CN2938388Y - 一种蒸镀蒸发源的夹持装置 - Google Patents

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CN2938388Y CN 200620017941 CN200620017941U CN2938388Y CN 2938388 Y CN2938388 Y CN 2938388Y CN 200620017941 CN200620017941 CN 200620017941 CN 200620017941 U CN200620017941 U CN 200620017941U CN 2938388 Y CN2938388 Y CN 2938388Y
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李清明
钟源
陈晓梅
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Abstract

本实用新型是关于一种蒸镀蒸发源的夹持装置,包括可固定连接并电连接在电极棒上的连接体、承载体、螺接在该承载体上的夹紧体,该夹紧体和该承载体分别具有相对的夹持面,该承载体有限固定连接并电连接在该连接体上,承载体具有至少两个相互垂直的夹持面,即在调整状态,该承载体可相对该连接体转动,以保证夹持面的水平或垂直状态;在夹持蒸发源状态,该承载体相对该连接体固定,并与该连接体电连接。因此,本实用新型既可水平夹持蒸发源又可垂直夹持蒸发源,在更换蒸发源的类型(加热灯丝或蒸发皿)时,不需同时更换相应的夹持装置,使用方便。

Description

一种蒸镀蒸发源的夹持装置
技术领域
本实用新型涉及一种夹持装置,尤其是涉及一种蒸镀蒸发源的夹持装置。
背景技术
真空蒸镀根据蒸发源的不同分为电阻加热式和坩埚外热式两种,采用电阻加热式的蒸发镀膜设备的镀膜腔体中至少有一对正、负电极棒,在正、负电极棒上分别固定连接有夹持装置,两个夹持装置之间固定连接有蒸发源,蒸发源通电后产生的高温来蒸发放置于蒸发源之中的材料。电阻加热式蒸发源常见有加热灯丝和蒸发皿。由于加热灯丝的两端头一般不在同一直线上的,总是成一定角度,因此夹持装置的两个夹持面需要呈竖直状态,从前后两侧夹持加热灯丝,以保证加热灯丝在竖直方向上的变形最小;而蒸发皿必须保持水平状态,因此夹持装置的两个夹持面需要呈水平状态,从蒸发皿上下两侧夹持蒸发皿。目前,针对灯丝和蒸发皿,需要用到两种不同的夹持装置,一种可从前后夹持灯丝两侧的夹持装置,另一种可从上下侧夹持蒸发皿的夹持装置。用到灯丝或蒸发皿时,必须将相应的夹持装置固定连接到正、负电极棒上,在更换蒸发源的类型(加热灯丝或蒸发皿)时,需同时更换相应的夹持装置,拆装极不方便。
实用新型内容
本实用新型目的在于提供一种既可水平夹持蒸发源又可垂直夹持蒸发源的蒸镀蒸发源的夹持装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的:
本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置,包括可固定连接并电连接在电极棒上的连接体、承载体、螺接在该承载体上的夹紧体,该夹紧体和该承载体分别具有相对的夹持面,该承载体有限固定连接并电连接在该连接体上。
在上述基础中,其中:
所述承载体具有至少两个相互垂直的夹持面;所述夹紧体数量至少两个。
其还包括固定螺栓;所述承载体上开设有水平通孔,该固定螺栓穿过该水平通孔将该承载体水平螺接并电连接到所述连接体上,使所述夹持面的水平或垂直状态;在调整状态,该承载体可绕该固定螺栓转动;在夹持蒸发源状态,该固定螺栓将该承载体固定在该连接体上。
所述承载体的外轮廓呈正方体,所述水平通孔贯穿其中两个相对面的中部,与该水平通孔的中心线平行的两个相邻的面上分别螺接有夹紧体。
所述承载体的外轮廓呈正方体,所述水平通孔贯穿其中一组相对面的中部,另两组相对面上分别有贯穿的垂直于该水平通孔的安装孔,并螺接有夹紧体。
本实用新型相比现有技术,本实用新型由于承载体有限固定连接在连接体上,即在调整状态,该承载体可相对该连接体转动,以保证夹持面的水平和/或垂直位置;在夹持蒸发源状态,该承载体相对该连接体固定,并与该连接体电连接。又由于承载体具有至少两个相互垂直的夹持面,因此,本实用新型既可水平夹持蒸发源又可垂直夹持蒸发源,在更换蒸发源的类型(加热灯丝或蒸发皿)时,不需同时更换相应的夹持装置,使用方便。
附图说明
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置的爆炸示意图。
图2是利用本实用新型垂直夹持蒸发源的立体示意图。
图3是利用本实用新型水平夹持蒸发源的立体示意图。
具体实施方式
请参阅图1,本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置,包括可固定连接并电连接在电极棒7、9上的连接体4、承载体1、螺接在该承载体1上的夹紧体2、3、固定螺栓5、夹紧螺栓6、8。
该承载体1为正方体结构,其中一组相对面的中部开设有贯穿的水平通孔10,另两组相对面上开设有贯穿的垂直于该水平通孔10的安装孔20、30,夹紧体2、3上开设有与该安装孔20位置对应的通孔,夹紧体3上开设有与该安装孔30位置对应的通孔,夹紧螺栓6分别穿过该通孔和该安装孔20,将该夹紧体2、3螺接到该承载体1上,夹紧螺栓8分别穿过该通孔和该安装孔30,将该夹紧体3螺接到该承载体1上,该夹紧体2、3和该承载体1分别具有相对的夹持面;该固定螺栓5穿过该水平该通孔10将该承载体1水平地螺接并电连接到该连接体4上,在调整状态,该固定螺栓5未拧紧,该承载体1可绕该固定螺栓5转动,以保证两个夹持面的水平和垂直位置;在夹持蒸发源状态,拧紧该固定螺栓5,将该承载体1固定在该连接体4上,并与该连接体4电连接。
由于一个承载装置只能夹持蒸发源的一端,因此本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置需成对使用。
当然,所述承载体也可以通过水平旋转轴和定位销组合的方式有限固定连接并电连接在该连接体上,即在调整状态,该承载体可相对该连接体绕该水平旋转轴转动,以保证两个夹持面的水平和垂直位置;在夹持蒸发源状态,该定位销将该承载体相对该连接体固定,并与该连接体电连接。该承载体1的外轮廓也可为长方体结构;该两个安装孔20、30也可不贯通,在该安装孔20、30的孔壁上设有螺纹,用相应的夹紧螺栓可将夹紧体2、3分别螺接在该承载体1的相应面上。
请参看图2,一对本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置的连接体4分别螺接在正、负电极棒7、9上,该夹紧体2和该承载体1相对的夹持面调整到垂直状态,此时该夹紧体3和该承载体1相对的夹持面则为水平状态,将蒸发源加热灯丝16的两端分别夹到两个夹持装置的该夹紧体2和该承载体1相对的夹持面之间,拧紧夹紧螺栓6,将该加热灯丝16垂直夹紧。
请参看图3,一对本实用新型一种蒸镀蒸发源的夹持装置的连接体4分别螺接在正、负电极棒7、9上,该夹紧体2和该承载体1相对的夹持面调整到水平状态,此时该夹紧体3和该承载体1相对的夹持面则为垂直状态,将蒸发源蒸发皿18的两端分别夹到两个夹持装置的该夹紧体2和该承载体1相对的夹持面之间,拧紧夹紧螺栓6,将该蒸发皿18水平夹紧。

