CN2887467Y - 微粒清除装置 - Google Patents

微粒清除装置 Download PDF

Info

Publication number
CN2887467Y
CN2887467Y CNU2005201209449U CN200520120944U CN2887467Y CN 2887467 Y CN2887467 Y CN 2887467Y CN U2005201209449 U CNU2005201209449 U CN U2005201209449U CN 200520120944 U CN200520120944 U CN 200520120944U CN 2887467 Y CN2887467 Y CN 2887467Y
Authority
CN
China
Prior art keywords
particulate
cylinder
scavenge unit
stirring rod
unit according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
CNU2005201209449U
Other languages
English (en)
Inventor
林杰明
柯皓忠
曾文能
邓建松
杨弘文
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Innolux Shenzhen Co Ltd
Innolux Corp
Original Assignee
Innolux Shenzhen Co Ltd
Innolux Display Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Innolux Shenzhen Co Ltd, Innolux Display Corp filed Critical Innolux Shenzhen Co Ltd
Priority to CNU2005201209449U priority Critical patent/CN2887467Y/zh
Priority to US11/641,258 priority patent/US20070136977A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN2887467Y publication Critical patent/CN2887467Y/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B5/00—Cleaning by methods involving the use of air flow or gas flow
    • B08B5/04—Cleaning by suction, with or without auxiliary action
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A47—FURNITURE; DOMESTIC ARTICLES OR APPLIANCES; COFFEE MILLS; SPICE MILLS; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47L—DOMESTIC WASHING OR CLEANING; SUCTION CLEANERS IN GENERAL
    • A47L25/00—Domestic cleaning devices not provided for in other groups of this subclass 
    • A47L25/08—Pads or the like for cleaning clothes

Landscapes

  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
  • Detail Structures Of Washing Machines And Dryers (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种微粒清除装置，其包括一具有一腔体的本体，一容置在腔体中的滚筒以及与腔体连接的进气单元和排气单元，该滚筒具有一入风口及相对于入风口的一底部，其中该微粒清除装置还包括一用于驱动该滚筒沿一转轴转动的第一马达及一搅拌棒，该搅拌棒由该滚筒底部伸出。

