníku sodného Na2 O a 0,5 % kysličníku vizmutitého Bi2O3 se rozdrtí a umele na částice o rozměru pod 10 μηι. Toto umleté sklo se smísí s práškovým kysličníkem kademnatým CdO o rozměrech částic pod 5 pm a práškovým dirutheničitanem divizmutitým Bi2Ru2O7 o rozměrech částic pod 0,2 μηι. Hmotnostní poměr uvedených složek je 80 % mletého skla, 15,4 % kysličníku kademnatého CdO a 4,6 % dirutheničitanu divizmutitého Bi2Ru2O7. Příprava odporové pasty a odporových vrstev se provede způsobem popsaným v příkladě 2. Vysušené vrstvy se vypálí při teplotě 730 °C po dobu 15 minut. Vypálené vrstvy o rozměrech 4X2 mm a tloušťce 10 μιη mají hodnotu elektrického odporu 5 kQ ± 10 %, teplotní součinitel odporu je —50 · 10-6 °C“1, změna odporu při teplotě 120 °C za dobu 1000 hodin je to +50 °/o.
Příklad 5
Skleněná frita o složení uvedeném v příkladu 2 se přetaví při teplotě 600 °C a ve vakuu při tlaku zbytkových plynů 1,3 Pa po dobu 15 minut. Po rozemletí přetaveného skla na částice o rozměrech pod 10 μπι se připraví odporová pasta s poměrem jednotlivých složek podle příkladu 1. Nanesené a vysušené vrstvy se vypálí při teplotě 700 °C po dobu 10 minut Vypálené odporové vrstvy o rozměrech 4X2 milimetry a tloušťce kolem 10 μπι mají elektric2Π5 948 ký odpor 20 ΚΩ ± 10 % a teplotní součinitel -500 · 10“6 “C1.
Takto připravené resistory jsou stabilní až do teplot nejméně 640 °C.

Claims (4)

  1. PŘEDMĚT VYNÁLEZU
    1. Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého vyznačený tím, že se odporová pasta, jejíž pevná složka, tvořící 30 až 95 % hmotnosti této pasty, je tvořena směsí, obsahující 30 až 98 % hmotnosti jemně rozemletého skla, zahrnujícího v molární koncentraci 5 až 60 % kysličníku olovnatého PbO, 1 až 50 % kysličníku boritého B2O3, 2 až 60 % kysličníku kademnatého CdO, 1 až 50 % kysličníku barnatého BaO a alespoň jeden ze skupiny kysličníků zahrnující kysličník měďnatý, hlinitý, sodný, vizmutitý a křemičitý v molární koncentraci stopy až 5 % kysličníku měďnatého CuO, stopy až 10 % kysličníku hlinitého A12O3, stopy až 10 % kysličníku sodného Na2O, stopy až 10 % kysličníku vizmutitého Bi2O3 a stopy až 10 % kysličníku křemičitého SiO2, a dále obsahující 1 až 60 % hmotnosti práškového kysličníku kademnatého CdO, a jejíž zbytek, tj. 5 až 70 % hmotnosti pasty, tvoří sítotiskové me; dium, nanese sítotiskovou technikou na podložku a po vysušení při teplotě 20 až 200 °C se vypálí při teplotě v oblasti 500 až 850 °C.
  2. 2. Způsob výroby tlustovrstvých resistorů podle bodu 1 vyznačený tím, že se ke směsi rozemletého skla a kysličníku kademnatého CdO přidá alespoň jedna sloučenina ruthenia ve formě jemného prášku v množství 0,1 až 15 % celkové hmotnosti pevné složky odporové pasty.
  3. 3. Způsob výroby tlustovrstvých resistorů podle bodu 1 vyznačený tím, že se zhotovené tlustovrstvé resistory ještě dodatečně zahřívají při teplotě 160 až 450 °C po dobu 5 minut až 30 hodin.
  4. 4. Způsob výroby tlustovrstvých resistorů podle bodů 1 a 2 vyznačený tím, že se sklo před smíšením s práškovým kysličníkem kademnatým CdO a alespoň jednou sloučeninou ruthenia ve formě jemného prášku přetaví při teplotě od 550 do 680 °C a ve vakuu.
CS345779A 1979-05-18 1979-05-18 Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého CS205948B1 (cs)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS345779A CS205948B1 (cs) 1979-05-18 1979-05-18 Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CS345779A CS205948B1 (cs) 1979-05-18 1979-05-18 Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS205948B1 true CS205948B1 (cs) 1981-05-29

Family

ID=5374686

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS345779A CS205948B1 (cs) 1979-05-18 1979-05-18 Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého

Country Status (1)

Country Link
CS (1) CS205948B1 (cs)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR970008549B1 (ko) 높은 열 사이클 접착력 및 노화 접착력을 위한 은 풍부 전도체 조성물
US3682840A (en) Electrical resistor containing lead ruthenate
JPH0728128B2 (ja) セラミック多層配線基板とその製造方法
EP0304309A1 (en) Thick film copper conductor inks
US4160227A (en) Thermistor composition and thick film thermistor
JPS6038802B2 (ja) 電気抵抗器およびその製造
US4316920A (en) Thick film resistor circuits
US5637261A (en) Aluminum nitride-compatible thick-film binder glass and thick-film paste composition
US4587040A (en) Thick film thermistor composition
EP1377986B1 (en) The use of conductor compositions in electronic circuits
US4481261A (en) Blister-resistant dielectric
US3951672A (en) Glass frit containing lead ruthenate or lead iridate in relatively uniform dispersion and method to produce same
US6037045A (en) Thick-film paste and ceramic circuit substrate using the same
CS205948B1 (cs) Způsob výroby tlustovrstvých resistorů z kademnatého skla a kysličníku kademnatého
KR100668548B1 (ko) 전도체 조성물 및 그의 용도
US5120473A (en) Metallizing composition for use with ceramics
KR100535851B1 (ko) 전도체 조성물
US5011530A (en) Metallizing composition for use with ceramics
RU2052850C1 (ru) Диэлектрическая паста
JPH1083717A (ja) 導電性組成物
JP2004006846A (ja) セラミック基板、およびその製造方法
JPH0534311B2 (cs)
JPH0346706A (ja) 銅ペースト
JPH0368485B2 (cs)
PL160358B1 (pl) Sposób wytwarzania lutownych kontaktowych warstw metalicznych Sn-Pb-Ag na ceramicznych krawedziach rezystorów warstwowych strukturowych sluzacych zwlaszcza do montazu powierzchniowego PL