Claims (5)

1.一种蒸镀蒸发源的夹持装置,包括可固定连接并电连接在电极棒上的连接体、承载体、螺接在该承载体上的夹紧体,该夹紧体和该承载体分别具有相对的夹持面,其特征在于:所述承载体有限固定连接并电连接在该连接体上。
2.根据权利要求1所述的一种蒸镀蒸发源的夹持装置,其特征在于:所述夹紧体数量至少两个;所述承载体具有至少两个相互垂直的夹持面。
3.根据权利要求1所述的一种蒸镀蒸发源的夹持装置,其特征在于:其还包括固定螺栓;所述承载体上开设有水平通孔,该固定螺栓穿过该水平通孔将该承载体水平螺接并电连接到所述连接体上,使所述夹持面的水平或垂直状态;在调整状态,该承载体可绕该固定螺栓转动;在夹持蒸发源状态,该固定螺栓将该承载体固定在该连接体上。
4.根据权利要求3所述的一种蒸镀蒸发源的夹持装置,其特征在于:所述承载体的外轮廓呈正方体,所述水平通孔贯穿其中两个相对面的中部,与该水平通孔的中心线平行的两个相邻的面上分别螺接有夹紧体。
5.根据权利要求3所述的一种蒸镀蒸发源的夹持装置,其特征在于:所述承载体的外轮廓呈正方体,所述水平通孔贯穿其中一组相对面的中部,另两组相对面上分别有贯穿的垂直于该水平通孔的安装孔,并螺接有夹紧体。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN101781752A (zh) * 2010-04-02 2010-07-21 张斌 一种蒸发电极
CN101736294B (zh) * 2009-12-23 2012-10-10 东莞宏威数码机械有限公司 蒸发舟夹紧装置

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