Description

微粒清除装置
【技术领域】
本实用新型是关于一种微粒清除装置，特别是关于一种适用于无尘布清洁的微粒清除装置。
【背景技术】
在半导体产业的无尘室中，通常必须使用特殊材质的无尘布进行清洁，因此无尘布的使用量非常大。
但是随着芯片线宽越来越窄、液晶面板尺寸越来越大，对在无尘室、设备机台或卡匣的洁净度要求也越来越高，所使用的无尘布等级也必须提高至class 100或class 10等级，而洁净度越高的无尘布价格昂贵，因此如何降低无尘布的使用量或使用成本，是个值得考虑的问题。
【实用新型内容】
为了克服现有技术中无尘布使用量大的问题，有必要提供一种可有效清洁无尘布从而减少无尘布使用量的微粒清除装置。
一种微粒清除装置，其包括一具有一腔体的本体，一容置在腔体中的滚筒以及与腔体连接的进气单元和排气单元，该滚筒具有一入风口及相对于入风口的一底部，其中该微粒清除装置还包括一用于驱动该滚筒沿一转轴转动的第一马达及一搅拌棒，该搅拌棒由该滚筒底部伸出。
与现有技术相比，本实用新型的微粒清除装置设置有一用于驱动该滚筒沿一转轴转动的第一马达及一搅拌棒，该搅拌棒由该滚筒底部伸出，该滚筒及搅拌棒同向或是反向旋转，利用物理撞击拍打，将附着在无尘布上的微粒清除，可有效清洁无尘布从而减少无尘布使用量。
【附图说明】
图1是本实用新型微粒清除装置一较佳实施方式的示意图。
图2是无尘布在滚筒中进行微粒清除的示意图。
【具体实施方式】
图1是本实用新型微粒清除装置一较佳实施方式的示意图，微粒清除装置包括进气单元20、本体10以及排气单元30。
微粒清除装置的本体10具有一腔体11，一中空滚筒12以可沿着转轴A转动方式设置在腔体11中。滚筒12具有入风口123及相对于入风口123的底部124，滚筒底部124具有多个可供排气的通孔125，而滚筒12的内壁设置有多个由滚筒底部124向入风口123延伸的第一扇叶121，其中第一扇叶121的厚度由滚筒12的入风口123端至滚筒底部124逐渐增加。
搅拌棒13由滚筒底部124伸出，也以可沿转轴A转动的方式设置在滚筒12中央。该搅拌棒13具有多个突出的第二扇叶131，而且第二扇叶131的厚度也由滚筒12的入风口123端至滚筒底部124逐渐增加。
微粒清除装置的本体10部份还包括二用于驱动滚筒12及搅拌棒13的马达14、15。马达14通过皮带141与滚筒12入风口123端的皮带轮122连接，可驱动滚筒12沿既定的转轴A转动；马达15通过皮带151与搅拌棒13上的皮带轮132连接，另可驱动搅拌捧13沿转轴A转动。上述马达14、15可由一马达驱动控制器所控制，以控制以不同的滚筒12及搅拌棒13具有不同的转速或是转动方向。此外马达14、15亦可安装具有不同转速比的减速装置，再由皮带141、151与固定在滚轮12及搅拌棒13上的皮带轮122、132连接，以达到调整转速或是转向的目的。
如图1所示，本实用新型微粒清除装置的进气单元20包括一与本体10部份的腔体11连通的进气信道21，一进气风扇22设置在进气信道21中，可将外界空气抽入进气信道21并送入滚筒12中。为了避免外面空气中的微粒进入滚筒12中，在进气风扇22的前后设置多个道滤网。在进气风扇22前方的初级滤网23的密度较低，可过滤直径较大的微粒，在进气风扇22后方则可依不同洁净度需求，设置多道高密度滤网24，如高效率空气滤网(High Efficiency Particulate AirFilter，HEPA)，使进入腔体11中的空气达到所需洁净度。
微粒清除装置的排气单元30具有一与本体10部份的腔体11连通的锥形排气信道31以及设置在其中的排气风扇32，用于抽出本体10内的空气。此外，为了监控排出的空气品质，可在排气信道31内壁设置一微粒传感器33，通过外部的控制器，可随时读出排出空气的含尘量，判断滚筒12中无尘布的微粒移除状况。
图2是无尘布在滚筒12中进行微粒清除的示意图，本实用新型微粒清除装置的滚筒12、搅拌棒13具有多个突出的第一及第二扇叶121，131，为简化图标第二图各以三个扇叶代表，实际扇叶数量并不在此限。如图2所示，滚筒12及搅拌棒13可依顺时钟方向或逆时钟方向转动，因此可依据需求让滚筒12及搅拌棒13同向或是反向旋转，利用物理撞击拍打，将附着在无尘布5上的微粒清除，达到生产环境所需要的洁净度等级。

Claims (10)

