CS198633B1

CS198633B1 - Connexion of screen coils of elektron microscope

Info

Publication number: CS198633B1
Application number: CS68078A
Authority: CS
Inventors: Jaromir Uhde
Original assignee: Jaromir Uhde
Priority date: 1978-02-02
Filing date: 1978-02-02
Publication date: 1980-06-30

Description

(54)(54)

Zapojení rastrovacích cívek elektronového mikroskopuConnection of scanning electron microscope coils

Vynález se týká zapojení rastrovacích cívek elektronového mikroskopu, sloužícího ke kompenzaci středu zvětšení při změně zvětšení.BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to electron microscope scanning coils for compensating the magnification center when the magnification changes.

Při pozorování zkoumaného objektu elektronovým rastrovacím mikroskopem na monitoru je základním požadavkem možnost postupného zvětšování určeného místa objektu obvykle předem nastaveného do středu obrazu. Toto zvětšování se provádí bučí po skocích, nebo plynule změnami napětí, nebo změnami referenčního odporu v obvodu rastrovacích cívek, které jsou' obvykle spojeny přes regulátory a stabilizátor s generátorem pilového napětí.When observing the object to be examined by an electron scanning microscope on the monitor, the basic requirement is the possibility of gradually increasing the designated point of the object, usually preset to the center of the image. This increase is effected either stepwise or steplessly by varying the voltage, or by changing the reference resistance in the circuit of the scanning coils, which are usually connected via regulators and a stabilizer to the saw voltage generator.

Je-li vychylování v rastrovacích cívkách řešeno proudovým stabilizátorem, pak změny zvětšení dosáhneme změnou referenčního odporu při skokovém nastavení a nebo změnou vstupního referenčního napětí při plynulém nastavování. U tohoto zapojení při změnách zvětšení skokově, tj. hrubě nebo plynule, tj. jemně, jsou středy zvětšení obecně vzájemně posunuté. Hledání určeného objektu pozorování je tedy ztíženo vlivem vznikajících posuvů při střídání ovladačů zvětšení.If the deflection in the scanning coils is solved by a current stabilizer, then the change in magnification is achieved by changing the reference resistance at the step setting or by changing the input reference voltage at the stepless setting. With this engagement, the magnification centers are generally offset relative to one another when the magnification changes abruptly, i.e. coarsely or continuously, i.e. gently. Finding the specified observation object is thus made more difficult due to the shifts that occur when the zoom controls are rotated.

Tyto dosavadní nevýhody odstraňuje zapojení rastrovacích cívek elektronového mikroskopu sloužící ke kompenzaci středu zvětšení při změně zvětšení, tvořené vyohylovacími cívkami pro směr x a y, zapojenými přes regulační obvod s generátorem pilového napětí. Podstatou zapojení je, že mezi první výstup regulačního obvodu plynulého zvětšení a rastrovací cívky pro směr x je zapojen první kompenzační zdroj v sérii s prvním stabilizátorem a mezi druhýThe elimination of electron microscope scanning coils used to compensate the magnification center when the magnification is varied, consisting of x and y direction coils connected through a control circuit with a saw voltage generator, eliminates these disadvantages. The essence of the circuit is that between the first output of the continuous zoom control circuit and the scanning coil for the x direction is connected the first compensation source in series with the first stabilizer and between the second

198 633198 633

198 833 výstup regulačního obvodu plynulého zvětšení a rastrovací oívky pro směr yje zapojen druhý kompenzační zdroj v sérii s druhým stabilizátorem proudu, mezi nímž a prvním stabilizátorem proudu je zapojen obvod pro hrubé nastavení zvětšení.198 833 the output of the continuous magnification control circuit and the scan coil for the y direction is connected to a second compensation source in series with a second current stabilizer, between which a coarse magnification adjustment circuit is connected between the first current stabilizer.

Předností popisovaného zapojení je dosažení plynulého nastavení kompenzačního napětí na rastrovacích cívkách, jak ve směru x, tak ve směru y. Obvodem lze dosáhnout, naprosté shody středů zvětšení při změně zvětšení, aí je prováděno hrubým posuvem nebo plynulým posuvem.The advantage of the described circuit is to achieve a smooth adjustment of the compensating voltage on the scanning coils in both the x and y directions. The circumference can achieve an absolute match of the magnification centers when the magnification is changed, either by coarse feed or continuous feed.

