CN2912932Y - 晶片传输机械手装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片传输机械手装置，该装置包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。本实用新型结构简单有效，使用寿命长；采用部件少，可靠性高、易维护。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种机械手装置，尤其涉及一种晶片传输机械手装置。
背景技术
离子注入机是半导体工艺中离子掺杂的典型设备，离子源产生需要掺杂的离子束，离子束再经过质量分析、校正、加速，传输到处于靶室终端工艺腔体的晶片表面。
晶片传输机械手是目前半导体工艺设备上常用的关键部件，其作用是在真空环境中实现晶片传输；此外，为满足现代半导体硅片的工艺要求，需要晶片传输装置有较高的效率和可靠性。如果不能实现有效的晶片传输，晶片就会脱离机械手，造成碎片和停机损失，这将会直接影响到整个设备晶片处理的可靠性指标。
发明内容
针对上述情况，本实用新型提供一种新型的晶片传输机械手装置，可以实现高速可靠的晶片传输。
本实用新型通过以下技术方案实现：晶片传输机械手装置包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。
本实用新型的有益效果是：
1.结构简单有效，使用寿命长。
2.该装置采用部件少，可靠性高、易维护。
附图说明
图1是本实用新型的示意图。
图2是本实用新型的钢带绕向示意图。
其中：
1-晶片台
2-晶片盒
3-真空锁
4-定向台
5-机械手臂
6-直线导轨
7-驱动盘
8-机械手支架
9-回转盘
10-张紧轮
11-钢带。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1所示，晶片传输机械手装置包括机械手臂5、直线导轨6、驱动盘7、机械手支架8、回转盘9、张紧轮10、钢带11，其中机械手臂5安装在回转盘9上，回转盘9位于机械手支架8上，机械手支架8下安装直线导轨6；钢带11绕制在回转盘9、张紧轮10、驱动盘7上。
本实用新型通过机械手臂5的直线和回转运动实现晶片的传输和定向。实现过程主要包括四部分：从晶片盒2中取片经过真空锁3送到定向台4，定向台4完成晶片定向，再将晶片送到晶片台1，当注入完成后将晶片送到晶片盒2。
机械手臂5直线运动是通过机械手支架5沿直线导轨6运动实现的。机械手臂5到晶片盒2中晶片位置取片，然后将晶片搬运到定向台4进行晶片定向，最后机械手臂5旋转到晶片台1位置将晶片放到晶片台1上。将晶片送回晶片盒2时，不经过定向台4。
驱动盘7是运动的驱动装置，回转盘9是机械手臂5旋转运动的实现机构。
如图2所示，钢带11下圆弧位置为驱动盘7的安装位置，上圆弧位置为回转盘9的安装位置；驱动盘7驱动钢带11经过张紧轮10带动回转盘7作回转运动，从而驱动机械手臂5运动。
磁流体装置(图中未示)实现真空密封，磁流体装置(图中未示)的一端安装伺服电机(图中未示)，一端安装驱动盘7，通过控制电机旋转角度精确控制驱动盘7的转动。
本发明新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本实用新型专利的侵犯，将承担相应的法律责任。
Claims (1)
1.一种晶片传输机械手装置，其特征在于：包括机械手臂、直线导轨、驱动盘、机械手支架、回转盘、张紧轮、钢带，其中机械手臂安装在回转盘上，回转盘位于机械手支架上，机械手支架下安装直线导轨；钢带绕制在回转盘、张紧轮、驱动盘上，驱动盘通过钢带、回转盘、张紧轮控制机械手臂旋转。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CNU2006200081828U CN2912932Y (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 晶片传输机械手装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNU2006200081828U CN2912932Y (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 晶片传输机械手装置 |
Publications (1)
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| CN2912932Y true CN2912932Y (zh) | 2007-06-20 |
Family
ID=38167532
Family Applications (1)
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| CNU2006200081828U Expired - Fee Related CN2912932Y (zh) | 2006-03-17 | 2006-03-17 | 晶片传输机械手装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN2912932Y (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101436562B (zh) * | 2008-12-12 | 2010-06-02 | 哈尔滨工业大学 | 双臂晶圆传输机械手 |
| CN102452559A (zh) * | 2010-10-22 | 2012-05-16 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 传送装置及系统 |
| CN106165029A (zh) * | 2014-03-31 | 2016-11-23 | 国立大学法人九州工业大学 | 改性磁性流体、使用了该改性磁性流体的把持机构以及把持装置 |
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2006
- 2006-03-17 CN CNU2006200081828U patent/CN2912932Y/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN102452559B (zh) * | 2010-10-22 | 2015-01-14 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 传送装置及系统 |
| CN106165029A (zh) * | 2014-03-31 | 2016-11-23 | 国立大学法人九州工业大学 | 改性磁性流体、使用了该改性磁性流体的把持机构以及把持装置 |
| CN106165029B (zh) * | 2014-03-31 | 2018-06-15 | 国立大学法人九州工业大学 | 改性磁性流体、使用了该改性磁性流体的把持机构以及把持装置 |
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