1.一种微粒清除装置，其包括一具有一腔体的本体，一容置在腔体中的滚筒以及与腔体连接的进气单元和排气单元，该滚筒具有一入风口及相对于入风口的一底部，其特征在于：该微粒清除装置还包括一用于驱动该滚筒沿一转轴转动的第一马达及一搅拌棒，该搅拌棒由该滚筒底部伸出。
2.根据权利要求1所述的微粒清除装置，其特征在于：该第一马达是通过一第一皮带驱动该滚筒。
3.根据权利要求1所述的微粒清除装置，其特征在于：该微粒清除装置进一步包括一第二马达，通过一第二皮带驱动搅拌棒沿既定转轴转动。
4.根据权利要求3所述的微粒清除装置，其特征在于：该滚筒与搅拌棒的转动方向相同。
5.根据权利要求3所述的微粒清除装置，其特征在于：该滚筒与搅拌棒的转动方向相反。
6.根据权利要求1所述的微粒清除装置，其特征在于：该滚筒具有多个扇叶，沿内壁由滚筒底部向入风口延伸设置。
7.根据权利要求6所述的微粒清除装置，其特征在于：该扇叶接近该底部的一端较接近入风口的一端厚。
8.根据权利要求7所述的微粒清除装置，其特征在于：该扇叶的厚度由入风口端至滚筒底部逐渐增加。
9.根据权利要求1所述的微粒清除装置，其特征在于：该搅拌棒具有多个突出的扇叶，且该扇叶接近滚筒底部的一端较接近滚筒入风口的一端厚。
10.根据权利要求9所述的微粒清除装置，其特征在于：该扇叶的厚度由入风口端至滚筒底部逐渐增加。
CNU2005201209449U 2005-12-20 2005-12-20 微粒清除装置 Expired - Lifetime CN2887467Y (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2005201209449U CN2887467Y (zh) 2005-12-20 2005-12-20 微粒清除装置
US11/641,258 US20070136977A1 (en) 2005-12-20 2006-12-19 Particle removing apparatus for cleaning dust-free clothes

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CNU2005201209449U CN2887467Y (zh) 2005-12-20 2005-12-20 微粒清除装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN2887467Y true CN2887467Y (zh) 2007-04-11

Family

ID=38046042

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNU2005201209449U Expired - Lifetime CN2887467Y (zh) 2005-12-20 2005-12-20 微粒清除装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US20070136977A1 (zh)
CN (1) CN2887467Y (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105312278A (zh) * 2014-07-29 2016-02-10 盛美半导体设备（上海）有限公司 颗粒清除装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US700078A (en) * 1902-01-08 1902-05-13 Harry W Pennypacker Feather-cleaning machine.
US2441631A (en) * 1945-02-14 1948-05-18 Hills Bros Coffee Centrifugal dust separator
US4135897A (en) * 1976-05-13 1979-01-23 Gondek John T Air cleaner
US6195834B1 (en) * 1999-03-25 2001-03-06 David Shteingold Method and apparatus for removing foreign particles
US6286515B1 (en) * 2000-02-17 2001-09-11 Philip Morris Incorporated Humidification cylinder

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105312278A (zh) * 2014-07-29 2016-02-10 盛美半导体设备（上海）有限公司 颗粒清除装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20070136977A1 (en) 2007-06-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN204320663U (zh) 一种大米用吸风机
CN204564530U (zh) 一种葛根粉生产中的清洁型自动筛分装置
CN209542384U (zh) 一种道路扬尘在线监测装置
CN209724541U (zh) 一种汽车空气滤清器的自清理组件
CN103182386A (zh) 中央空调机组滤筒清扫装置
CN200954515Y (zh) 盒体洁净设备结构
CN2887467Y (zh) 微粒清除装置
CN205820463U (zh) 一种布料加工专用的自动除尘的卷布机
CN106705286A (zh) 具有自动除尘功能的空气净化器
CN201513983U (zh) 空气调节装置
CN208480219U (zh) 一种具有负压降温装置的高速贴片机
CN202478726U (zh) 滤筒清扫机构
CN209174041U (zh) 立式辊磨机
CN206809944U (zh) 一种具有卸尘功能的脉冲除尘器
CN201279959Y (zh) 覆膜机的无尘装置
CN207113053U (zh) 智能空气净化器
CN109955260A (zh) 一种基于物联网的具有空气净化功能的智能机器人
CN214449417U (zh) 一种环保节能不干胶机
CN107519699A (zh) 一种具有音乐播放功能的空气净化器
CN209295409U (zh) 一种新型防尘式空调箱
CN110500677B (zh) 空气净化处理系统
CN207756245U (zh) 一种生物实验用粉碎离心设备
CN2780297Y (zh) 离线回转脉冲清灰袋式除尘器
CN206824310U (zh) 一种智能环保除尘装置
CN221705662U (zh) 一种除尘除湿机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CX01 Expiry of patent term

Granted publication date: 20070411

EXPY Termination of patent right or utility model