Vynález blíže objasní přiložený výkres blokového zapojení. Zapojeni sestává z obvodu generátoru 1 pilového napětí, který je spojen se vstupem regulačního obvodu 2 plynulého zvětšení. Jeho první výstup je spojen přes první kompenzační zdroj J s prvním stabilizátorem proudu 2 ^a j®h® druhý výstup Je spojen přes druhý kompenzační zdroj 2 ⁸ druhým stabilizátorem proudu 2· Obvod 2 P^ro hrubé nastavení zvětšení je spojen s oběma stabilizátory proudu £ β J. První stabilizátor proudu 2 3® výstupem spojen s rastrovacími cívkami 3 pro směr x a druhý stabilizátor proudu 2 ⁸ ťeetrovacími cívkami 2 P^ro směr y·BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The invention is explained in greater detail in the accompanying drawing of a block circuit. The circuit consists of a circuit of the saw voltage generator 1, which is connected to the input of the continuous magnification control circuit 2. The first output is coupled through a first compensating J feed stream with a first stabilizer j®h® 2 ^and the second output is coupled through a second compensating source 2 ⁸ second power stabilizer circuit 2 · 2 P ^ro coarse adjustment magnification is coupled with the two current regulators £ β J. first stabilizer 2 3® current output connected to the scan coils 3 for the x direction and the second power stabilizer ⁸ ťeetrovacími two coils 2 P ^ro · y direction

Zapojení pracuje za provozu takto·. Z generátoru 1 pilového napětí přicházejí impulsy do regulačního obvodu 2 plynulého zvětšení, ve kterém se-amplitudově upravují. Tyto impulsy jsou jedním a druhým výstupem přiváděny přes první a druhý kompenzační zdroj J a 4, ve kterém se k nim superponuje kompenzační napětí, které řídí první a druhý stabilizátor proudu 2 ^a 2· Oba stabilizátory proudu 6 a 2 jsou ještě regulovány obvodem 2 P^ro hrubé nastavení zvětšení, jímž se nastaví konstantní velikost výstupního proudu pro rastrovací oívky 8 a 2· Superponované stejnosměrné napětí z kompenzačních zdrojů 2 ^& A způsobí fiktivní posuv preparátu nezávislý na regulačním obvodu 2 plynulého zvětšení, avšak řídioí proud v rastrovaoíoh cívkách 5 ^a 2/d® závislý na ovládání zvětšení obvodem 2 P^ro hrubé nastavení. Tím je možno nastavit shodu středů zvětšení jak plynule, tak hrubě.The wiring works as follows during operation. From the saw voltage generator 1, pulses arrive at a continuous magnification control circuit 2 in which they are amplified. These pulses are supplied by one and the other output via the first and second compensating sources J and 4, in which the compensating voltage, which controls the first and second current stabilizers 2 ^and 2, is superimposed on them. ^ro rough magnification setting, which sets a constant output current for scanning oívky 8 and 2 · Superimposed DC voltage from the compensating sources 2 ^& a causes fictional feed preparation, independent of the control circuit 2 smooth zooming, but řídioí current rastrovaoíoh coils 5 ^and 2 / D® dependent on the zoom control circuit 2 P ^ro rough adjustment. In this way, it is possible to adjust the coincidence of the magnification centers both continuously and roughly.

Claims

OBJECT OF THE INVENTION • Connection of scanning electron microscope coils to change magnification formed by deflection coils for the x and y directions connected through the saw voltage generator control circuit, characterized in that the first output of the continuous zoom control circuit (2) and the x-direction scanning coil (8) a first compensation source (3) connected in series with the first current stabilizer (6) and a second compensation source (4) in series with the second current stabilizer is connected between the second output of the continuous zoom control circuit (2) and the scanning direction (9) (7), between which and the first current stabilizer (6), a coarse magnification adjustment circuit (5) is connected.